JPS5994427A - 半導体製造装置 - Google Patents
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- JPS5994427A JPS5994427A JP57203311A JP20331182A JPS5994427A JP S5994427 A JPS5994427 A JP S5994427A JP 57203311 A JP57203311 A JP 57203311A JP 20331182 A JP20331182 A JP 20331182A JP S5994427 A JPS5994427 A JP S5994427A
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- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、リードフレームに集積回路を構成する半導体
ベレット（以下たんに、ベレットという）を貼着して接
続ワイヤをボンディングして接合する半導体製造装置に
係り、特に、この半導体製造装置における上記リードフ
レームを収納したマガジンの移送装置に関する。
ベレット（以下たんに、ベレットという）を貼着して接
続ワイヤをボンディングして接合する半導体製造装置に
係り、特に、この半導体製造装置における上記リードフ
レームを収納したマガジンの移送装置に関する。
既に提案されているこの種の半導体製造装置は、第１図
に示されるように、耳孔（パーホレーション）ａｌを有
するリードフレームａを収納したマガジンｂ□を扛上し
ながら供給する供給側の昇降移動装置■と機台（図示さ
れず）と一体のガイドレールＣ上のリードフレームａを
１ピツチごとに間欠送りする間欠送り装置■１．ｎ２と
リードフレームａの各端子部にペレットｄを貼着して接
続ワイヤをボンディングして接続するペレットボンディ
ング装置■及びボンディングを終了したリードフレーム
ａを収納したマガジンｂ２を取出して次の工程へ移送す
る取出側の昇降移動装置■とで構成されている。
に示されるように、耳孔（パーホレーション）ａｌを有
するリードフレームａを収納したマガジンｂ□を扛上し
ながら供給する供給側の昇降移動装置■と機台（図示さ
れず）と一体のガイドレールＣ上のリードフレームａを
１ピツチごとに間欠送りする間欠送り装置■１．ｎ２と
リードフレームａの各端子部にペレットｄを貼着して接
続ワイヤをボンディングして接続するペレットボンディ
ング装置■及びボンディングを終了したリードフレーム
ａを収納したマガジンｂ２を取出して次の工程へ移送す
る取出側の昇降移動装置■とで構成されている。
即ち、上記半導体製造装置は、一対をなすガイド軸１及
び送りねじ２をそれぞれ立設し、この送りねじ２の上端
部のプーリー２ａにタイミングベルト３を介してモータ
４を設け、上記両ガイド軸１及び上記送りねじ２に昇降
枠体（昇降ステージ）５を昇降自在に付設し、この昇降
枠体５に複数のリードフレーム（ワーク）ａを収納した
マガジンｂ１をχ〒脱自在に設け、このマガジンｂ□の
送出開口側に位置する上記ガイドレールＣに上記リード
フレームａを１ピツチづ又間欠送りする一対をなす間欠
送り装置■□、ｎ２を付設し、上記ガイドレールＣの中
程上位にペレットボンディング装置１■を設置し、上記
ガイドレールＣの終端部に前述した供給側の昇降装置工
と同一構成をなす取出側の昇降装置■を設置したもので
ある。つまり、この取出側の昇降装置■は、一対をなす
ガイド軸６及び送りねじ７をそれぞれ立設し、この送り
ねじ７の上端部に軸着されたプーリー ７ ａにタイミ
ングベルト８を介してモータ９を設け、上記両ガイド軸
６及び上記送りねじ７に昇降枠体１０を昇降自在に付設
し、この昇降枠体１０に複数のリードフレームａを格納
するマガジンｂ２を着脱自在に設け、このマガジンｂ２
を収納する昇降枠体１０は、マガジンｂ２内に１枚のリ
ードフレームａを収納するごとに上記モータ９のカム板
９ａと作動スイッチ９ｂとの作用によってリードフレー
ムａをマガジンｂ２０次の棚部に収納し得るように、１
ピツチづ一扛上し得るように構成されており、さらに、
上記昇降枠体１０は、上記両ガイド軸７の上・下部に配
設された上限スイッチＳ１と下限スイッチＳ２との間を
昇降し得るようになっている。
