JP3187977B2 - キャピラリの取り付け方法及びワイヤボンディング装置 - Google Patents
キャピラリの取り付け方法及びワイヤボンディング装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、キャピラリの取り付け
方法及びワイヤボンディング装置に関する。
方法及びワイヤボンディング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤボンディング装置は、ボンディン
グアームの上下動により、その先端部に保持するキャピ
ラリを用いて半導体ペレットの電極とリードフレームの
リードとの間を導電性のワイヤにより電気的に接続する
ものである。
グアームの上下動により、その先端部に保持するキャピ
ラリを用いて半導体ペレットの電極とリードフレームの
リードとの間を導電性のワイヤにより電気的に接続する
ものである。
【０００３】ところで、ワイヤボンディング装置に用い
られるキャピラリは、ボンディング動作を繰り返すうち
にその先端部に汚れが付着し、この汚れがワイヤの接合
力低下等のボンディング不良の原因となる。また摩耗し
たり、ワイヤがキャピラリ内でツマリを生じるといった
事故が発生することがある。このような時には、キャピ
ラリの交換が必要となる。
られるキャピラリは、ボンディング動作を繰り返すうち
にその先端部に汚れが付着し、この汚れがワイヤの接合
力低下等のボンディング不良の原因となる。また摩耗し
たり、ワイヤがキャピラリ内でツマリを生じるといった
事故が発生することがある。このような時には、キャピ
ラリの交換が必要となる。
【０００４】さてキャピラリの交換時には、ボンディン
グアームに対してその取り付け位置がずれないようにキ
ャピラリを取り付ける必要がある。これは、ボンディン
グアームに対してキャピラリが突出し過ぎると、ボンデ
ィング時に半導体ペレットにダメージを与えてしまい、
逆に突出量が少ないと適性なボンディング力が得られ
ず、どちらにしてもボンディング不良を生じるからであ
る。
グアームに対してその取り付け位置がずれないようにキ
ャピラリを取り付ける必要がある。これは、ボンディン
グアームに対してキャピラリが突出し過ぎると、ボンデ
ィング時に半導体ペレットにダメージを与えてしまい、
逆に突出量が少ないと適性なボンディング力が得られ
ず、どちらにしてもボンディング不良を生じるからであ
る。
【０００５】そこでキャピラリをボンディングアームに
取り付ける方法としては、例えば特開昭５０−２３７７
４号公報などに記載されているような治具を用いる方法
が公知である。図３に示したのは、段差を有する２つの
平坦面１ａ、１ｂを設けた治具１を用いた取り付け方法
で、キャピラリの取り付けに際しては、まずこの治具１
をピンセットなどを用いてボンディング台２上に載置す
る。そしてボンディングアーム３をその下面が治具１の
平坦面１ａに接触するように下動させる。次にキャピラ
リ４をボンディングアーム３の保持穴３ａに挿入すると
ともに、その先端部を治具１の平坦面１ｂに接触させ、
このままの状態でねじ５を用いてキャピラリ４をボンデ
ィングアーム３に固定するものである。これにより、キ
ャピラリ４をその先端部がボンディングアーム３の軸心
から必要とする突出量Ｈだけ突出した状態でボンディン
グアーム３に固定することができる。
取り付ける方法としては、例えば特開昭５０−２３７７
４号公報などに記載されているような治具を用いる方法
が公知である。図３に示したのは、段差を有する２つの
平坦面１ａ、１ｂを設けた治具１を用いた取り付け方法
で、キャピラリの取り付けに際しては、まずこの治具１
をピンセットなどを用いてボンディング台２上に載置す
る。そしてボンディングアーム３をその下面が治具１の
平坦面１ａに接触するように下動させる。次にキャピラ
リ４をボンディングアーム３の保持穴３ａに挿入すると
ともに、その先端部を治具１の平坦面１ｂに接触させ、
このままの状態でねじ５を用いてキャピラリ４をボンデ
