JPH0757305A

JPH0757305A - 光記録媒体の原盤及びその製造方法並びに検査装置

Info

Publication number: JPH0757305A
Application number: JP20342993A
Authority: JP
Inventors: Yasuhide Fujiwara; 康秀藤原
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1993-08-17
Filing date: 1993-08-17
Publication date: 1995-03-03

Abstract

(57)【要約】【目的】光ディスク原盤での信号検査を可能にし、不良
原盤によるスタンパ作成及びプレスで発生する無駄な浪
費を削減できる光記録媒体の原盤及びその製造方法並び
に検査装置を提供する。【構成】光記録媒体の光ディスク原盤１１を厚みが１．
２ｍｍ±０．１ｍｍの透明体で構成する。透明体の屈折
率を１．５５±０．１とする。透明体の裏面に剥離性の
保護膜２を形成する。保護膜３が可視光に対して透明性
を有する。透明体より外径が大きく中心に穴を有するド
ーナツ状の裏打ち板１６で透明体の裏面を補強する。原
盤１１の裏面より収光ビームを照射する。表面を下向き
に保持して原盤を回転させ原盤の裏面に収光ビームを上
から照射する。収光ビームを基板の裏面より照射し基板
表面にフォーカス制御しその反射光量の変動により現像
終点を決定する。基板表面に現われたトラックによりト
ラッキング制御して、その反射光量の変動により現像終
点を決定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、光ディスク等の光記
録媒体の原盤及びその製造方法並びに検査装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】先ず、図７を参照して光ディスク原盤に
ついて説明する。図７において、（ａ）に示すような厚
さ（ｔ）＝５〜１０ｍｍのガラス原盤１は、研磨・洗浄
（ｂ）され、表面にフォトレジスト３を塗布（ｃ）され
る。これをレーザカッティングマシーンにより、案内溝
・プリフォーマット信号を露光して現像することによ
り、フォトレジスト膜の表面に凹凸が形成される
（ｄ）。これに電鋳のための導電性膜であるメンブレン
膜４をスパッタリング等で付与する（ｅ）ことにより、
光ディスク原盤が作成される。この光ディスク原盤にＮ
ｉ電鋳し（ｆ）、このＮｉ層をガラス原盤１から剥離す
ることにより、ガラス原盤１の表面の凹凸が複製された
スタンパ５が作成される（ｇ）。このスタンパ５を成形
型としてポリカーボネイト等をプレスする（ｈ）ことに
より、スタンパ５の表面の凹凸が複製された光ディスク
基板６が作成される（ｉ）。そして、この光ディスク基
板６に記録材・反射膜７等が付与される（ｊ）ことによ
り、ＣＤ，Ｍｏディスク等の光記録媒体が作られ、最終
工程において、この光記録媒体の信号検査（ＧＯ／ＮＧ
判定）が行われる（ｋ）。

【０００３】ところで、このような光記録媒体の作成工
程では、一般に、メンブレン膜４の付与後の光ディスク
原盤の欠陥検査及びスタンパ５の欠陥検査が工程内検査
として実施される。この光ディスク原盤及びスタンパ５
の従来の欠陥検査方法について、特開昭５７−１６１６
４０号公報記載の技術を基に説明する。図８に、欠陥検
査装置の概略的な構成を示す。この欠陥検査装置では、
先ず、被検査サンプル１１をターンテーブル１２に載
せ、ターンテーブルモータ１３によりターンテーブル１
２を回転させながら、光学ヘッド１４から光を照射す
る。この状態で光学ヘッド１４を半径方向に所定の速度
で送ると、その光は被検査サンプル１１上にスパイラル
状に照射される。このとき、被検査サンプル１１上に欠
陥があると、その反射光量が散乱や干渉等により変動す
るので、これを欠陥信号としてＣＰＵで検出する。同時
に、そのときの半径位置信号及び角度信号をＣＰＵで検
出することにより、被検査サンプル１１の欠陥サイズと
欠陥位置を検出できる。