び送りねじ２をそれぞれ立設し、この送りねじ２の上端
部のプーリー２ａにタイミングベルト３を介してモータ
４を設け、上記両ガイド軸１及び上記送りねじ２に昇降
枠体（昇降ステージ）５を昇降自在に付設し、この昇降
枠体５に複数のリードフレーム（ワーク）ａを収納した
マガジンｂ１をχ〒脱自在に設け、このマガジンｂ□の
送出開口側に位置する上記ガイドレールＣに上記リード
フレームａを１ピツチづ又間欠送りする一対をなす間欠
送り装置■□、ｎ２を付設し、上記ガイドレールＣの中
程上位にペレットボンディング装置１■を設置し、上記
ガイドレールＣの終端部に前述した供給側の昇降装置工
と同一構成をなす取出側の昇降装置■を設置したもので
ある。つまり、この取出側の昇降装置■は、一対をなす
ガイド軸６及び送りねじ７をそれぞれ立設し、この送り
ねじ７の上端部に軸着されたプーリー ７ ａにタイミ
ングベルト８を介してモータ９を設け、上記両ガイド軸
６及び上記送りねじ７に昇降枠体１０を昇降自在に付設
し、この昇降枠体１０に複数のリードフレームａを格納
するマガジンｂ２を着脱自在に設け、このマガジンｂ２
を収納する昇降枠体１０は、マガジンｂ２内に１枚のリ
ードフレームａを収納するごとに上記モータ９のカム板
９ａと作動スイッチ９ｂとの作用によってリードフレー
ムａをマガジンｂ２０次の棚部に収納し得るように、１
ピツチづ一扛上し得るように構成されており、さらに、
上記昇降枠体１０は、上記両ガイド軸７の上・下部に配
設された上限スイッチＳ１と下限スイッチＳ２との間を
昇降し得るようになっている。
従って、上述した半導体製造装置は、予め、上記昇降枠
体５にマガジンｂ工を設置し、次に、上記モータ４を駆
動することにより、上記送りねじ２を上記タイミングベ
ルト３を介して回転する。
体５にマガジンｂ工を設置し、次に、上記モータ４を駆
動することにより、上記送りねじ２を上記タイミングベ
ルト３を介して回転する。
すると、上記マガジンｂ０を保持する上記昇降枠体５が
リードフレームａを１枚分だけ上昇した後、上記モータ
４を停止する。
リードフレームａを１枚分だけ上昇した後、上記モータ
４を停止する。
次に、上記モータ４に連動して上記各間欠送り装置Ｉ＋
１，１１□を、＋１．＋：（励し、この間欠送り装置１
１１゜１１２ の各送り爪で上記リードフレームａの耳
孔ａ１をガイドレールＣ上に引き出しながら間欠送り動
作を開始する１゜ しかして、上記ガイドレールＣ上のリードフレームａか
、上記ベレットボンディング装置■の位置ＶＣ移送され
て停止すると、このペレットボンディング装置、４：
ＤＩのコレットが治具（図示されず）上に載置された＃
’： ’ｔｊ’え回路を４７４成した半導体ペレットｄ
を↓゛ル空１及ン１ｊシたりン、これを」＝６己リード
フレームａの所定の位置に位置決めして載置して貼着し
、しかる後、上記ペレットボンディング族ｆＷ ［［で
リードフレームａの各リード部とベレットｄの各電極と
を＋ａ ｌｌｉ／ｉ’ワイヤでボンディングして接続す
る。
１，１１□を、＋１．＋：（励し、この間欠送り装置１
１１゜１１２ の各送り爪で上記リードフレームａの耳
孔ａ１をガイドレールＣ上に引き出しながら間欠送り動
作を開始する１゜ しかして、上記ガイドレールＣ上のリードフレームａか
、上記ベレットボンディング装置■の位置ＶＣ移送され
て停止すると、このペレットボンディング装置、４：
ＤＩのコレットが治具（図示されず）上に載置された＃
’： ’ｔｊ’え回路を４７４成した半導体ペレットｄ
を↓゛ル空１及ン１ｊシたりン、これを」＝６己リード
フレームａの所定の位置に位置決めして載置して貼着し
、しかる後、上記ペレットボンディング族ｆＷ ［［で
リードフレームａの各リード部とベレットｄの各電極と
を＋ａ ｌｌｉ／ｉ’ワイヤでボンディングして接続す
る。
このようにして、上記リードフレームａ上に複数のベレ
ットｄをｊ班壜に貼ンａしながら、カイトレールＣ上を
他の間欠送り装置Ｉ１２で移送する。
ットｄをｊ班壜に貼ンａしながら、カイトレールＣ上を
他の間欠送り装置Ｉ１２で移送する。
次に、取出側の昇降装置■ば、待様している空マガジン
ｂ２の４ｉｕｌ ｇｌｓにベレットｄを貼着したり一ド
フレームａを上から下へ順に挿着する。この場合、上記
昇降装置■は、前述したように、終了時、上記昇降枠体
１０の位置を上限スイッチｓ１によって検出し、しかる
