JP2752314B2 - 可撓体、組立体および可撓体を作る方法 - Google Patents

可撓体、組立体および可撓体を作る方法

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  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は一般的には剛性ディスク
・ドライブ式データ記憶装置に関し、特に、ディスク・
ドライブの読取り／書込みヘッドを支持する一体の可撓
性組立体に関する。
【０００２】
【従来の技術】「ウインチェスタ」ディスク・ドライブ
として公知の形式のディスク・ドライブが当該産業分野
において周知である。そのようなディスク・ドライブ式
データ記憶装置は典型的には、その上に複数の同心円形
トラックにデジタル情報が記憶される磁気媒体をコーテ
ィングした剛性ディスクの積重体を収容している。それ
ぞれ「書込み」および「読取り」と称されている、デー
タの記憶と検索が、トラックからトラックへ運動するよ
うにアクチュエータ機構に装着されている、通常１個の
ディスク面当り１個である、配列されたヘッドによって
遂行される。現世代のディスク・ドライブ製品において
使用されるアクチュエータの最も普遍的な形態は回転ボ
イスコイル・アクチュエータであって、ディスク面のデ
ータにアクセスするために枢動機構を介してヘッドに結
合されたボイスコイルモータ（ＶＣＭ）を使用してい
る。このような運動のためにヘッドを支持している構造
体がヘッド／ジンバル組立体、すなわちＨＧＡと称され
ている。
【０００３】典型的なディスク・ドライブにおけるＨＧ
Ａは３個の要素から構成されている。 １． 旋回する磁気ディスク上に情報を記録したり、検
索するために自力作動流体力学的空気軸受と電磁変換器
とを含むことを特徴とするスライダ。電気信号が極めて
小さい撚製銅線を介して変換器へ送られ、かつそこから
受け取られる。 ２． スライダに取り付けられ、スライダがディスクの
位相を追従しうるようスライダの縦揺れ軸および横揺れ
軸に対して柔軟性があり、スライダの正確な位置決めを
保つために片揺れ、および面内揺れ軸においては固定さ
れているジンバル。 ３． ジンバルと、全体組立体をアクチュエータに取り
付ける取付けアームに装着されたロードビーム。ロード
ビームは、これもスライダがディスクの位相を追従でき
るようにするために垂直軸においては柔軟性があるが、
スライダを正確に位置決めするために面内揺れ軸におい
ては固定されている。また、ロードビームは、スライダ
の空気軸受によって発生する流体力学的揚力と反作用す
る下向きの力を供給する。
【０００４】最初のウインチェスタ形ディスク・ドライ
ブの導入以来、スライダの物理的寸法は原型のウインチ
ェスタ形ヘッドから所謂「ミニ／ウインチェスタ」形ま
で、さらに最近では７０および５０シリーズのヘッドま
で、それぞれミニ・ウインチェスタ形スライダのサイズ
の７０％および５０％と徐々に小型化されたきた。これ
らのサイズの低減は著しいものであるが、ＨＧＡの全体
垂直寸法は、スライダ自体のサイズよりもスライダ支持
機構の方がより小型化されてきた。
【０００５】ロードビームとジンバルとは、一般にヘッ
ド懸架体、ヘッド可撓体、あるいは単に可撓体として知
られている組立体からなる。そのような可撓体の一例が
米国特許第４，１６７，７６５号に記載されている。
【０００６】歴史的には、ジンバルとロードビームとは
個別に作られた。ジンバルとロードビーム片は３００シ
リーズのステンレス鋼のフォイルを希望する形状に化学
的にエッチングすることにより提供され、次に２個の部
材をレーザ溶接により取り付ける。
【０００７】ディスクドライブ式データ記憶装置におけ
る全体的な技術傾向は、製品の物理的サイズを連続的に
縮小し、一方データ記憶容量を増加させることである。
製品のダウンサイジングは、特にディスク、スライダ、
可撓体のような主要要素においてより小型の要素を必要
としてきた。さらに、ディスクドライブの設計者は、規
定されたパッケージ寸法内に出来るだけ多くのディスク
を組み入れることにより容量を追加しようとする。ユニ
ットにおけるディスクの数が増えるにつれて、ディスク
間の間隔が小さくなり、さらに小型のスライダや可撓体
の必要性に拍車をかける。
【０００８】産業界の別の傾向は、ディスク・ドライブ
のユーザに、低コストで高データ記憶容量を提供するこ
とである。このため改良されたデータ記憶技術を開発
し、ディスクドライブの要素を安価に作る方法を見い出
す必要がある。
【０００９】前記の特許第４，１６７，７６５号に示す
ように、相互にレーザ溶接された個別のジンバルとロー
ドビーム要素を用いることは、現在の６３．５ミリ
（２．５インチ）、４５．７２ミリ（１．８インチ）お
よび３３．０２ミリ（１．３インチ）世代のディスクに
おいては問題となってきている。そのようなユニットに
おいては、可撓体は、ディスク間の望ましい近接間隔を
許容するためより薄くあらねばならず、一方２個の個別
の要素をレーザ溶接するに要する重ね合わせのため可撓
体の厚さを必然的に増大させる。
【００１０】さらに、より薄いジンバルやロードビーム
を用いることは、２個の要素を一緒にレーザ溶接するこ
とにより生じる残留応力の可能性を増す。レーザ溶接に
より溶接部近傍の材料において残留引張応力を発生させ
ることが判明した。このため可撓体を歪ませる。長手方
向には可撓体は溶接の残留応力により反り、これが製作
過程の間可撓体を近接離隔したディスクの間に取り付け
にくくする。さらに、溶接部が可撓体の中心線の周りに
対称に位置しない場合、溶接の残留応力は可撓体を捩っ
て歪ませる。捩れはスライダの空気軸受リングに慣性、
すなわちトルクを発生させ、ヘッドの浮動姿勢に望まし
くない変動をもたらし、組立体を使用できないようにす
る可能性があるためそのような可撓体は望ましくない。
【００１１】溶接過程もまた、可撓体製作に投入される
労働力の著しい部分であり、そのため個別のジンバルと
ロードビームとを作り、２個の要素を相互に溶接する過
程をコストダウンのため排除することが有利である。
【００１２】既存の技術による可撓体ではジンバルとロ
ードビーム要素とは重ね合わす必要があるため、可撓体
組立体の厚さを低減することを強調して個々のジンバル
とロードビーム要素の厚さを低減することに焦点が当て
られた。ロードビームの最も厚い部分は剛性ビームとし
