JP2663865B2 - レーザ装置 - Google Patents
レーザ装置Info
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- JP2663865B2 JP2663865B2 JP6134911A JP13491194A JP2663865B2 JP 2663865 B2 JP2663865 B2 JP 2663865B2 JP 6134911 A JP6134911 A JP 6134911A JP 13491194 A JP13491194 A JP 13491194A JP 2663865 B2 JP2663865 B2 JP 2663865B2
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- Japan
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- laser
- shutter means
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- reflected
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光出力を測定し
ながらシャッタの開閉により被加工物を断続的に加工す
るレーザ装置に関する。
ながらシャッタの開閉により被加工物を断続的に加工す
るレーザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、シャッタの開閉操作によってレー
ザ光出力を間欠的に遮断し被加工物を加工するこの種の
レーザ装置としては図２に示す如く構成されたものが知
られている。これを概略説明すると、１はレーザ発振器
で、このレーザ発振器１から出射したレーザ光Ｌは、ビ
ームスプリッター等の部分反射ミラー２によって反射ビ
ームＬR と透過ビームＬT とに分割される。反射ビーム
ＬR は光センサ３によって受光されて電気信号に変換さ
れ、この電気信号が出力表示回路４に出力表示されると
共に、レーザ光出力の安定化を図るためレーザ発振器１
の出力値制御に用いられる。一方、透過ビームＬT は、
シャッタ手段５および光学系６を経て被加工物７を間欠
的に照射加工する。つまり、透過ビームＬT は、シャッ
タ手段５により光学系６への入射を制御されるもので、
シャッタ手段５が開いている時のみ光学系６に入射し、
被加工物７を加工する。
ザ光出力を間欠的に遮断し被加工物を加工するこの種の
レーザ装置としては図２に示す如く構成されたものが知
られている。これを概略説明すると、１はレーザ発振器
で、このレーザ発振器１から出射したレーザ光Ｌは、ビ
ームスプリッター等の部分反射ミラー２によって反射ビ
ームＬR と透過ビームＬT とに分割される。反射ビーム
ＬR は光センサ３によって受光されて電気信号に変換さ
れ、この電気信号が出力表示回路４に出力表示されると
共に、レーザ光出力の安定化を図るためレーザ発振器１
の出力値制御に用いられる。一方、透過ビームＬT は、
シャッタ手段５および光学系６を経て被加工物７を間欠
的に照射加工する。つまり、透過ビームＬT は、シャッ
タ手段５により光学系６への入射を制御されるもので、
シャッタ手段５が開いている時のみ光学系６に入射し、
被加工物７を加工する。
【０００３】この他、例えば特開昭５８−２０４５８５
号公報に開示されたレーザ装置が知られている。このレ
ーザ装置は、上記の部分反射ミラー２を省略し、シャッ
タに当たって反射した反射ビームを出力センサによって
検出し、この出力値でレーザ管を制御するフィードバッ
ク手段を設けたものである。このようなレーザ装置にお
いては、シャッタ手段が反射器としての機能を有してい
るので、ビームスプリッタを省略することができる。
号公報に開示されたレーザ装置が知られている。このレ
ーザ装置は、上記の部分反射ミラー２を省略し、シャッ
タに当たって反射した反射ビームを出力センサによって
検出し、この出力値でレーザ管を制御するフィードバッ
ク手段を設けたものである。このようなレーザ装置にお
いては、シャッタ手段が反射器としての機能を有してい
るので、ビームスプリッタを省略することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記したように図２に
示した従来のレーザ装置においては、レーザ光出力の一
部を光センサ３で検出し、その出力値を出力表示回路４