ィングアーム３に固定するものである。これにより、キ
ャピラリ４をその先端部がボンディングアーム３の軸心
から必要とする突出量Ｈだけ突出した状態でボンディン
グアーム３に固定することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところがこの方法によ
ると、キャピラリ４を交換する度に、ボンディング台上
に治具１の載置、ボンディングアーム３の下動調整とい
った細かい作業を作業者が強いられることとなり、多大
な疲労を与えるとともに、交換作業に時間がかかるとい
う欠点を有していた。
ると、キャピラリ４を交換する度に、ボンディング台上
に治具１の載置、ボンディングアーム３の下動調整とい
った細かい作業を作業者が強いられることとなり、多大
な疲労を与えるとともに、交換作業に時間がかかるとい
う欠点を有していた。
【０００７】またキャピラリ内でのワイヤツマリ等によ
ってボンディング動作途中にキャピラリ４を交換する必
要が生じた場合には、ボンディング台２上に治具１を載
置する必要上、ボンディングステーションに存在するリ
ードフレームを一時他の場所に移動させてからキャピラ
リ４の交換を上記のようにして行ない、交換終了後にこ
のリードフレームを元の場所に戻さなければならず、作
業能率が非常に悪かった。
ってボンディング動作途中にキャピラリ４を交換する必
要が生じた場合には、ボンディング台２上に治具１を載
置する必要上、ボンディングステーションに存在するリ
ードフレームを一時他の場所に移動させてからキャピラ
リ４の交換を上記のようにして行ない、交換終了後にこ
のリードフレームを元の場所に戻さなければならず、作
業能率が非常に悪かった。
【０００８】さらには、ワイヤボンディング装置によっ
て、必要とする突出量Ｈが異なることがあるが、上記し
た治具１を用いる方法では、１つの治具で１種類の突出
量Ｈしか得られないため、必要とする突出量Ｈの数分だ
け治具を揃えておかなくてはならない。このため、治具
の管理作業も必要であった。
て、必要とする突出量Ｈが異なることがあるが、上記し
た治具１を用いる方法では、１つの治具で１種類の突出
量Ｈしか得られないため、必要とする突出量Ｈの数分だ
け治具を揃えておかなくてはならない。このため、治具
の管理作業も必要であった。
【０００９】本発明は、ボンディングアームに対して必
要量突出する状態でキャピラリを短時間にて容易かつ正
確に取り付けることができるキャピラリの取り付け方法
及びそその方法を適用したワイヤボンディング装置を提
供することを目的とする。
要量突出する状態でキャピラリを短時間にて容易かつ正
確に取り付けることができるキャピラリの取り付け方法
及びそその方法を適用したワイヤボンディング装置を提
供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
は、ボンディングアームのキャピラリ取り付け部にキャ
ピラリを前記ボンディングアームに対して必要量突出す
る状態で取り付けるキャピラリの取り付け方法におい
て、前記必要量を前記ボンディングアームの駆動機構を
制御する制御装置における設定部に設定しておき、前記
ボンディングアームへの前記キャピラリの取り付け時、
前記制御装置が前記駆動機構を制御することで前記ボン
ディングアームを取り付け基準面となるキャピラリの被
当接面より前記必要量上方位置に位置決めし、この状態
で前記ボンディングアームに対して前記キャピラリをそ
の先端部を前記被当接部に接触させる状態で前記キャピ
ラリ取り付け部に固定することを特徴とする。
は、ボンディングアームのキャピラリ取り付け部にキャ
ピラリを前記ボンディングアームに対して必要量突出す
る状態で取り付けるキャピラリの取り付け方法におい
て、前記必要量を前記ボンディングアームの駆動機構を
制御する制御装置における設定部に設定しておき、前記
ボンディングアームへの前記キャピラリの取り付け時、
前記制御装置が前記駆動機構を制御することで前記ボン
