JPH0332037A - ボンダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野１ 本発明はインナーリードボンダ、アウターリードボンダ
、バンプ転写ボンダ、ベレットボンダ等に係り、特にツ
ール保持機構に関する。

［従来の技術］ ボンダ用ツール保持機構は、ツールが固定されたツール
ホルダと、このツールホルダが取付けられボンダのツー
ル保持部に固定される取付体とを備えている。

ところで、ボンダにおいては、ツールの下面全体が試料
のボンディング面に均一に当ることが好ましい。

そこで従来は、ツールホルダを取付体に対して取付は位
置をずらして調整する調整機構を有するもの（以下、公
知例１という）と、例えば特開昭６３−１６９７３０号
公報及び特開昭６３−１８９７３１号公報のように自動
倣い手段を設けたもの（以下、公知例２という）が知ら
れている。

公知例１は、ツールホルダを水平たｘ方向及びこのＸ方
向に直交した水平なＹ方向にそれぞれ調整するＸ方向調
整ねじ及びＹ方向調整ねじを取付体に設け、また固定ね
じでツールホルダを取付体に固定するようになっている
。

そこで、ボンドステージ上にテープを載置し、ツールを
下降させてテープに圧痕を付け、ツールの４辺の当りの
強さを目視にて確認し、前記固定ねじを緩めた状態で前
記Ｘ方向調整ねじ及びＹ方向調整ねじでツールの下面の
平行出しを行い、その後に固定ねじでツールホルダを取
付体に固定している。

公知例２は、ツールホルダと取付体とをスプリングを介
して結合している。

従って、試料にツールを圧接させた場合、スプリングが
たわんで試料のポンディング面にツールの下面が倣う。

［発明が解決しようとする課題］ 公知例１は、調整ねじの微妙な動きによってツールの平
行出しを行うので、ツールの平行出しが難しく、多大の
調整時間及び熟練度を要するという問題があった。

公知例２は、非常に構造が複雑でコスト高になる。また
弾性を有する試料のリードに、ツールをスプリングを介
して圧着するので、圧着時にスベリが発生することがあ
り、ボンディング精度及びボンダビリティが悪くなると
いう問題があった。

本発明の目的は、構造が簡単で、かつ短時間に平行出し
が行えるボンダ用ツール保持機構を備えたボンダを提供
することにある。

［課題を解決するための手段］ 上記目的は、ツールが固定されたツールホルダと、この
ツールホルダが取付けられボンダのツール保持部に固定
される取付体と、前記ツールの下面をボンドステージに
接触させた状態で前記取付体を介して前記ツールホルダ
に荷重を加えることにより、ツールがボンドステージに
接触した状態を保って前記ツールホルダと前記取付体と
を固定させる固定手段とを備えた構成により達成される
。

前記固定手段は１例えば前記ツールホルダと前記取付体
との間に介在された融点の低い金属よりなり、前記金属
を加熱溶融させた後に冷却させてツールホルダを取付体
に固定する。

［作用］ 取付体に荷重を加えてツールをボンドステージ面上に圧
接させると、ツール下面はボンドステージ面に倣う、そ
の状態でツールホルダは取付体に固定手段で固定される
。

例えば固定手段に融点の低い金属を用いた場合は、金属
を加熱して溶融させた状態で取付体に荷重を加えてツー
ルをボンドステージ面上に圧接させ、その後金属を冷却
させると、金属が固まり。

ツールホルダは取付体に固定される。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第１図により説明する１図示
しない駆動手段で平面上のＸＹ力方向移動させられる移
動体１には、ツール保持部２が上下動可能に設けられて
いる。ツール保持部２には取付体３が固定されている。

取付体３は、ホルダ取付部４と荷重作用部５間に断熱材
６が配設されて構成されており、前記ホルダ取付部４に
はヒータ７が埋設されている。また前記ホルダ取付部４
の下面には凸部４ａが形成され、この凸部４ａの中央に
は蟻溝４ｂが形成されている。