後、上記マガジンｂ２を取出し、他方、上記昇降装置Ｉ
、ＩＶの各昇降枠体５，１ｏは、逆回転する各モータ４
，９によって、上記各送りねじ２，７を逆回転し、これ
によって各下限スイッチＳ２を作動して停止するまで降
下するようになっている。このようにして、上記両昇降
装置工と■の両マガジンｂ１．ｂ２は、■工程ごとに昇
降動作を反復継続して行うようになっている。
ｂ２の４ｉｕｌ ｇｌｓにベレットｄを貼着したり一ド
フレームａを上から下へ順に挿着する。この場合、上記
昇降装置■は、前述したように、終了時、上記昇降枠体
１０の位置を上限スイッチｓ１によって検出し、しかる
後、上記マガジンｂ２を取出し、他方、上記昇降装置Ｉ
、ＩＶの各昇降枠体５，１ｏは、逆回転する各モータ４
，９によって、上記各送りねじ２，７を逆回転し、これ
によって各下限スイッチＳ２を作動して停止するまで降
下するようになっている。このようにして、上記両昇降
装置工と■の両マガジンｂ１．ｂ２は、■工程ごとに昇
降動作を反復継続して行うようになっている。
しかしながら、上述した半導体製造装置は、マガジンｂ
１．ｂ２を収納した各昇降枠体５，１ｏをリードフレー
ムａの給排児了ごとに、各モータ４゜９を逆回転して降
下し、あらたに各マガジンｂ０゜ｂ２を交換しなければ
ならない関係上、マガジン交換作業が面倒であるばかり
でなく、各昇降枠体５．１０を下降して最初の状態に戻
す無駄な時間を費すげかりでなく、オペレータが、その
都度、他の作業の中断を余儀なくされる等の欠点がある
。
１．ｂ２を収納した各昇降枠体５，１ｏをリードフレー
ムａの給排児了ごとに、各モータ４゜９を逆回転して降
下し、あらたに各マガジンｂ０゜ｂ２を交換しなければ
ならない関係上、マガジン交換作業が面倒であるばかり
でなく、各昇降枠体５．１０を下降して最初の状態に戻
す無駄な時間を費すげかりでなく、オペレータが、その
都度、他の作業の中断を余儀なくされる等の欠点がある
。
又一方、無人化工場を図る場合、上記マガジンｂ１．Ｉ
）２の自動供給が望まれるけれども、上記マガジンｂ１
．ｂ２を昇降する各昇降装ｖｔｒ、■では、量産による
省力化が困難である。
）２の自動供給が望まれるけれども、上記マガジンｂ１
．ｂ２を昇降する各昇降装ｖｔｒ、■では、量産による
省力化が困難である。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって
、各マガジンを連続的にしかも一方向に供給して取扱い
操作を簡素化して、量並による省力化を図ることを目的
とする半導体製造装置を提供するものである。
、各マガジンを連続的にしかも一方向に供給して取扱い
操作を簡素化して、量並による省力化を図ることを目的
とする半導体製造装置を提供するものである。
本発明は、リードフレームを収納したマガジンを備えた
半導体製造装置において、機台と一体を１、、Ｃすガイ
ドレールの端部に上記マガジンを挾持して一方向のみに
搬送する無端搬送装置を設置して構成したものである。
半導体製造装置において、機台と一体を１、、Ｃすガイ
ドレールの端部に上記マガジンを挾持して一方向のみに
搬送する無端搬送装置を設置して構成したものである。
以下、本発明を図示の一実施例について説明する−
なお、本発明は、上述した具体例と同一構成部材には同
じ符号を附して説明する。
じ符号を附して説明する。
第２図乃至第４図において、符号Ｃば、機台（図示され
ず）と一体をなし、しかも、水平に設り′られたガイド
レールであって、このガイドレールＣの上面両端部には
、リードフレームａを１ピツチごとに間欠送りする間欠
送り装置ｆｆｎ１．ｎ、、が設けられており、上記ガイ
ドレ・−ルＣの中程上位には、上記リードフレームａの
谷端子部にペレットｄ ’ｊｘ 貼着した後、接続ワイ
ヤをポンディンクシて接続するベレットボンディング装
置■が設置されている。
ず）と一体をなし、しかも、水平に設り′られたガイド
レールであって、このガイドレールＣの上面両端部には
、リードフレームａを１ピツチごとに間欠送りする間欠
送り装置ｆｆｎ１．ｎ、、が設けられており、上記ガイ
ドレ・−ルＣの中程上位には、上記リードフレームａの
谷端子部にペレットｄ ’ｊｘ 貼着した後、接続ワイ
ヤをポンディンクシて接続するベレットボンディング装
置■が設置されている。