ディングアームを取り付け基準面となるキャピラリの被
当接面より前記必要量上方位置に位置決めし、この状態
で前記ボンディングアームに対して前記キャピラリをそ
の先端部を前記被当接部に接触させる状態で前記キャピ
ラリ取り付け部に固定することを特徴とする。
【００１１】請求項２に記載の本発明は、キャピラリ取
り付け部にキャピラリを保持するボンディングアーム
と、このボンディングアームの駆動機構と、この駆動機
構の制御装置とを有するワイヤボンディング装置におい
て、前記ボンディングアームに対する前記キャピラリの
突出させるべく必要量を設定する設定部を前記制御装置
に設け、前記制御装置は、前記ボンディングアームへの
前記キャピラリの取り付け時、前記駆動機構を制御して
前記ボンディングアームを取り付け基準面となるキャピ
ラリの被当接面より前記必要量上方位置に位置決めして
なることを特徴とする。
り付け部にキャピラリを保持するボンディングアーム
と、このボンディングアームの駆動機構と、この駆動機
構の制御装置とを有するワイヤボンディング装置におい
て、前記ボンディングアームに対する前記キャピラリの
突出させるべく必要量を設定する設定部を前記制御装置
に設け、前記制御装置は、前記ボンディングアームへの
前記キャピラリの取り付け時、前記駆動機構を制御して
前記ボンディングアームを取り付け基準面となるキャピ
ラリの被当接面より前記必要量上方位置に位置決めして
なることを特徴とする。
【００１２】
【実施例】本発明の実施例を図面を用いて説明する。図
１は本発明に係わるキャピラリの取り付け動作を示す
図、図２は本発明が適用されるボンディング装置の一構
成図である。
１は本発明に係わるキャピラリの取り付け動作を示す
図、図２は本発明が適用されるボンディング装置の一構
成図である。
【００１３】まず図２を用いてワイヤボンディング装置
について説明する。ここに示されるワイヤボンディング
装置１０は、不図示のリードフレームを搬送する１対の
搬送レール１１と、ボンディングステーションに対向す
るボンディングヘッド１２とを有する。このボンディン
グヘッド１２は、水平方向に移動自在の移動テーブル１
３上に載置されており、また先端部にキャピラリ１４を
保持するボンディングアーム１５を有する。ボンディン
グアーム１５は、不図示の駆動機構により上下動される
もので、この駆動機構がワイヤボンディング装置１０全
体を制御する制御装置１６により駆動制御されることに
より、結果的にボンディングアーム１５の上下動も制御
されることになる。ボンディングステーションにおける
搬送レール１１間には、ヒータ１７により加熱可能なボ
ンディング台１８が設けられている。そしてこの実施例
においては、ボンディング台１８の上面が、キャピラリ
１４の取り付け基準面となる被当接面として用いられる
ものである。なお制御装置１６には、設定部１９と操作
部２０が接続されている。この設定部１９には、ボンデ
ィングアーム１５の軸心位置をボンディング台１８の上
面より所定距離上方位置で停止させるための位置情報が
設定されるようになっており、ここでは、図３で示した
Ｈなる数値が設定してあるものとして以下の説明を行な
う。また操作部２０は、例えばワイヤボンディング装置
１０のスタート、ストップ釦や、キャピラリ交換モード
への切り換え釦などが備えられる。
について説明する。ここに示されるワイヤボンディング
装置１０は、不図示のリードフレームを搬送する１対の
搬送レール１１と、ボンディングステーションに対向す
るボンディングヘッド１２とを有する。このボンディン
グヘッド１２は、水平方向に移動自在の移動テーブル１
３上に載置されており、また先端部にキャピラリ１４を
保持するボンディングアーム１５を有する。ボンディン
グアーム１５は、不図示の駆動機構により上下動される
もので、この駆動機構がワイヤボンディング装置１０全
体を制御する制御装置１６により駆動制御されることに
より、結果的にボンディングアーム１５の上下動も制御
されることになる。ボンディングステーションにおける
