JP2686513B2 - 自動ボンディング装置及び該装置が具備するフレーム搬送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば、ＩＣチップ、
すなわち半導体部品を保持した状態にて順次供給される
リードフレームを受け入れて該ＩＣチップのパッド（電
極）と該リードフレーム上に設けられたリードとをワイ
ヤを用いてボンディングするボンダーと、該ボンダーを
経ることによりボンディング加工が施された多数のリー
ドフレームを次々と受け入れてこれらを配列して収容す
るアンローダとを、ラインとして装備した自動ボンディ
ング装置に関する。また、本発明は、かかる自動ボンデ
ィング装置に装備されるべきフレーム搬送装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】かかる自動ボンディング装置の従来例を
図２２乃至図３６に示す。なお、当該自動ボンディング
装置は、例えば特開平３−１５５１４０号公報において
開示されている。

【０００３】図２２に示すように、当該従来装置におい
ては、ダイボンダー装置Ａ₂ 、キュア装置Ｂ₂ 、３台の
ボンダーＣ₅ 〜Ｃ₇ 及びマガジンストッカー装置Ｄ₂
が、一列にラインとして装備されている。ダイボンダー
装置Ａ₂ は、ウェハー（図示せず）をカッティングする
ことにより得られた多数のＩＣチップ（図示せず）を、
例えば熱硬化型の接着剤等を用いてリードフレーム（後
述）上の所定位置に順次装着し、後段のキュア装置Ｂ₂
に向けて送り出すものである。また、キュア装置Ｂ₂
は、ダイボンダー装置Ａ₂ より送り出されたリードフレ
ームを受け入れて、該接着剤を固化せしめるべく加熱し
た後、後段のボンダーＣ₅ 〜Ｃ₇ に向けて送り出すもの
である。

【０００４】各ボンダーＣ₅ 〜Ｃ₇ は、キュア装置Ｂ₂
を経たリードフレームを受け入れて、該リードフレーム
に形成されているリードと該リードフレーム上に配設さ
れたＩＣチップ上のパッド（電極）とを、金、アルミニ
ウムなどから成るワイヤを用いてボンディングするもの
で、その構成について以下に詳述する。なお、各ボンダ
ーＣ₅ 〜Ｃ₇ は、夫々ほぼ同様に構成されている故、１
台目のボンダーＣ₅ の構成について詳しく説明し、残る
２台のボンダーＣ₆ 及びＣ₇ についての説明は省略す
る。

【０００５】図２３は、ボンダーＣ₅ が具備するリード
フレーム搬送用の搬送機構の構成の概略を示す図であ
る。図２３において、ボンダーＣ₅ の本体２０１（二点
鎖線で図示）上に載置されているボンディングヘッド２
０２はカメラヘッド，レンズ及び照明灯を有するカメラ
を含み、Ｘ方向及びＹ方向に移動可能なＸＹテーブル駆
動機構（図示せず）に搭載されている。このボンディン
グヘッド２０２によりボンディングステージ（このボン
ディングステージは、ボンディング接続を行なうボンデ
ィング作業部及びそのチップの前後の複数のチップが載
置され搬送されるステージ部分を指称する。）上の被ボ
ンディング部品であるＩＣチップを撮像してリードフレ
ームのリードと該ＩＣチップ上のパッドとをボンディン
グ接続する。このボンディングヘッド２０２により撮像
されるＩＣチップが配設されるリードフレームは、第１
のガイドレール２０３ａ及び第２のガイドレール２０３
ｂにより最適間隔位置に位置決め調整される。これら第
１及び第２のガイドレール２０３ａ及び２０３ｂとリー
ドフレーム両端との間隔は約０．１ｍｍに設定されてい
る。この第１及び第２のガイドレール２０３ａ及び２０
３ｂと平行に第３の搬送機構２０４が設けられている。
この第３の搬送機構２０４は１つの軸で軸支された一対
のローラ２０４ａ，２０４ｂが２つ配設され、該ローラ
２０４ａ及び２０４ｂ間に掛け渡された二本のベルト２
０４ｃ，２０４ｄとで構成され、前記ローラ２０４ｂは
二重ローラで形成され、このローラ２０４ｂと前記以外
の他のローラ２０４ｅとをベルト２０４ｆで掛け渡し、
このローラ軸と駆動モータ２０４ｇの軸とが連結駆動さ
れるように構成されている。この駆動モータ２０４ｇの
回転駆動力により第３の搬送機構２０４のベルト２０４
ｃ及び２０４ｄは正逆回転可能に構成されている。この
二本のベルト２０４ｃ及び２０４ｄ間の中心でアンロー
ダ側（リードフレーム送り出し方向側）近傍にはリード
フレームの到来を検出する検出センサー２０５が配置さ
れている。この検出センサー２０５は反射型の光センサ
ー等で構成されている。

【０００６】次に、ローダ側（リードフレーム受け入れ
側）の搬送手段について説明する。ローダ側の搬送手段
は第１及び第２の搬送機構２０６及び２０７で構成され
ている。この第１及び第２の搬送機構２０６及び２０７
は１つのモータ２０８で駆動されている。

【０００７】まず、第１及び第２の搬送機構２０６及び
２０７はローダユニット２０９上に第１及び第２のガイ
ドレール２０３ａ及び２０３ｂの長手方向と平行な方向
に並列して設けられている。このローダーユニット２０
９の端部は前後スライド用シリンダー２１０の軸２１０
ａの先端に連結されており、第１及び第２のガイドレー
ル２０３ａ及び２０３ｂの長手方向と直行する方向にボ
ンダーＣ₅ の本体２０１の上面を移動可能に構成されて
いる。このシリンダー（切換手段）２１０の前後への移
動におけるタイミング制御は図示せぬマイクロプロセッ
サ等よりなる制御回路により制御されており、シリンダ
ーの前後の位置は第１及び第２の搬送機構２０６，２０
７の中心と第１及び第２のガイドレール２０３ａ，２０
３ｂの中心及び第３の搬送機構２０４の中心（一点鎖線
で示す部分）とが一致するように制御されている。この
中心位置の制御は調整可能に構成されていることは勿論
である。この第１及び第２の搬送機構２０６及び２０７
は上述した第３の搬送機構２０４と略同じ構成よりな
り、１つの軸で軸支された一対のローラ２０６ａ，２０
６ｂが２つ配設され、該ローラ２０６ａ及び２０６ｂ間
に掛け渡された二本のベルト２０６ｃ，２０６ｄとで構
成された搬送機構が並列に配設されてなるが、前記他方
のローラ軸２０６ｂで第１及び第２の搬送機構２０６及
び２０７が連結されており、第１の搬送機構２０６の前
記ローラ２０６ｂは二重ローラで形成され、該ローラ２
０６ｂと前記以外の他のローラ２０６ｅとがベルト２０
６ｆで掛け渡され、このローラ２０６ｅの軸と駆動モー
タ２０８の軸とが連結されて第１及び第２の搬送機構２
０６及び２０７は同軸で回転駆動されるように構成され
ている。また、第１及び第２の搬送機構２０６及び２０
７には第１及び第２のガイドレール２０３ａ及び２０３
ｂへのリードフレーム供給側近傍にリードフレーム検出
センサー２１１、２１２が配設されている。

【０００８】次に、第４及び第５の搬送機構２１３及び
２１４は上述の第１及び第２の搬送機構２０６及び２０
７と同一の構成よりなり、アンローダー側に設けられて
いる。この第３及び第４の搬送機構２１３及び２１４も
第１及び第２の搬送機構２０６及び２０７と同様に１つ
のモータで駆動されているが、第４及び第５の搬送機構
２１３及び２１４を駆動する駆動モータで駆動するよう
にしてもよい。また、リードフレーム検出センサー２１
５ａ、２１５ｂはリードフレーム排出側、すなわち、図
２３のベルト先端近傍に配設されている。

【０００９】次に、図２４及び図２５は図２３の第１及
び第２の搬送機構等が搭載されているローダーユニット
の詳細な構成をリードフレーム搬送方向と直交する方向
から示した断面図である。

【００１０】図２４において、第１のベース２１７はボ
ンダーＣ₅ の本体２０１上に固定されている。この第１
のベース２１７上にはカム２１８が配設されている。こ
のカム２１８のカム面の中央には連続的な傾斜面が形成
されてリニアーな移動ができるように構成されている。
また、第１のベース２１７の左側には前後スライド用シ
リンダー２１０（２１６）を支持する支持フレーム２２
０が垂直に設けられている。このシリンダー２１０の軸
先端には断面略コ字型の第２のベース２２１が連結され
ている。この第２のベース２２１内には第１及び第２の
搬送機構２０６及び２０７を連結する連結軸２２２が設
けられており、該連結軸２２２の他端は第２のベース２
２１に固定されているベルト駆動用モータ２０８のモー
タ軸とカップリング２２３を介して連結されている。第
１の搬送機構２０６は既に図２３で説明したように二本
のベルトが掛け渡されたローラ軸を支持する支持台２２
４ａ及び２２４ｂが第２のベース２２１上に垂直に形成
されている。また、第２の搬送機構２０７も第１の搬送
機構２０６と同様にローラ軸を支持する支持台２２５ａ
及び２２５ｂが第２のベース２２１上に垂直に形成され
ている。この第２の搬送機構２０７の支持台２２５ａ及
び２２５ｂの両側には断面略コ字型の保持台２２６が設
けられており、この保持台２２６の側面には上下用ガイ
ド２２７ａ設けられている。この上下用ガイド２２７ａ
は前記軸受２２７ｂに形成された溝と嵌合して上下に摺
動可能に構成されている。保持台２２６の下面２２６ａ
には支柱２２８が設けられ、この支柱２２８の先端には
ボールベアリング２２９が回転可能に設けられている。
この支柱２２８は第２のベース２２１に開けられた穴２
３０を通して前記ボールベアリング２２９の先端が前記
カム２１８のカム面に当接されている。また、保持台２
２６の上端には断面略Ｌ字型のガイドレール２３１ａ及
び２３１ｂが設けられている。このガイドレール２３１
ａ及び２３１ｂはリードフレームの幅により調節可能に
構成されている。このガイドレール２３１ａ及び２３１
ｂのガイド面の高さは第１及び第２のガイドレール２０
３ａ及び２０３ｂのリードフレームの搬送面の高さと少
なくとも一致若しくははぼ同じ面の高さとなるように設
定されている。