【０００４】ここで、光記録媒体の案内溝・プリフォー
マットピットの信号は、光ディスク基板６の表面に形成
された凹凸により決定される。また、光ディスク基板６
の凹凸は、フォトレジスト膜の表面に形成された凹凸に
より決定される。従って、光記録媒体の案内溝・プリフ
ォーマットピットの信号は、原理的には光ディスク原盤
により検査できる。

【０００５】この光ディスク原盤及びスタンパ５から得
られる信号と、光記録媒体から得られる信号の違いを図
４によって説明する。図４は、プリフォーマットピット
及び案内溝を矩形とした場合の深さと信号の関係をシュ
ミレーションした結果である。図４において、ＩＤ振幅
は、プリフォーマットピット信号で、ピットによる振幅
／ミラーレベルである。ここで、ランドレベルは、案内
溝による反射光量の減少比率を示す。また、トラッキン
グ信号（Ｔｒ信号）は、案内溝及びピットでのトラッキ
ングのし易さを示す。

【０００６】図４の曲線ａはスタンパ及び光ディスク原
盤から得られる信号で、曲線ｂは光記録媒体から得られ
る信号である。図４から明らかなように、これらのスタ
ンパ及び光ディスク原盤から得られる信号と光記録媒体
から得られる信号とは一致しない。これは、これらの信
号が案内溝及びピットの位相深さによって決定されるた
め、屈折率１の空気層で反射されるスタンパ及び光ディ
スク原盤の場合と、屈折率が約１．５の基板中で反射さ
れる光記録媒体の場合とでは、それぞれの位相深さが異
なってしまうことによる。このため、従来の欠陥検査で
は、信号検査を最終の光記録媒体で行っていた。従っ
て、従来の光記録媒体の製造方法では、数枚の光記録媒
体を作成して検査し、そのスタンパが良品であると判断
されてから、大量の光記録媒体の製造を行っていた。

【０００７】一方、従来の光ディスクの現像装置として
は、一般に、特開平３−１７６８３８号公報に記載され
ているような、スピン現像法による現像装置が使用され
ている。この現像方法は、図１０に示すように、基板１
０１をスピンチャック１０２に真空吸着し、スピンドル
モータ１１１で基板１０１を回転しながらノズル１０４
から供給される現像液１０５を基板１０１上に滴下する
ことにより現像を行う。この時、露光時の光量のバラツ
キ等を吸収するために、一般的に、回析光による現像終
点の決定が行われる。この現像終点を決定する従来の方
法では、図９に示すように、Ｈｅ−Ｎｅレーザ１０６を
全反射ミラー１０７を介して基板１０１の裏面に照射
し、その基板１０１を透過した回析光の光量を光量検出
部１０８により検出して、その検出信号をアンプ１０９
で増幅した後、そのパターン幅（溝形状）を演算ユニッ
ト１１０で算出し、必要とするパターン幅が形成された
時点で現像処理を終了している。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記従来の
光記録媒体の原盤及びその製造方法並びに検査装置で
は、前述したように、最終的な光記録媒体の信号検査を
光記録媒体でしかできないため、露光・現像した時点で
既に不良であっても、スタンパを作成しプレスしなけれ
ば不良と判定できない。このため、従来の方法では、露
光・現像した時点で既に不良であった場合に、多大なコ
ストや時間が無駄になっていた。

【０００９】また、前述した信号（凹凸形状）検査と同
様に、光ディスク原盤及びスタンパで実施される欠陥検
査においても、微小な検査の場合には、図９に示したＩ
Ｄ振幅の場合と同様に、光記録媒体から得られる信号ａ
に比べて、スタンパから得られる信号ｂの振幅が小さく
なるので、深さ０．３λ以下、すなわち約０．２μｍ以
下の場合、スタンパ検査では問題のない欠陥であって
も、実際の光記録媒体では問題となる。従って、従来の
方法では、スタンパ及び光ディスク原盤での欠陥検査が
光記録媒体での欠陥検査とは完全に一致しないという問
題があった。また、従来の現像装置では、回析光による
検出を行っていたので、相対的な形状しか得られないば
かりでなく、ピットが存在した場合には測定できないと
いう問題点があった。