て知られる領域であり、通常可撓体の長手方向軸線に沿
って外縁部に沿って設けたフランジを特徴としている。
米国特許第４，９９６，６１６号は一対の引抜きされた
リブが可撓体の剛性ビーム部の補強を提供しうる態様を
教示している。残念乍ら、前記特許第４，９９６，６１
６号に記載の引抜きされた対のリブは、可撓体の材料が
高レベルまで過度に歪みが加えられることを要する。そ
のように歪むと引抜きされた材料に亀裂を導入したり、
リブ近傍の材料では高度の応力を発生させる。
【００１３】ジンバルとロードビームとが形成される可
撓体を一体の材料から形成することにより溶接を必要と
しないよう考案して、ジンバルとロードビームを相互に
溶接することに固有の問題を解決すべく種々の試みがな
されてきた。そのような一体化したジンバルとロードビ
ームの一例が米国特許第４，２４５，２６７号において
提供されている。第２の例は、ハッチンソン・テクノロ
ジ社（Ｈｕｔｓｈｉｎｓｏｎ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，
Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ）によって製造されているＨ
ＴＩタイプ１６またはＴ１６として周知である。これら
の可撓体の双方共ジンバルをロードビームに組み込んで
おり、ジンバルとロードビームが何ら溶接されていない
のは勿論である。双方共、スライダを可撓体にしっかり
と取り付けるために接着剤を塗布した接着面を含んでい
る。ロードビームにエッチングされた複数のビームがこ
の接着面を可撓体のロードビーム部分に接続し、所望す
るジンバルの特性を提供している。
【００１４】前記特許第４，２４５，２６７号に記載の
可撓体とＴ１６可撓体の一失敗例は、通常「ロードポイ
ント」と称される可撓体構成の一要素に係わるものであ
る。簡単にいえば、ロードポイントとは、ロードビーム
の下向きの力がスライダに加えられる単一の接触点を称
する。このロードポイントを適正に選択することにより
スライダの流体力学的空気軸受に係わる力が適正に均衡
されるようにする。例えば、特許第４，１６７，７６５
号に記載のもののような従来技術の可撓体においては、
ロードポイントはジンバルの接着面に上方向に延びたく
ぼみを形成することにより提供される。ロードビームは
ジンバルが適正に作用しうるように一点でこのくぼみの
球形面と接触する。しかしながら、前記特許第４，２４
５，２６７号とＴ１６可撓体の場合は、十分画定された
ロードポイントが提供されておらず、そのためこれらの
形式の可撓体にはスライダの浮動特性における望ましく
ない広範囲の変動が付随する。
【００１５】前記特許第４，２４５，２６７号とＴ１６
可撓体に係わる第２の基本的な問題は、ジンバルビーム
を曲げモードに置くことによりロードビームの下向きの
力がスライダに加えられ、従ってジンバルビームは曲げ
モードにおいては曲らない必要があることである。しか
しながら、これらのジンバルビームは適正なジンバル作
用を可能とするには曲げモードにおいて柔軟である必要
がある。この矛盾する要件によって、ジンバルとしては
作用が劣るか、あるいは負荷により変形するような構造
をもたらす。
【００１６】前記特許第４，２４５，２６７号とＴ１６
可撓体に係わる第３の問題はスライダの接着面が全体的
にスライダの中心上方の大きな領域を覆うことである。
スライダはエポキシ接着剤を用いて可撓体に取り付けら
れ、接着剤の硬化時間を低減するために、該組立体は通
常、炉において加熱される。スライダと可撓体とは異種
材料から作られ線熱膨張係数が異なるので、熱により誘
発された歪みは、前記組立体が冷却されるときに接着部
に発生する。これらの歪みがスライダを歪ませ、スライ
ダの空気軸受面の平坦度を好ましくない程度に変えるの
で、再びヘッドの浮動特性を望ましくない程広範囲に変
動させる。
【００１７】ＨＧＡの全体の垂直高さを低減させ、かつ
簡単に、経済的に作ることのできる、改良されたスライ
ダ支持可撓体の必要性が明らかに存在している。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題と、課題を解決するため
の手段】本発明の可撓体は一体の材料から形成された一
体のロードビーム／ジンバル組立体である。ジンバル作
用を提供するための機能、可撓体へのスライダの接着、
ロードポイントの位置決めは全てエッチングおよびハー
フエッチング法を用いて行われる。好適実施例において
は、可撓体のジンバル端は概ね長方形で、全体的にＨ字
形の開口が長方形の中に対称に位置している。Ｈ字形開
口とジンバルの側縁部との間に形成されたサイドレール
は厚さを減らすためハーフエッチングされ、これらのサ
イドレールは可撓体のジンバル作用機構として作用す
る。一対のタブがＨ字形開口の横部材のいずれかの側に
おいて可撓体のジンバル端に形成されており、これらの
タブの１個もその厚さを低減するためハーフエッチング
されている。スライダを可撓体に接着するために完全な
厚さのタブが使用され、一方ロードポイントとして望ま
しい位置でハーフエッチングすることなく形成されるロ
ードポイント接点を位置決めするように他方のタブが作
用する。可撓体のロードビーム部分は、該部分の側部に
沿ってサイドレールあるいは溝を形成することにより、
あるいはロードビームに涙滴状突起を形成することによ
り強化される。サイドレールと突起の双方は、スライダ
が装着されている可撓体の側に向かって形成されてい
る。
【００１９】本発明の目的はスライダを装着し、かつ支
持するための高さの低い可撓体を提供することである。
【００２０】本発明の別の目的はジンバルとロードビー
ム要素とが一体の材料から形成され、溶接を何ら必要と
しない可撓体を提供することである。
【００２１】本発明の別の目的は、製作が簡単で、かつ
安価である可撓体を提供することである。
【００２２】本発明の別の目的は、十分画定され最適位
置に簡単に位置づけされるロードポイントを組み入れた
可撓体を提供することである。
【００２３】本発明の特徴、利点および目的は添付図面
と関連して読むと、本発明の以下の詳細説明から最良に
理解しうる。
【００２４】
【実施例】図面、特に図１を参照すれば、本発明が特に
有用であるディスク・ドライブ２が示されている。ディ
スク・ドライブ２は、上部カバー（部分的に破断して示