【００１１】上記構成はローダ側及びアンローダ側も同
じ構成よりなる。

【００１２】このローダユニット２０９を含む上下等に
動作について図２４及び図２５の図面を用いて以下に説
明する。

【００１３】図２４はシリンダー２１０の軸２１０ａが
吸引されている状態であり、軸先端に連結されている第
２のベース２２１は引っ張られている状態で位置制御さ
れている。このとき、第１及び第２の搬送機構２０６及
び２０７は、第１及び第２のガイドレール２０３ａ，２
０３ｂと第３の搬送機構２０４の搬送路に対して一致し
た状態、すなわち図２３に示す状態となる、この時、保
持台２２６の下面に設けられたベアリング２２９はカム
面の最上部２１８Ｈに位置している。したがって、図２
５で示すカム面の最下部２１８Ｌに位置する時はリード
フレームが第２の搬送機構２０７のベルト２０７ｃ，２
０７ｄ上に載置されていたものが、シリンダーの吸引作
用によって保持台２２６のガイドレール２３１ａ及び２
３１ｂによりリードフレーム両端が保持されて上昇し、
ベルト２０７ｃ，２０７ｄ上から静かに離間される。こ
れは、カム２１８により連続的な動きが可能であること
による。この図２４の状態の時は第１の搬送機構２０６
のベルト上にもリードフレームがキュア装置Ｂ₂ （図２
２に図示）より搬送される。したがって、この状態で第
３の搬送機構２０４の搬送路上にリードフレームの連続
的な搬送を行なうことができる。

【００１４】次に、上記のようにして第２の搬送機構２
０７のガイドレール２３１ａ及び２３１ｂのガイド面に
載置されたリードフレームがリードフレームプッシャー
シリンダー２１９（図２３参照）で第１及び第２のガイ
ドレール２０３ａ及び２０３ｂの搬送路上に押し出され
ると、前後スライド用シリンダー２１０の軸２１０ａが
突出して図２５の状態に移行する。すなわち、第２のベ
ース２２１をカム面に沿って２１８Ｈから２１８Ｌに移
動させる。この時、保持台２２６のガイドレール２３１
ａ及び２３１ｂのガイド面はベルト上面の位置よりも低
い位置まで降下（図２５参照）しているので、新たなリ
ードフレームが図２２に示すキュア装置Ｂ₂ より搬送さ
れる。この時、第１の搬送機構２０６は搬送路よりも外
れた位置にあるのでベルト上にはリードフレームは載置
されていない。

【００１５】以上が、ローダユニット２０９の動作であ
るが、かかる動作はアンローダ側においても同様の動作
が行なわれる。

【００１６】次に、本装置を用いてリードフレームが搬
送される経路について図２６乃至図２８を用いて詳細に
説明する。

【００１７】まず、図２３の状態よりローダ側の前後ス
ライド用シリンダー２１０の軸２１０ａが突出してロー
ダユニット２０９を図２６の状態まで移動させる。第２
の搬送機構２０７の搬送路上にリードフレーム（Ｌ＼
Ｆ）が矢印方向より供給される。このリードフレームを
検出センサー２１２が検出すると、ベルトを駆動してい
る搬送用の駆動モータ２０８の回転が制御回路からの指
令により停止する。その後、前後用シリンダー２１０が
吸引方向に作動してローダユニット２０９を図２７に示
す状態まで移動させる。この時、第１及び第２の搬送機
構２０６及び２０７の搬送路はボンディングステージの
ある第１及び第２のガイドレール２０３ａ及び２０３ｂ
の搬送路並びに第３の搬送機構２０４の搬送路と一致し
て停止する。図２４に図示の第２の搬送機構２０７のガ
イドレール２３１ａ及び２３１ｂ上に載置されたリード
フレームは、リードフレームプッシャーシリンダー２１
９により第１及び第２のガイドレール２０３ａ及び２０
３ｂ上のガイド面に押し出される。このガイドレール２
０３ａ及び２０３ｂ上に送られたリードフレームは図示
せぬ搬送機構によりクランプされながら１ピッチずつ間
欠送りされた後、ボンディングステージ上で所定温度に
過熱されてボンディングされる。この間、第１の搬送機
構２０６の搬送路は第３の搬送機構２０４の搬送路と一
致しているので、本ボンダーＣ₅ 以外の他のボンダーＣ
₆ 若しくはＣ₇ に第５の搬送機構２１４を介してリード
フレームを供給することができる。次に、ボンディング
ステージ上でボンディング接続されたリードフレームは
アンローダ側に設けられた第４の搬送機構２１３の搬送
路上に排出され、リードフレーム検出センサー２１５ａ
で検出されてモータの回転が停止した後、アンローダ側
の前後用シリンダー２１６が突出方向に作用してアンロ
ーダユニットを図２８の状態まで移動させる。そして、
ボンディング接続が終了したリードフレームを次のボン
ダーＣ₆ 、Ｃ₇ （図２２参照）のバイパス搬送路を経て
マガジンストッカー装置Ｄ₂ （図２２参照）側に搬送す
る。

【００１８】以上がリードフレームのボンディング等が
なされる一連の動作である。

【００１９】次いで、図２２に示したアンローダとして
のマガジンストッカー装置Ｄ₂ の構成について説明す
る。

【００２０】図２９は、マガジンストッカー装置Ｄ₂ が
具備するマガジン自動供給装置の側面図である。

【００２１】図２９において、このマガジン自動供給装
置はマガジンストッカー装置Ｄ₂ の本体に固定されたベ
ース３００に搭載されており、第１のマガジン排出側収
納スペース２５０と第２のマガジン供給側収納スペース
２６０とを上下に配置したマガジン収納スペースと、エ
レベータ２７０と、排出機構２９０等で構成されてい
る。

【００２２】上記構成の詳細について以下に説明する。

【００２３】図２９に示すようにマガジンストッカー装
置Ｄ₂ の本体に固定されているベース３００上にはスラ
イドベース３０１が摺動可能に取り付けられている。こ
のスライドベース３０１の端部にはナット３０２が設け
られており、このナット３０２にはねじ３０３が螺合結
合されている。更に、このねじ３０３はベース３００に
固定されたナット３０２ａに螺合結合されており、該ね
じ３０３の端部に設けられた調節つまみ３０４を回動さ
せることによってスライドベース３０１を前後に移動調
整できるように構成されている。このスライドベース３
０１を移動させることによって、マガジンの中心を搬送
機構の搬送路の中心に位置調整することができる。な
お、搬送機構の搬送路の中心はボンディングステージの
中心と一致若しくは平行な位置に調整されている。ま
た、前記調整つまみ３０４は手動で回動させるように構
成されているが、パルスモータ等により駆動する構成と
してもよい。

【００２４】次に、エレベータ２７０の構成について説
明すると、スライドベース３０１上にはねじが形成され
た昇降軸２７１が、この昇降軸２７１と平行な昇降軸支
承フレーム２７２により垂直に支持されている。昇降軸
２７１にはナット２７３が螺合結合されており、昇降軸
２７１が回動させられることにより、前記ナット２７３
と結合されているエレベータ背板２７８に取り付けられ
ているエレベータステージ２７９が上下に移動可能に構
成されている。上記昇降軸２７１の下方はカップリング
２７４及びタイミングプーリ２７５等と連結されてお
り、該タイミングプーリ２７５はベルトを介してモータ
２７７の軸に取り付けられたプーリー２７６と連結され
ている。モータ２７７の駆動力によって前記昇降軸２７
１は回転させられる。前記モータ２７７はベース３００
上に垂直に支持されたシリンダー取付フレーム２８１に
固定されたモータ取付板２８２に固定されている。この
シリンダー取付フレーム２８１の上方にはマガジン載置
用シリンダー２８３及びマガジン押出用シリンダー２８
４が上下に並べて取付固定されている。マガジン載置用
シリンダー２８３の軸端部には載置板２８３ａが取り付
けられている。この載置板２８３ａは該シリンダーがオ
ンされることにより、前方に突出してエレベータステー
ジ２７９上のマガジンを一時的に載せるものである。ま
た、マガジン押出用シリンダー２８４の軸端部には押出
片２８４ａが取付けられており、該シリンダーがオンさ
れると前方に押し出されて前記載置板２８３ａ上に載置
されているマガジンを第１のマガジン排出側収納スペー
ス２５０上に押し出す。

【００２５】この第１のマガジン排出側収納スペース２
５０は、ベース板２５１がスライドベース３０１に取付
けられた支柱（図示せず）に固定されており、このベー
ス板２５１の両端にはマガジンをガイドするガイド板２
５２が両端に設けられている。このガイド板２５２上に
はリードフレーム収納方向（長手方向）と水平に交叉す
る方向、すなわちリードフレームの幅方向に配列された
マガジンを複数連続的に配列することができる。

【００２６】この第１のマガジン排出側収納スペース２
５０の下段には第２のマガジン供給側収納スペース２６
０が設けられている。この第２のマガジン供給側収納ス
ペース２６０にも第１のマガジン排出側収納スペース２
５０と同方向（リードフレーム幅方向）にマガジンを複
数配列することができ、該マガジンをガイド板２６１が
両端に設けられている。このガイド板２６１の間にはマ
ガジンを移送する移送機構２６２が設けられている。こ
の移送機構２６２は図３０に詳しく示されている。