【００１０】この発明は、上述の点に鑑みてなされたも
のであって、その目的は、光ディスク原盤での信号検査
を可能にし、従来発生していた不良原盤によるスタンパ
作成及びプレスで発生する無駄な浪費を削減できる光記
録媒体の原盤及びその製造方法並びに検査装置を提供す
ることにある（請求項１乃至請求項６）。また、本発明
の他の目的は、光ディスク原盤の裏面が汚れるのを防止
して、光ディスク原盤裏面からの信号検査の精度を向上
させることにある（請求項４乃至請求項７）。本発明の
更に他の目的は、光ディスク原盤裏面の汚れを防止する
と共に、現像時の光ディスク原盤裏面からの現像終点モ
ニターを可能にすることにある（請求項５）。本発明の
更に他の目的は、光ディスク原盤裏面の汚れを防止する
と共に、ガラス原盤の外径のバラツキを吸収して、露光
等での偏心の発生を防止し、信号検査の精度を向上させ
ることにある（請求項６）。本発明の更に他の目的は、
光ディスク原盤での光記録媒体と同等な信号検査を可能
にする信号検査装置を提供することにある（請求項７及
び請求項８）。本発明の更に他の目的は、装置の構造を
簡素化し、且つ、光ディスク原盤中心の信号検査を可能
にする信号検査装置を提供することにある（請求項
８）。本発明の更に他の目的は、光ディスク原盤での光
記録媒体と同等な欠陥検査を可能にする欠陥検査装置を
提供することにある（請求項９及び請求項１０）。本発
明の更に他の目的は、装置の構造を簡素化し、且つ、光
ディスク原盤中心の欠陥検査を可能にする欠陥検査装置
を提供することにある（請求項１０）。本発明の更に他
の目的は、高精度な現像終点の決定手段を有する現像装
置を提供することにある（請求項１１及び請求項１
２）。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この発明は、上述の課題
を解決するために、光記録媒体の原盤において、原盤の
厚みが１．２ｍｍ±０．１ｍｍの透明体である構成とす
る。

【００１２】また、この発明は、上述の課題を解決する
ために、上記透明体の屈折率が１．５５±０．１である
構成とする。

【００１３】また、この発明は、上述の課題を解決する
ために、上記透明体の表面にフォトレジスト膜を形成す
る工程と、上記フォトレジスト膜を露光し現像してフォ
トレジスト表面に凹凸を形成する工程と、スパッタ法等
で上記フォトレジスト膜表面を導体化する工程と、上記
透明体の裏面より収光ビームを照射しその反射光を検出
して上記原盤の検査を行なう工程とからなる構成とす
る。

【００１４】また、この発明は、上述の課題を解決する
ために、上記透明体の裏面に剥離性の樹脂膜を形成する
工程と、上記透明体の表面にフォトレジスト膜を形成す
る工程と、上記フォトレジスト膜の表面を露光し現像し
てフォトレジスト表面に凹凸を形成する工程と、スパッ
タ法等で上記フォトレジスト膜表面を導体化する工程
と、上記透明体裏面の樹脂膜を剥離する工程と、上記透
明体の裏面より収光ビームを照射しその反射光を検出し
て上記原盤の検査を行なう工程とからなる構成とする。

【００１５】また、この発明は、上述の課題を解決する
ために、上記樹脂膜が可視光に対して透明性を有する構
成とする。

【００１６】また、この発明は、上述の課題を解決する
ために、上記透明体より外径が大きく中心に穴を有する
ドーナツ状の裏打ち板で上記透明体の裏面を補強する工
程と、上記透明体の表面にフォトレジスト膜を形成する
工程と、上記フォトレジスト膜の表面を露光し現像して
フォトレジスト表面に凹凸を形成する工程と、スパッタ
法等で上記フォトレジスト膜表面を導体化する工程と、
上記透明体裏面の樹脂膜を剥離する工程と、上記透明体
の裏面より収光ビームを照射しその反射光を検出して上
記原盤の検査を行なう工程とからなる構成とする。