す）と協働して精巧な内部要素を外部からの汚染から保
護する密閉された環境を形成する基部材４を含む。磁気
媒体をコーティングした多数の剛性ディスク８が（全体
的に１０で示す）スピンドルモータに回転するよう取り
付けられている。ディスク８の表面は多数の同心円形の
トラックを有し、該トラックに情報が書き込まれたり、
そこから情報が読み取られる。これらのトラックはそれ
ぞれ点線１２，１４で示す最内方トラックと最外方トラ
ックとにより代表されている。
【００２５】アクチュエータ本体１６が全体的に２０で
示すボイスコイルモータ（ＶＣＭ）によって枢軸１８の
周りで回転するように作られている。ＶＣＭ２０とは反
対のアクチュエータ本体１６の側にはスライダ２６を取
り付けるための複数の可撓体２４が取り付けられてい
る。ＶＣＭ２０への電力並びにデータの読取り、書込み
に使用される信号はプリント回路ケーブル（ＰＣＣ）２
８を介して通される。
【００２６】図２を参照すれば、本発明により作られた
可撓体３０の平面図が示されている。可撓体３０は長手
方向軸線の周りで対称形であって、４個の明確な主要領
域から構成されている。 １． ジンバル／スライダ取付け領域３２ ２． 剛性ビーム３４ ３． 一対の柔軟性ビーム３６ ４． 取付け面３８
【００２７】可撓体全体３０は、３００シリーズの、好
ましくは厚さが０．０６３５ミリ（０．００２５イン
チ）で、周知の化学エッチング法を用いて製造された全
硬質ステンレス鋼の一片から形成される。
【００２８】一対の整合孔４０，４２がスライダ（図示
せず）を接着する過程の間可撓体を固定しやすくする。
【００２９】図２の例における取付け面３８は、可撓体
ヘッド組立体全体をアクチュエータ本体１６のヘッド取
付けアーム２２に取り付けるための強力な面を提供すべ
く特定の形式の取付け板に取り付ける形状とされてい
る。可撓体を取り付ける特定の方法は本発明の一部とは
考えられないが、この取付け面３８はその他の形式、構
成の取付け装置と共に使用するように容易に適合しう
る。
【００３０】可撓体に対するディスクの運動方向は矢印
Ａによって示されている。従って、本発明の可撓体に取
り付けられるスライダはその先行縁が取付け面３８に最
も近接し、その後行縁がジンバル／スライダ取付け領域
３２の自由端に最も近接しているものと想定される。
【００３１】ジンバル／スライダ取付け領域３２、剛性
ビーム３４および一対の柔軟ビーム３６についてはそれ
ぞれ以下順次説明する。
【００３２】図３はスライダ４８を装着した状態の本発
明による可撓体のジンバル／スライダ取付け領域３２の
詳細図を示す。前述のように、本発明の可撓体は化学的
エッチング法によって形成される。通常の化学的エッチ
ング法においては、エッチングすべき材料はまず両面が
レジストと称される材料でコーティングされる。レジス
トはステンシルを用いてレジストを光源に露出してパタ
ーン化される。次に非露出レジストは剥離され、酸性エ
ッチング液の介在する中でエッチングすべき金属を露出
したままに残す。前記材料の両側はこのように処理され
て、両側のパターンは極めて正確に整合されている。こ
れは本発明の可撓体の外形および全ての貫通孔を画成す
るために使用される方法である。
【００３３】ハーフエッチングにおいては、材料の一方
の側におけるステンシルのパターンは他方の側のそれと
は相違する。これは、テキスト、アート、およびハーフ
トーンの写真を金属シートにエッチングする周知の技術
でもある。ハーフエッチングすべき領域が大きい場合、
すなわち、材料の厚さより何倍も大きい長さ、または直
径を有する場合、ハーフエッチングの深さは材料の厚さ
の約６０％である。
【００３４】フルエッチングやハーフエッチングは本発
明の可撓体の数個の機能部分を作るために使用される。
例えば、図３から判るように、Ｈ字形の開口４４が材料
を完全に貫通してエッチングされ、Ｈ字形の開口４４の
垂直の脚の側方およびＨ字形の開口４４の横部材の一方
の側の領域はハーフエッチングされている。詳しくは、
左下方から右上方へハッチングした領域は材料の近い側
でハーフエッチングされ、一方下右方から上左方へハッ
チング化た領域は材料の遠い側でハーフエッチングされ
ている。前記材料の全厚さは約０．０６３５ミリ（０．
００２５インチ）であり、これらのハーフエッチングし
た領域は厚さが約０．０２５４ミリ（０．００１０イン
チ）の厚さまで低減されている。
【００３５】このハーフエッチング法は、以下詳細に述
べる一対のジンバルビーム５８を形成する。
【００３６】またエッチング法は、スライダ４８を接着
するスライダ取付けタブ４６を形成する。図から判るよ
うに、この接着はスライダ４８の後行縁に最も近接した
スライダ４８の領域においてのみ実行される。例えば、
前記特許第４，１６７，７６５号の可撓体のような従来
技術の可撓体において、接着面は一般にスライダの中心
にあり、スライダの上面全体の大きい割合を占める。本
発明の可撓体における接着面の位置は数々の利点を有し
ている。１． 従来技術の可撓体においては、接着剤を
炉で硬化する間熱歪みによって生じた空気軸受面の歪み
は、接着がスライダの中心でかつスライダの比較的大き
い領域にわたり実行されるため著しく大きかった。一般
に、接着面が小さければ小さいほど、かつ接着面がスラ
イダの中心から遠ければ遠いほど、接着剤を炉で硬化す
ることにより発生する空気軸受の歪みの量は小さくな
る。本発明の可撓体では、接着面はスライダの中心から
出来るだけ遠く、実際にスライダの５０％だけ位置して
おり、接着面はスライダの後行縁の約０．６３５ミリ
（０．０２５インチ）の範囲内において接着面を含むこ
とによって空気軸受面の歪みを最小にしている。
【００３７】２． 本発明による可撓体はスライダと可
撓体との間の接着の検査を極めてしやすくする。従来技
術の可撓体においては、接着面はスライダと、個別のロ
ードビームとの間に位置している。ロードビームは接着
面の視野を遮ぎり、接着面の全周での接着すみ肉の介在
の確認を不可能でないとしても困難にする。本発明の可
撓体においては、そのような視界の遮ぎりは無い。
【００３８】３． 本発明による可撓体の構造は、接着
剤の硬化を早めるように接着面の伝熱加熱を促進する。
従来技術の可撓体においては、スライダを可撓体に固定
する接着剤は典型的には接着剤の硬化を早めるために対
流炉において加熱された。「高温フート接着」としても
知られている伝導加熱は硬化時間を著しく減少させる