一方、上記ガイドレールＣの両端部には各マヵジンｂ１
．ｂ２を挾持して下方から上方へ移送する供給側の無端
搬送装置Ｖとこれと同一の構成をなす取出側の無端搬送
装置■とが設置されている即ち、上記供給側の無端搬送
装ＭＶは、第３図及び第４図５示されるように、上記ガ
イドレールＣの供給側の一端部に近接した静止部材１１
に、一対の案内レール１２をばね１３を介して垂直方向
にして立設されており、この両案内レール１２に対峙し
た位ｉｆ：ｊに一対をなす無端ベルト１４を上・下沓一
対をなすプーリー １５ 、１６に巻装して設け、この
一方のプーリ１５にモータ１５ａを設り゛、さらに、上
記両′ｉ≦内レール１２に対峙した位１ト１にして、し
かも、上記両４ｊｌη端ベルト１４の商に無端ベルト１
７を上・下沓一対をなすグーＩＪ −１８、１９に巻装
して設け、この−）ｊｏ） ７” −リ−１９にテンシ
ョン（＋−ルク）コントロールクラッチ２０を設けたも
のであ々。なお、上記各無端ベルト１４及１７には上記
マガジンｂ０の上端縁と下端縁とを係止する各爪部１４
ａ、１７ａが一定のピッチ間ｈ’ｆ存して付設されてい
る。
．ｂ２を挾持して下方から上方へ移送する供給側の無端
搬送装置Ｖとこれと同一の構成をなす取出側の無端搬送
装置■とが設置されている即ち、上記供給側の無端搬送
装ＭＶは、第３図及び第４図５示されるように、上記ガ
イドレールＣの供給側の一端部に近接した静止部材１１
に、一対の案内レール１２をばね１３を介して垂直方向
にして立設されており、この両案内レール１２に対峙し
た位ｉｆ：ｊに一対をなす無端ベルト１４を上・下沓一
対をなすプーリー １５ 、１６に巻装して設け、この
一方のプーリ１５にモータ１５ａを設り゛、さらに、上
記両′ｉ≦内レール１２に対峙した位１ト１にして、し
かも、上記両４ｊｌη端ベルト１４の商に無端ベルト１
７を上・下沓一対をなすグーＩＪ −１８、１９に巻装
して設け、この−）ｊｏ） ７” −リ−１９にテンシ
ョン（＋−ルク）コントロールクラッチ２０を設けたも
のであ々。なお、上記各無端ベルト１４及１７には上記
マガジンｂ０の上端縁と下端縁とを係止する各爪部１４
ａ、１７ａが一定のピッチ間ｈ’ｆ存して付設されてい
る。
従って、−り記供給側の無端搬送装置Ｖは、第４図に示
されるように、例えば、水平搬送ベルト２１に載せられ
て移送されたマガジンｂ工を上記モータ１５ａで、駆柚
している無端ベルト１４の爪部１４ａで係止すると共に
、上記無端ベルト１４と上記両案内レール１２とで上記
マカジンｂ□の両側を弾発的に挾持し、さらに、上記テ
ンションコントロールクラッチ制動している無端ベルト
１７の爪部１７ａで係止して、とのま又の状態でマガジ
ンｂ□を上方へ扛上し得るようになっている。
されるように、例えば、水平搬送ベルト２１に載せられ
て移送されたマガジンｂ工を上記モータ１５ａで、駆柚
している無端ベルト１４の爪部１４ａで係止すると共に
、上記無端ベルト１４と上記両案内レール１２とで上記
マカジンｂ□の両側を弾発的に挾持し、さらに、上記テ
ンションコントロールクラッチ制動している無端ベルト
１７の爪部１７ａで係止して、とのま又の状態でマガジ
ンｂ□を上方へ扛上し得るようになっている。
一方、上記プーリー１８に近接した無端ベルト１７の送
行路には検出スイッチＳ３が上記マガジンｂ□の扛上位
置を検出するようになっており、この検出スイッチＳ３
は上記間欠送り装置１１１．ＩＩ２に連動して作動し、
この間欠送り装置ζｊ ＩＩ １の各送り爪で上記マガ
ジンｂよに収納されたリードフレームａの耳孔ａ□を係
止してガイドレールＣ上に引き出しながら間欠送り動作
を開始する。
行路には検出スイッチＳ３が上記マガジンｂ□の扛上位
置を検出するようになっており、この検出スイッチＳ３
は上記間欠送り装置１１１．ＩＩ２に連動して作動し、
この間欠送り装置ζｊ ＩＩ １の各送り爪で上記マガ
ジンｂよに収納されたリードフレームａの耳孔ａ□を係
止してガイドレールＣ上に引き出しながら間欠送り動作
を開始する。
このようにして、上記マガジンｂ１内に収納されている
リードフレームａは、上記無端ベルト１４゜１７及び各
案内レール１２との共働作用で１ピツチづ瓦扛上して上
記ガイドレールＣ上に送り出される。
リードフレームａは、上記無端ベルト１４゜１７及び各
案内レール１２との共働作用で１ピツチづ瓦扛上して上