で表示すると共に、レーザ発振器にフィードバックする
ことによりレーザ光出力の安定化を図っている。しかし
ながら、実際に加工を行なった場合、光学系６や被加工
物７に当たった透過ビームＬT の一部は、反射して同一
経路を戻るため、シャッタ手段５が閉じている場合と、
シャッタ手段が開いている場合とでは、光センサ３に入
射するレーザ光の値が異なる。すなわち、シャッタ手段
５が開いている場合、光学系６および被加工物７に当た
って反射し戻ってくる戻り光は、レーザ発振器１に戻
り、再度レーザ発振器１の反射ミラー９で反射し、光セ
ンサ３に入射するため、閉じている場合に部分反射ミラ
ー２で反射し光センサ３に入射するレーザ光の光量とが
異なる。その結果、正確な出力制御ができず、安定した
出力を得ることができないという問題があった。また、
特開昭５８−２０４５８５号公報に開示されたレーザ装
置は、シャッタ手段５が閉じている非加工時しかレーザ
光の光量を検出することができず、加工時の光量をモニ
タすることができないという問題があった。
示した従来のレーザ装置においては、レーザ光出力の一
部を光センサ３で検出し、その出力値を出力表示回路４
で表示すると共に、レーザ発振器にフィードバックする
ことによりレーザ光出力の安定化を図っている。しかし
ながら、実際に加工を行なった場合、光学系６や被加工
物７に当たった透過ビームＬT の一部は、反射して同一
経路を戻るため、シャッタ手段５が閉じている場合と、
シャッタ手段が開いている場合とでは、光センサ３に入
射するレーザ光の値が異なる。すなわち、シャッタ手段
５が開いている場合、光学系６および被加工物７に当た
って反射し戻ってくる戻り光は、レーザ発振器１に戻
り、再度レーザ発振器１の反射ミラー９で反射し、光セ
ンサ３に入射するため、閉じている場合に部分反射ミラ
ー２で反射し光センサ３に入射するレーザ光の光量とが
異なる。その結果、正確な出力制御ができず、安定した
出力を得ることができないという問題があった。また、
特開昭５８−２０４５８５号公報に開示されたレーザ装
置は、シャッタ手段５が閉じている非加工時しかレーザ
光の光量を検出することができず、加工時の光量をモニ
タすることができないという問題があった。
【０００５】したがって、本発明は上記したような従来
の問題点に鑑みてされたもので、その目的とするところ
は、光センサに入射するレーザ光の光量をシャッタの開
閉状態に関係なく略一定にすることができるようにした
レーザ装置を提供することにある。
の問題点に鑑みてされたもので、その目的とするところ
は、光センサに入射するレーザ光の光量をシャッタの開
閉状態に関係なく略一定にすることができるようにした
レーザ装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明は、レーザ光源から出射したレーザ光の一部を
反射するミラーと、前記ミラーにより反射された反射ビ
ームの光量を検出する光センサと、前記ミラーを透過し
た透過ビームを間欠的に遮断するシャッタ手段を有し、
シャッタ手段が開いている時、前記透過ビームを光学系
を経て被加工物に入射させ加工を行うレーザ装置におい
て、前記シャッタ手段に光学系と被加工物による反射率
と同等の反射率を有しレーザー光を垂直反射する光学部
品を備えたことを特徴とする。
に本発明は、レーザ光源から出射したレーザ光の一部を
反射するミラーと、前記ミラーにより反射された反射ビ
ームの光量を検出する光センサと、前記ミラーを透過し
た透過ビームを間欠的に遮断するシャッタ手段を有し、
シャッタ手段が開いている時、前記透過ビームを光学系
を経て被加工物に入射させ加工を行うレーザ装置におい
て、前記シャッタ手段に光学系と被加工物による反射率
と同等の反射率を有しレーザー光を垂直反射する光学部
品を備えたことを特徴とする。
【０００７】
【作用】本発明において、光学部品は、シャッタ手段が
閉じている時、ミラーを透過した透過ビームの一部を反
射し、光センサに入射させる。この光学部品の反射率を
光学系と被加工物による反射率と略等しくしておくと、
光学部品による反射光と、シャッタ手段が開いている
時、光学系と被加工物により反射し光センサに入射する
反射光の光量とを略同一にすることができる。
閉じている時、ミラーを透過した透過ビームの一部を反
射し、光センサに入射させる。この光学部品の反射率を
光学系と被加工物による反射率と略等しくしておくと、
光学部品による反射光と、シャッタ手段が開いている
時、光学系と被加工物により反射し光センサに入射する