【００２７】図３０に示すように、この移送機構２６２
は、ローラ２６２ｂ及び２６２ｃ間に掛け渡されたベル
ト２６２ｅと、前記ローラ２６２ｃとベルト２６２ｆで
連結された駆動ローラ２６２ａと、前記ベルト２６２ｅ
の垂れを防ぐベルト支え板２６２ｄとで構成されてい
る。駆動ローラ２６２ａの回転駆動力によって、ベルト
２６２ｅ上に配列されたマガジンはエレベータステージ
２７９側に移送される。この移送されたマガジンはエレ
ベータ背板２７８に取付固定されたストッカーガイド２
８５に当接して停止するように構成されている。また、
マガジンを保持するチャック機構２８０がエレベータス
テージ２７９上に設けられている。該チャック機構２８
０の構成は後述する。

【００２８】次に、移送機構２６２により移送されたマ
ガジンは、ストッカーガイド２８５により規制され、図
示せぬマイクロプロセッサ等で構成される制御回路の指
令により停止されている。この状態でエレベータステー
ジ２７９が上昇して１つのマガジンのみを前記移送機構
２６２のベルト２６２ｅのベルト上より上方に離間させ
る。この作動機構の構成について図３１及び図３２を用
いて説明する。この図３１は側面からみた断面図であ
り、図３２はその正面図である。

【００２９】図３１において、当該作動機構はスライド
べース３０１上に取り付けられており、この作動機構は
上端に作動片２８７ａが固定されている作動部材２８７
と、この作動部材２８７の側面に取り付けられ、ガイド
受部材２８８ｂに矢印方向に摺動可能に設けられた摺動
部材２８８ａと、一端が作動部材２８７に固定され他端
がガイド受部材２８８ｂに固定されてこの作動部材２８
７を常時上方に付勢する引張コイルばね２８６とで構成
されている。また、この作動部材２８７の側面には、ベ
アリング２８９が設けられている。

【００３０】上記構成よりなるこの作動機構は通常、引
張ばね２８６の付勢力によって上方に付勢されているの
で、図３２において一点鎖線で示す位置に作動片２８７
ａがある。この時には、作動片２８７ａの先端の高さは
図３０で示す移送機構２６２のベルト２６２ｅよりも高
い位置になるように設定されているので、作動片２８７
ａの先端がマガジンの下面に当接して持ち上げることが
できるように構成されている。この引張ばね２８６の付
勢力は調整可能に構成されている。

【００３１】また、作動部材２８７は図３１において二
点鎖線で示すエレベータステージ２７９がベアリング２
８９に当接して押し下げられることによって、上記移送
機構２６２のベルト２６２ｅの面よりも低い位置まで逃
げるように構成されている。

【００３２】これを図３３を用いて更に説明すると、作
動片２８７ａはリードフレームのマガジン内収納方向に
沿って２つ配置されている。この作動片２８７ａは、ベ
アリング２８９にエレベータステージ２７９の下面が当
接することにより引張コイルばね２８６の付勢力に抗し
て押し下げられるように構成されている。

【００３３】ここで、先に示したエレベータステージ２
７９に設けられたチャック機構２８０について図３４に
基づいて詳述する。

【００３４】図３４に示すように、このチャック機構２
８０においては、可動部材３２０の先端にチャック３２
１が固定されており、この可動部材３２０の下端とナッ
ト２７３に対してエレベータ背板２７８を介して固定さ
れているエレベータステージ２７９の下端とがばね３２
２で連結され、可動部材３２０は常に図の右側に付勢さ
れている。このエレベータステージ３２０の下部には起
動部材３２４が設けられ、可動部材３２０に固定されて
いる摺動部材３２５が該起動部材３２４により案内され
て摺動可能に構成されている。また、可動部材３２０の
他端にはローラ３２６が設けられており、このローラ３
２６はカム３２７のカム面に沿って転動するように構成
されている。かかる構成においては、エレベータステー
ジ２７９上に載置されたマガジン、すなわち、マガジン
供給時にはローラ３２６がカム３２７の凸部によりばね
３２２の付勢力に抗して前方にチャック３２１を押出し
ているのでマガジンとチャック３２１との間には間隔が
空いている。エレベータステージ２７９が下降してカム
３２７のカム面の凹部にローラ３２６が位置する時、す
なわちマガジン固定時にはばね３２２の作用によりチャ
ック３２１はマガジンを保持する。更に下降すると、再
びカム面の凸部によりチャック３２１は前方に突出して
マガジンを保持している状態を解除して排出可能な状態
となる。

【００３５】次に、上記構成よりなるマガジン自動供給
装置の作用について以下に説明する。図２９及び図３０
に示す第２のマガジン供給側収納スペース２６０にリー
ドフレームが収納されていないマガジンがリードフレー
ム収納方向と水平に交叉する方向に複数配列される。こ
れらのマガジンは移送機構２６２のベルト２６２ｅ上に
載置されており、制御回路からの指令によってエレベー
タステージ２７９側に送られる。エレベータステージ２
７９はこの時最下部まで降下して待機しており、作動部
材２８７（図３１及び図３２参照）もエレベータステー
ジ２７９の下面がベアリング２８９に当接することによ
り押し下げてられている。この時、チャック機構２８０
も昇降軸２７１に沿って配された図３４に示すようなカ
ム３２７の作用によって押広げられている。この状態で
移送されたマガジンはストッカーガイド２８５に衝突し
て規制される。この後、制御回路は移送機構を停止させ
エレベータステージ２７９を作動部材２８７の引張コイ
ルばね２８６のばね力が開放、すなわち図３２において
二点鎖線で示す高さに相当する量だけ移動させる。する
と、作動片２８７ａによって、ストッカーガイド２８５
により規制されているマガジンが持ち上げられるので、
制御回路は移送機構に逆転指令を出して持ち上げられて
いるマガジン以外のマガジンをエレベータステージ２７
９から離間（第２のマガジン供給側収納スペース２６０
方向）させる位置まで移送して停止する。その後エレベ
ータステージ２７９を上昇させると、作動部材２８７に
より持ち上げられているマガジンはチャック機構２８０
の作用によって確実に保持される。この状態でエレベー
タステージ２７９は間欠的に上昇しながらボンディング
されたリードフレームを収納する。このエレベータステ
ージ２７９が第１のマガジン排出側収納スペース２５０
のマガジン収納面より高い位置まで上昇したことがセン
サー（図示せず）によって検出されると、マガジン載置
用シリンダー２８３が制御指令によりオンされて載置板
２８３ａをエレベータステージ２７９の下面に押し出
す。その後、エレベータステージ２７９は最下部まで下
降するが、チャック機構２８０は再び開放されているの
でマガジンは載置板２８３ａ上に容易に載せられる。そ
してマガジン押出用シリンダー２８４は制御指令によっ
てオンされて押出片２８４ａを押出してマガジンを第１
のマガジン排出側収納スペース２５０側に押し出す。

【００３６】以上のような工程を繰り返してボンディン
グが完了したリードフレームが自動的にマガジン内に順
次収納される。

【００３７】なお、第１及び第２の搬送機構２０６及び
２０７等は２つのレールを具備すると説明しているが、
それ以上設けてもよく、また切換手段としてシリンダー
を用いているが、他の構成を用いて適宜組み合わせるこ
とは勿論可能である。

【００３８】なお、上記ではワイヤボンディングを例と
して説明しているが、テープボンディング等に用いても
よい。

【００３９】ここで、図２２に示したキュア装置Ｂ_２
の構成と、その前段の装置であるダイボンダー装置Ａ_２
との関係について説明する。

【００４０】先述したように、キュア装置Ｂ_２ は、ダ
イボンダー装置Ａ_２ から送り出されたリードフレーム
を受け入れて、該リードフレームとこれに接着剤等によ
り付着されているＩＣチップとを互いに固着するもので
ある。

【００４１】図３５に示すように、キュア装置Ｂ_２は、
炉３４０を有している。この炉３４０内には、ノズル３
４１を通じて高温の窒素ガスが供給される。また該窒素
ガスを排出するための排出パイプ３４２が炉３４０の底
部に接続されている。

【００４２】そして、図３６から明らかなように炉３４
０の内部には多数のヒートブロック３４２が一列に並べ
て設けられている。図３６に示すように、リードフレー
ム（Ｌ＼Ｆ）は、この各ヒートブロック３４２の上面に
載置されながら所定のピッチずつ搬送され、加熱され
る。

【００４３】なお、図３６に示すように、リードフレー
ムがダイボンダー装置Ａ_２ からこのキュア装置Ｂ_２
に持ち来される際、リードフレームはまず、当該自動ボ
ンディング装置のラインの流れる方向Ｌに平行な経路３
４４と、該経路３４４の下流端に連続して当該自動ボン
ディング装置の背面側に向う経路３４５と、該経路３４
５の下流端に連続してラインの流れる方向Ｌに平行な経
路３４６とを、順次経てキュア装置Ｂ_２ の背面側近傍
に搬送される。この後、上記のようにしてヒートブロッ
ク３４２により熱せられつつキュア装置Ｂ_２ の前面側
に搬送され、続いて、ラインの流れる方向Ｌに平行な経
路３４７を経てボンダーＣ_５ 乃至Ｃ_７ へと供給され
る。

【００４４】

【発明が解決しようとする課題】上記した自動ボンディ
ング装置においては、夫々長さの異なる多種のリードフ
レームが取り扱われる。これらリードフレームは、ロッ
ト毎に各ボンダーＣ_５ 〜Ｃ_７ を経てボンディング加
工を施されてマガジンストッカー装置Ｄ_２ が装備する
マガジン内に順次収容されて回収される。ボンダーから
該マガジン内へのフレームの取り込みに際しては、当該
マガジンストッカー装置Ｄ_２ がフレーム受け入れ側に
具備するベルトコンベアからなるフレーム中継手段（図
１に示している。但し、参照符号は付していない）を通
じて行われる。

【００４５】しかしながら、上記のようにボンディング
加工すべきフレームの種類が変更される都度、新たに扱
うフレームの長さに適合させるため、上記のフレーム中
継手段を交換しなければならず、時間を浪費するのみな
らず作業者に煩わしい感じを与えるという欠点がある。

