JP2712602B2 - 圧電共振子の製造方法 - Google Patents
圧電共振子の製造方法Info
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- JP2712602B2 JP2712602B2 JP1207408A JP20740889A JP2712602B2 JP 2712602 B2 JP2712602 B2 JP 2712602B2 JP 1207408 A JP1207408 A JP 1207408A JP 20740889 A JP20740889 A JP 20740889A JP 2712602 B2 JP2712602 B2 JP 2712602B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、振動電極を有する圧電基板の表裏両面に
保護基板を貼り合わせたいわゆる積層タイプの圧電共振
子の製造方法に関する。
保護基板を貼り合わせたいわゆる積層タイプの圧電共振
子の製造方法に関する。
この種の圧電共振子を作るに当たっては、従来、例え
ば第６図に示すように表裏両面に相対向する複数組の
（図には一組のみ表れている）振動電極４を有する圧電
基板２の表裏両面に、例えば第５図および第７図に示す
ように各振動電極４の周りに振動空間確保用の空洞部を
形成するための凹部10を圧電基板２側の面にそれぞれ有
する２枚の保護基板８をそれぞれ配置し、かつこの圧電
基板２と各保護基板８との間に接着剤12をそれぞれ配置
した状態で、全体を厚さ方向に加圧して当該接着剤12を
用いて圧電基板２と各保護基板８とをそれぞれ貼り合わ
せて、一つの基板上に複数個の圧電共振子を一括して作
り、その後これを各圧電共振子ごとに切り分けて複数の
チップ状の圧電共振子を作っていた。
ば第６図に示すように表裏両面に相対向する複数組の
（図には一組のみ表れている）振動電極４を有する圧電
基板２の表裏両面に、例えば第５図および第７図に示す
ように各振動電極４の周りに振動空間確保用の空洞部を
形成するための凹部10を圧電基板２側の面にそれぞれ有
する２枚の保護基板８をそれぞれ配置し、かつこの圧電
基板２と各保護基板８との間に接着剤12をそれぞれ配置
した状態で、全体を厚さ方向に加圧して当該接着剤12を
用いて圧電基板２と各保護基板８とをそれぞれ貼り合わ
せて、一つの基板上に複数個の圧電共振子を一括して作
り、その後これを各圧電共振子ごとに切り分けて複数の
チップ状の圧電共振子を作っていた。
ちなみに、圧電基板２上には、通常は、例えば第６図
に示すような各振動電極４につながる端子電極６が形成
されている。
に示すような各振動電極４につながる端子電極６が形成
されている。
あるいは、凹部10のない保護基板８を用い、そのよう
な保護基板８を上記のような圧電基板２の表裏両面に、
その各振動電極４の周りに振動空間確保用の空洞部を形
成するための例えば第８図に示すような空白部（この明
細書において接着剤のない部分を言う）14を有するパタ
ーンの接着剤12を用いて貼り合わせ、接着剤12の厚みを
利用して空洞部を形成する場合もある。
な保護基板８を上記のような圧電基板２の表裏両面に、
その各振動電極４の周りに振動空間確保用の空洞部を形
成するための例えば第８図に示すような空白部（この明
細書において接着剤のない部分を言う）14を有するパタ
ーンの接着剤12を用いて貼り合わせ、接着剤12の厚みを
利用して空洞部を形成する場合もある。
ところが、上記のような従来の製造方法だと、接着剤
12の量が多かったり加圧が不適当だと、接着時に、接着
剤12が振動電極４の部分へ流れ込むという問題があっ
た。ちなみにそのようなことが起こると、流れ込んだ接
着剤12によって振動がダンピングされるため、所要の特
性が得られなくなる。
12の量が多かったり加圧が不適当だと、接着時に、接着
剤12が振動電極４の部分へ流れ込むという問題があっ
た。ちなみにそのようなことが起こると、流れ込んだ接
着剤12によって振動がダンピングされるため、所要の特
性が得られなくなる。
このような問題は、基板２、８のサイズが大きくなっ
たり、それらからの圧電共振子の取り個数が多くなるほ
ど顕著になる。
たり、それらからの圧電共振子の取り個数が多くなるほ
ど顕著になる。
そこでこの発明は、圧電基板に保護基板を接着する際
に接着剤が圧電基板上の振動電極部へ流れ込むのを防止
することができる製造方法を提供することを主たる目的
とする。
に接着剤が圧電基板上の振動電極部へ流れ込むのを防止
することができる製造方法を提供することを主たる目的