が、ロードビームが接着面への直接的なアクセスを阻止
するので一般に従来技術の可撓体では実用的ではなかっ
た。本発明の可撓体においては、接着面は伝導加熱に対
して完全にアクセス可能であり、スライダを可撓体に固
定する接着剤を硬化させるのに要する時間を低減する可
能性がある。
【００３９】４． 本発明の可撓体はまた、従来技術の
可撓体で実現しうるよりも大きい接着強度を提供する。
諸々の理由から、従来技術の接着面はスライダの全幅に
わたって延在することができなかった。一般に接着幅が
広ければ広い程、接着強度は大きくなり、かつ本発明に
よる可撓体は接着剤が事実上スライダ全体にわたって延
びることができるので、本発明の可撓体は所定サイズの
スライダに対して最大の接着強度を提供するものと思わ
れる。
【００４０】Ｈ字形の開口４４はまた、スライダ取付け
タブ４６から反対の開口の横部材の側においてロードポ
イント用タブ５０を形成する。ロードポイント用タブ５
０はロードポイント用釦５２あるいはロード支持突起を
介してスライダ４８まで可撓体の負荷を伝達する。前記
釦５２はハーフエッチングに先立って所望の位置と大き
さを覆うことにより形成され、それで前記ロードポイン
ト用釦５２は可撓体材料の全厚さを保っている。ロード
ポイント用タブ５０は図から判るように可撓体の材料の
遠い側でハーフエッチングされているので、スライダ４
８の頂部に向かって突出し、かつそれに接触する「ピ
ン」を作るという効果を有する。ロードポイント用釦５
２は、化学的エッチングにおいて製造者の能力の許す限
り出来るだけ小さい面積とすべきである。この寸法は現
在のところ０．０５０８ミリ（０．００２インチ）であ
ることが判明しており、可撓体の負荷力を出来るだけ単
一点に出来るだけ近くでスライダに加えるようにさせ
る。この単一点の位置は特定の設計に対して所望の浮動
特性を提供するように選択される。
【００４１】従来技術の可撓体に対して本発明の可撓体
によれば数々の著しい利点が得られる。 １． 本発明の可撓体のロードポイント用釦５２は従来
技術による可撓体のロードポイントが可能な以上により
正確にスライダに対して位置することができる。従来技
術の可撓体においては、ロードポイントはスライダの接
着領域の概ね中心における球形の突起あるいはくぼみで
あって突起の頂点における単一の点でロードビームと接
触する。しかしながら、球形突起の正確な頂点、従って
正確なロードポイントは決めるのが難しい。本発明によ
る可撓体のハーフエッチングしたロードポイント用釦５
２の正確な位置は比較的決め易い。
【００４２】２． 本発明による可撓体のロードポイン
ト用釦５２を用いると、突起の高さの変動が少ない。従
来技術の形成された突起においては、突起の高さの公差
は典型的には±０．０２５４ミリ（０．００１０イン
チ）であった。本発明の可撓体においては、この変動性
は±０．００５１ミリ（０．０００２インチ）程度まで
減少された。
【００４３】３． 本発明による可撓体によれば従来技
術の可撓体よりもロードポイントの位置の変動が少な
い。従来技術の可撓体においては、可撓体の形状と寸法
とがエッチングによって決った後製造過程の第２段階と
して球形突起が一般に形成される。このことは、可撓体
の基準縁部と成形ダイの位置面との間にある程度の空隙
を設ける必要があるので、成形が行われる位置が可撓体
の基準縁部に対して変動することを意味する。本発明の
可撓体においては、基準縁とロードポイント用釦とが同
じパターンすなわちマスクに共存するのでこの機能部分
の位置変動を著しく低減する。
【００４４】４． 新規なディスク・ドライブ製品の開
発、あるいは既存製品の修正の間、ときにはロードポイ
ントの位置を変更することが必要となる。従来技術によ
る可撓体の形成された球形突起の位置を修正すること
は、工具を作り直したり、新しい固定具が必要とされる
ため経済性の点から実用的ではなかった。従って、従来
技術による可撓体のロードポイントの位置の修正は一般
には、接着剤による接着過程の間スライダと可撓体とを
整合させるために使用される接着可撓体を修正すること
により達成された。本発明の可撓体を用いれば、エッチ
ング法において用いられるパターンあるいはマスクを単
に変更することにより、ロードポイント用釦５２の位置
を変えることができる。一般に、マスクアートワーク・
パターンの修正は固定具や工具の修正以上にはるかに安
価である。
【００４５】ロードポイント用釦５２の実際の形状は工
芸パターンにより容易に決めることができるので、希望
に応じて丸形、楕円、あるいは長円としうる。ある場合
には、ロードポイント用釦５２の縁部に丸味をつけるの
が望ましいか、あるいは必要なことがある。このことは
適当な形状のダイを用いて釦をたたくことにより行うこ
とができる。代替的な方法は釦の頂部とハーフエッチン
グの全深の間でハーフトーンの遷移部をエッチングする
ことである。ハーフトーンのパターンは、そのサイズお
よび間隔が釦の中心からの距離に関連している小さい
円、あるいはその線の幅と線の間隔も釦の中心からの距
離に関連しているリングから構成される。
【００４６】ロードポイント用釦５２の正確な位置はス
ライダの所望の浮動姿勢を提供するように決定される。
典型的に、この位置はスライダの中心から後行縁に向か
って千分の数インチのところである。また、所望のロー
ドポイントも、速度ベクトル場の変動およびヘッドへ、
そしてヘッドから読取り／書取り信号を搬送するのに使
用される小さいワイヤによって付与される捩れバイアス
のような公知の要素を補正するようにスライダの長手方
向中心線から偏位されることもよくある。そのようなロ
ードポイント位置の偏位を工芸パターンに組み入れてい
る場合、この偏位の方向を視覚的に決定することは極め
て難しい。ディスクの両側で使用する予定の可撓体は典
型的にこの偏位を両方向に有しているので、そのような
決定が必要である。従って、工芸パターンは、明らかに
非対称の位置に位置し、可撓体のいずれの側にロードポ
イント用釦５２が偏位しているかを示す偏位決定孔５４
を含むことができる。
【００４７】本発明の可撓体の別の特徴はスライダ整合
検査孔５６である。このスライダ整合検査孔５６は図に
示すように丸形あるいは長孔でもよい。そのような特徴
は可撓体に対するスライダの整合を視覚に基づく度量衡
装置で測定する場合に望ましいものである。そのような