反射光の光量とを略同一にすることができる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて
詳細に説明する。図１は本発明に係るレーザ装置の一実
施例を示す概略構成図である。なお、図中図２と同一構
成部品のものに対しては同一符号をもって示し、その説
明を省略する。同図において、本実施例はシャッタ５の
レーザ発振器１側面に部分反射ミラー２を透過した透過
ビームＬT の一部を略垂直に、つまり光軸方向に反射す
る光学部品としての反射ミラー１０を配設したものであ
る。その他の構成は図２に示した従来装置と同様であ
る。
詳細に説明する。図１は本発明に係るレーザ装置の一実
施例を示す概略構成図である。なお、図中図２と同一構
成部品のものに対しては同一符号をもって示し、その説
明を省略する。同図において、本実施例はシャッタ５の
レーザ発振器１側面に部分反射ミラー２を透過した透過
ビームＬT の一部を略垂直に、つまり光軸方向に反射す
る光学部品としての反射ミラー１０を配設したものであ
る。その他の構成は図２に示した従来装置と同様であ
る。
【０００９】このような構成において、レーザ発振器１
から出射したレーザ光Ｌは、部分反射ミラー２によって
１％程度反射されて反射ビームＬR となり、残り９９％
が透過ビームＬT となる。反射ビームＬR は光センサ３
によって受光されて電気信号に変換され、出力表示回路
４によってレーザ光の相対出力値を表示する。また、レ
ーザ発振器１の出力制御のためフィードバックされる。
透過ビームＬT は、シャッタ手段５が開いている時、光
学系６に入射し、被加工物７を照射加工する。この時、
透過ビームＬT の１０％程度が光学系６および被加工物
７に当たって反射することにより戻り光となり、元きた
経路を通ってレーザ発振器１に戻る。そして、この戻り
光はレーザ発振器１の反射ミラー９に当たって反射され
た後、部分反射ミラー２により反射されて光センサ３に
入射し、外乱を与える。そこで、この外乱の量を予め測
定し、同じ反射率（１０％）の反射ミラー１０をシャッ
タ手段５に配設しておくと、シャッタ手段５が閉じた状
態の時でも、レーザ加工を行っている時と同じ光量のレ
ーザ光を反射ミラー１０によって光センサ３に入射させ
ることができる。したがって、光センサ３の出力値は、
シャッタ手段５の開閉状態に拘らず常に同じ値となり、
レーザ出力を高精度に制御することができる。
から出射したレーザ光Ｌは、部分反射ミラー２によって
１％程度反射されて反射ビームＬR となり、残り９９％
が透過ビームＬT となる。反射ビームＬR は光センサ３
によって受光されて電気信号に変換され、出力表示回路
４によってレーザ光の相対出力値を表示する。また、レ
ーザ発振器１の出力制御のためフィードバックされる。
透過ビームＬT は、シャッタ手段５が開いている時、光
学系６に入射し、被加工物７を照射加工する。この時、
透過ビームＬT の１０％程度が光学系６および被加工物
７に当たって反射することにより戻り光となり、元きた
経路を通ってレーザ発振器１に戻る。そして、この戻り
光はレーザ発振器１の反射ミラー９に当たって反射され
た後、部分反射ミラー２により反射されて光センサ３に
入射し、外乱を与える。そこで、この外乱の量を予め測
定し、同じ反射率（１０％）の反射ミラー１０をシャッ
タ手段５に配設しておくと、シャッタ手段５が閉じた状
態の時でも、レーザ加工を行っている時と同じ光量のレ
ーザ光を反射ミラー１０によって光センサ３に入射させ
ることができる。したがって、光センサ３の出力値は、
シャッタ手段５の開閉状態に拘らず常に同じ値となり、
レーザ出力を高精度に制御することができる。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、レーザ光
源から出射したレーザ光の一部を反射するミラーと、前
記ミラーにより反射された反射ビームの光量を検出する
光センサと、前記ミラーを透過した透過ビームを間欠的
に遮断するシャッタ手段を有し、シャッタ手段が開いて
いる時、前記透過ビームを光学系を経て被加工物に入射
させ加工を行うレーザ装置において、前記シャッタ手段
に、光学系と被加工物による反射率と同等の反射率を有
しレーザー光を垂直反射する光学部品を設けたので、シ
ャッタ手段の開閉状態に拘らず、光センサに入射するレ
ーザ光の量を略同じ値とすることができる。したがっ
て、レーザ出力を安定に制御することができ、加工品質
を向上させ、生産性に寄与するという効果を有する。ま