記ガイドレールＣ上に送り出される。
又、空になったマガジンｂ０はそのま〜上方へ扛上した
後、上記無端ベル目４の上部から側方へ放出されるよう
になっている。
後、上記無端ベル目４の上部から側方へ放出されるよう
になっている。
他方、上記ガイドレールＣ上のリードフレームａが、上
記ペレットボンディング装置■の位置に移送されて停止
すると、このペレットボンディング装置■のコレットが
治具（図示されず）上に載置された集積回路を構成した
半導体ペレツ）ｄを真空吸着した後、これを上記リード
フレームａの所定の位置に位置決めして貼着し、しかる
後、上記ペレットボンディング装置■でリードフレーム
ａの各リード部とペレットｄの各電極とを接続ワイヤで
ボンティングして接続するようになっている。
記ペレットボンディング装置■の位置に移送されて停止
すると、このペレットボンディング装置■のコレットが
治具（図示されず）上に載置された集積回路を構成した
半導体ペレツ）ｄを真空吸着した後、これを上記リード
フレームａの所定の位置に位置決めして貼着し、しかる
後、上記ペレットボンディング装置■でリードフレーム
ａの各リード部とペレットｄの各電極とを接続ワイヤで
ボンティングして接続するようになっている。
このようにして、上記リードフレームａ上に複数のペレ
ットｄを順に貼着し、リードフレームａとペレットとの
間を各接続ワイヤでボンディングして接続し、さらに、
これらを他の間欠送り装置１１２で上記カイトレールＣ
の取出端部へ移送するようになっている。又一方、上記
カイトレールＣの一端部には、マガジンｂ２を挾持して
下方から上方へ移送する取出側の無端搬送装置■が設置
される。即ち、この取出側の無端搬送装置■は、上ｉｚ
ｌΣした供給側の無端搬送装置Ｖと同−溶成をしている
。つまり、上記取出側の無端搬送装置■は、上記ガイド
レールＣの取出側の一端部に近接した静止部材１１に、
一対のガイドレール１２′をばね１３′を介して垂直方
向にして立設し、この両案内レール１２′に対峙した位
置に爪部１４ａ′を有する一対をなす無端ベルト１４′
を上・下各一対馨なすグー！Ｊ −１５’ 、１６’
に巻装して設け、この一方のグー！７−１５’にモータ
１５ａ′を設け、さらに、上記両案内レール１２′に対
峙した位置にして、しかも、上記両無端ベルト１４′の
間に爪部１７ａ′を有する無端ベルト１７を−ヒ・下台
一対をなすプーリー１８’。
ットｄを順に貼着し、リードフレームａとペレットとの
間を各接続ワイヤでボンディングして接続し、さらに、
これらを他の間欠送り装置１１２で上記カイトレールＣ
の取出端部へ移送するようになっている。又一方、上記
カイトレールＣの一端部には、マガジンｂ２を挾持して
下方から上方へ移送する取出側の無端搬送装置■が設置
される。即ち、この取出側の無端搬送装置■は、上ｉｚ
ｌΣした供給側の無端搬送装置Ｖと同−溶成をしている
。つまり、上記取出側の無端搬送装置■は、上記ガイド
レールＣの取出側の一端部に近接した静止部材１１に、
一対のガイドレール１２′をばね１３′を介して垂直方
向にして立設し、この両案内レール１２′に対峙した位
置に爪部１４ａ′を有する一対をなす無端ベルト１４′
を上・下各一対馨なすグー！Ｊ −１５’ 、１６’
に巻装して設け、この一方のグー！７−１５’にモータ
１５ａ′を設け、さらに、上記両案内レール１２′に対
峙した位置にして、しかも、上記両無端ベルト１４′の
間に爪部１７ａ′を有する無端ベルト１７を−ヒ・下台
一対をなすプーリー１８’。
１９′に巻装して設け、この一方のプーリー１９にテン
ション（トルク）コントロールクラッチ加′ヲ設げたも
のである。
ション（トルク）コントロールクラッチ加′ヲ設げたも
のである。
従って、上記取出側の無端搬送装置■は、上記両案内レ
ール１２′と上記無端ベル）１４’、１７’とで上記空
のマガジンｂ２０両側を弾発的に挾持し、さらに、上記
マガジンｂ２を各無端ベル）１．４’。
ール１２′と上記無端ベル）１４’、１７’とで上記空
のマガジンｂ２０両側を弾発的に挾持し、さらに、上記
マガジンｂ２を各無端ベル）１．４’。
１７′の各爪部１４ａ’、１７ａ’で上・下から保持し
て上方へ扛上すると、検出スイッチＳ４が上記マヵジン
ｂ２の位置を検出する。すると、上記間欠送り装置ｌ１
２はリードフレームａを上記マガジンｂ。
て上方へ扛上すると、検出スイッチＳ４が上記マヵジン