【００１７】また、この発明は、上述の課題を解決する
ために、収光ビームを照射する光学系と、被検査サンプ
ルからの反射光を検出する検出系と、被検査サンプルを
回転させるサンプル回転手段と、被検査サンプルからの
反射光により被検査サンプルの表面に刻まれたピット・
グルーブに沿って上記光学系が移動するように制御する
トラッキング手段と、検出された反射光により原盤の凹
凸形状を判断する判定手段とからなる原盤のプリフォー
マット信号検査装置において、上記原盤の裏面より上記
収光ビームを照射する構成とする。

【００１８】また、この発明は、上述の課題を解決する
ために、上記信号検査装置において、表面を下向きに保
持して上記原盤を回転させ、この原盤の裏面に上記収光
ビームを上から照射する構成とする。

【００１９】また、この発明は、上述の課題を解決する
ために、収光ビームを照射する光学系と、被検査サンプ
ルからの反射光を検出する検出系と、被検査サンプルを
回転させるサンプル回転手段と、被検査サンプルからの
反射光により被検査サンプルの表面に刻まれたピット・
グルーブに沿って上記光学系が移動するように制御する
トラッキング手段と、検出された反射光と基準値とを比
較して欠陥信号を発生させる欠陥信号発生手段と、上記
欠陥信号より欠陥の大きさを検出する検出手段と、上記
欠陥信号の位置及び大きさを記憶する記憶手段とからな
る原盤の欠陥検査装置において、上記原盤の裏面より上
記収光ビームを照射する構成とする。

【００２０】また、この発明は、上述の課題を解決する
ために、光記録媒体の原盤の欠陥検査装置において、表
面を下向きに保持して上記原盤を回転させ、この原盤の
裏面に上記収光ビームを上から照射する構成とする。

【００２１】また、この発明は、上述の課題を解決する
ために、収光ビームを基板の裏面より照射し、基板表面
にフォーカス制御し、その反射光量の変動により現像終
点を決定する光記録媒体の原盤の現像方法及び現像装置
を具備する構成とする。

【００２２】また、この発明は、上述の課題を解決する
ために、収光ビームを基板の裏面より照射し、基板表面
にフォーカス制御し、基板表面に現われたトラックによ
りトラッキング制御して、その反射光量の変動により現
像終点を決定する光記録媒体の原盤の現像方法及び現像
装置を具備する構成とする。

【００２３】

【作用】この発明によれば、光ディスク原盤が、光記録
媒体測定用の光学ヘッドで光記録媒体と同じように信号
の測定等を行える厚さとなる（請求項１）。

【００２４】また、この発明によれば、光ディスク原盤
の透明体の屈折率が、光記録媒体と同等な信号が得られ
る屈折率となる（請求項２）。

【００２５】また、この発明によれば、光ディスク原盤
での検査が実現される（請求項３）。

【００２６】また、この発明によれば、光ディスク原盤
の裏面に形成される樹脂膜により、光ディスク原盤裏面
が汚染から保護される（請求項４）。

【００２７】また、この発明によれば、光ディスク原盤
の裏面に形成される樹脂膜により、光ディスク原盤裏面
が汚染から保護されるとともに、照射光が上記樹脂膜を
透過する（請求項５）。