とする。
上記目的を達成するために、この発明は、前述したよ
うな各保護基板が空洞部形成用の複数の凹部を有する場
合、各保護基板の圧電基板側の面に、その各凹部間を区
切る溝であって保護基板の端面につながるものをそれぞ
れ設けておくことを特徴としている。
うな各保護基板が空洞部形成用の複数の凹部を有する場
合、各保護基板の圧電基板側の面に、その各凹部間を区
切る溝であって保護基板の端面につながるものをそれぞ
れ設けておくことを特徴としている。
また、前述したような接着剤が空洞部形成用の複数の
空白部を有する場合、この接着剤を空白部を一つずつ含
む領域に区分しておくことを特徴としている。
空白部を有する場合、この接着剤を空白部を一つずつ含
む領域に区分しておくことを特徴としている。
上記のように各凹部間を区切る溝を設けておくと、そ
の溝に余分な接着剤が溜まるので、圧電基板に保護基板
を接着する際に接着剤が圧電基板上の振動電極部へ流れ
込むのが防止される。
の溝に余分な接着剤が溜まるので、圧電基板に保護基板
を接着する際に接着剤が圧電基板上の振動電極部へ流れ
込むのが防止される。
また、上記のように接着剤を区分しておくと、各領域
の接着剤が外に広がる余地ができるので、圧電基板に保
護基板を接着する際に接着剤が圧電基板上の振動電極部
へ流れ込むのが防止される。
の接着剤が外に広がる余地ができるので、圧電基板に保
護基板を接着する際に接着剤が圧電基板上の振動電極部
へ流れ込むのが防止される。
前述した従来例と同一または相当する部分には同一符
号を付し、以下においては当該従来例との相違点を主に
説明する。なお、圧電共振子としての構造は、第５図お
よび第６図をも参照するものとする。
号を付し、以下においては当該従来例との相違点を主に
説明する。なお、圧電共振子としての構造は、第５図お
よび第６図をも参照するものとする。
まず、前述したような各保護基板８が空洞部形成用の
複数の凹部10を有する場合につき説明する。
複数の凹部10を有する場合につき説明する。
第１図の実施例は、各保護基板８の圧電基板２側の面
に、その各凹部10間を区切る溝26であって保護基板８の
端面につながるものをそれぞれ設けておくものである。
に、その各凹部10間を区切る溝26であって保護基板８の
端面につながるものをそれぞれ設けておくものである。
このようにすると、第５図等も参照して、圧電基板２
に保護基板８を接着する際、溝26に余分な接着剤12が溜
まるので、接着剤12が圧電基板２上の振動電極４の部分
へ流れ込むのが防止される。しかも、接着剤12中の空気
をこの溝26を通して外部へ排出することもできる。
に保護基板８を接着する際、溝26に余分な接着剤12が溜
まるので、接着剤12が圧電基板２上の振動電極４の部分
へ流れ込むのが防止される。しかも、接着剤12中の空気
をこの溝26を通して外部へ排出することもできる。
次に、各保護基板８に凹部10を設けておく代わりに
（即ち各保護基板８を平坦なものとしておき）、空洞部
形成用の複数の空白部14を有するパターンの接着剤12を
用いる場合につき説明する。
（即ち各保護基板８を平坦なものとしておき）、空洞部
形成用の複数の空白部14を有するパターンの接着剤12を
用いる場合につき説明する。
第２図の実施例は、接着剤12を、空白部14を一つずつ
含む領域毎に区分しておくものである。より具体的に
は、接着剤シートのパターンまたは接着剤印刷パターン
を同図のようにしておく。
含む領域毎に区分しておくものである。より具体的に
は、接着剤シートのパターンまたは接着剤印刷パターン
を同図のようにしておく。
このようにすると、各領域の接着剤12が外に広がる余
地ができるので、圧電基板２に保護基板８を接着する際
に接着剤12が圧電基板２上の振動電極４の部分へ流れ込
むのが防止される。また、接着剤12中の空気も速やかに
排出される。
地ができるので、圧電基板２に保護基板８を接着する際
に接着剤12が圧電基板２上の振動電極４の部分へ流れ込
むのが防止される。また、接着剤12中の空気も速やかに
排出される。
なお、上記各領域の接着剤12は、必ずしも第２図のよ
うに完全に独立した状態に区分しておく必要はなく、例
えば第３図に示すように相互に細くつながったような状
態で区分しておいても良い。
うに完全に独立した状態に区分しておく必要はなく、例
えば第３図に示すように相互に細くつながったような状
態で区分しておいても良い。
また、各領域の接着剤12に、例えば第４図に示すよう
に、内側の空白部14と外側とをつなぐ極めて細いストラ
イプ状の空白部28を設けておき、まず最初に空白部14の