ｂ２の位置を検出する。すると、上記間欠送り装置ｌ１
２はリードフレームａを上記マガジンｂ。
の棚部へ送り込むと、このリードフレームａの一端部か
検センザー８５を押動し、これによって、モータ１５ａ
′を、駆動して、上記マガジンｂ２を上方へ上記マガジ
ンｂ２の各棚部に相当する１ピッチ分だけ１１駒に扛上
するようになっている。
検センザー８５を押動し、これによって、モータ１５ａ
′を、駆動して、上記マガジンｂ２を上方へ上記マガジ
ンｂ２の各棚部に相当する１ピッチ分だけ１１駒に扛上
するようになっている。
このようにして、上記マガジンｂ２内にリードフレーム
ａを濃杯にすると、そのま−１これを上方へ扛上した後
、上記無端ベルト１４′の上部から側方へ取出すように
なっている。しかして、本発明による半導体製造装置Ｃ
ｔの供給側及び取出側の両無端伽送装置Ｖと■とは 各
マガジンｂ□、ｂ２を連ｈｃ的に、しかイ）、一方向に
移送するようになり、前述した具体例の各昇降枠体５，
１ｏのように、下降して最初の状態に戻す無駄な時間を
費すことなく、マガジンｌ）１．ｌ’２の供給及び取出
しを自動的に行うことができる。
ａを濃杯にすると、そのま−１これを上方へ扛上した後
、上記無端ベルト１４′の上部から側方へ取出すように
なっている。しかして、本発明による半導体製造装置Ｃ
ｔの供給側及び取出側の両無端伽送装置Ｖと■とは 各
マガジンｂ□、ｂ２を連ｈｃ的に、しかイ）、一方向に
移送するようになり、前述した具体例の各昇降枠体５，
１ｏのように、下降して最初の状態に戻す無駄な時間を
費すことなく、マガジンｌ）１．ｌ’２の供給及び取出
しを自動的に行うことができる。
次に、第５図に示される本発明の他の実施例は、供給側
及び取出側の無端搬送装置Ｖ、Ｖｌをラック付のマガジ
ンｂ１′、ｂ２′と直線状に列設したビニオン２１ 、
別によって４１゛を成したものである。
及び取出側の無端搬送装置Ｖ、Ｖｌをラック付のマガジ
ンｂ１′、ｂ２′と直線状に列設したビニオン２１ 、
別によって４１゛を成したものである。
即ち、この実施例の供給側及び取出側の無端搬送装置は
、一対をなす支杆２１に互に噛合するビニオン２２を直
線状に並べて軸装し、上記両支杆２１に対峙した位置に
一対の主杆ｎを各ばね２４￥介して立設し、この主杆お
に各ビニオン羽を同一方向に回転し得るように軸装し、
さらに、上記主杆おの下部近傍にパルスモータδを設け
、このパルスモータ５の出力軸２５ａに巻装されたタイ
ミングベルト２６を上記ビニオンあと一体をなすプーリ
ー２７に巻装したものである。
、一対をなす支杆２１に互に噛合するビニオン２２を直
線状に並べて軸装し、上記両支杆２１に対峙した位置に
一対の主杆ｎを各ばね２４￥介して立設し、この主杆お
に各ビニオン羽を同一方向に回転し得るように軸装し、
さらに、上記主杆おの下部近傍にパルスモータδを設け
、このパルスモータ５の出力軸２５ａに巻装されたタイ
ミングベルト２６を上記ビニオンあと一体をなすプーリ
ー２７に巻装したものである。
従って、シック付のマガジンｂ□Ｚｌ、２１は、パルス
モータ５を駆動することにより、上記タイミングベルト
２６を介して、プーリーｎを回転するので、このプーリ
ー２７と一体のビニオンあが上記マガジンｂ１’ 、
ｂ２’の各ラックを１ビツク・づ又上方へ移動し、これ
によって、ラック付のマガジンｂＩ’ ｊ ｂ２’を連
続的に、しかも、一方向へ扛上するようになっている。
モータ５を駆動することにより、上記タイミングベルト
２６を介して、プーリーｎを回転するので、このプーリ
ー２７と一体のビニオンあが上記マガジンｂ１’ 、
ｂ２’の各ラックを１ビツク・づ又上方へ移動し、これ
によって、ラック付のマガジンｂＩ’ ｊ ｂ２’を連
続的に、しかも、一方向へ扛上するようになっている。
又一方、第６図に示される本発明の他の実施例は、マガ
ジンｂ□、ｂ２の無端搬送装置Ｖ、■を水平方向に設置
し、しかも、同一方向に搬□送し得るようにすると共に
、一対のボンディング装置■を；設置し、この両ポンテ
ィング装置■で上記マガジンｂ ｌ） の各リード
フレームａに２工程のボンｌツ２ ディング操作を行うようにしたものである。
ジンｂ□、ｂ２の無端搬送装置Ｖ、■を水平方向に設置
し、しかも、同一方向に搬□送し得るようにすると共に
、一対のボンディング装置■を；設置し、この両ポンテ