測定装置は縁部位置における高コントラストに依存して
おり、貫通孔は、スライダが可撓体に対して適正に整合
したとき輪郭投影光源によりシルエットでスライダの縁
部の一部を投影させるようにする。
【００４８】図３はまた、Ｈ字形開口４４の垂直脚部に
隣接して形成された一対のジンバル・ビーム５８を示
す。これらのジンバル・ビーム５８は図３から視て可撓
体材料の近い方の側で約０．０２５４ミリ（０．００１
０インチ）の厚さまでハーフエッチングされたことを想
起すべきである。スライダ４８はスライダ取付けタブ４
６に接着され、ロードポイント用タブ５０においてロー
ドポイント用釦５２を介してスライダ４８に負荷力が加
えられるので、当該技術分野の専門家には、ジンバル・
ビーム５８は、可撓体が希望する軸線において必要な剛
性を保っている間に可撓体の必要なジンバル作用を許容
することが明らかである。ジンバル・ビーム５８の適正
な作動を確実にするには、ジンバル・ビーム５８の平面
を、ロードポイント用釦５２のスライダ４８に対する接
触点と一致させることが望ましい。このことは、ジンバ
ル・ビーム５８とロードポイント用タブ５０のハーフエ
ッチングが可撓体材料の両側で行われる場合本発明の可
撓体において最良に達成される。ある場合には、ロード
ポイント用タブ５０は負荷が加えられるとある程度撓む
ので前記タブの何らかの形状を導入することが望まし
い。ロードポイント用タブ５０の撓み量は下記の式を用
いて見つけることができる。
【数１】 但し、Ｆは負荷の力 Ｌはロードポイント用釦からロードポイント用タブの底
部までの距離、Ｅは可撓体材料の弾性係数、Ｗはロード
ポイント用タブの底部の幅、Ｔはロードポイント用タブ
の厚さである。
【００４９】ロードポイント用タブの端部の傾斜は下記
を用いて見つけることができる。
【数２】
【００５０】代数を用いて、ビームがその基部から該ビ
ームの長さの１／３の点に形成されている場合、撓んだ
ビームの端部をビームの底部に対して接線状にしうるこ
とを示すことは可能である。ロードポイント用タブ５０
に単一の曲げを形成する好適な方法は打抜き加工であ
る。大量生産においては、材料の厚さやハーフエッチン
グ深さの変動により、例えば赤外線加熱を用いて、余分
に曲げ、次に所望の角度まで戻すことが必要であるかも
しれない。
【００５１】ロードポイント用タブの設計を決めるため
の計算の一例は次の通りである。
【００５２】想定条件：ロードポイントがスライダの中
心から後行縁部に向かって０．１２７ミリ（０．００５
インチ）偏位している。スライダの二分の一長さは１．
０１６ミリ（０．０４０インチ）である。（スライダの
端部からタブの端部までの）空隙は０．１２７ミリ
（０．００５インチ）である、タブの基部の幅は１．４
７３ミリ（０．０５８インチ）である。（基部からロー
ドポイントまでの）タブの長さＬは ０．１２７ミリ（０．００５インチ）＋１．０１６ミリ
（０．０４０インチ）＋０．１２７ミリ（０．００５イ
ンチ）＝１．２７ミリ（０．０５０インチ）である。負
荷の力Ｆは３グラムである。
【００５３】ロードポイントにおいて負荷の加えられた
ときの撓みは以下の式を用いて見つけることができる。
【数３】 但し、Ｉは慣性曲げモーメントである。
【００５４】前述の想定条件を用いて式を解くことによ
り、ロードポイントでの負荷の加えられた状態は以下の
式を用いることにより見つけることができる。
【数４】
【数５】
【数６】前述の想定条件を用いて式（４）を解くと、
【００５５】従って、もしタブの基部からロードポイン
ト用釦５２までの距離の１／３の点において３．５４６
°の曲げをロードポイント用タブ５０に対して実施する
とすれば、ロードポイント用釦５２とスライダ４８との
間の実際の接触点は、組立体が設計負荷条件下にあると
ジンバル・ビーム５８の平面に概ね位置することが想定
できる。
【００５６】さて、図４の（イ）を参照すれば、ロード
ポイント用タブ５０の望ましい形状が図３の線４−４に
沿って視た詳細断面図によって示されている。ロードポ
イント用タブ５０は約３．５４６°の角度でスライダ
（図示せず）の方向に曲げられていることが判る。この
曲げにより、スライダがスライダ取付けタブ４６に取り
付けられ、組立体全体がディスク・ドライブの旋回して
いるディスクとの所期の関係に持って来られると、ロー
ドポイント用釦５２の底部と、従ってスライダの上面と
はジンバル・ビーム５８が占めている平面に概ね位置す
る。この関係は図４の（ロ）において最良に示され、ス
ライダ４８はスライダ取付けタブ４６に接着され、組立
体全体はディスク８に対する作動関係に持って来られて
いる。
【００５７】同様に、ジンバル・ビームの剛性の種々特
性も計算することができる。想定条件： Ｌ（ジンバル・ビームの長さ）＝２．６９２ミリ（０．
１０６インチ） ｒ（ロードポイント用釦接点からジンバル・ビームの後
行縁までの距離）＝１．３４６ミリ（０．０５３イン
チ） ｗ（一方のジンバル・ビームの幅）＝０．２５４ミリ
（０．０１０インチ） ｔ（ジンバル・ビームの厚さ）＝０．０２５４ミリ
（０．００１インチ） ジンバルの剛性は以下の式を用いて、種々の軸線におい
て計算しうる。
【数７】
【数８】
【数９】
【数１０】
【数１１】
【数１２】
【００５８】これらの剛性の数字を分析すると、ジンバ
ルは縦揺れ軸および横揺れ軸においては比較的に柔軟性
があり、ディスクの表面にある小さい変化に追従するに
は望ましく、一方片揺れ軸線においては極めて剛性があ
る。その理由は、片揺れにおいて柔軟性があるとヘッド
をトラック上の望ましい位置からずらせることになるか
らである。同様に、トラック横断方向剛性とトラックに
沿った方向の剛性とはトラック上での安定性を保つため
には極めて高い。
【００５９】スティクション応力計算は１グラムのステ
ィクション応力に対して正規化されており、対象材料の
降伏応力限度は１４，０００ｋｇ／ｃｍ2 （２００，０
００ｐｓｉ）程度であるので、ディスク・ドライブ全体
に対して全体的に致命的なスティクションの量のみがジ
ンバルを破断させることを注目すべきである。
【００６０】また、本発明による可撓体においては、必
要な唯一のジンバルの形成はロードポイント用タブ５０
における単一の曲げであることにも注目すべきである。
従来技術の可撓体は、ときには「えくぼ」と称されるロ
ードポイント突起をジンバルの接着面に形成することを
一般に要し、これはジンバル接着面の平坦度に常に影響