空気を空白部28を通して押し出し、その後更に加圧して
空白部28を周囲の接着剤12で埋めてしまうようにしても
良い。
に、内側の空白部14と外側とをつなぐ極めて細いストラ
イプ状の空白部28を設けておき、まず最初に空白部14の
空気を空白部28を通して押し出し、その後更に加圧して
空白部28を周囲の接着剤12で埋めてしまうようにしても
良い。
この空白部28の具体的な形状、数、位置は任意であ
る。
る。
また、上記空白部28は、要はそこを通して空白部14の
空気を排出することができれば良いので、接着剤12を圧
電基板２等に印刷した後に周囲の接着剤で浅くつながっ
ても特に支障はない。むしろそのようになった方が、後
の加圧でこの空白部28を埋めやすくなるともいえる。
空気を排出することができれば良いので、接着剤12を圧
電基板２等に印刷した後に周囲の接着剤で浅くつながっ
ても特に支障はない。むしろそのようになった方が、後
の加圧でこの空白部28を埋めやすくなるともいえる。
請求項１記載の発明によれば次のような効果を奏す
る。
る。
圧電基板に保護基板を接着する際に、保護基板の各
凹部間を区切る溝に余分な接着剤が溜まるので、接着剤
が圧電基板上の振動電極部へ流れ込むのを防止すること
ができ、従って特性の良好な圧電共振子を製造すること
ができる。
凹部間を区切る溝に余分な接着剤が溜まるので、接着剤
が圧電基板上の振動電極部へ流れ込むのを防止すること
ができ、従って特性の良好な圧電共振子を製造すること
ができる。
上記溝は保護基板の端面につながっていてそれを通
して接着時に接着剤中の空気を外部に速やかに排出する
ことができるので、接着剤中に気泡部が残存してそれが
吸湿して接着剤部が剥がれ易くなるのを防止することが
でき、従って製品の信頼性がより向上する。
して接着時に接着剤中の空気を外部に速やかに排出する
ことができるので、接着剤中に気泡部が残存してそれが
吸湿して接着剤部が剥がれ易くなるのを防止することが
でき、従って製品の信頼性がより向上する。
接着剤の量および加圧の管理や、保護基板の精度が
多少粗くても、上記振動電極部への接着剤の流れ込み防
止作用を十分に奏することが可能であり、従って量産性
も高い。
多少粗くても、上記振動電極部への接着剤の流れ込み防
止作用を十分に奏することが可能であり、従って量産性
も高い。
請求項２記載の発明によれば次のような効果を奏す
る。
る。
区分された各領域の接着剤毎に、それが外に広がる
余地がそれぞれできるので、圧電基板に保護基板を接着
する際に、接着剤が圧電基板上の振動電極部へ流れ込む
のを防止することができ、従って特性の良好な圧電共振
子を製造することができる。
余地がそれぞれできるので、圧電基板に保護基板を接着
する際に、接着剤が圧電基板上の振動電極部へ流れ込む
のを防止することができ、従って特性の良好な圧電共振
子を製造することができる。
区分された接着剤領域間を通して接着時に接着剤中
の空気を外部に速やかに排出することができるので、接
着剤中に気泡部が残存してそれが吸湿して接着部が剥が
れ易くなるのを防止することができ、従って製品の信頼
性がより向上する。
の空気を外部に速やかに排出することができるので、接
着剤中に気泡部が残存してそれが吸湿して接着部が剥が
れ易くなるのを防止することができ、従って製品の信頼
性がより向上する。
接着剤の量および加圧の管理や、保護基板の精度が
多少粗くても、上記振動電極部への接着剤の流れ込み防
止作用等を充分に奏することが可能であり、従って量産
性も高い。
多少粗くても、上記振動電極部への接着剤の流れ込み防
止作用等を充分に奏することが可能であり、従って量産
性も高い。
接着剤を区分するだけで良いので、各圧電共振子の
平面的なスペースを全く増大させずに済み、従って各圧
電共振子の小型化を図ることができる。
平面的なスペースを全く増大させずに済み、従って各圧
電共振子の小型化を図ることができる。
第１図は、この発明に係る製造方法に用いる保護基板の
一例を示す平面図である。第２図ないし第４図は、それ
ぞれ、この発明に係る製造方法に用いる接着剤のパター
ンの一例を示す平面図である。第５図は、従来の製造方
法による場合の一つの圧電共振子周りの拡大断面図であ
る。第６図は、振動電極を有する圧電基板の一例を部分
的に示す平面図である。第７図は、従来の製造方法に用
いる保護基板の一例を示す平面図である。第８図は、従
来の製造方法に用いる接着剤のパターンの一例を示す平
面図である。 ２……圧電基板、４……振動電極、８……保護基板、10
……凹部、12……接着剤、14……空白部、26……溝。