【００２８】また、この発明によれば、光ディスク原盤
の外径精度が向上される（請求項６）。

【００２９】また、この発明によれば、光ディスク原盤
の裏面から光が照射される（請求項７，９）。

【００３０】また、この発明によれば、光ディスク原盤
が下向きに保持される（請求項８，１０）。

【００３１】また、この発明によれば、光記録媒体検査
と同様な信号で現像終点が決定される（請求項１１）。

【００３２】また、この発明によれば、トラッキングに
より光記録媒体検査と同様な全ての信号で現像終点が決
定される（請求項１２）。

【００３３】

【実施例】以下、この発明の実施例を図によって詳細に
説明する。先ず、本発明による光記録媒体の光ディスク
原盤の作成方法を図１によって説明する。図１におい
て、ガラス原盤１は、原盤裏面からの信号検査及び欠陥
検査を可能にするために、その厚みを１．２ｍｍ±０．
１ｍｍ，屈折率を１．５５±０．１として、光記録媒体
と光学的に同じにする（ａ）。このガラス原盤１は、研
磨・洗浄（ｂ）を終えた後、従来の方法と同様にして、
フォトレジスト膜３の塗布（ｄ）、露光・現像処理
（ｅ）されて光ディスク原盤が作成される。

【００３４】このようにして作成された光ディスク原盤
は、その厚み及び屈折率が光記録媒体と光学的に同じで
あるので、その裏面より光を照射すると、プレス後の光
ディスク基板と同様な信号が得られる。また、メンブレ
ン付与（ｆ）後のこの光ディスク原盤は、図７（ｊ）に
示した従来の記録材付与後の光ディスク基板と同様な信
号が得られる。これにより、従来では光記録媒体に仕上
げなければ検査できなかった信号検査が、本実施例では
光ディスク原盤の状態で可能となった。

【００３５】図１に示す本発明における原盤の作成方法
の第１の実施例では、ガラス原盤１の研磨・洗浄（ｂ）
を終えた後、その裏面に剥離可能な保護膜２が塗布され
（ｃ）、この後、従来の方法と同様にして、フォトレジ
スト膜３の塗布（ｄ）、露光・現像処理（ｅ）、及び、
メンブレン膜４が付与（ｆ）されて光ディスク原盤が作
成される。従って、この光ディスク原盤は、その裏面が
保護膜２で保護されているので、この光ディスク原盤の
信号検査及び欠陥検査を行う際に、その保護膜２を剥離
して検査を行うことにより、その裏面の汚れが防止され
検査の信頼性が向上される。ここで、保護膜２は、剥離
可能なものであれば何でも良いが、この保護膜２とし
て、例えばポリウレタン系の透明樹脂膜で形成すること
により、現像時に裏面から光を照射して行う現像終点決
定も問題なく行える。また、ポリウレタン系の樹脂はＩ
ＰＡに溶解するので、ポリウレタン系の樹脂膜で保護膜
２を形成した場合には、その剥離後に原盤裏面に溶剤等
が残ることもなく、図１（ｈ）に示す電鋳工程への悪影
響もない。

【００３６】本発明における原盤の作成方法の第２の実
施例を図２に示す。この原盤作成方法では、中心に穴
（検査窓１７）が穿たれたドーナツ上の金属からなる原
盤裏打ち板１６で、研磨・洗浄後のガラス原盤１裏面を
裏打ちして補強する。これにより、フォトレジスト塗
布、露光・現像等の工程において、光ディスク原盤がタ
ーンテーブル等と接して汚れるのが防止され、光ディス
ク原盤の検査がより確実に行える。また、本実施例で
は、図２に示すように、原盤裏打ち板１６を光ディスク
原盤１１の外径よりも大きくして固定ねじ１８で固定し
ているので、ガラス原盤１の外径のバラツキを吸収し
て、常に同一の外径の光ディスク原盤１１を作成するこ
とができ、その露光時の偏心の発生を防止して、原盤検
査時におけるトラッキングの安定性を向上させることが
できる。本実施例における原盤の作成工程は、上記の原
盤裏打ち板１６の取付工程及び原盤裏面への保護膜の塗
布工程以外は前述の第１の実施例と同様である。

【００３７】次に、本発明の光ディスク原盤の検査方法
及び検査装置を図３によって説明する。図３において、
被検査サンプル（光ディスク原盤）１１は、偏心を除去
された状態で、ターンテーブル１２上に真空チャックで
固定される。光学ヘッド１４は、リニアモータ１５によ
り被検査サンプル１１の半径方向に移動可能な状態で、
被検査サンプル１１の下方に上向きに配置される。この
光学ヘッド１４には、光記録媒体評価用のものと全く同
一のものが使用される。検査時は、ターンテーブル１２
を回転させ、被検査サンプル１１の裏面から照射光１０
を照射し、フォーカス制御及びトラッキング制御を行い
ながら、スパイラル状に検査する。これにより、最終的
に作成された光記録媒体と略同様な信号が得られ、各種
の信号検査及び欠陥検査が実施できる。