を与えてきた。さらに、従来技術の可撓体はジンバルの
接着面がくぼみの高さに等しい量だけ可撓体の休止位置
から面外となりうるようにある種の偏位形状を有する。
この面外形状はジンバル構造体に応力と歪みとを導入
し、ある場合には、ジンバルの亀裂も生じうる。そのよ
うな問題は本発明の可撓体においては全面的に介在しな
い。
【００６１】本発明による可撓体のジンバルのさらに別
の利点はスライダ本体の重心とロードポイント突起の接
触点との間の距離が著しく低減したことである。ディス
ク・ドライブのヘッド位置決めアクチュエータにおいて
急速な加速が発生すると、浮動姿勢に望ましくない変化
が起る。スライダのような要素の慣性が、そのような場
合に空気軸受に外部モーメントを発生させることがあ
る。一般経験則では、これらのモーメントの大きさが、
スライダの重心とロードポイント突起の接触点との間の
距離に直接比例する。従来技術の可撓体においては、所
望の軸線においてジンバルの剛性を最小とすべきなの
で、ロードポイントをスライダと接触させ、なお接触点
をジンバル・ビームと共平面にさせることは不可能であ
った。従来技術の可撓体はスライダとは反対の接着面の
側に形成したくぼみを用いてロードビームに対する接触
点を提供したが、これはロードポイントが少なくともく
ぼみの高さだけスライダからずれることを意味する。本
発明の可撓体においては、ロードポイント用釦５２が直
接スライダ４８と接触している。
【００６２】再び図２を参照すれば、本発明による可撓
体の剛性ビーム３４は該可撓体の長手方向軸線３１に対
して対称的であり、形状は全体的に台形であって、短い
方の台はジンバル／スライダ取付け領域３２に隣接して
いる。剛性ビーム３４の一般的な機能は一対の柔軟性ビ
ーム３６によって発生される下方向の力をジンバル／ス
ライダ取付け領域３２に伝達することである。そのた
め、剛性ビーム３４は長手方向軸線３１に沿った曲げと
長手方向軸線３１の周りの捩れの双方に対して耐えるよ
う極めて剛性であることが重要である。
【００６３】剛性ビーム３４に高度の剛性に付与するた
めに、剛性ビーム３４の材料は断面慣性モーメントを著
しく増大するように形成される。剛性ビーム３４のテー
パ付き縁部に沿ってＶ字形の溝６０が形成されており、
Ｖ字の頂点はスライダの方向に延びている。図５は図２
の線５−５に沿って視た前記溝６０の中の１個の部分断
面図である。溝６０は典型的には０．１１４ミリ（０．
０４５インチ）面からずれて形成されている。Ｖ字の遠
位縁部は６２で示すように非成形材料の平面と概ね面一
でよい。曲げモーメントはジンバルから離れる方向に増
大し、従ってより強い断面慣性モーメントが望ましいの
で、Ｖ字形溝の遠位縁は非成形材料の平面を越えて延び
ることが有利な場合もある。そのような場合、溝の遠位
端は参照数字６４で示す点に形成することができる。い
ずれの場合も、溝６０の遠位端の正確な位置は可撓体の
外縁部をエッチングするために使用される工芸マスクに
よって決められる。
【００６４】もしもＶ字形溝６０の遠位縁を、従来技術
の可撓体において典型的であるように材料の面に対して
直角にエッチングしていないとすれば、さらに、たとえ
僅かでも断面慣性モーメントを増加させることができ
る。エッチングの間に２個の異なる工芸パターンを用い
ることにより、「面取りした」縁部をエッチングするこ
とができる。理想的には、この面取り角は、エッチング
された縁部が、形成後非成形材料の平面に対して概ね平
行となるようなものであるべきである。この方法が溝６
０の遠位縁において図５に示されている。図５におい
て、可撓体の材料の縁部そのものがハーフエッチングさ
れて「段」を形成しており、該段は溝６０の形成後は非
成形材料の面６６に対して概ね平行に位置する。この段
付き縁部が最大の「縁長さ」を提供し、剛性ビーム３４
の剛性に寄与する。
【００６５】溝の好適断面形状はＶ字形であるが、高度
の断面慣性モーメントを得るためにその他の形状を採用
しうることは直ちに明らかである。
【００６６】剛性ビームの剛性をさらに増すには剛性ビ
ーム３４の中心部分を面外に引き出すことによって達成
される。図２の平面図において、この補強領域６８は若
干涙滴形状であり、剛性ビーム３４のテーパと同じ方向
に向いているが、前記剛性領域に対して他の形状も容易
に考えることができる。補強領域６８は溝６０と概ね同
じ量だけ面外に引き出されている。
【００６７】剛性ビーム３４の剛性は、補強領域６８の
引き出された材料の面積が非成形材料の面積と概ね等し
いと最適化される。これも図２の線５−５に沿って視た
部分断面図である図６に示すように、引き出された材料
とそうでない材料との間には、遷移領域７０があり、こ
の領域は材料が成形されるとき歪みを受ける。遷移領域
７０での亀裂を阻止するために、歪みレベルは当該材料
の引張強度の最大５％に抑えるべきである。この要件を
満足させる遷移領域７０に対する最小長さｘは以下の式
を用いることにより求めることができる。
【数１３】 但し、ｘは遷移領域の長さで、ｄは材料が引き出される
面外距離である。
【００６８】剛性ビーム３４の縁部の溝６０はまた、ス
ライダに装着したヘッドへ、かつそこから読取り／書込
み信号を搬送するワイヤ（図示せず）のための経路軌道
として作用する。図２から判るように、ジンバル／スラ
イダ取付け領域３２に最も近い溝６０の端部７２が、溝
６０の形成が始まるライン７４に対して鋭角に形成され
ている。この角度はヘッドのためのワイヤを溝６０へ導
きやすくする。
【００６９】図７はスライダを取り付けた状態の本発明
の可撓体のジンバル端の詳細斜視図である。変換器（図
示せず）へ、かつそこから読取り／書込み信号を搬送す
るワイヤ７６がスライダ４８に後行面７８上のスライダ
４８に取り付けられ、可撓体の側部に沿って溝６０へル
ープ状で導かれている。可撓体はその長手方向軸線につ
いて対称であるため、上方に面し、かつ下方に面した可
撓体がアクチュエータに対しては同じ側でワイヤ７６を
担持できるようにして、前記信号をディスクへ、かつそ
こから搬送するｐｃｃ（図１の２８）に接続しやすくす
る。
【００７０】再び図２を参照すれば、台形の剛性ビーム
の大きい方の台には一対の柔軟性ビーム３６が取り付け
られている。これらビーム３６の一機能は低摩擦枢点あ
るいはヒンジとして作用することである。別の機能はス
ライダの空気軸受面の流体力学的持上げ力に反作用する