一例を示す平面図である。第２図ないし第４図は、それ
ぞれ、この発明に係る製造方法に用いる接着剤のパター
ンの一例を示す平面図である。第５図は、従来の製造方
法による場合の一つの圧電共振子周りの拡大断面図であ
る。第６図は、振動電極を有する圧電基板の一例を部分
的に示す平面図である。第７図は、従来の製造方法に用
いる保護基板の一例を示す平面図である。第８図は、従
来の製造方法に用いる接着剤のパターンの一例を示す平
面図である。 ２……圧電基板、４……振動電極、８……保護基板、10
……凹部、12……接着剤、14……空白部、26……溝。
Claims (2)
- 【請求項１】表裏両面に相対向する複数組の振動電極を
有する圧電基板の表裏両面に、各振動電極の周りにその
振動空間確保用の空洞部を形成するための複数の凹部を
圧電基板側の面にそれぞれ有する保護基板をそれぞれ配
置し、かつこの圧電基板と各保護基板との間に接着剤を
それぞれ配置した状態で、全体を厚さ方向に加圧して当
該接着剤を用いて圧電基板と各保護基板とをそれぞれ貼
り合わせる工程と、その後この貼り合わせたものを各圧
電共振子毎に切り分けて複数の圧電共振子を得る工程と
を備える圧電共振子の製造方法において、前記各保護基
板の圧電基板側の面に、その各凹部間を区切る溝であっ
て保護基板の端面につながるものをそれぞれ設けておく
ことを特徴とする圧電共振子の製造方法。 - 【請求項２】表裏両面に相対向する複数組の振動電極を
有する圧電基板の表裏両面に保護基板を配置し、かつこ
の圧電基板と各保護基板との間に、各振動電極の周りに
その振動空間確保用の空洞部を形成するための複数の空
白部を有するパターンの接着剤を配置した状態で、全体
を厚さ方向に加圧して当該接着剤を用いて圧電基板と各
保護基板とをそれぞれ貼り合わせる工程と、その後この
貼り合わせたものを各圧電共振子毎に切り分けて複数の
圧電共振子を得る工程とを備える圧電共振子の製造方法
において、前記接着剤を、前記空白部を一つずつ含む領
域毎に区分しておくことを特徴とする圧電共振子の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1207408A JP2712602B2 (ja) | 1989-08-10 | 1989-08-10 | 圧電共振子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1207408A JP2712602B2 (ja) | 1989-08-10 | 1989-08-10 | 圧電共振子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0370306A JPH0370306A (ja) | 1991-03-26 |
| JP2712602B2 true JP2712602B2 (ja) | 1998-02-16 |
Family
ID=16539246
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1207408A Expired - Lifetime JP2712602B2 (ja) | 1989-08-10 | 1989-08-10 | 圧電共振子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2712602B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2562661Y2 (ja) * | 1992-10-13 | 1998-02-16 | 株式会社村田製作所 | 圧電素子の実装構造 |
| JP3519094B2 (ja) * | 1993-01-11 | 2004-04-12 | 花王株式会社 | 吸収体の製造方法及びその製造装置 |
| JP4673670B2 (ja) * | 2005-05-31 | 2011-04-20 | 京セラキンセキ株式会社 | 圧電デバイスの製造方法 |
| US8853915B2 (en) * | 2008-09-18 | 2014-10-07 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Bonding on silicon substrate having a groove |
| JP5595196B2 (ja) * | 2010-09-16 | 2014-09-24 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス |
Family Cites Families (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5433714A (en) * | 1977-08-19 | 1979-03-12 | Mitsubishi Electric Corp | Automatic playing envelope generating system |
| JPS5693412A (en) * | 1979-12-26 | 1981-07-29 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Superthin quartz oscillator |
| JPS5731852U (ja) * | 1980-07-29 | 1982-02-19 | ||
| JPS5731752U (ja) * | 1980-07-31 | 1982-02-19 | ||
| JPS57113525U (ja) * | 1980-12-30 | 1982-07-14 | ||
| JPS57118419A (en) * | 1981-01-14 | 1982-07-23 | Fujitsu Ltd | Flat pack type oscillating circuit parts |
| JPS5857808A (ja) * | 1981-10-02 | 1983-04-06 | Fuji Elelctrochem Co Ltd | 拡がりモ−ド発振子の製造方法 |
| JPS6051015A (ja) * | 1983-08-30 | 1985-03-22 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振部品 |
| JPS6047319U (ja) * | 1983-09-09 | 1985-04-03 | キンセキ株式会社 | 圧電振動子の容器 |
| JPS61113353U (ja) * | 1984-12-24 | 1986-07-17 | ||
| JPS61182312A (ja) * | 1985-02-07 | 1986-08-15 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子 |
| JPS61138275U (ja) * | 1985-02-15 | 1986-08-27 | ||
| JPS61142359U (ja) * | 1985-02-25 | 1986-09-03 | ||
| JPS62108607A (ja) * | 1985-11-06 | 1987-05-19 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電部品 |
| JPS62129830U (ja) * | 1986-02-07 | 1987-08-17 | ||
| JPS6374312A (ja) * | 1986-09-18 | 1988-04-04 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品の製造方法 |
| JPS6364046U (ja) * | 1986-10-13 | 1988-04-27 | ||
| JPS63152209A (ja) * | 1986-12-17 | 1988-06-24 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 梯子型電気濾波器の直列共振子 |
| JP2666295B2 (ja) * | 1987-08-31 | 1997-10-22 | 住友金属工業株式会社 | 圧電共振子とコンデンサとの複合部品 |
| JPH0174623U (ja) * | 1987-11-09 | 1989-05-19 | ||
| JPH01151803A (ja) * | 1987-12-09 | 1989-06-14 | Dx Antenna Co Ltd | 円一直線偏波変換器 |
-
1989
- 1989-08-10 JP JP1207408A patent/JP2712602B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0370306A (ja) | 1991-03-26 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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