【００４６】そこで、本発明は、上記従来技術の欠点に
鑑みてなされたものであって、扱うリードフレームの種
類の変更に迅速かつ容易に対処することが出来る自動ボ
ンディング装置及びフレーム搬送装置を提供することを
目的とする。

【００４７】

【課題を解決するための手段】本発明は、半導体部品を
保持したフレームを受け入れて該フレームに対してボン
ディング加工を施すボンダーと、前記フレームを複数枚
配列収容してこれらを前記ボンダーに順次供給するロー
ダ若しくは前記ボンダーを経た前記フレームを受け入れ
て収容するアンローダとを含む自動ボンディング装置で
あって、前記ローダ若しくはアンローダのフレーム収容
部と前記ボンダーとの間で前記フレームを搬送して中継
するフレーム中継手段を有するものにおいて、前記フレ
ーム中継手段を、前記フレームに当接してこれを搬送す
るための無端状ベルトと、前記ベルトを駆送する駆送手
段とを有し、前記ベルトのフレーム搬送方向における長
さが可変であるように構成したものである。また、本発
明によるフレーム搬送装置は、基体部と、前記基体部上
にフレームを搬送すべき第１方向において離間して並設
されかつ相対的に接離可能な複数のベルト車と、前記ベ
ルト車各々に掛けられて前記フレームに当接してこれを
搬送するための無端状ベルトと、前記基体部上に前記ベ
ルト車各々に対して前記第１方向に対する交差方向にお
いて離間して配置されかつ該交差方向において可動にし
て前記ベルトが掛けられる他のベルト車と、前記ベルト
車にトルクを付与するトルク付与手段とから成るように
構成したものである。

【００４８】

【実施例】次に、本発明に係る自動ボンディング装置を
添付図面を参照しつつ説明する。なお、当該自動ボンデ
ィング装置は、以下に説明する要部以外は図２２乃至図
３６にて示した従来の自動ボンディング装置と同様に構
成されている故、該要部以外についての詳細な説明は省
略する。また、以下の説明において、該従来装置の構成
部材と同一又は対応する部分については同じ参照符号を
付している。

【００４９】図１に示すように、本発明に係る自動ボン
ディング装置においては、ダイボンダー装置Ａ_２ 及び
キュア装置Ｂ_１ に続いて、３台のボンダーＣ_１ 〜Ｃ
_３ が一列に並べられ、これら各ボンダーの後方に、ア
ンローダＤ_１ と、モールディング装置Ｅとを有してい
る。なお、ダイボンダー装置Ａ_２ は、図２２に示した
従来の自動ボンディング装置が具備するものと同じであ
り、ウェハー（図示せず）をカッティングすることによ
り得られた多数のＩＣチップ（図示せず）を、例えば熱
硬化型の接着剤等を用いてリードフレーム（後述）上の
所定位置に順次装着し、キュア装置Ｂ_１ に向けて送り
出すものである。また、キュア装置Ｂ_１ は、ダイボン
ダー装置Ａ_２ より送り出されたリードフレームを受け
入れて、該接着剤等を固化せしめるべく加熱した後、各
ボンダーＣ_１〜Ｃ_３ に向けて送り出すものである。各
ボンダーＣ_１ 〜Ｃ_３ は、キュア装置Ｂ_１を経たリー
ドフレームを受け入れて、該リードフレームに形成され
ているリードと該リードフレーム上のＩＣチップのパッ
ド（電極）とを、金、アルミニウムなどから成るワイヤ
を用いてボンディングするものである。図１に示すよう
に、各ボンダーＣ_１ 〜Ｃ_３ は、受け入れたリードフ
レームをボンディング位置に押し出すためのプッシュ機
構１を夫々具備している。なお、各ボンダーＣ_１ 〜Ｃ
_３ は、後述する識別マーク付与手段の構成の他は、前
述した従来の自動ボンディング装置に装備された３台の
ボンダーＣ_５ 〜Ｃ_７ の各々と同様に構成されてい
る。故に、この識別マーク付与手段とその周辺の構造以
外については説明を省略する。また、前述もしたよう
に、下記のボンダーＣ_１ の説明において、従来のボン
ダーの構成部材と同一又は対応する部分については同じ
参照符号を付している。また、各ボンダーＣ_１ 〜Ｃ_３
は、夫々ほぼ同様に構成されている故、１台目のボン
ダーＣ_１ の構成について詳しく説明し、残る２台のボ
ンダーＣ_２ 及びＣ_３ についての説明は省略する。

【００５０】一方、図１に示すアンローダＤ_１ につい
ては、上記の各ボンダーＣ_１ 〜Ｃ_３ を経ることによ
りボンディング加工を施された各リードフレームを受け
入れてこれらを収容すると共に、該各リードフレームを
後段のモールディング装置Ｅに向けて順次送り出すもの
である。そして、モールディング装置Ｅは、この送り出
された各リードフレームを受け入れ、該リードフレーム
上のＩＣチップを合成樹脂により被覆するものである。

【００５１】さて、以下、ボンダーＣ_１ の構成から詳
述する。図１に示すようにボンダーＣ_１ は、キュア装
置Ｂ_１ より受け入れたリードフレームをボンディング
位置に向けて押し出すためのプッシュ機構１を具備して
いる。ここで、このプッシュ機構１の作用について図２
６に基づいて簡単に説明しておく。すなわち、図２６の
状態から図２７の状態に至る搬送機構の動作により、キ
ュア装置からのリードフレーム（Ｌ＼Ｆ）が第２の搬送
機構２０７上に持ち来される。この状態において上記の
プッシュ機構１が作動して、第２の搬送機構２０７上の
リードフレームをボンディング位置であるがイドレール
２０３ａ及び２０３ｂ上に押し出すのである。

【００５２】図２乃至図４に示すように、プッシュ機構
１は、ボンダーＣ_１ の本体に対して複数本の固定シャ
フト３を介して取り付けられた枠体５と、プッシャー６
ａを含みこの枠体５上に設けられたプッシュ手段６と、
該プッシュ手段６に駆動力を付与するリードフレームプ
ッシャーシリンダー７とを有している。図３から明らか
なように、かかるプッシュ機構１においては、プッシャ
６ａがリードフレーム（Ｌ＼Ｆ）の後端に当接して作動
し、該リードフレームをラインの流れる方向Ｌに平行に
押し出す。

【００５３】ところで、図２乃至図４に示すように、上
述したプッシュ機構１が具備する枠体５の所定位置に
は、該プッシュ機構１を有するボンダーＣ_１ に対応す
る識別マークをリードフレームに付する識別マーク付与
手段１０が取り付けられている。詳しくは、図５及び図
６にも示すように、この識別マーク付与手段１０は基体
部としてのブラケット１１を有し、該ブラケット１１が
プッシュ機構１の枠体５にボルト１１ａにて締結されて
いる。このブラケット１１上には、支持プレート１２
が、ラインの流れる方向Ｌ、すなわちリードフレーム
（Ｌ＼Ｆ）の長さ方向において位置調節可能に取り付け
られている。詳しくは、図５に示すように、支持プレー
ト１１には該ラインの流れる方向Ｌに沿って伸長する２
条の長手挿通孔１１ｂが形成されており、該各挿通孔１
１ｂに各々挿通された２本のボルト１３がブラケット１
１に螺合している。即ち、これらボルト１３を緩めるこ
とによって支持プレート１１の位置調節を行えるのであ
る。

【００５４】同じく図５に示すように、上記した支持プ
レート１２上には、油圧若しくは空気圧を利用するシリ
ンダ１５が、その出力軸側が下向きとなるように取り付
けられている。このシリンダ１５は、支持プレート１２
上において、上記ラインの流れる方向Ｌに対して垂直な
方向、この場合、リードフレーム（Ｌ＼Ｆ）の幅方向に
おいて位置調節が可能となっている。詳しくは、図５及
び図６に示すように、支持プレート１２には、該シリン
ダ１５を位置調節すべき方向において伸長する１条の長
手挿通孔１２ａが形成されており、シリンダ１５の下部
を貫通した２本のボルト１７がこの挿通孔１２ａに挿通
され、図５に示すように、該支持プレート１２の背面側
にて該各ボルト１７にナット１８が螺合している。よっ
て、これらボルト１７及びナット１８を緩めることによ
り、シリンダ１５の位置調節を行うことが出来るのであ
る。

【００５５】図４及び図６から特に明らかなように、上
述したシリンダ１５の出力軸には、中間ブロック２０を
介してポンチ２１が取り付けられている。詳しくは、中
間ブロック２０が該出力軸に形成された雄ねじ部に螺合
し、ポンチ２１は該中間ブロック２０の下端部にその先
端部のみが露出するように挿通され、且つ、止めねじ２
２により固定されている。

【００５６】上記したポンチ２１は、リードフレームＬ
＼Ｆの所定部位に識別マークとしての刻印を付すもので
あり、シリンダ１５によりリードフレームに圧接され
る。なお、図４及び図６に示すように、シリンダ１５に
よりポンチ２１に付与される圧接力をリードフレームの
下側で受けるための受け部材２４が設けられている。

【００５７】上記したポンチ２１による刻印２６は、図
７に示すような部位に付され、その形状は例えば図示の
ように円形である。なお、図１に示すように、当該自動
ボンディング装置においては３台のボンダーＣ₁ 〜Ｃ₃
が設けられている故、図７において二点鎖線にて示すよ
うに、他のボンダーＣ₂ 及びＣ₃ においては、これら各
ボンダーに対応すべく、刻印２６を付す位置を、１台目
のボンダーＣ₁ にて付された刻印２６（図７において実
線にて示している）の位置とは変えることが行われる。
なお、刻印２６の形態としては、図７に示す単純な円形
の他に、図８に示す如く、二重丸、三角形、四角形及び
五角形など、種々のものが適用可能である。また、上述
のように、リードフレームに付す刻印の位置を各ボンダ
ー毎に変えることの他、各ボンダー毎に付す刻印の形状
等を変えるようにしてもよい。更に、刻印に限らず例え
ば、リードフレームに所定形状の貫通孔を形成し、この
貫通孔を以て識別マークとしてもよい。

