JP2689657B2 - スタンパー - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、光ディスク成形原盤であるスタンパーに関
するものである。

［発明の概要］ 本発明のスタンパーは、データが記録されているトラ
ックの最内周部分からさらに内側にある部分、あるいは
最外周部分からさらに外側にある切落し部分に、ピット
形成領域（信号面）と同様にピットを形成し、スタンパ
ーが完成した後にこの切落し部分を切り落し、その切落
し部分に形成されているピットを観察することによっ
て、スタンパーの記録面におけるピット形状の良否を判
定することができるようにしたものである。

［従来の技術］ まず、光ディスクの製造工程の一例について第５図に
よって簡単に説明する。

最初に第５図（ａ）に示すように研磨されたガラス原
盤Ｇ上にホトレジストPRが塗布され、これがカッティン
グマシンにかけられ、データで変調された記録レーザ光
Ｌによって、同図（ｂ）に示すように感光部分P_Lが形成
される。感光部分P_Lは現像処理によって凹型のピットと
され、同図（ｃ）のような成形原盤G_Mとされる。

次に成形原盤G_M上に、ニッケル等による金属層Ｋが形
成され、この金属層Ｋが成形原盤G_Mかｄ剥離されてスタ
ンパーS_Tとされる（同図（ｄ）〜（ｅ））。

形成されたスタンパーS_Tは、最内周部及び最外周部が
切落された後（センターホール及び外形の処理）プレス
機に取り付けられ、同図（ｆ）に示すように、樹脂製の
ディスクＤに押圧することによって凸凹状のピットが成
形され、ディスクＤが製造される。そして、このディス
クＤのピット面に光を反射のための金属膜Ｒを形成し、
さらに透明な樹脂による保護層Ｈを設け、センターホー
ルや外形の処理等がなされて光ディスクＤが完成する
（同図（ｇ））。

ところで、このような製造上工程では品質管理のため
各種の検査、判定、測定等が行なわれている。

特にスタンパーS_Tについては、各種の原因によりピッ
トが不適正な形状となることが発生する場合があるた
め、スタンパーS_T上に形成されたピットの形状の検査が
重要になる。

ピット形状が不良となる例としては、第６図（ａ）に
示すように、ホトレジストPRを接着剤Ｂを介してガラス
原盤Ｇ上に塗布する際において、接着剤の処理のまずさ
により、現像処理中に現像液が接着剤の層に入り込み、
同図（ｂ）のように、成形原盤G_Mのピットには切欠部分
Ｚができてしまうことがあげられる。このような成形原
盤G_MによってスタンパーS_Tを作成すると、そのスタンパ
ーは同図（ｃ）のように、ピットに爪状部Ｙ（オーバハ
ング）が形成されてしまう。当然、このようなスタンパ
ーによってプレスされた光ディスクのピット形状も適正
な形状にならず、不良光ディスクを製造することになる
から、生産工程上大きな無駄となる。

このほかにも、生産現場の環境が悪化し、微小な埃が
成形原盤G_M上に付着してしまった場合もスタンパーのピ
ットが不適正な形状となり、不良スタンパーの発生の原
因となる。

これらの事情から、スタンパーS_Tについては、作成さ
れたスタンパーの中から所定数がサンプルとして取り出
され、ピットが適正な形状で形成されているかどうかが
チェックされる。

この、スタンパーS_Tのピット形状の検査としては従来
より、走査顕微鏡による観察（以下、SEM観察という）
が行なわれている。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、通常の走査顕微鏡では、直径が30cm以
上となるスタンパをそのまま観察することはできない。
従ってSEM観察によってピット形状を検査する場合は、
製造されたスタンパーの中から、検査用に所定数とりだ
し、そのスタンパーを破壊してピットが形成されている
領域の一部分（観察可能な大きさにされたスタンパー
片）をサンプルとして取り出さなければならないため、
一度ピット形状を観察したスタンパーは再使用できな
い。

このため、製造工程内のスタンパーのピット形状の検
査は、すべてのスタンパーについて検査することは不可
能であるとともに、検査のためのサンプル数も数量的に
限定されてしまい、適正な検査を行なうことができない
という問題点があった。

［問題点を解決するための手段］ 本発明はこのような問題点にかんがみてなされたもの
で、スタンパーの切落し部分にも、通常の信号領域と同
様なピットを形成しておくようにしたものである。

［作用］ 切落し部分にもピットを形成しておくことにより、セ
ンターホール或は外形処理によって切落し部分を切落し
た後、その切落し部分をサンプルとしてSEM観察を行な
うことができる。

［実施例］ 第１図は本発明の一実施例を示したものであり、１は
スタンパー、２は切り落とされてセンターホールとなる
内周切落し部、３は外形処理によって切り落とされる外
周切落し部である。

SRで示す領域は通常の信号記録領域（リードインエリ
アからリードアウトエリアまで）、Ｐは記録データを示
す凸凹状のピットである。

同図にも示すように、本発明の実施例のスタンパー１
は、信号記録領域SRだけでなく内周切落し部２にも検査
用のピットP_Sが形成されている。

このため、センターホール及び外形処理によって、第
２図に示すように内周及び外周の切落し部２、３を切り
落とした後、ピットP_Sが形成された内周切落し部２をサ
ンプルとしてSEM観察によるピット形状検査を行なうこ
とができ、プレス処理に供するためのスタンパー本体部
分を、検査のために破壊する必要はなくなる。

なお、このようなスタンパー１は、前記第５図（ｂ）
の工程において、レーザ光Ｌの照射を開始するエリア
を、従来より内周側に移動させ、第３図に示すような、
信号記録領域SRより内部の切落し部２に相当する位置2_G
にピットP_Sが形成された成形原盤G_Mを作成すればよく、
容易に実現できる。

また、他の実施例として、外周切落し部３にSEM観察
用の検査用ピットP_Sを形成するようにしてもよい。この
場合、第４図に示すように、外周切落し部の一部をサン
プル片3_Sとして取り出してこのサンプル片3_Sに形成され
ているピットP_Sの観察を行なえばよい。

なお、内周或は外周の切落し部２、３に形成されるピ
ットP_Sは、１トラック分程度が記録されるだけであって
もよい。また、検査用ピットP_Sを形成する際の記録レー
ザＬを変調するための信号としては、何らかのデータ信
号である必要はなく、例えば搬送波信号そのものを利用
してもよい。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明のスタンパーは、内周或
は外周の切落し部分にピットが形成されているため、セ
ンターホール処理或は外形処理によって切落し部分を切
り落とした後、その切落し部分によってSEM観察による
ピット形状の検査を行なうことができ、プレス処理に供
するための本体部はピット形状検査のために破壊する必
要はなくなるという効果がある。また、このため、必要
であれば全てのスタンパーについてSEM観察を行なうこ
ともでき、品質管理上非常に好適である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す平面図、第２図は切落
し部を切り落としたときの平面図、第３図は第１図の実
施例を作成するための成形原盤の断面図、第４図は他の
実施例の説明図、第５図（ａ）〜（ｇ）は光ディスクの
製造工程の説明図、第６図（ａ）〜（ｃ）はスタンパー
に不良ピットが形成される場合の一例を示す説明図であ
る。 １はスタンパー、２は内周切落し部、３は外周切落し
部、P,P_Sはピットを示す。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】凹凸状のデータが記録されているスタンパ
   ーの内周側、又は外周側の切り落とし部分に検査用のピ
   ットが形成されていることを特徴とするスタンパー。