JP2748152B2 - ボンダ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はインナーリードボンダ、アウターリードボン
ダ、バンプ転写ボンダ、ペレットボンダ等に係り、特に
ツール保持機構に関する。

［従来の技術］ ボンダ用ツール保持機構は、ツールが固定されたツー
ルホルダと、このツールホルダが取付けられボンダのツ
ール保持部に固定される取付体とを備えている。

ところで、ボンダにおいては、ツールの下面全体が試
料のボンデイング面に均一に当ることが好ましい。

そこで従来は、ツールホルダを取付体に対して取付け
位置をずらして調整する調整機構を有するもの（以下、
公知例１という）と、例えば特開昭63−169730号公報及
び特開昭63−169731号公報のように自動倣い手段を設け
たもの（以下、公知例２という）が知られている。

公知例１は、ツールホルダを水平なＸ方向及びこのＸ
方向に直交した水平なＹ方向にそれぞれ調整するＸ方向
調整ねじ及びＹ方向調整ねじを取付体に設け、また固定
ねじでツールホルダを取付体に固定するようになってい
る。

そこで、ボンドステージ上にテープを載置し、ツール
を下降させてテープに圧痕を付け、ツールの４辺の当り
の強さを目視にて確認し、前記固定ねじを緩めた状態で
前記Ｘ方向調整ねじ及びＹ方向調整ねじでツールの下面
の平行出しを行い、その後に固定ねじでツールホルダを
取付体に固定している。

公知例２は、ツールホルダと取付体とをスプリングを
介して結合している。

従って、試料にツールを圧接させた場合、スプリング
がたわんで試料のボンデイング面にツールの下面が倣
う。

［発明が解決しようとする課題］ 公知例１は、調整ねじの微妙な動きによってツールの
平行出しを行うので、ツールの平行出しが難しく、多大
の調整時間及び熟練度を要するという問題があった。

公知例２は、非常に構造が複雑でコスト高になる。ま
た弾性を有する試料のリードに、ツールをスプリングを
介して圧着するので、圧着時にスベリが発生することが
あり、ボンデイング精度及びボンダビリテイが悪くなる
という問題があった。

本発明の目的は、構造が簡単で、かつ短時間に平行出
しが行えるボンダ用ツール保持機構を備えたボンダを提
供することにある。

［課題を解決するための手段］ 上記目的は、ツールが固定されたツールホルダと、こ
のツールホルダが取付けられボンダのツール保持部に固
定される取付体と、前記ツールの下面をボンドステージ
に接触させた状態で前記取付体を介して前記ツールホル
ダに荷重を加えることにより、ツールがボンドステージ
に接触した状態を保って前記ツールホルダと前記取付体
とを固定させる固定手段とを備えた構成により達成され
る。

前記固定手段は、例えば前記ツールホルダと前記取付
体との間に介在された融点の低い金属よりなり、前記金
属を加熱溶融させた後に冷却させてツールホルダを取付
体に固定する。

［作用］ 取付体に荷重を加えてツールをボンドステージ面上に
圧接させると、ツール下面はボンドステージ面に倣う。
その状態でツールホルダは取付体に固定手段で固定され
る。

例えば固定手段に融点の低い金属を用いた場合は、金
属を加熱して溶融させた状態で取付体に荷重を加えてツ
ールをボンドステージ面上に圧接させ、その後金属を冷
却させると、金属が固まり、ツールホルダは取付体に固
定される。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。図
示しない駆動手段で平面上のXY方向に移動させられる移
動体１には、ツール保持部２が上下動可能に設けられて
いる。ツール保持部２には取付体３が固定されている。

取付体３は、ホルダ取付部４と荷重作用部５間に断熱
材６が配設されて構成されており、前記ホルダ取付部４
にはヒータ７が埋設されている。また前記ホルダ取付部
の下面には凸部4aが形成され、この凸部4aの中央には蟻
溝4bが形成されている。

前記取付体３のホルダ取付部４には錫、鉛等のような
融点の低い金属８を介してツールホルダ10が固定されて
いる。ツールホルダ10は、ツール11が固定されたツール
固定部12と取付体固定部13間に断熱材14が配設されて構
成されている。また取付体固定部13の上面には前記ホル
ダ取付部４の凸部4aが遊嵌する凹部13aが形成され、こ
の凹部13aの中央には蟻溝13bが形成されている。

次に取付体３にツールホルダ10を固定する方法につい
て説明する。取付体固定部13の凹部13aの中央部に金属
８を載置し、ツールホルダ10に固定されたツール11の下
面をボンドステージ15上に載置する。次に取付体３の荷
重作用部５を図示しない駆動手段で押し下げ、ツールホ
ルダ10に取付体３を金属８を介して軽く圧接させる。そ
して、ヒータ７に電流を流し、金属８を溶かす。金属８
が溶融した状態で、取付体３の荷重作用部５に荷重を加
えると、ボンドステージ15の面にツール11の下面は倣
う。この状態でヒータ７の電流を切り、金属８を冷却さ
せる。これにより、金属８が固まり、ボンドステージ15
に対するツール11の平行度が出た状態でツールホルダ10
は取付体３に固定される。

このように、取付体３を金属８を介してツールホルダ
10に圧接させ、金属８を加熱溶融させるのみでツール11
の平行出しが行えるので、その作業は容易で、かつ短時
間に行える。また構造が非常に簡単で、かつ部品点数も
少なくてすむので、大幅なコストダウンが図れる。

なお、上記実施例においては、断熱材６、14を設けた
が、これは特に設けなくてもよい。しかし、断熱材６、
14を設けると、他の部品への熱影響を除去することがで
きるのでより好ましい。また蟻溝4b、13bは特に設けな
くてもよいが、蟻溝4b、13bを設けると、この蟻溝4b、1
3bに溶解した金属８が流れるので、ツールホルダ10は取
付体３により強固に固定される。

［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ツ
ールの下面をボンドステージに接触させた状態で取付体
を介してツールホルダに荷重を加え、この状態で固定手
段によりツールホルダと取付体とを固定させるのみでツ
ールの平行出しが行えるので、その作業は容易で、かつ
短時間に行えると共に、構造が非常に簡単で、かつ部品
点数も少なくてすむので、大幅なコストダウンが図れ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す正面図である。 2:ツール保持部、3:取付体、 7:ヒータ、8:金属、 10:ツールホルダ、11:ツール。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−200541（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−137241（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−90544（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−10539（ＪＰ，Ｕ)

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ツールが固定されたツールホルダと、この
   ツールホルダが取付けられボンダのツール保持部に固定
   される取付体と、前記ツールの下面をボンドステージに
   接触させた状態で前記取付体を介して前記ツールホルダ
   に荷重を加えることにより、ツールがボンドステージに
   接触した状態を保って前記ツールホルダと前記取付体と
   を固定させる固定手段とを備えたことを特徴とするボン
   ダ。
2. 【請求項２】前記固定手段は、前記ツールホルダと前記
   取付体との間に介在された融点の低い金属よりなり、前
   記金属を加熱溶融させた後に冷却させてツールホルダを
   取付体に固定することを特徴とする請求項１記載のボン
   ダ。
3. 【請求項３】前記金属を加熱溶融させるヒータを前記取
   付体に取付けてなることを特徴とする請求項２記載のボ
   ンダ。