【００５８】上記のように、リードフレームにボンディ
ング加工を施したボンダーＣ₁ 〜Ｃ₃ と対応する識別マ
ークを付すことにより、下記の如き効果が奏される。

【００５９】即ち、リードフレームに付された識別マー
クによって、該リードフレームがどのボンダーにてボン
ディング加工されたものであるかを確実に判別すること
が出来、該リードフレームにボンディング不良等があれ
ばその検査結果に基づき修理調整すべきボンダーを直ち
に知って適切な処置を施せるのである。

【００６０】ところで、図７から明らかなように、識別
マークとしての刻印を付す部位は、リードフレームＬ＼
Ｆ上に装着された各ＩＣチップ３５、すなわち半導体部
品の外側である。故に、識別マークを付すことよりＩＣ
チップ３５が損傷することはない。なお、識別マーク
は、ＩＣチップ３５の外側であれば、該ＩＣチップ３５
に極めて近い位置、例えば、該ＩＣチップのパッドと接
続されるべくリードフレームに設けられたリード上に付
してもよい。この場合、該リード上に、ボンディング接
続用としてではなく、識別マークとしてのボールボンデ
ィングを施すようにしてもよい。よって、この場合は、
ワイヤをボンディングするためのボンディングヘッド２
０２（図２３に図示）が、識別マーク付与手段として作
用する。また、かかる識別マークとしてのワイヤは、上
記リード上ではなく、ＩＣチップからなり離間した部位
に付してもよいことは勿論である。

【００６１】次いで、図１に示したアンローダＤ₁ の構
成について詳述する。

【００６２】図１に示すように、アンローダＤ₁ は、ボ
ンディング加工を完了した多数のリードフレームを収容
するフレーム収容部としてのマガジンストッカー装置４
０と、前述した各ボンダーＣ₁ 〜Ｃ₃ を経たリードフレ
ームを順次中継してこのマガジンストッカー装置４０内
に向けて搬送するフレーム中継手段としてのフレーム搬
送装置４１と、該各ボンダーＣ₁ 〜Ｃ₃ からマガジンス
トッカー装置４０に至るフレーム搬送路と該フレーム搬
送路から逸脱した所定位置との間でリードフレームＬ＼
Ｆを移動せしめるフレーム移動手段４３とを有してい
る。また、このフレーム移動手段４３の上方には、フレ
ーム検査用の顕微鏡４５を有している。

【００６３】以下、まず、マガジンストッカー装置４０
について詳述する。

【００６４】図９に示すように、このマガジンストッカ
ー装置４０は、昇降機構ベース４８と、この昇降機構ベ
ース４８を図９の矢印Ｃ方向に移動調整する調整手段４
９及び昇降機構５０とで構成されている。

【００６５】上記昇降機構ベース４８は、調整手段４９
により矢印Ｃ方向に移動可能に構成されており、この調
整手段４９には図１０に示すように昇降機構ベース４８
の端部に雌ねじが形成されたナット５１が固定されてお
り、このナット５１と雄ねじが形成されたねじ棒５２と
が螺合結合されている。このねじ棒５２はボンダー本体
５４に固定された軸受５３と螺合結合されており、ま
た、端部にはつまみ５５が取付けられている。このつま
み５５を回すことにより昇降機構ベース４８を図９の矢
印Ｃ方向に移動させることができる。このつまみ５５に
代えてパルスモータよりなる制御モータを用いるように
すれば昇降機構ベース４８の移動量を自動的にデジタル
制御することもできる。この昇降機構ベース４８は、ボ
ンダー５４に支持されている図９図示の固定ガイド５６
ａ，５６ｂ及びガイドベアリング５７，偏心ガイド５８
により両端を規制されて摺動可能に構成されている。こ
のガイドベアリング５７及び偏心ガイド５８により昇降
機構ベース４８をガイドレール２０３ａ及び２０３ｂ
（図２３参照）の長手方向と直行する方向への合わせ調
整を行い、昇降機構ベース４８上に固定されている昇降
機構５０の取付誤差を補正することができる。

【００６６】次に、この昇降機構５０は、図１０に示す
ように雄ねじが形成された昇降軸５９の下端部が昇降機
構ベース４８の軸受部４８ａに軸支され、その上端部は
パルスモータよりなる制御モータ６０と結合（ギヤ、プ
ーリ等により間接的に駆動してもよい）されている。こ
の昇降軸５９には雄ねじが形成された昇降部材６２が螺
合結合されており、前記制御モータ６０を正逆回転させ
ることにより昇降部材６１が上下に昇降可能に構成され
ている。

【００６７】なお、昇降部材６１は昇降軸５９と平行な
２本のガイドシャフト（図示せず）により案内される。
この昇降部材６１の移動量は図示せぬマイクロコンピュ
ータ等よりなる制御手段により制御される。この昇降部
材６１の上方位置及び下方位置のリミット位置を検出す
る上方センサ６２及び下方センサ６３が昇降機構５０の
所定位置に取り付けられている。これらのセンサ６２及
び６３には光学的センサが用いられている。昇降部材６
１には、断面略Ｌ字形状に形成されマガジン６４の下端
部を受けるマガジン受部６５が取り付けられている。こ
のマガジン受部６５の自由端部にはマガジン６４の端部
を押え保持するチャック６６が摺動可能に取付けられて
おり、このチャック６６の他端は昇降軸５９に沿って配
設されているカム５９ａのカム面に当接可能に構成され
ている。このカム５９ａは図１１に示すように昇降軸５
９の上方及び下方位置に凸部が形成されており、マガジ
ン受部６５が上昇してマガジン６４を受けて保持する時
若しくは下降してマガジン６４を排出する時、カム５９
ａのカム面に形成された凸部により前方に押し出されて
突出するように構成されている。

【００６８】このマガジン受部６５の構成の詳細を図１
１を用いて説明すると、固定部材６５ａの先端にはチャ
ック６６が固定されており、この固定部材６５ａの下端
と保持台６５ｅの下端とがバネ６５ｂで連結され、固定
部材６５ａは常に保持台６５ｅ側に付勢されている。こ
の保持台６５ｅの下部には起動部材６５ｃが設けられ、
固定部材６５ａに固定されている摺動部材６５ｄが起動
部材６５ｃに案内されて摺動可能に構成されている。ま
た、固定部材６５ａの他端にはローラ６５ｆが設けられ
ており、このローラ６５ｆはカム面に沿って移動する。

【００６９】今、図１１に示すように保持台６５ｅに載
置されたマガジン６４、すなわちマガジン供給時には、
ローラ６５ｆがカム５９ａの凸部によりバネ６５ｂの付
勢力に抗して前方にチャック６６を押し出しているので
マガジン６４とチャック６６との間には間隔があいてい
る。昇降部材６１が下降してカム５９ａのカム面の凹部
に位置する時、すなわちマガジン固定時にはバネ６５ｂ
の作用によりチャック６６はマガジン６４を保持する。
更に下降すると、再びカム面の凸部によりチャック６６
は前方に突出してマガジン６４を保持している状態を解
除して排出できる状態とする。

【００７０】上記マガジン６４はチャック６６により保
持されており、ボンディングステージ上にてボンディン
グ加工されたリードフレームはこのマガジン６４内に、
図示しないプッシャーにより昇降機構５０の昇降部材６
１の下降に伴って順次収納される。このプッシャーは、
ボンディングステージ面とほぼ平行に配設されており、
エアーシリンダ（図示せず）により駆動される構成とな
っている。

【００７１】一方、マガジン６４の側面は図９及び図１
０に示すような略Ｌ字形状に形成されたストッカーガイ
ド６７により規制され、このストッカーガイド６７に
は、第１のガイド板７１ａ，７１ｂ及び第２のガイド板
７２ａ，７２ｂが移動可能に固定されている。この第１
及び第２のガイド板７１ａ，７１ｂ及び７２ａ，７２ｂ
はストッカーガイド６７の規制面に固定されているの
で、ストッカーガイド６７を図９に示す矢印Ｅ，Ｅ´方
向に移動させることによって拡張させることができ、ま
た、第２のガイド板７２ａ及び７２ｂのガイドレール２
０３ａ，２０３ｂ（図２３参照）と垂直な方向へストッ
カーガイド６７の規制面に沿って移動させることによっ
て矢印Ｄ及びＤ´方向にも移動させることができる。こ
れによって、大きさの異なるマガジン６４の交換時にも
対応することができる。これら第１及び第２のガイド板
７１ａ，７１ｂ及び７２ａ，７２ｂとの間に図１０に図
示の如く上方より挿入された複数のマガジン６４は、マ
ガジン受部６５が所定の位置まで上昇して保持するまで
マガジンプッシャー７０により係止されるので、このマ
ガジンプシャー７０により基準面となるストッカーガイ
ド６７（第１のガイド板７１ａ，７１ｂ）側に押圧され
て係止される。したがって、、この構成によりマガジン
２４が図１０に図示のようにストッカーガイド６７に固
定されている第１のガイド板７１ａ及び７１ｂの規制面
に確実に規制される。このマガジンプッシャー７０のオ
ン、オフのタイミングは図示せぬ制御手段により制御さ
れるが、図１０に図示のように昇降部材６１が上昇して
マガジン６４を保持するまでオン状態とし、マガジン受
部６５により保持された時オフとなる。そして、昇降部
材６１が下降してマガジン６４が排出される時には、次
のマガジン６４（図中破線で示す部分）を係止するべく
再びオンとなり、昇降部材６１が上昇するまで待機する
ように制御されている。また、このマガジンプッシャー
７０は図示せぬエアーシリンダにより駆動される。