ィング装置■で上記マガジンｂ ｌ） の各リード
フレームａに２工程のボンｌツ２ ディング操作を行うようにしたものである。
次に、Ｅ’ｉ’ａ ７図に示される本発明の他の実施例
は、第６図に示さオしろ実施例の変形例であって、これ
は取出１１１すの無ｊ＞ｉｌ＋ｉ搬送装置■と供給側」
の無端搬送装置ｉ’ｉ Ｖとの（前辺方向を互に反対の
向きにしたものであり、上近した具体例と同じ（イ：４
成をなすものであるご。
は、第６図に示さオしろ実施例の変形例であって、これ
は取出１１１すの無ｊ＞ｉｌ＋ｉ搬送装置■と供給側」
の無端搬送装置ｉ’ｉ Ｖとの（前辺方向を互に反対の
向きにしたものであり、上近した具体例と同じ（イ：４
成をなすものであるご。
又、第８図に示される本発明の他の実施例は、マガジン
１）Ｉｌ＋）２の無端搬送装置■を水子方向に１設置す
ると共に、無端ベルト１４の各爪部１４ｂで各マカ／ン
ｂ１を４）１…ルて移送するようにしたものであり、こ
れによって各マカシンｂ□を連続的に、しかも、一方向
へ移送してボンディング装置■へ送り込むようにしだも
のである。
１）Ｉｌ＋）２の無端搬送装置■を水子方向に１設置す
ると共に、無端ベルト１４の各爪部１４ｂで各マカ／ン
ｂ１を４）１…ルて移送するようにしたものであり、こ
れによって各マカシンｂ□を連続的に、しかも、一方向
へ移送してボンディング装置■へ送り込むようにしだも
のである。
以上述べたように本５’ｅ明によれば、リードフレーム
ａを収納したマガジンｂ□、ｂ２を備えた半導体製造装
置において、機台と一体をなすガイドレールＣの端部に
上記各マガジンを挾持して一方向のみに搬送する無端搬
送装置を設ｆ１シであるので、マガジンｂ１．ｂ２を連
続的に供給できるようになり、これによって取扱い操作
も簡素化されるばかりでなく、無駄な待機時間もな（な
り、量産による省力化を図ることができる。
ａを収納したマガジンｂ□、ｂ２を備えた半導体製造装
置において、機台と一体をなすガイドレールＣの端部に
上記各マガジンを挾持して一方向のみに搬送する無端搬
送装置を設ｆ１シであるので、マガジンｂ１．ｂ２を連
続的に供給できるようになり、これによって取扱い操作
も簡素化されるばかりでなく、無駄な待機時間もな（な
り、量産による省力化を図ることができる。
第１図は、既に提案されている半導体製造装置の斜面図
、第２図は、本発明による半導体製造装置のｆｔ面図、
第３図は、同上正面図、第４図は、同上側面図、第５図
乃至第８図は、本発明の他の実施例を示す各図である。 ａ・・・リードフレーム、ｂｏ、ｂ２・・・マガジン、
Ｃ・・・ガイドレール、■・・・供給１！ｌの昇降移動
装置、１１１１ ｎ２ ・・間欠送り装置、ｌト・・ペ
レットボンディング装置、■・・・取出４１！ｌの昇降
移動装置、■供給側の無端搬送装置、■・・・取出側の
無端搬送装置ｆ、ｊ、１２．１２’・・・東向レール、
１４ 、１４ ’・・・無端ベル）、１７．１７’・・
・無端ヘルド。 出１彪人代理人 猪 股 清第３図 第４図
、第２図は、本発明による半導体製造装置のｆｔ面図、
第３図は、同上正面図、第４図は、同上側面図、第５図
乃至第８図は、本発明の他の実施例を示す各図である。 ａ・・・リードフレーム、ｂｏ、ｂ２・・・マガジン、
Ｃ・・・ガイドレール、■・・・供給１！ｌの昇降移動
装置、１１１１ ｎ２ ・・間欠送り装置、ｌト・・ペ
レットボンディング装置、■・・・取出４１！ｌの昇降
移動装置、■供給側の無端搬送装置、■・・・取出側の
無端搬送装置ｆ、ｊ、１２．１２’・・・東向レール、
１４ 、１４ ’・・・無端ベル）、１７．１７’・・
・無端ヘルド。 出１彪人代理人 猪 股 清第３図 第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ■、リードフレームを収納したマガジンを備えた半導体
製造装置において、機台と一体をなすガイドレールの端
部に上記マガジンを挾持して一方向のみに搬送する無端
搬送装置を設置したことを特徴とする半導体製造装置。 ２ガイドレールの両端部に対をなす無端搬送装置を設置
したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の半導
体製造装置。 ３、無端搬送装置を無端ベルトと案内レール部材とで構