【００３８】次に、本発明の第２の原盤検査装置を図４
にっよって説明する。図４において、光ディスク原盤１
１は、その記録面（フォトレジスト面）を下に向けてタ
ーンテーブル１２上に固定される。光学ヘッド１４は、
光ディスク原盤１１に対して下向きに配置され、光ディ
スク原盤１１の裏面から光を照射する。以下、図３に示
した原盤検査装置と同様に構成して動作させることによ
り、光記録媒体と略同様な信号が得られ、各種の信号検
査及び欠陥検査が実施できる。この第２の原盤検査装置
では、図４に示すように、光ディスク原盤１１の表面側
の外周縁部に、Ｃ０．４〜Ｃ０．８の面取りを施したガ
ラス原盤１を使用し、このガラス原盤１の面取り部１ａ
及び外周面をターンテーブル１２に固定することによっ
て、光ディスク原盤１１とターンテーブル１２との接触
による光ディスク原盤１１の汚れを防止することができ
る。

【００３９】図５は、図２に示した裏打ち原盤を上記の
第２の原盤検査装置と同様にして検査する裏打ち原盤検
査装置を示す。図５において、裏打ち板１６で裏打ちさ
れた光ディスク原盤１１は、ターンテーブル１２上に下
向きに固定され、下向きに配置された光学ヘッド１４に
より、その上方（裏面側）から、裏打ち板１６の検査窓
１７を通して光を照射される。以下、図３に示した原盤
検査装置と同様に構成して動作させることにより、光記
録媒体と略同様な信号が得られ、各種の信号検査及び欠
陥検査が実施できる。

【００４０】次に、本発明の装置の現像装置を図６によ
って説明する。図６において、露光後のガラス原盤１
は、ターンテーブル１１２に固定され、ターンテーブル
モータ１１３により、１００〜５００ｒｐｍの速度で回
転される。この回転するガラス原盤１にノズル１０４を
通して現像液１０５を滴下して現像を行う。光学ヘッド
１１４は、ガラス原盤１の裏面側に配置され、ガラス原
盤１の下側から照射光１１０を照射し、ガラス原盤１の
表面の凹凸にフォーカス制御される。これにより現像が
進行して、原盤の表面に案内溝及びプリフォーマットピ
ット等が形成されてくると、ピット及びグルーブによる
信号が検出される。そこで、このピット及びグルーブに
よる信号が光記録媒体相当になった時点で現像を終了す
ることにより、現像の終点を正確に検出できる。ここ
で、信号の検出は、トラッキングを行わないで、その最
大振幅をピーク検出等で検出するようにしても良いし
（ＩＤ振幅に相当する）、案内溝が少し現われたところ
からトラッキング制御して検出しても良い。この後者の
検出方法によれば、ＩＤ振幅以外のトラッキング信号及
びその他の全ての信号による現像終点の決定が可能にな
る。

【００４１】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、光記録媒
体測定用の光学ヘッドで、光記録媒体と同じように光デ
ィスク原盤の信号の測定等を行えるので、光ディスク原
盤での信号検査が可能となる。

【００４２】請求項２記載の発明によれば、光記録媒体
と同等な信号が得られ、光ディスク原盤での信号検査が
可能となる。

【００４３】請求項３記載の発明によれば、光記録媒体
を作成することなく光ディスク原盤の良否を正確に判定
でき、製作コストを削減できる。

【００４４】請求項４記載の発明によれば、裏面に設け
た保護膜により原盤裏面が清浄に保たれるので、原盤の
検査時における検査精度が向上される。

【００４５】請求項５記載の発明によれば、請求項４記
載の発明の効果に加えて、原盤裏面の透過性が確保され
るので、現像モニター及び回析光検査を実施できる。

【００４６】請求項６記載の発明によれば、請求項４記
載の発明の効果に加えて、原盤の外径精度を向上させる
ことができるので、露光時等での偏心の発生を防止で
き、原盤の検査精度が更に向上される。