【００７２】以上がマガジンストッカー装置４０の構成
である。

【００７３】次いで、図１に示すアンローダＤ₁ が具備
するフレーム中継手段としてのフレーム搬送装置４１の
構成を説明する。

【００７４】図１２乃至図１６に示すように、フレーム
搬送装置４１は、アンローダ本体上にボルト等（図示せ
ず）により固定される基体部８１を有している。この基
体部８１は、互いに上下方向において離間した上板８２
及び底板８３と、該上板８２及び底板８３の間に介在す
る２枚の中間板８４及び８５とを有し、該各板をボルト
等を用いて互いに固着して成る。なお、両中間板８４及
び８５は、互いにＴ字状に結合している。

【００７５】図１２及び図１３から明らかなように、基
体部８１の上板８２上には、リードフレームを搬送すべ
き第１方向、すなわちラインの流れる方向Ｌにおいて２
つずつ離間して、合計４つのベルト車８７及び８８が設
けられている。これら４つのベルト車のうち、ラインの
流れる方向Ｌの上流側に配置された２つのベルト車８７
は、上板８２に対して下記の如く取り付けられている。

【００７６】すなわち、上板８２上には一対のブラケッ
ト９０が固設されており、該各ブラケット９０に取り付
けられたシャフト９１の端部にボールベアリング（図１
５に図示しているが、参照符号は付していない）を介し
て取り付けられている。

【００７７】一方、これらのベルト車８７に対して上流
側に配設された他の２つのベルト車８８については、下
記の通り取り付けられている。

【００７８】図１２及び図１３並びに図１５及び図１６
に示すように、基体部８１の上板８２には、ラインの流
れる方向Ｌに沿って位置調節可能にスライドプレート９
２が設けられている。詳しくは、図１３から明らかなよ
うに、このスライドプレート９２には、その位置調節す
べき方向において伸長する２条の長手挿通孔９２ａが形
成されており、これら挿通孔９２ａに挿通されたボルト
９３が上板８２に螺合している。すなわち、このボルト
９３を緩めることによってスライドプレート９２の位置
の調節を行えるのである。なお、図１３に示すように、
上板８２にはこのボルト９３が螺合すべきねじ孔８２ａ
が、この位置調節を行うべき方向において多数、一列に
並べて形成されている。図１６から明らかなように、ス
ライドプレート９２上には、一対のブラケット９０が固
設されており、該両ブラケットにボールベアリング９５
を介してスピンドル９６が回転自在に取り付けられてい
る。上記の２つのベルト車８８は、このスピンドル９６
に固着されている。すなわち、上記のスライドプレート
９２の位置を調節して変えることによって、上流側及び
下流側の２つずつのベルト車８７及び８８が、相対的に
近接及び離間するように構成されている。なお、スライ
ドプレート９２の位置調節については、そのための専用
の駆動手段を設けることによって、自動的に行なうこと
も出来る。

【００７９】図１３及び図１６に示すように、上記のス
ピンドル９６の端部には他のベルト車９７が固着されて
いる。そして、スライドプレート９２の側部に平板状の
支持プレート９９がボルトにより締結されており、該支
持プレート９９にモータ１００が取り付けられている。
該モータ１００の出力軸にベルト車１０１が固着されて
おり、このベルト車１０１と上記のベルト車９７に無端
状のベルト１０２が掛け回されている。すなわち、モー
タ１００によりスピンドル９６が回転せしめられる。

【００８０】一方、図１２乃至図１５に示すように、基
体部８１の一部を構成する中間板８４の外側主面には、
ガイドレール１０５が、ラインの流れる方向Ｌすなわち
リードフレームを搬送すべき方向に対して交差する方
向、この場合、上下方向において伸長すべく、ボルトに
て締結されている。そして、このガイドレール１０５に
沿ってスライダー１０６が摺動自在に取り付けられてい
る。該スライダー１０６の左右両側部には一対のブラケ
ット１０７が固設されており、該各ブラケット１０７に
取り付けたシャフト１０８の端部にボールベアリング
（図１４に図示しているが、参照符号は付していない）
を介してベルト車１０９が取り付けられている。このベ
ルト車１０９と、前述した上板８２上のベルト車８７及
び８８とに、無端状のベルト１１０が掛けられている。
このベルト１１０は、リードフレームＬ＼Ｆに当接して
該リードフレームを搬送するためのものである。なお、
図１２及び図１３に示すように、基体部８１上には、こ
のベルト１１０に当接して該ベルト１１０を案内すると
共に所要の張力を付与するためのプーリ１１２、１１３
が設けられている。

【００８１】図１２並びに図１４及び図１５に示すよう
に、上記のベルト車１０９を担持して上下動し得るスラ
イダー１０６の側端部には、位置決めプレート１１５が
ボルト１１６により締結されている。図１２に示すよう
に、この位置決めプレート１１５にはスライダー１０６
が摺動する上下方向において伸長する１条の長手挿通孔
１１５ａが形成されており、該挿通孔１１５ａにボルト
１１７が挿通され、且つ、中間板８４の側端部に螺合し
ている。すなわち、このボルト１１７を緩めることによ
ってスライダー１０６の位置の調節を行うことが出来る
のである。なお、図１２に示すように、中間板８４には
このボルト１１７が螺合すべきねじ孔８４ａが、この位
置調節を行うべき方向において多数、一列に並べて形成
されている。また、図１２及び図１３並びに図１６に示
すように、基体部８１上に設けられたスライドプレート
９２上には、リードフレームＬ＼Ｆの左右両側部と摺設
して該リードフレームを案内する一対の案内部材１２０
が設けられている。

【００８２】なお、上記したモータ１００と、ベルト車
９７及び１０１と、ベルト１０２とによって、各ベルト
車８７、８８及び１０９にトルクを付与するトルク付与
手段が構成されている。また、該トルク付与手段と、該
各ベルト車８７、８８及び１０９と、基体部８１と、こ
れらに関連する周辺の各部材とによって、ベルト１１０
を駆送する駆送手段が構成されている。

【００８３】上述した構成のフレーム搬送装置４１にお
いては、ボルト９３及び１１７を緩めてスライドプレー
ト９２及びスライダー１０６の位置を調節することによ
って、固定側であるベルト車８７に対して可動側として
のベルト車８９及び１０９が移動する。すなわち、リー
ドフレームＬ＼Ｆを搬送すべき方向において、ベルト１
１０の長さが可変となっているのである。このように、
リードフレーム搬送のためのベルト１１０の長さを、リ
ードフレーム搬送方向において可変としている故、扱う
リードフレームの種類が変更されてリードフレームの長
さが変わろうとも、ベルト１１０の長さを変えることに
よって迅速かつ容易に対処することが出来る。

【００８４】なお、当該実施例においては、上記したフ
レーム中継手段としてのフレーム搬送装置４１が、アン
ローダＤ₁ （図１参照）のフレーム収容部であるマガジ
ンストッカー装置４０とボンダーＣ₁ 〜Ｃ₃ との間に配
置されているが、未だボンディング加工が施されていな
いリードフレームを多数収容して該各リードフレームを
各ボンダーＣ₁ 〜Ｃ₃ に対して順次供給するローダ（図
示せず）を設ける場合、このローダと各ボンダーＣ₁ 〜
Ｃ₃ との間に当該フレーム搬送装置４１を設けてもよ
い。

【００８５】次に、図１に示すアンローダＤ₁ が具備す
るフレーム移動手段４３の構成を説明する。前述したよ
うに、このフレーム移動手段４３は、各ボンダーＣ₁ 〜
Ｃ₃から前述したフレーム収容部としてのマガジンスト
ッカー装置４０に至るフレーム搬送路と、該フレーム搬
送路から逸脱した側方所定位置との間でリードフレーム
Ｌ＼Ｆを移動せしめるものである。図１に示すように、
このフレーム移動手段４３の上方には顕微鏡４５が配置
されているが、この顕微鏡４５は、フレーム搬送路から
逸脱せしめられて上記所定位置すなわち検査位置に移動
せしめられたリードフレームについて、ＩＣチップ３５
（図７参照）のパッド及びリードに対するワイヤの接続
状態やワイヤの張り具合等に関する種々の検査を行うた
めのものである。なお、これらの検査の後、問題がなけ
れば、フレーム移動手段４３を逆方向に作動させて該リ
ードフレームを再びフレーム搬送路に戻す。かかるフレ
ーム移動手段４３を有するが故に、ライン作業を停止す
ることなくリードフレームの検査を行うことができ、ボ
ンディング作業能率が向上する一方、該各検査を簡単に
行うことが出来る。

【００８６】なお、上記のようなフレーム移動手段４３
を設置すべき位置としては、本実施例における如くボン
ダーＣ₃ と上記フレーム搬送装置４１（この配置位置に
ついては図１を参照）との間に限らず、リードフレーム
Ｌ＼Ｆの検査が可能な位置であればどこに設置してもよ
い。また、フレーム移動手段４３の設置台数も、１台に
限らず複数台、適当な位置に分けて設けてもよい。

【００８７】さて、フレーム移動手段４３の詳細につい
ては、下記の如くである。

【００８８】図１７乃至図１９に示すように、当該フレ
ーム移動手段４３は、アンローダ本体上に固定された固
定台１３１を具備している。この固定台１３１上には、
ラインの流れる方向Ｌに対して垂直に且つ互いに平行に
伸長するように２本のガイドレール１３２が固設されて
いる。図１８及び図１９に示すように、これらガイドレ
ール１３２上には、２つずつ、合計４つのスライダー１
３５が摺動自在に取り付けられている。そして、これら
のスライダー１３５に、平板状の可動テーブル１３６が
ボルト（参照符号は付していない）により締結されてい
る。そして、図１７及び図１８に示すように、固定台１
３１の後部には油圧若しくは圧搾空気圧により作動する
シリンダ１３８が固設されており、該シリンダ１３８の
出力軸が上記の可動テーブル１３６に結合されている。
すなわち、シリンダ１３８が作動してその出力軸が出没
することによって可動テーブル１３６がガイドレール１
３２に沿って往復動するように構成されているのであ
る。これらガイドレール１３２と、スライダ１３５と、
可動テーブル１３６と、シリンダ１３８とによって、下
記の一対のフレーム案内機構をフレーム搬送路を横切る
方向において同期して移動せしめる駆動手段が構成され
ている。