成したことを特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２
項記載の半導体製造装置。 ４、ラック付のマカジンに噛合する多数のビニオンを直
線状に列設して無端搬送装置を構成したことを特徴とす
る特許請求の範囲第１項又は、第２項記載の半導体製造
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57203311A JPS5994427A (ja) | 1982-11-19 | 1982-11-19 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57203311A JPS5994427A (ja) | 1982-11-19 | 1982-11-19 | 半導体製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5994427A true JPS5994427A (ja) | 1984-05-31 |
| JPH0150099B2 JPH0150099B2 (ja) | 1989-10-27 |
Family
ID=16471923
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57203311A Granted JPS5994427A (ja) | 1982-11-19 | 1982-11-19 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5994427A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05218124A (ja) * | 1992-02-05 | 1993-08-27 | Kaijo Corp | ボンダー及びこれを装備した自動ボンディング装置 |
| KR20000043743A (ko) * | 1998-12-29 | 2000-07-15 | 정동용 | 점용접을 이용한 릴타입 리드프레임 자재의 연속공급방법 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5467976A (en) * | 1977-11-08 | 1979-05-31 | Toshiba Seiki Kk | Apparatus for supplying and receiving article |
| JPS5749387U (ja) * | 1980-09-08 | 1982-03-19 | ||
| JPS582105A (ja) * | 1981-06-25 | 1983-01-07 | Shinkawa Ltd | マガジン移送装置 |
-
1982
- 1982-11-19 JP JP57203311A patent/JPS5994427A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5467976A (en) * | 1977-11-08 | 1979-05-31 | Toshiba Seiki Kk | Apparatus for supplying and receiving article |
| JPS5749387U (ja) * | 1980-09-08 | 1982-03-19 | ||
| JPS582105A (ja) * | 1981-06-25 | 1983-01-07 | Shinkawa Ltd | マガジン移送装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05218124A (ja) * | 1992-02-05 | 1993-08-27 | Kaijo Corp | ボンダー及びこれを装備した自動ボンディング装置 |
| KR20000043743A (ko) * | 1998-12-29 | 2000-07-15 | 정동용 | 점용접을 이용한 릴타입 리드프레임 자재의 연속공급방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0150099B2 (ja) | 1989-10-27 |
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