前記取付体３のホルダ取付部４には錫、鉛等のような融
点の低い金属８を介してツ−ルホルダＩＯが固定されて
いる。ツールホルダ１０は、ツール１１が固定されたツ
ール固定部１２と取付体固定部１３間に断熱材１４が配
設されて構成されている。また取付体固定部１３の上面
には前記ホルダ取付部４の凸部４ａが遊嵌する凹部１３
ａが形成され、この凹部１３ａの中央には蟻溝１３ｂが
形成されている。

次に取付体３にツ−ルホルダｌＯを固定する方法につい
て説明する。取付体固定部１３の凹部１３ａの中央部に
金属８を載置し、ツールホルダ１０に固定されたツール
１１の下面をボンドステージ１５上にｉｎする０次に取
付体３の荷重作用部５を図示しない駆動手段で押し下げ
、ツールホルダ１０に取付体３を金属８を介して軽く圧
接させる。そして、ヒータ７に電流を流し、金属８を溶
かす、金属８が溶融した状態で、取付体３の荷重作用ｆ
！１５に荷重を加えると、ボンドステージ１５の而にツ
ール１１の下面は倣う、この状態でヒータ７の電流を切
り、金属８を冷却させる。これにより、金属８が固まり
、ボンドステージ１５に対するツール１１の平行度が出
た状態でツールホルダ１０は取付体３に固定される。

このように、取付体３を金Ｊｉｉ８を介してツールホル
ダ１０に圧接させ、金属８を加熱溶融させるのみでツー
ル１１の平行出しが行えるので、その作業は容易で、か
つ短時間に行える。また構造が非常に簡単で、かつ部品
点数も少なくてすむので、大幅なコストダウンが図れる
。

なお、上記実施例においては、断熱材６．１４を設けた
が、これは特に設けなくてもよい、しかし、断熱材６，
１４を設けると、他の部品への熱影１を除去することが
できるのでより好ましい。

また蟻溝４ｂ、１３ｂは特に設は次〈てもよいが、蟻ｙ
ｔ４ｂ、１３ｂを設けると、この蟻溝４ｂ、１３ｂに溶
融した金属８が流れるので、ツールホルダ１０は取付体
３により強固に固定される。

［発明の効果Ｊ 以−Ｅの説明から明らかなように、本発明によれば、ツ
ールの下面をボンドステージに接触させた状態で取付体
を介してツールホルダに荷重を加え、この状態で固定手
段によりツールホルダと取付体とを固定させるのみでツ
ールの平行出しが行えるので、その作業は容易で、かつ
短時間に行えると共に、ａ造が非常に簡単で、かつ部品
点数も少なくてすむので、大幅なコストダウンが図れる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す正面図である。 ２：ツール保持部、　　　　３：取付体、７：ヒータ、
　　　　　　　８：金属、：ツールホルダ、 ｌｌ：ツール。 第 図 １０：　゛ソー／（／不〕シフ゛。 ｌ　ｌ：　・ソー、し

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）ツールが固定されたツールホルダと、このツール
   ホルダが取付けられボンダのツール保持部に固定される
   取付体と、前記ツールの下面をボンドステージに接触さ
   せた状態で前記取付体を介して前記ツールホルダに荷重
   を加えることにより、ツールがボンドステージに接触し
   た状態を保って前記ツールホルダと前記取付体とを固定
   させる固定手段とを備えたことを特徴とするボンダ。
2. （２）前記固定手段は、前記ツールホルダと前記取付体
   との間に介在された融点の低い金属よりなり、前記金属
   を加熱溶融させた後に冷却させてツールホルダを取付体
   に固定することを特徴とする請求項１記載のボンダ。
3. （３）前記金属を加熱溶融させるヒータを前記取付体に
   取付けてなることを特徴とする請求項２記載のボンダ。