【００８９】図１７から明らかなように、上記の可動テ
ーブル１３６上には、互いに平行にして各々がフレーム
搬送路を形成し得る一対のフレーム案内機構１４１及び
１４２が設けられている。図１８にも示すように、一方
のフレーム案内機構１４１は、夫々が比較的薄い鋼板等
を素材として、リードフレームと摺接して該リードフレ
ームを案内する左右一対の案内部材１４１ａ及び１４１
ｂから成り、可動テーブル１３６に対して固定されてい
る。

【００９０】一方、他方のフレーム案内機構１４２につ
いては、可動テーブル１３６に対して着脱自在であり、
下記のように構成されている。

【００９１】すなわち、図２０及び図２１に示すよう
に、このフレーム案内機構１４２は、互いに平行に配置
されて夫々内側に断面Ｌ字状のフレーム案内面１４４ａ
が形成された２本の棒状の案内部材１４４と、これら両
案内部材１４４を該各案内部材の両端部近傍において互
いに結合せしめる２枚の結合プレート１４５とを有して
いる。なお、これら結合プレート１４５は両案内部材１
４４に対してボルト１４５ａにより締結されている。な
お、両案内部材１４４には、その具備するフレーム案内
面１４４ａにリードフレームＬ＼Ｆを円滑に導入するた
めのテーパ面１４４ｂが形成されている。また、結合プ
レート１４５の上面側には、つまみ１４６が取り付けら
れている。このつまみ１４６は詳しくは、図２１に示す
ように、結合プレート１４５の下面側に挿通されたボル
ト１４６ａにより該結合プレート１４５に締結されてい
る。

【００９２】上記のように、リードフレームＬ＼Ｆの案
内をなすフレーム案内機構１４２を、これを担持する可
動テーブル１３６に対して着脱自在とすることにより、
下記の如き効果が得られる。

【００９３】即ち、リードフレームＬ＼Ｆが前段のフレ
ーム搬送路を経てこのフレーム案内機構１４２上に持ち
来されると、作業者がつまみ１４６を把持して該フレー
ム案内機構１４２をその保持したリードフレームＬ＼Ｆ
と共に可動テーブル１３６から取り外し、より高倍率の
顕微鏡や電気的な導通検査等を行うことの出来る作業エ
リアへこれを運ぶことが出来、該リードフレームに対し
てより高度な検査等をなし得るのである。また、これら
の検査の結果、そのリードフレームが異常のないもので
あることが確認された場合、フレーム案内機構１４２を
再び可動テーブル１３６上に装着すれば、該リードフレ
ームは元通り搬送路に戻される。

【００９４】ところで、上述したフレーム移動手段４３
は、リードフレームＬ＼Ｆを上記両フレーム案内機構１
４１及び１４２に沿って搬送するフレーム搬送手段を具
備している。以下、このフレーム搬送手段について説明
する。

【００９５】まず、一方のフレーム案内機構１４１に沿
ってリードフレームを搬送する第１のフレーム搬送手段
について説明する。図１７及び図１８に示すように、こ
の第１のフレーム搬送手段は、該フレーム案内機構１４
１の左端側に配置されたモータ１５１を有している。こ
のモータ１５１は可動テーブル１３６に固定されてい
る。図１８に示すように、可動テーブル１３６の下面側
であってモータ１５１の近傍には２つのブラケット１５
２が固設されており、スピンドル１５３がボールベアリ
ング１５４を介してこれらブラケット１５２によって支
えられている。そして、このスピンドル１５３は、モー
タ１５１の出力軸とカップラ１５１ａにより連結されて
いる。また、同じく図１８に示すように、スピンドル１
５３の端部には、ベルト車１５６が固着されている。

【００９６】一方、図１７にも示すように、上記のブラ
ケット１５２の位置に対応するように、可動テーブル１
３６の上面側にも２つのブラケット１５７が固設されて
いる。これらブラケット１５７により、ボールベアリン
グ（参照符号は付していない）を介してスピンドル１５
８が回転自在に保持されている。このスピンドル１５８
の端部にはベルト車１５９が固着されており、該ベルト
車１５９とその下方に位置する上記のベルト車１５６と
に、無端状のベルト１６０が掛け回されている。そし
て、スピンドル１５８には、該スピンドル１５８を支持
する２つのブラケット１５７に挾まれる位置に、２つの
ベルト車１６２が固着されている。

【００９７】図１７に示すように、上記したフレーム案
内機構１４１の右端側であって可動テーブル１３６の上
面側には、２つのブラケット１６３が固設されている。
これらブラケット１６３にはシャフト１６４が取り付け
られており、該各シャフトには各々、ベルト車１６５が
ボールベアリングなど（図示せず）を介して回転自在に
取り付けられている。そして、フレーム案内機構１４１
の上記左端側に設けられたベルト車１６２とこれら右端
側のベルト車１６５とに、無端状にしてリードフレーム
Ｌ＼Ｆに当接してこれを搬送するためのベルト１６７が
掛け回されている。すなわち、モータ１５１が回転する
ことによってこれらのベルト１６７が駆送される訳であ
る。

【００９８】一方のフレーム案内機構１４１に沿ってリ
ードフレームＬ＼Ｆを搬送する第１のフレーム搬送手段
は上記のように構成されている。

【００９９】次いで、他方のフレーム案内機構１４２に
沿ってリードフレームＬ＼Ｆを搬送する第２のフレーム
搬送手段について説明する。第１７図に示すように、こ
の第２のフレーム搬送手段は、該フレーム案内機構１４
２の右端に配置されたモータ１７１を有しており、該モ
ータは可動テーブル１３６に取り付けられている。図１
９に示すように、可動テーブル１３６の下面側にはブラ
ケット１７２が固設されており、該ブラケット１７２に
よって、上記モータ１７１の出力軸に連結されたスピン
ドル１７３が回転自在に支持されている。そして、この
スピンドル１７３の端部にはベルト車１７４が固着され
ている。

【０１００】一方、上記のブラケット１７２に対応する
ように、可動テーブル１３６の上面側に２つのブラケッ
ト１７６が固設されている。これらブラケット１７６に
より、ボールベアリング（図示せず）を介してスピンド
ル１７８が回転自在に保持されている。このスピンドル
１７８の端部には、ベルト車１７９が固着されており、
該ベルト車１７９とその下方に位置する上記のベルト車
１７４とに、無端状のベルト１８０が掛け回されてい
る。そして、スピンドル１７８には、該スピンドル１７
８を支える２つのブラケット１７６に挾まれる位置に、
２つのベルト車１８３が固着されている。

【０１０１】図１８にも示すように、上記したフレーム
案内機構１４２の左端側であって可動テーブル１３６の
上面側には、２つのブラケット１８１が固設されてい
る。これらのブラケット１８１にはシャフト１８２が取
り付けられており、該各シャフトには各々ベルト車１８
３がボールベアリング（参照符号は符していない）を介
して回転自在に取り付けられている。そして、フレーム
案内機構１４２の上記右端側に設けられたベルト車１７
９とこれら左端側のベルト車１８３とに、リードフレー
ムＬ＼Ｆに当接してこれを搬送するための無端状のベル
ト１８４が掛け回されている。すなわち、モータ１７１
の回転により、これらのベルト１８４が駆送されるよう
に構成されている。

【０１０２】他方のフレーム案内機構１４２に沿ってリ
ードフレームＬ＼Ｆを搬送する第２のフレーム搬送手段
は上述のように構成されている。なお、図１７及び図１
８に示すように、可動テーブル１３６の後端部には２つ
のモータ１５１及び１７１への電源投入などをなすため
の可撓性ケーブル１８５の一端が結合されている。

【０１０３】上記した構成のフレーム移動手段４３は下
記のように作動する。

【０１０４】まず、当該フレーム移動手段４３を作動さ
せる際、作業者は次の操作を行う。

【０１０５】例えば、リードフレームのリード及びＩＣ
チップのパッドに対するワイヤの接続状態やワイヤの張
り具合などに関する種々の検査を、図１に示す各ボンダ
ーＣ₁ 〜Ｃ₃ のうち例えば１台目のボンダーＣ₁ にてボ
ンディング加工されているリードフレームについて行い
たい場合、作業者は、アンローダＤ₁ （図１に図示）の
前面などに配設された各ボンダーＣ₁ 〜Ｃ₃ に対応する
３つの選択ボタン（図示せず）のうち、この１台目のボ
ンダーＣ₁ に対応する選択ボタンを押す。すると、当該
自動ボンディング装置全体の作動制御を司る制御部（図
示せず）はこの選択信号に応じて下記の動作制御を行
う。

【０１０６】まず、ボンダーＣ₁ においてボンディング
されたリードフレームは、図２３で示す第４の搬送機構
２１３上に持ち来される。すると、センサ２１５ａによ
り、このリードフレームが該搬送機構２１３上に到来し
ていることを示す検知信号が前記制御部に発せられる。
これにより、シリンダ２１６が作動せられ、この第４の
搬送機構２１３が図２８に示す位置に移動する。続い
て、この１台目のボンダーＣ₁ が具備する搬送機構、他
のボンダーＣ₂ 及びＣ₃ が有する各搬送機構、図１７に
示すフレーム移動手段４３が備えたベルト１８４を含む
フレーム搬送手段が夫々作動し、これによって上記リー
ドフレームは該フレーム移動手段のフレーム案内機構１
４２上に搬送される。そして、このフレーム案内機構１
４２の下方に設けられた図示せぬ光センサー等よりなる
検出手段により、リードフレームが該フレーム案内機構
１４２上に到来したことが検出され、上記制御部は、該
検出手段より発せられる検出信号に基づいてベルト１８
４を停止させる。この後、下記の動作が行われる。