搬送レール１１間には、ヒータ１７により加熱可能なボ
ンディング台１８が設けられている。そしてこの実施例
においては、ボンディング台１８の上面が、キャピラリ
１４の取り付け基準面となる被当接面として用いられる
ものである。なお制御装置１６には、設定部１９と操作
部２０が接続されている。この設定部１９には、ボンデ
ィングアーム１５の軸心位置をボンディング台１８の上
面より所定距離上方位置で停止させるための位置情報が
設定されるようになっており、ここでは、図３で示した
Ｈなる数値が設定してあるものとして以下の説明を行な
う。また操作部２０は、例えばワイヤボンディング装置
１０のスタート、ストップ釦や、キャピラリ交換モード
への切り換え釦などが備えられる。
【００１４】次に作動について説明する。
【００１５】キャピラリ１４の取り付け作業を行なうに
あたり、まず操作部２０においてキャピラリ交換モード
に設定し、制御装置１６に作業の開始指令を送る。制御
装置１６はこの指令を受けると、移動テーブル１３を移
動制御するとともに、設定部１９に設定されている位置
情報に従って不図示の駆動機構を駆動させ、図１に示す
ようにボンディングアーム１５の軸心位置をボンディン
グ台１８の上方、高さＨの位置に位置決めする。この後
ボンディングアーム１５の保持穴１５ａにキャピラリ１
４を挿入し、キャピラリ１４の先端部をボンディング台
１８の上面に接触させる。そしてこの状態でボンディン
グアーム１５のねじ１５ｂを締め付けることにより、キ
ャピラリ１４をボンディングアーム１５に固定する。こ
れにより、キャピラリ１４はボンディングアーム１５の
軸心に対してＨ突出した状態で取り付けられる。
あたり、まず操作部２０においてキャピラリ交換モード
に設定し、制御装置１６に作業の開始指令を送る。制御
装置１６はこの指令を受けると、移動テーブル１３を移
動制御するとともに、設定部１９に設定されている位置
情報に従って不図示の駆動機構を駆動させ、図１に示す
ようにボンディングアーム１５の軸心位置をボンディン
グ台１８の上方、高さＨの位置に位置決めする。この後
ボンディングアーム１５の保持穴１５ａにキャピラリ１
４を挿入し、キャピラリ１４の先端部をボンディング台
１８の上面に接触させる。そしてこの状態でボンディン
グアーム１５のねじ１５ｂを締め付けることにより、キ
ャピラリ１４をボンディングアーム１５に固定する。こ
れにより、キャピラリ１４はボンディングアーム１５の
軸心に対してＨ突出した状態で取り付けられる。
【００１６】このようにしてキャピラリ１４がボンディ
ングアーム１５に取り付けられた後、通常のワイヤボン
ディング動作が行なわれる。
ングアーム１５に取り付けられた後、通常のワイヤボン
ディング動作が行なわれる。
【００１７】次に、例えばキャピラリ内でのワイヤツマ
リ等の原因により、ボンディング動作途中にキャピラリ
１４を交換する必要が生じた場合について説明する。
リ等の原因により、ボンディング動作途中にキャピラリ
１４を交換する必要が生じた場合について説明する。
【００１８】この場合、ツマリを生じた不良キャピラリ
１４をボンディングアーム１５から取り外し、その後ボ
ンディングアーム１５に良品キャピラリ１４を取り付け
ることになるが、ボンディング動作途中であるため、ボ
ンディング台１８上には不図示のリードフレームが位置
している。
１４をボンディングアーム１５から取り外し、その後ボ
ンディングアーム１５に良品キャピラリ１４を取り付け
ることになるが、ボンディング動作途中であるため、ボ
ンディング台１８上には不図示のリードフレームが位置
している。
【００１９】そこで、ツマリを生じた不良キャピラリ１
４をボンディングアーム１５から取り外した後、操作部
２０においてキャピラリ交換モードに設定し、制御装置
１６に作業の開始指令を送る。制御装置１６はこの指令
を受けると、移動テーブル１３を移動制御してボンディ
ングアーム１５の保持穴１５ａをリードフレームにおけ
る例えばリードの上方に移動させるとともに、設定部１