【００４７】請求項７記載の発明によれば、原盤の裏面
より光を照射して信号を検出するので、光記録媒体と同
じ信号を検出できる。

【００４８】請求項８記載の発明によれば、請求項７記
載の発明の効果に加えて、原盤を下向きに保持したの
で、径の小さい光記録媒体の全面検査ができるととも
に、検査中の欠陥の付着も防止できる。

【００４９】請求項９記載の発明によれば、原盤の裏面
より光を照射して信号を検出するので、光記録媒体と同
等な欠陥信号を検出できる。

【００５０】請求項１０記載の発明によれば、請求項９
記載の発明の効果に加えて、原盤を下向きに保持したの
で、径の小さい光記録媒体の全面検査ができるととも
に、検査中の欠陥の付着も防止できる。

【００５１】請求項１１記載の発明によれば、光記録媒
体検査と同様な信号で現像終点を決定できるので、現像
終点の精度が向上される。

【００５２】請求項１２記載の発明によれば、全ての信
号を現像終点に使用でき、且つその検出精度も向上され
るので、現像終点の精度が更に向上される。

【００５３】請求項１１及び請求項１２記載の発明によ
れば、ピットだけからなる高記録媒体、及び、ピットを
含む記録媒体の終点決定が可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の光記録媒体の製造方法の第１の実施
例を示す概略工程図である。

【図２】この発明の光記録媒体の製造方法の第２の実施
例のを示す要部の概略工程図である。

【図３】この発明の光記録媒体の第１の検査方法及び検
査装置の概略構成図である。

【図４】この発明の光記録媒体の第２の検査方法及び検
査装置の概略構成図である。

【図５】この発明の光記録媒体の他の検査装置の概略構
成図である。

【図６】この発明による光記録媒体の製造装置における
現像装置の概略構成図である。

【図７】この発明が実施される光記録媒体の製造方法の
概略工程図である。

【図８】この発明が実施される光記録媒体の欠陥検査装
置の概略構成図である。

【図９】光ディスク原盤及びスタンパから得られる信号
と光記録媒体から得られる信号との違いを示す線図であ
る。

【図１０】従来の光記録媒体の製造装置における現像装
置の概略構成図である。

【符号の説明】

１ガラス原盤２保護膜３フォトレジスト４メンブレン膜５スタンパ６光ディスク基板７記録材（反射膜）１０照射光１１被検査サンプル（光ディスク原盤）１２ターンテーブル１３ターンテーブルモータ１４光学ヘッド１５リニアモータ１６原盤裏打ち板１７検査窓１８固定ねじ１０３カップ１０４ノズル１０５現像液１１０照射光１１２ターンテーブル１１３ターンテーブルモータ１１４光学ヘッド