【０１０７】即ち、図１７及び図１８に示すシリンダ１
３８が作動せしめられてその出力軸が突出し、可動テー
ブル１３６が図１７における下側に移動する。よって、
それまで図１７に示す如く上段のボンダーＣ₃ が具備す
る第５の搬送機構２１４（若しくは第４の搬送機構２１
３）と共にフレーム搬送路を形成していた上記フレーム
案内機構１４２は、検査対象としてのリードフレームを
担持したまま、該フレーム搬送路から逸脱した側方位
置、すなわち検査位置に移動する。この検査位置上に、
図１に示す顕微鏡４５が配設されており、作業者はこの
顕微鏡４５を以て前述の諸検査を行うことが出来る。な
お、更に詳しい検査を行う必要がある場合などには、フ
レーム案内機構１４２が可動テーブル１３６に対して取
り外し自在であるから、取り外してこれを検査エリアへ
運び所要の検査を行う。なお、検査のためにフレーム案
内機構１４２を取り外したあとにはこれと同形状の新た
なフレーム案内機構１４２を取り付けておけばよい。

【０１０８】一方、可動テーブル１３６の移動によって
上記の検査用のフレーム案内機構１４２が検査位置に達
すると、可動テーブル１３６上に外フレーム案内機構１
４２と平行に設けられた他方のフレーム案内機構１４１
が前段のボンダーＣ₃ の第５（若しくは第４）の搬送機
構２１４（２１３）と一致し、フレーム搬送路は分断す
ることなく確保される。よって、ライン作業を継続しつ
つ検査作業を行うことが出来る。

【０１０９】前述のようにしてリードフレームの検査を
終えると、作業者が上記の選択ボタンとは別の図示せぬ
解除ボタンを押す。そうすることによって、前記検出手
段（フレーム案内機構１４２の下方に配設されている）
よりの検出信号によって制御されていた制御指令に対し
てリセット信号が発せられて、通常の作動状態に復帰す
る。

【０１１０】なお、前述したように、各ボンダーＣ₁ 〜
Ｃ₃ において、リードフレームに対して該各ボンダーに
対応する識別マーク（図７及び図８に図示）が付される
故、これを上記制御部あるいは作業者による検査対象た
るリードフレームの確認手段として利用することも出来
る。

【０１１１】ところで、上記のようにボンダーＣ₁ にて
ボンディング加工されたリードフレームが搬送路を通じ
て検査位置であるフレーム案内機構１４２に向けて搬送
されているときには、他のボンダーＣ₂ 及びＣ₃ により
ボンディングされたリードフレームについては上記搬送
路上に位置しないように制御部のシーケンスにより制御
されている。これは、該搬送路に同時に２以上のリード
フレームが存在することによる事故等を防止するためで
ある。また、逆に、ボンダーＣ₁ より送り出されたリー
ドフレームを検査位置に持ち来たすべく該ボンダーＣ₁
に対応する選択ボタンが押されても、未だ、該リードフ
レームのボンディングが完全になされていないときは、
他のボンダーＣ₂ 又はＣ₃ によりなされたリードフレー
ムが上記搬送路上に送り出されて上記のフレーム案内機
構１４２上に到来するが、このときには、前記した図示
せぬ検出手段よりの信号によってベルト１８４が停止さ
れず、後段のフレーム搬送装置４１（図１、図１２など
参照）に向けて送り出され、該フレーム搬送装置４１を
経て更に後段のマガジンストッカー装置４０内に順次収
納されるように制御されている。

【０１１２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
フレーム搬送のためのベルトの長さを、フレーム搬送方
向において可変としている故、扱うフレームの種類が変
換された場合、このベルトの長さを適宜変えることによ
って迅速かつ容易に対処することが出来るという効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明に係る自動ボンディング装置の
正面図である。

【図２】図２は、図１に示した自動ボンディング装置が
装備したボンダーの一部の拡大平面図である。

【図３】図３は、図２に関する一部断面を含むＧーＧ矢
視図である。

【図４】図４は、図２に関する一部断面を含むＨーＨ矢
視図である。

【図５】図５は、図３に示した構成の一部の拡大図であ
る。

【図６】図６は、図５に関する一部断面を含むＩーＩ矢
視図である。

【図７】図７は、図１に示した自動ボンディング装置に
よりボンディング加工が施されるべきリードフレームの
平面図である。

【図８】図８は、図７に示したリードフレームに付され
る識別マークの変形例を示す図である。

【図９】図９は、図１に示した自動ボンディング装置が
装備したアンローダが具備するフレーム収容部としての
マガジンストッカー装置の平面図である。

【図１０】図１０は、図９に示したマガジンストッカー
装置の縦断面図である。

【図１１】図１１は、図９及び図１０に示したマガジン
ストッカー装置の一部の拡大図である。

【図１２】図１２は、図１に示した自動ボンディング装
置が装備したアンローダが具備するフレーム中継手段と
してのフレーム搬送装置の、一部断面を含む正面図であ
る。

【図１３】図１３は、図１２に関する一部断面を含むＪ
−Ｊ矢視図である。

【図１４】図１４は、図１２に関するＫ−Ｋ矢視図であ
る。

【図１５】図１５は、図１２に関する一部断面を含むＭ
−Ｍ矢視図である。

【図１６】図１６は、図１２に関する一部断面を含むＮ
−Ｎ矢視図である。

【図１７】図１７は、図１に示した自動ボンディング装
置が装備したアンローダが具備するフレーム移動手段の
平面図である。

【図１８】図１８は、図１７に関する一部断面を含むＰ
−Ｐ矢視図である。

【図１９】図１９は、図１７に関する一部断面を含むＱ
−Ｑ矢視図である。

【図２０】図２０は、図１７乃至図１９に示したフレー
ム移動手段が具備するフレーム案内機構の平面図であ
る。

【図２１】図２１は、図２０に関する一部断面を含むＲ
−Ｒ矢視図である。

【図２２】図２２は、従来の自動ボンディング装置の正
面図である。

【図２３】図２３は、図２２に示した自動ボンディング
装置が具備するボンダーの斜視図である。

【図２４】図２４は、図２３に示したボンダーの一部分
の、一部断面を含む側面図である。

【図２５】図２５は、図２４に示した部分の動作説明図
である。

【図２６】図２６は、図２３に示したボンダーの動作説
明図である。

【図２７】図２７は、図２３に示したボンダーの動作説
明図である。

【図２８】図２８は、図２３に示したボンダーの動作説
明図である。

【図２９】図２９は、図２２に示した自動ボンディング
装置が具備するマガジンストッカー装置の要部の縦断面
図である。

【図３０】図３０は、図２９に示した要部の一部の拡大
図である。

【図３１】図３１は、図２９に示した要部の一部の拡大
図である。

【図３２】図３２は、図３１に関するＷ−Ｗ矢視図であ
る。

【図３３】図３３は、図２９に関するＸ−Ｘ矢視図であ
る。

【図３４】図３４は、図２２に示した自動ボンディング
装置が具備するマガジンストッカー装置の一部の拡大図
である。

【図３５】図３５は、図２２に示した自動ボンディング
装置が具備するキュア装置の要部の縦断面図である。

【図３６】図３６は、図３５に示したキュア装置とその
前後のダイボンダー装置及びボンダーの、概略斜視図で
ある。

【符号の説明】

Ａ₂ ダイボンダー
装置 Ｂ₁ キュア装置 Ｃ₁ 、Ｃ₂ 、Ｃ₃ ボンダー Ｄ₁ アンローダ Ｅ モールディン
グ装置 １０ 識別マーク付
与手段 １５、１３８ シリンダ ２１ ポンチ ２６ 刻印 ３５ ＩＣチップ
（半導体部品） ４０ マガジンスト
ッカー装置（フレーム収容部） ４１ フレーム搬送
装置（フレーム中継手段） ４３ フレーム移動
手段 ４５ 顕微鏡 ８１ 基体部 ９２ スライドプレ
ート １００、１５１、１７１ モータ １０５、１３２ ガイドレール １２０、１４４、１４１ａ，１４１ｂ 案内部材 １３１ 固定台 １３６ 可動テーブル １４１、１４２ フレーム案内
機構

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体部品を保持したフレームを受け入
   れて該フレームに対してボンディング加工を施すボンダ
   ーと、前記フレームを複数枚配列収容してこれらを前記
   ボンダーに順次供給するローダ若しくは前記ボンダーを
   経た前記フレームを受け入れて収容するアンローダとを
   含む自動ボンディング装置であって、前記ローダ若しく
   はアンローダのフレーム収容部と前記ボンダーとの間で
   前記フレームを搬送して中継するフレーム中継手段を有
   し、前記フレーム中継手段は、前記フレームに当接して
   これを搬送するための無端状ベルトと、前記ベルトを駆
   送する駆送手段とを有し、前記ベルトのフレーム搬送方
   向における長さが可変となっていることを特徴とする自
   動ボンディング装置。
2. 【請求項２】 前記駆送手段は、基体部と、前記基体部
   上に前記フレーム搬送方向において離間して並設されか
   つ相対的に接離可能にして前記ベルトが掛けられる複数
   のベルト車と、前記ベルト車各々に対して前記フレーム
   搬送方向に対する交差方向において離間して配置されか
   つ該交差方向において可動にして前記ベルトが掛けられ
   る他のベルト車と、前記ベルト車にトルクを付与するト
   ルク付与手段とを有することを特徴とする請求項１記載
   の自動ボンディング装置。
3. 【請求項３】 基体部と、前記基体部上にフレームを搬
   送すべき第１方向において離間して並設されかつ相対的
   に接離可能な複数のベルト車と、前記ベルト車各々に掛
   けられて前記フレームに当接してこれを搬送するための
   無端状ベルトと、前記基体部上に前記ベルト車各々に対
   して前記第１方向に対する交差方向において離間して配
   置されかつ該交差方向において可動にして前記ベルトが
   掛けられる他のベルト車と、前記ベルト車にトルクを付
   与するトルク付与手段とから成ることを特徴とするフレ
   ーム搬送装置。