９に設定されている位置情報に従って不図示の駆動機構
を駆動させ、、ボンディングアーム１５の軸心位置をボ
ンディング台１８より上方の所定高さ位置に位置付け
る。なおここでの所定高さ位置とは、キャピラリ１４の
突出量Ｈにリードフレームの厚みｈを加味した高さＨ´
を意味し、このＨ´なる数値を予め設定部１９に記憶さ
せておくものである。これによりボンディングアーム１
５は、その軸心位置がリードフレームの上方で、かつリ
ードフレームの上面よりＨの高さ位置に位置決めされる
ことになる。このようにしてボンディングアーム１５の
位置決めを行なった後、ボンディングアーム１５の保持
穴１５ａにキャピラリ１４を挿入し、このキャピラリ１
４の先端部をリードフレームの上面に接触させ、この状
態でボンディングアーム１５のねじ１５ｂを締め付け
る。これにより、キャピラリ１４はボンディングアーム
１５の軸心に対してＨ突出した状態で取り付けられる。
４をボンディングアーム１５から取り外した後、操作部
２０においてキャピラリ交換モードに設定し、制御装置
１６に作業の開始指令を送る。制御装置１６はこの指令
を受けると、移動テーブル１３を移動制御してボンディ
ングアーム１５の保持穴１５ａをリードフレームにおけ
る例えばリードの上方に移動させるとともに、設定部１
９に設定されている位置情報に従って不図示の駆動機構
を駆動させ、、ボンディングアーム１５の軸心位置をボ
ンディング台１８より上方の所定高さ位置に位置付け
る。なおここでの所定高さ位置とは、キャピラリ１４の
突出量Ｈにリードフレームの厚みｈを加味した高さＨ´
を意味し、このＨ´なる数値を予め設定部１９に記憶さ
せておくものである。これによりボンディングアーム１
５は、その軸心位置がリードフレームの上方で、かつリ
ードフレームの上面よりＨの高さ位置に位置決めされる
ことになる。このようにしてボンディングアーム１５の
位置決めを行なった後、ボンディングアーム１５の保持
穴１５ａにキャピラリ１４を挿入し、このキャピラリ１
４の先端部をリードフレームの上面に接触させ、この状
態でボンディングアーム１５のねじ１５ｂを締め付け
る。これにより、キャピラリ１４はボンディングアーム
１５の軸心に対してＨ突出した状態で取り付けられる。
【００２０】上記した実施例によれば、キャピラリの取
り付け基準面となる被当接部としてのボンディング台１
８の上面あるいはリードフレームの上面に対してボンデ
ィングアーム１５の軸心位置を、この軸心位置に対する
キャピラリ１４の必要突出量であるＨ上方に位置決め
し、キャピラリ１４をその先端部がボンディング台１８
あるいはリードフレームの上面に接触する状態でボンデ
ィングアーム１５に取り付けを行なえばよいため、短時
間にて容易かつ正確にボンディングアーム１５にキャピ
ラリ１４を取り付けることができる。また特にボンディ
ング動作途中のキャピラリ交換に際しては、従来必要と
していた、ボンディングステーションに存在するリード
フレームを一時他の場所に移動させ、キャピラリ交換後
にまた元の場所に戻すといった作業をまったく必要とし
ないため、交換時間を従来に比べてはるかに短縮でき
る。また実施例において、ボンディングアーム１５に対
するキャピラリ１４の突出量を変える場合には、設定部
１９に設定する位置情報を変えるだけで対応することも
できる。
り付け基準面となる被当接部としてのボンディング台１
８の上面あるいはリードフレームの上面に対してボンデ
ィングアーム１５の軸心位置を、この軸心位置に対する
キャピラリ１４の必要突出量であるＨ上方に位置決め
し、キャピラリ１４をその先端部がボンディング台１８
あるいはリードフレームの上面に接触する状態でボンデ
ィングアーム１５に取り付けを行なえばよいため、短時
間にて容易かつ正確にボンディングアーム１５にキャピ
ラリ１４を取り付けることができる。また特にボンディ
ング動作途中のキャピラリ交換に際しては、従来必要と
していた、ボンディングステーションに存在するリード