下方向の力を提供することである。好適実施例において
は、２個の柔軟性ビーム３６はそれぞれ長さが２．５４
ミリ（０．１００インチ）、幅が１．０１６ミリ（０．
０４０インチ）である。２個の柔軟性ビームの外縁間の
距離は前記ビームの基部において５．０８ミリ（０．２
００インチ）であって、この距離は、剛性ビーム３４の
テーパと概ね等しい比率でジンバル／スライダ取付け領
域３２の方向に減少している。２個の柔軟性ビーム３６
の基部からロードポイント用釦（図３の５２）までの距
離は１５．４９４ミリ（０．６１０インチ）である。
【００７１】前記の２個の柔軟性ビーム３６は、ヘッド
／ジンバル組立体全体がディスクドライブに設置される
とき、スライダがディスクに向かって弾圧されるように
可撓体がエッチングされた後形成される。前記２個の柔
軟性ビーム３６を形成する好適方法は、本発明の譲受人
に譲渡され、かつ参考のために本願明細書に組み込ん
だ、１９９１年１１月１２日発行された米国特許第５，
０６５，２６８号に詳細に記載されている。
【００７２】典型的な従来技術による可撓体／スライダ
組立体と、本発明によって作った可撓体／スライダ組立
体との比較では、本発明による可撓体は、可撓体／スラ
イダ取付け面とディスク面との間の間隔の低減に著しく
寄与することによりディスクとの間隔をより近接させる
ことができ、そのためドライブ全体高さを低くするか、
あるいは所定のパッケージ寸法内で追加のディスクを収
容することができる。従来技術による可撓体／スライダ
組立体においては、可撓体取付け面からディスクの表面
までの最小寸法は以下の厚さの数学的和である。 スライダ厚さ：0.４３１８ミリ（0.０１７インチ）±0.０２５４ミリ （0.００１インチ） ジンバルのくぼみ高さ： 0.１３９７ミリ（0.００５５インチ）±0.０１２７ミリ （0.０００５インチ） ロードビームの厚さ： 0.０６３５ミリ（0.００２５インチ）±0.０６６３５ミリ （0.０００２５インチ） ─────────────────────────────────── 合 計 0.６３５ミリ（0.０２５０インチ）±0.０４４４５ミリ （0.００１７５インチ）最悪の場合±0.０２９１０８ミリ （0.００１１４６インチ） ３シグマ法
【００７３】本発明による可撓体を用いれば、同じ最小
寸法は以下の厚さの和となる。 スライダ厚さ：0.４３１８ミリ（0.０１７インチ）±0.０２５４ミリ （0.００１インチ） 可撓体の厚さ：0.０６３５ミリ（0.００２５インチ）±0.００６３５ミリ （0.０００２５インチ） ─────────────────────────────────── 合 計 0.４９５３ミリ（0.０１９５インチ）±0.０３１７５ミリ （0.００１２５インチ）最悪の場合±0.０２６１８７４ミリ （0.００１０３１インチ） ３シグマ法
【００７４】これらの数字から、本発明による可撓体は
この寸法を約２２％低減するのみならず、最悪の場合の
公差エラーも著しく低減していることは明らかである。
【００７５】また、本発明による可撓体は、ジンバルと
ロードビームの溶接の必要性が排除されているため製作
がより安価であることも明らかである。レーザ溶接機は
それ自体資本設備であり、処理能力の低い、高価なもの
であり、溶接過程のために個別の部材を整合させるには
高価で、かつ正確な固定具を必要とする。さらに、前述
のように、レーザ溶接による溶接部は、固定具を歪ませ
品質レベルを低下させうる高度の残留応力を含んでい
る。
【００７６】要約すれば、本発明による可撓体はディス
ク間の間隔を低減させ、ドライブの高さを低減するか、
あるいはドライブの能力を増加させ、一方コストを下
げ、ディスクドライブの精度を向上させることができ
る。
【００７７】本発明の特定実施例を説明してきたが、例
えば材質、構成要素の比率、製作方法等多くの変更が可
能である。例えば、本発明による可撓体はベリリウム、
銅、あるいはチタニウムから作ることができ、可撓体は
面内曲げ共振周波数を向上させるため比例的に広幅にで
き、あるいは可撓体は反応エッチングと共に打ち抜き加
工を行い所望の領域の材料を低減させることができる。
【００７８】本発明は目的を実行し、前述並びに固有の
目的や利点を達成するよう十分適合していることは明ら
かである。本発明の開示のために現在好適の実施例を説
明してきたが、当該技術分野の専門家には容易に想起さ
れ、特許請求の範囲に定義の本発明の精神に包含される
多くの変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明が特に有用であるディスクドライブ式デ
ータ記憶装置の平面図。
【図２】本発明による可撓体の好適実施例の平面図。
【図３】図２に示す可撓体のジンバル部分の詳細図。
【図４】（イ）は本発明による可撓体のジンバル部分の
断面図。（ロ）はスライダに組み付けられ、ディスクと
の協働配置の本発明による可撓体のジンバル部分の断面
図。
【図５】本発明による可撓体の剛性ビーム部分の縁部の
形成状態を示す部分の断面図。
【図６】剛性を増すよう剛性ビームを形成したことを示
す部分断面図。
【図７】スライダ組立体に組み付けられた本発明による
可撓体の部分斜視図。
【符号の説明】
２４ 可撓体 ２６ スライダ ３０ 可撓体 ３１ 中央軸線 ３２ ジンバル／スライダ取付け領域 ３４ 剛性ビーム ３６ 柔軟性ビーム ３８ 可撓体取付け面 ４０，４２ 整合孔 ４４ 開口 ４６ スライダ取付けタブ ４８ スライダ ５０ ロードポイント用タブ ５２ ロードポイント用釦 ５４ 偏位検出孔 ５６ スライダ整合検査孔 ５８ ジンバルフレーム

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 磁気記録用のスライダと運動している磁
    気面との間の相対運動によって発生する流体軸受に対し
    て支持されたスライダ用の可撓体において、 Ａ）可撓体を取付けプレートまたはヘッド位置決め支持
    アームに取り付けるための取付け面と、 Ｂ）第１と第２の端部を有する一対の柔軟性ビームであ
    って、第１の端部において前記取付け面に取り付けら
    れ、可撓体の長手方向中心線に対して概ね平行に位置
    し、スライダの流体軸受によって発生する流体力学的揚
    力に対して反作用する負荷力を提供するように形成され
    ている柔軟性ビームと、 Ｃ）前記柔軟性ビームの第２の端部に取り付けられた強