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光記録媒体の原盤において、原盤の厚みが
１．２ｍｍ±０．１ｍｍの透明体であることを特徴とす
る光記録媒体の原盤。
【請求項２】請求項１記載の光記録媒体の原盤におい
て、上記透明体の屈折率が１．５５±０．１であること
を特徴とする光記録媒体の原盤。
【請求項３】請求項１及び請求項２記載の光記録媒体の
原盤において、上記透明体の表面にフォトレジスト膜を
形成する工程と、上記フォトレジスト膜を露光し現像し
てフォトレジスト表面に凹凸を形成する工程と、スパッ
タ法等で上記フォトレジスト膜表面を導体化する工程
と、上記透明体の裏面より収光ビームを照射しその反射
光を検出して上記原盤の検査を行なう工程とからなるこ
とを特徴とする光記録媒体の原盤の製造方法。
【請求項４】請求項１及び請求項２記載の光記録媒体の
原盤において、上記透明体の裏面に剥離性の樹脂膜を形
成する工程と、上記透明体の表面にフォトレジスト膜を
形成する工程と、上記フォトレジスト膜の表面を露光し
現像してフォトレジスト表面に凹凸を形成する工程と、
スパッタ法等で上記フォトレジスト膜表面を導体化する
工程と、上記透明体裏面の樹脂膜を剥離する工程と、上
記透明体の裏面より収光ビームを照射しその反射光を検
出して上記原盤の検査を行なう工程とからなることを特
徴とする光記録媒体の原盤の製造方法。
【請求項５】請求項４記載の光記録媒体の原盤の製造方
法において、上記樹脂膜が可視光に対して透明性を有す
ることを特徴とする光記録媒体の原盤の製造方法。
【請求項６】請求項１及び請求項２記載の光記録媒体の
原盤において、上記透明体より外径が大きく中心に穴を
有するドーナツ状の裏打ち板で上記透明体の裏面を補強
する工程と、上記透明体の表面にフォトレジスト膜を形
成する工程と、上記フォトレジスト膜の表面を露光し現
像してフォトレジスト表面に凹凸を形成する工程と、ス
パッタ法等で上記フォトレジスト膜表面を導体化する工
程と、上記透明体裏面の樹脂膜を剥離する工程と、上記
透明体の裏面より収光ビームを照射しその反射光を検出
して上記原盤の検査を行なう工程とからなることを特徴
とする光記録媒体の原盤の製造方法。
【請求項７】収光ビームを照射する光学系と、被検査サ
ンプルからの反射光を検出する検出系と、被検査サンプ
ルを回転させるサンプル回転手段と、被検査サンプルか
らの反射光により被検査サンプルの表面に刻まれたピッ
ト・グルーブに沿って上記光学系が移動するように制御
するトラッキング手段と、検出された反射光により原盤
の凹凸形状を判断する判定手段とからなる原盤のプリフ
ォーマット信号検査装置において、上記原盤の裏面より
上記収光ビームを照射することを特徴とする光記録媒体
の原盤の信号検査装置。
【請求項８】請求項７記載の光記録媒体の原盤の信号検
査装置において、表面を下向きに保持して上記原盤を回
転させ、この原盤の裏面に上記収光ビームを上から照射
することを特徴とする光記録媒体の原盤の信号検査装
置。
【請求項９】収光ビームを照射する光学系と、被検査サ
ンプルからの反射光を検出する検出系と、被検査サンプ
ルを回転させるサンプル回転手段と、被検査サンプルか
らの反射光により被検査サンプルの表面に刻まれたピッ
ト・グルーブに沿って上記光学系が移動するように制御
するトラッキング手段と、検出された反射光と基準値と
を比較して欠陥信号を発生させる欠陥信号発生手段と、
上記欠陥信号より欠陥の大きさを検出する検出手段と、
上記欠陥信号の位置及び大きさを記憶する記憶手段とか
らなる原盤の欠陥検査装置において、上記原盤の裏面よ
り上記収光ビームを照射することを特徴とする光記録媒
体の原盤の欠陥検査装置。
【請求項１０】請求項９記載の光記録媒体の原盤の欠陥
検査装置において、表面を下向きに保持して上記原盤を
回転させ、この原盤の裏面に上記収光ビームを上から照
射することを特徴とする光記録媒体の原盤の欠陥検査装
置。
【請求項１１】収光ビームを基板の裏面より照射し、基
板表面にフォーカス制御し、その反射光量の変動により
現像終点を決定する光記録媒体の原盤の現像方法及び現
像装置を具備することを特徴とする光記録媒体の原盤の
製造方法。
【請求項１２】収光ビームを基板の裏面より照射し、基
板表面にフォーカス制御し、基板表面に現われたトラッ
クによりトラッキング制御して、その反射光量の変動に
より現像終点を決定する光記録媒体の原盤の現像方法及
び現像装置を具備することを特徴とする光記録媒体の原
盤の製造方法。