フレームを一時他の場所に移動させ、キャピラリ交換後
にまた元の場所に戻すといった作業をまったく必要とし
ないため、交換時間を従来に比べてはるかに短縮でき
る。また実施例において、ボンディングアーム１５に対
するキャピラリ１４の突出量を変える場合には、設定部
１９に設定する位置情報を変えるだけで対応することも
できる。
【００２１】なお上記実施例において、ボンディング台
１８の上面あるいはリードフレームの上面を被当接面と
して設定したが、例えばボンディング台１８の近傍に被
当接面を有する特別な場所や特別な部材を設けても構わ
ない。
１８の上面あるいはリードフレームの上面を被当接面と
して設定したが、例えばボンディング台１８の近傍に被
当接面を有する特別な場所や特別な部材を設けても構わ
ない。
【００２２】本発明によれば、ボンディングアームに対
して必要量突出する状態でキャピラリを短時間にて容易
かつ正確に取り付けることができる。
して必要量突出する状態でキャピラリを短時間にて容易
かつ正確に取り付けることができる。
【図１】本発明に係わるキャピラリの取り付け動作を示
す図である。
す図である。
【図２】本発明が適用されるボンディング装置の一構成
図である。
図である。
【図３】従来のキャピラリの取り付け動作を示す図であ
る。
る。
１０ ワイヤボンディング装置 １１ 搬送レール １２ ボンディングヘッド １３ 移動テーブル １４ キャピラリ １５ ボンディングアーム １５ａ 保持穴 １５ｂ ねじ １６ 制御装置 １７ ヒータ １８ ボンディング台 １９ 設定部 ２０ 操作部
Claims (2)
- 【請求項１】 ボンディングアームのキャピラリ取り付
け部にキャピラリを前記ボンディングアームに対して必
要量突出する状態で取り付けるキャピラリの取り付け方
法において、前記必要量を前記ボンディングアームの駆
動機構を制御する制御装置における設定部に設定してお
き、前記ボンディングアームへの前記キャピラリの取り
付け時、前記制御装置が前記駆動機構を制御することで
前記ボンディングアームを取り付け基準面となるキャピ
ラリの被当接面より前記必要量上方位置に位置決めし、
この状態で前記ボンディングアームに対して前記キャピ
ラリをその先端部を前記被当接部に接触させる状態で前
記キャピラリ取り付け部に固定することを特徴とするキ
ャピラリの取り付け方法。 - 【請求項２】 キャピラリ取り付け部にキャピラリを保
持するボンディングアームと、 このボンディングアームの駆動機構と、 この駆動機構の制御装置とを有するワイヤボンディング
装置において、 前記ボンディングアームに対する前記キャピラリの突出
させるべく必要量を設定する設定部を前記制御装置に設
け、 前記制御装置は、前記ボンディングアームへの前記キャ
ピラリの取り付け時、前記駆動機構を制御して前記ボン
ディングアームを取り付け基準面となるキャピラリの被
当接面より前記必要量上方位置に位置決めしてなること
を特徴とするワイヤボンディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26539592A JP3187977B2 (ja) | 1992-09-08 | 1992-09-08 | キャピラリの取り付け方法及びワイヤボンディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26539592A JP3187977B2 (ja) | 1992-09-08 | 1992-09-08 | キャピラリの取り付け方法及びワイヤボンディング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0689916A JPH0689916A (ja) | 1994-03-29 |
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1992
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