    化された剛性ビームであって、該剛性ビームの長さにわ
    たっての歪みが無視しうる程度で柔軟性ビームの負荷力
    をスライダに伝達する強い曲げ剛性を有している剛性ビ
    ームと、 Ｄ）前記柔軟性ビームの反対側で前記剛性ビームに取り
    付けられたジンバル部分であって、 前記取付け面、柔軟性ビーム、剛性ビームおよび前記ジ
    ンバル部分が全て第１の材料厚さを有する弾性材料の単
    一の連続片で形成され、 前記ジンバル部分は概ね長方形で、Ｈ字形の開口を有
    し、Ｈ字形の開口の２本の垂直の脚は可撓体の長手方向
    中心線に対して概ね平行で、前記Ｈ字形の横断方向部分
    が前記Ｈ字形の開口の２本の脚を接続しており、前記Ｈ
    字形の開口がその垂直の脚の外端と前記ジンバル部分の
    最外縁との間に一対のジンバルビームを画成しており、 前記Ｈ字形開口は、その垂直の脚の間で、かつ前記剛性
    ビームから最も遠い方の前記横断方向部分の側において
    スライダ取付けタブを形成しており、前記Ｈ字形開口は
    その垂直脚の間で、かつ剛性ビームに最も近い方の前記
    横断方向部分の側においてロードポイント用タブを画成
    しており、 前記ロードポイント用タブは前記第１の材料の厚さより
    小さい第２の材料の厚さを有し、また前記Ｈ字形開口の
    前記横断方向部分に近く隣接して位置したロード支持突
    起を有しているような前記ジンバル部分とを含むことを
    特徴とする可撓体。
  2. 【請求項２】 磁気面に磁気記録する組立体において、 可撓体であって、 Ａ）前記可撓体を取付けプレートまたはヘッド位置決め
    支持アームに取り付ける取付け面と、 Ｂ）第１と第２の端部を有する一対の柔軟性ビームであ
    って、第１の端部において取付け面に取り付けられ、前
    記可撓体の長手方向中心線に対して概ね平行に位置し、
    スライダの流体軸受によって発生する流体力学的揚力に
    対して反作用する負荷力を提供するように形成されてい
    る柔軟性ビームと、 Ｃ）前記柔軟性ビームの第２の端部に取り付けられた強
    化された剛性ビームであって、 前記剛性ビームの長さに沿って無視しうる歪みでスライ
    ダに対して柔軟性ビームの負荷力を伝達する強い曲げ剛
    性を有している剛性ビームと、 Ｄ）柔軟性ビームとは反対側で前記剛性ビームに取り付
    けられたジンバル部分であって、 前記取付け面、柔軟性ビーム、剛性ビームおよび前記ジ
    ンバル部分が全て第１の材料厚さを有する弾性材料の単
    一の連続片で形成され、 前記ジンバル部分が概ね長方形であり、Ｈ字形の開口を
    有し、Ｈ字形の開口の２本の垂直の脚が可撓体の長手方
    向中心線に対して概ね平行であり、前記Ｈ字形の開口の
    横断方向部分が前記Ｈ字形の開口の２本の垂直の脚を接
    続しており、 前記Ｈ字形の開口がその垂直の外端と前記ジンバル部分
    の最外縁との間に一対のジンバルビームを画成してお
    り、 前記Ｈ字形開口がその垂直の脚の間で、かつ前記剛性ビ
    ームから最も遠い方のＨ字形開口の前記横断方向部分の
    側においてスライダ取付けタブを画成しており、 前記Ｈ字形開口がその垂直の脚の間で、かつ剛性ビーム
    に最も近い方のＨ字形開口の前記横断方向部分の側にお
    いてロードポイント用タブを画成しており、 前記ロードポイント用タブが前記第１の材料の厚さより
    小さい第２の材料の厚さを有し、また前記Ｈ字形開口の
    前記横断方向部分に近く隣接して位置したロード支持突
    起を有しているような前記ジンバル部分とを含むような
    前記可撓体と、前記スライダ取付けタブに取り付けられ
    た空気軸受スライダとからなる組立体。
  3. 【請求項３】 ディスクドライブにおいて磁気ヘッドを
    支持する細長い可撓体において、 平坦な材料の単一片で形成された剛性ビーム部分とジン
    バル部分とを含み、前記ジンバル部分がさらにロードポ
    イント用タブを含み、前記ジンバル部分が前記ロードポ
    イント用タブ上の所望の位置にあって所望の形状を有
    し、スライダーの上面と接触するロードポイント用釦を
    含み、このロードポイント用釦はその所望の形状および
    位置を直接に囲む領域においてロードポイント用タブの
    前記平坦な材料の実質的に半分の厚さをエッチングする
    ことにより形成され、前記スライダーが、ロードポイン
    ト用タブと重なる領域においてロードポイント用釦のみ
    と接触することを特徴とする細長い可撓体。
  4. 【請求項４】 平坦な材料の単一片から形成される一体
    のジンバルを備えた細長いディスクドライブ式磁気ヘッ
    ド取付け可撓体において、 ロードビームと、 前記ロードビームと一体の第１のタブであって、エッチ
    ング法により形成された一体の釦を有し、前記釦が前記
    可撓体の面に対して垂直なヘッド方向に面している前記
    第１のタブと、 また前記ロードビームと一体であって前記第１のタブか
    ら長手方向に離隔され、前記ヘッド方向においてヘッド
    取付け面を提供する第２のタブと、 前記第１と第２のタブを接続する一対の部分的にエッチ
    ングされた長手方向のビームとを含むことを特徴とする
    可撓体。
  5. 【請求項５】 第１の側面およびこの第１の側面と反対
    側の第２の側面を有する、全体的に平坦な材料からディ
    スク・ドライブ式磁気ヘッド取付け可撓体を作る方法に
    おいて、 ロードポイント用タブ、スライダ取付けタブおよび接続
    ジンバルビームを画成するためにロードビームの端部に
    おいて前記材料にＨ字形パターンを貫通エッチングする
    段階と、 ロードポイント用釦が非エッチング状態で留まるように
    まずロードポイント用タブ上のロードポイント用釦の領
    域をマスクした後第１の側面からロードポイント用タブ
    をハーフエッチングする段階と、第 ２の側面から前記接続ジンバルビームをハーフエッチ
    ングする段階を含むことを特徴とする可撓体を作る方
    法。
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