た、光学部品として、反射率が光学系と被加工物におけ
る反射率と略同じ反射率の反射ミラーを配設するだけで
よいので、構造が簡単で、従来製品に対しても簡単に改
造することができる。
源から出射したレーザ光の一部を反射するミラーと、前
記ミラーにより反射された反射ビームの光量を検出する
光センサと、前記ミラーを透過した透過ビームを間欠的
に遮断するシャッタ手段を有し、シャッタ手段が開いて
いる時、前記透過ビームを光学系を経て被加工物に入射
させ加工を行うレーザ装置において、前記シャッタ手段
に、光学系と被加工物による反射率と同等の反射率を有
しレーザー光を垂直反射する光学部品を設けたので、シ
ャッタ手段の開閉状態に拘らず、光センサに入射するレ
ーザ光の量を略同じ値とすることができる。したがっ
て、レーザ出力を安定に制御することができ、加工品質
を向上させ、生産性に寄与するという効果を有する。ま
た、光学部品として、反射率が光学系と被加工物におけ
る反射率と略同じ反射率の反射ミラーを配設するだけで
よいので、構造が簡単で、従来製品に対しても簡単に改
造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係るレーザ装置の一実施例を示す概
略構成図である。
略構成図である。
【図２】 レーザ装置の従来例を示す概略構成図であ
る。
る。
１…レーザ発振器、２…部分反射ミラー、３…光セン
サ、４…出力表示装置、５…シャッタ手段、６…光学
系、７…被加工物、１０…反射ミラー。
サ、４…出力表示装置、５…シャッタ手段、６…光学
系、７…被加工物、１０…反射ミラー。
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザ光源から出射したレーザ光の一部
を反射するミラーと、前記ミラーにより反射された反射
ビームの光量を検出する光センサと、前記ミラーを透過
した透過ビームを間欠的に遮断するシャッタ手段を有
し、シャッタ手段が開いている時、前記透過ビームを光
学系を経て被加工物に入射させ加工を行うレーザ装置に
おいて、 前記シャッタ手段に、光学系と被加工物による反射率と
同等の反射率を有しレーザー光を垂直反射する光学部品
を備えたことを特徴とするレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6134911A JP2663865B2 (ja) | 1994-05-26 | 1994-05-26 | レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6134911A JP2663865B2 (ja) | 1994-05-26 | 1994-05-26 | レーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07314165A JPH07314165A (ja) | 1995-12-05 |
| JP2663865B2 true JP2663865B2 (ja) | 1997-10-15 |
Family
ID=15139417
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6134911A Expired - Fee Related JP2663865B2 (ja) | 1994-05-26 | 1994-05-26 | レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2663865B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5464972B2 (ja) * | 2009-10-29 | 2014-04-09 | 住友重機械工業株式会社 | レーザ加工装置 |
| JP2013128966A (ja) * | 2011-12-22 | 2013-07-04 | Sumitomo Chemical Co Ltd | レーザー光照射装置、フィルム切断装置、レーザー光照射方法及びフィルム切断方法 |
-
1994
- 1994-05-26 JP JP6134911A patent/JP2663865B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07314165A (ja) | 1995-12-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |