JPH1038688A - 分光光度計 - Google Patents
分光光度計Info
- Publication number
- JPH1038688A JPH1038688A JP8194756A JP19475696A JPH1038688A JP H1038688 A JPH1038688 A JP H1038688A JP 8194756 A JP8194756 A JP 8194756A JP 19475696 A JP19475696 A JP 19475696A JP H1038688 A JPH1038688 A JP H1038688A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- sample
- measurement
- irradiation light
- sample irradiation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 作業性を向上させることができると共に、測
定時間を短縮でき、しかも、実際の使用状態に即した分
光特性を測定できる分光光度計を提供する。 【解決手段】 単色光化された測定光１６を試料２５に
照射した後、該測定光１６をフォトマル２１で受光して
分光特性を測定する分光光度計において、前記試料２５
に前記測定光１６とは異なる試料照射光２８を照射する
試料照射光光源２９を設け、該試料照射光２８を照射し
ながら前記分光特性を測定する際に、該測定結果に前記
試料照射光２８による信号が影響を与えないようにし
た。
定時間を短縮でき、しかも、実際の使用状態に即した分
光特性を測定できる分光光度計を提供する。 【解決手段】 単色光化された測定光１６を試料２５に
照射した後、該測定光１６をフォトマル２１で受光して
分光特性を測定する分光光度計において、前記試料２５
に前記測定光１６とは異なる試料照射光２８を照射する
試料照射光光源２９を設け、該試料照射光２８を照射し
ながら前記分光特性を測定する際に、該測定結果に前記
試料照射光２８による信号が影響を与えないようにし
た。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、試料に対して特
定の波長の光がどの程度透過するか、又は反射するかを
測定する分光光度計、特に、試料に測定光とは別の光線
を照射しながら測定できる分光光度計に関するものであ
る。
定の波長の光がどの程度透過するか、又は反射するかを
測定する分光光度計、特に、試料に測定光とは別の光線
を照射しながら測定できる分光光度計に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種のものとしては、光源から
出射された光を単色光化した後、この光を試料（光学部
品）に照射し、この試料から透過する光を受光部で受け
ることにより、その試料の分光特性を測定するようにし
ている。
出射された光を単色光化した後、この光を試料（光学部
品）に照射し、この試料から透過する光を受光部で受け
ることにより、その試料の分光特性を測定するようにし
ている。
【０００３】ところで、その試料（光学部品）には、表
面に反射防止膜等の光学薄膜が設けられたものがあり、
この光学薄膜に光学機器の使用により光線が長時間照射
されると、分光特性が変動してくることがある。特に、
光線が紫外線の時には、変動が大きいことがある。
面に反射防止膜等の光学薄膜が設けられたものがあり、
この光学薄膜に光学機器の使用により光線が長時間照射
されると、分光特性が変動してくることがある。特に、
光線が紫外線の時には、変動が大きいことがある。
【０００４】従って、この光学薄膜の耐久性の評価のた
めには、分光特性の変動を調査することが重要になって
くる。
めには、分光特性の変動を調査することが重要になって
くる。
【０００５】そこで、この調査の方法として、従来で
は、光学薄膜が設けられた試料に測定光とは異なる光線
（以下「試料照射光」という）を一定時間照射した後、
この試料を分光光度計にセットして測定するようにして
いた。
は、光学薄膜が設けられた試料に測定光とは異なる光線
（以下「試料照射光」という）を一定時間照射した後、
この試料を分光光度計にセットして測定するようにして
いた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のものにあっては、試料に光線を照射した後、
分光光度計にセットしなければならず、かかる作業が面
倒であると同時に、試料に光線を照射する工程と、分光
光度計で測定する工程とが全く別の工程で行われている
ため、各々にかかる時間を単純に加算したものが、一つ
の試料を測定する時間になり、長時間を要していた。
うな従来のものにあっては、試料に光線を照射した後、
分光光度計にセットしなければならず、かかる作業が面
倒であると同時に、試料に光線を照射する工程と、分光
光度計で測定する工程とが全く別の工程で行われている
ため、各々にかかる時間を単純に加算したものが、一つ
の試料を測定する時間になり、長時間を要していた。
【０００７】また、分光光度計で測定している時には、
光学薄膜に試料照射光が照射されていないため、この状
態で測定された分光特性は、実際の光学機器の使用時に
おける分光特性と異なる可能性がある。
光学薄膜に試料照射光が照射されていないため、この状
態で測定された分光特性は、実際の光学機器の使用時に
おける分光特性と異なる可能性がある。
【０００８】そこで、この発明は、作業性を向上させる
ことができると共に、測定時間を短縮でき、しかも、実
際の使用状態に即した分光特性を測定できる分光光度計
を提供することを課題としている。
ことができると共に、測定時間を短縮でき、しかも、実
際の使用状態に即した分光特性を測定できる分光光度計
を提供することを課題としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】かかる課題を達成するた
めに、請求項１に記載の発明は、単色光化された測定光
を試料に照射した後、該測定光を受光部で受光して分光
特性を測定する分光光度計において、前記試料に前記測
定光とは異なる試料照射光を照射する試料照射光光源を
設け、該試料照射光を照射しながら前記分光特性を測定
する際に、該測定結果に前記試料照射光による信号が影
響を与えないようにした分光光度計としたことを特徴と
している。
めに、請求項１に記載の発明は、単色光化された測定光
を試料に照射した後、該測定光を受光部で受光して分光
特性を測定する分光光度計において、前記試料に前記測
定光とは異なる試料照射光を照射する試料照射光光源を
設け、該試料照射光を照射しながら前記分光特性を測定
する際に、該測定結果に前記試料照射光による信号が影
響を与えないようにした分光光度計としたことを特徴と
している。
【００１０】請求項２に記載の発明は、請求項１の構成
に加え、前記測定光は間欠的に前記試料に照射すると共
に、前記試料照射光は前記測定光が前記試料を照射して
いないときに該試料を照射する一方、該試料照射光によ
る信号が検知されないようにする試料照射光除去手段を
設けることにより、該測定結果に前記試料照射光による
信号が影響を与えないようにしたことを特徴とする。
に加え、前記測定光は間欠的に前記試料に照射すると共
に、前記試料照射光は前記測定光が前記試料を照射して
いないときに該試料を照射する一方、該試料照射光によ
る信号が検知されないようにする試料照射光除去手段を
設けることにより、該測定結果に前記試料照射光による
信号が影響を与えないようにしたことを特徴とする。
【００１１】その試料照射光除去手段は、受光部に試料
照射光が入射された場合に、この試料照射光による前記
受光部からの信号を検出せず、測定光による信号のみを
検出するように構成したり、又、前記試料照射光の一部
を前記受光部の手前で遮光して受光部に入射されないよ
うに構成することができる。
照射光が入射された場合に、この試料照射光による前記
受光部からの信号を検出せず、測定光による信号のみを
検出するように構成したり、又、前記試料照射光の一部
を前記受光部の手前で遮光して受光部に入射されないよ
うに構成することができる。
【００１２】請求項３に記載の発明は、請求項１の構成
に加え、前記試料照射光を間欠的に照射する一方、前記
試料と前記受光部との間に、前記試料照射光の前記受光
部への入射を遮断し、前記測定光の前記受光部への入射
を許容するチョッパーを設けることにより、前記測定結
果に前記試料照射光による信号が影響を与えないように
したことを特徴とする。
に加え、前記試料照射光を間欠的に照射する一方、前記
試料と前記受光部との間に、前記試料照射光の前記受光
部への入射を遮断し、前記測定光の前記受光部への入射
を許容するチョッパーを設けることにより、前記測定結
果に前記試料照射光による信号が影響を与えないように
したことを特徴とする。
【００１３】請求項４に記載の発明は、請求項１の構成
に加え、前記試料照射光を間欠的に照射する一方、前記
試料照射光による影響を含んだ前記受光部からの試料照
射信号を検出せず、前記測定光による測定信号を検出す
る制御部を設けることにより、前記測定結果に前記試料
照射光による信号が影響を与えないようにしたことを特
徴とする。
に加え、前記試料照射光を間欠的に照射する一方、前記
試料照射光による影響を含んだ前記受光部からの試料照
射信号を検出せず、前記測定光による測定信号を検出す
る制御部を設けることにより、前記測定結果に前記試料
照射光による信号が影響を与えないようにしたことを特
徴とする。
【００１４】請求項５に記載した発明は、請求項１の構
成に加え、前記試料と前記受光部との間には、前記試料
を透過して前記受光部に進む前記試料照射光を遮光し、
前記測定光を通過させるスリットを設けることにより、
前記測定結果に前記試料照射光による信号が影響を与え
ないようにしたことを特徴とする。
成に加え、前記試料と前記受光部との間には、前記試料
を透過して前記受光部に進む前記試料照射光を遮光し、
前記測定光を通過させるスリットを設けることにより、
前記測定結果に前記試料照射光による信号が影響を与え
ないようにしたことを特徴とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】発明の実施の形態１〜５は試料の
透過率を測定する場合について示したものである。試料
の反射率を測定する場合は分光光度計の光路を変更する
必要があるが、この発明の分光光度計に含まれ、この発
明の分光光度計は発明の実施の形態１〜５に示されたも
のに限られない。
透過率を測定する場合について示したものである。試料
の反射率を測定する場合は分光光度計の光路を変更する
必要があるが、この発明の分光光度計に含まれ、この発
明の分光光度計は発明の実施の形態１〜５に示されたも
のに限られない。
【００１６】［発明の実施の形態１］以下、この発明の
実施の形態１について説明する。
実施の形態１について説明する。
【００１７】図１乃至図３には、この発明の実施の形態
１を示す。
１を示す。
【００１８】まず構成について説明すると、光源１から
出射された光２は、第１ミラー３、第２ミラー４、第３
ミラー５、スリット６、第４ミラー７を経て第１グレー
ティングミラー８に導かれ、再び第４ミラー７を経てス
リット６に入り単色光化される。同様に第５ミラー９、
第２グレーティングミラー１０、スリット６を経て２回
単色光化され、第６ミラー１１に至る。これら光学系
で、単色光化部１２が構成されている。
出射された光２は、第１ミラー３、第２ミラー４、第３
ミラー５、スリット６、第４ミラー７を経て第１グレー
ティングミラー８に導かれ、再び第４ミラー７を経てス
リット６に入り単色光化される。同様に第５ミラー９、
第２グレーティングミラー１０、スリット６を経て２回
単色光化され、第６ミラー１１に至る。これら光学系
で、単色光化部１２が構成されている。
【００１９】そして、第７ミラー１３を経て第１チョッ
パー１４により、測定光１６と参照光１７に分離され
る。この第１チョッパー１４は、図２に示すように、円
板の３カ所に切欠き部１４ａが形成されて回転自在に設
けられ、回転されることにより、切欠き部１４ａを介し
て通過した光線が参照光１７とされる一方、これら切欠
き部１４ａの間の反射部１４ｂにて反射された光線が測
定光１６となるように構成されている。
パー１４により、測定光１６と参照光１７に分離され
る。この第１チョッパー１４は、図２に示すように、円
板の３カ所に切欠き部１４ａが形成されて回転自在に設
けられ、回転されることにより、切欠き部１４ａを介し
て通過した光線が参照光１７とされる一方、これら切欠
き部１４ａの間の反射部１４ｂにて反射された光線が測
定光１６となるように構成されている。
【００２０】その参照光１７は、ミラー１８，１９を経
て、「受光部」としての積分球２０に入りフォトマル２
１にて検知される。また、測定光１６は、ミラー２２、
試料２５及び第２チョッパー２６を経て積分球２０に入
りフォトマル２１にて検知されるようになっている。
て、「受光部」としての積分球２０に入りフォトマル２
１にて検知される。また、測定光１６は、ミラー２２、
試料２５及び第２チョッパー２６を経て積分球２０に入
りフォトマル２１にて検知されるようになっている。
【００２１】その試料２５は、ガラス平板に「光学薄
膜」としての反射防止膜２５ａがコーティングされてい
る。
膜」としての反射防止膜２５ａがコーティングされてい
る。
【００２２】さらに、試料２５の反射防止膜２５ａ側か
ら試料照射光２８を照射する試料照射光光源２９が配設
され、この試料照射光２８は、光学機器の使用により照
射される光線と特性が同等となるように設定されてい
る。そして、試料２５を透過した試料照射光２８がミラ
ー３０で反射されてビームトラップ３１にて吸収される
ようになっている。この試料照射光光源２９からの試料
照射光２８の照射タイミングは、測定光３２が照射され
ていない時、換言すれば、参照光３３が照射されている
時となるように設定されている。このように間欠発光さ
せるにはパルスレーザーを使用すると比較的簡単にでき
る。
ら試料照射光２８を照射する試料照射光光源２９が配設
され、この試料照射光２８は、光学機器の使用により照
射される光線と特性が同等となるように設定されてい
る。そして、試料２５を透過した試料照射光２８がミラ
ー３０で反射されてビームトラップ３１にて吸収される
ようになっている。この試料照射光光源２９からの試料
照射光２８の照射タイミングは、測定光３２が照射され
ていない時、換言すれば、参照光３３が照射されている
時となるように設定されている。このように間欠発光さ
せるにはパルスレーザーを使用すると比較的簡単にでき
る。
【００２３】さらにまた、前述の測定光１６の光路中
で、試料２５と積分球２０との間に配設された第２チョ
ッパー２６は、図２に示すように、透過用の切欠き部２
６ａと遮光部２６ｂとを有し、回転されることにより、
遮光部２６ｂで間欠的な試料照射光２８を遮光し、切欠
き部２６ａで、測定光１６を通過させて積分球６に受光
させるように設定されている。
で、試料２５と積分球２０との間に配設された第２チョ
ッパー２６は、図２に示すように、透過用の切欠き部２
６ａと遮光部２６ｂとを有し、回転されることにより、
遮光部２６ｂで間欠的な試料照射光２８を遮光し、切欠
き部２６ａで、測定光１６を通過させて積分球６に受光
させるように設定されている。
【００２４】次に、作用について説明する。
【００２５】光源１から出射された光２は、単色光化部
１２にて単色光化された後、第７ミラー１３を経て第１
チョッパー１４によって、測定光１６と参照光１７とに
分離される。
１２にて単色光化された後、第７ミラー１３を経て第１
チョッパー１４によって、測定光１６と参照光１７とに
分離される。
【００２６】そして、参照光１７は、ミラー１８,１９
を経て積分球２０に入り、フォトマル２１に検知され
る。この検知信号は、図３中、断続的な第１パルス信号
Ａとなる。
を経て積分球２０に入り、フォトマル２１に検知され
る。この検知信号は、図３中、断続的な第１パルス信号
Ａとなる。
【００２７】また、測定光１６は、ミラー２２を経て、
試料２５を透過し、積分球２０に入り、フォトマル２１
に検知される。この検知信号は、図３中、第２パルス信
号Ｂとなる。
試料２５を透過し、積分球２０に入り、フォトマル２１
に検知される。この検知信号は、図３中、第２パルス信
号Ｂとなる。
【００２８】この両パルス信号Ａ，Ｂの差Ｈを測定する
ことにより、透過率を検出することができ、試料２５の
分光特性が測定されることとなる。
ことにより、透過率を検出することができ、試料２５の
分光特性が測定されることとなる。
【００２９】この際には、試料照射光２８により、測定
光１６が照射されていない時に試料２５が間欠照射され
る。そして、この試料照射光２８の試料２５への照射に
より発生が予想される反射光，散乱光，蛍光は、第２チ
ョッパー２６で遮光され、フォトマル２１への受光が防
止されるため、測定結果にその試料照射光２８による影
響が発生しないこととなる。ちなみに、受光された場合
には、第１パルス信号Ａに影響を与え、適正な分光特性
が測定されないこととなる。
光１６が照射されていない時に試料２５が間欠照射され
る。そして、この試料照射光２８の試料２５への照射に
より発生が予想される反射光，散乱光，蛍光は、第２チ
ョッパー２６で遮光され、フォトマル２１への受光が防
止されるため、測定結果にその試料照射光２８による影
響が発生しないこととなる。ちなみに、受光された場合
には、第１パルス信号Ａに影響を与え、適正な分光特性
が測定されないこととなる。
【００３０】このように試料照射光２８を試料２５に照
射しながら分光特性を測定しても、悪影響が生じること
が無く測定できるため、実際の光学機器の使用状態に即
した分光特性が測定されることとなる。
射しながら分光特性を測定しても、悪影響が生じること
が無く測定できるため、実際の光学機器の使用状態に即
した分光特性が測定されることとなる。
【００３１】また、従来のように試料照射光２８を照射
した後、分光光度計にセットする必要がないため、作業
性が向上する。しかも、時間的に見れば、試料照射光２
８は、間欠的な測定光１６が照射されていない時、つま
り、参照光１７が照射されている時に照射しているた
め、測定光１６が照射されていない時を有効に利用して
いることから、従来のように試料照射光２８を一定時間
照射した後、分光特性を測定するものと比較すると、全
体に掛かる測定時間を短縮できる。
した後、分光光度計にセットする必要がないため、作業
性が向上する。しかも、時間的に見れば、試料照射光２
８は、間欠的な測定光１６が照射されていない時、つま
り、参照光１７が照射されている時に照射しているた
め、測定光１６が照射されていない時を有効に利用して
いることから、従来のように試料照射光２８を一定時間
照射した後、分光特性を測定するものと比較すると、全
体に掛かる測定時間を短縮できる。
【００３２】［発明の実施の形態２］図４には、この発
明の実施の形態２を示す。
明の実施の形態２を示す。
【００３３】この実施の形態２の構成は、第１チョッパ
ー２４を除いて図１に示されている発明の実施の形態１
と同一である。
ー２４を除いて図１に示されている発明の実施の形態１
と同一である。
【００３４】この第１チョッパー２４は、実施の形態１
の第１チョッパー１４の代わりに配設され、図４の
（ａ）に示すように、円形の３カ所に切欠き部２４ａが
形成されて回転自在に設けられ、回転されることによ
り、切欠き部２４ａを介して通過した光線が参照光１７
とされ、切欠きのない表面で鏡面となった反射部２４ｂ
にて反射された光線が測定光１６となり、切欠きのない
表面で無反射加工された無反射部２４ｃに光線が当たっ
た際には通過も反射もせず、参照光１７と測定光１６の
どちらも発生しないように構成されている。
の第１チョッパー１４の代わりに配設され、図４の
（ａ）に示すように、円形の３カ所に切欠き部２４ａが
形成されて回転自在に設けられ、回転されることによ
り、切欠き部２４ａを介して通過した光線が参照光１７
とされ、切欠きのない表面で鏡面となった反射部２４ｂ
にて反射された光線が測定光１６となり、切欠きのない
表面で無反射加工された無反射部２４ｃに光線が当たっ
た際には通過も反射もせず、参照光１７と測定光１６の
どちらも発生しないように構成されている。
【００３５】すなわち、第１チョッパー２４は第２チョ
ッパー２６との関係で、図４の（ｂ）に示すように、フ
ォトマル２１に検知された参照光１７による断続的な第
１パルス信号Ａと、測定光１６による断続的な第２パル
ス信号Ｂとの間に間隙Ｃが形成されるようになってい
る。
ッパー２６との関係で、図４の（ｂ）に示すように、フ
ォトマル２１に検知された参照光１７による断続的な第
１パルス信号Ａと、測定光１６による断続的な第２パル
ス信号Ｂとの間に間隙Ｃが形成されるようになってい
る。
【００３６】そして、前記試料照射光２８はその間隙Ｃ
に対応して照射し、この試料照射光２８の試料２５への
照射により発生が予想される散乱光等を第２チョッパー
２６で遮光することにより、この試料照射光２８の散乱
光等の測定結果への影響を防止できる。
に対応して照射し、この試料照射光２８の試料２５への
照射により発生が予想される散乱光等を第２チョッパー
２６で遮光することにより、この試料照射光２８の散乱
光等の測定結果への影響を防止できる。
【００３７】他の作用は実施の形態１と同様である。
【００３８】［発明の実施の形態３］図５には、この発
明の実施の形態３を示す。
明の実施の形態３を示す。
【００３９】上記各実施の形態は、光２を測定光１６と
参照光１７とに分離するダブルビーム方式のものである
が、この実施の形態３は、シングルビーム方式である。
参照光１７とに分離するダブルビーム方式のものである
が、この実施の形態３は、シングルビーム方式である。
【００４０】すなわち、単色光化部１２の構成は実施の
形態１と同様であるが、その後は分割されずに、第７ミ
ラー１３で反射されて測定光１６が試料２５を透過して
フォトマル２１に入射するようになっている。
形態１と同様であるが、その後は分割されずに、第７ミ
ラー１３で反射されて測定光１６が試料２５を透過して
フォトマル２１に入射するようになっている。
【００４１】そして、その試料２５に試料照射光２８を
照射する試料照射光源２９、ミラー３０及びビームトラ
ップ３１が実施の形態１と同様に配設されている。この
試料照射光源２９は、試料照射光２８を間欠的に試料２
５に照射するようにしている。
照射する試料照射光源２９、ミラー３０及びビームトラ
ップ３１が実施の形態１と同様に配設されている。この
試料照射光源２９は、試料照射光２８を間欠的に試料２
５に照射するようにしている。
【００４２】また、試料２５とフォトマル２１との間に
は、第３チョッパー３７が配設され、このチョッパー３
７により、間欠的に照射される試料照射光２８による散
乱光等が遮光されるようになっている。試料照射光２８
が照射されているときは、測定光１６は第３チョッパー
３７により遮光される。
は、第３チョッパー３７が配設され、このチョッパー３
７により、間欠的に照射される試料照射光２８による散
乱光等が遮光されるようになっている。試料照射光２８
が照射されているときは、測定光１６は第３チョッパー
３７により遮光される。
【００４３】これによれば、測定光１６により、フォト
マル２１からの信号により、図５（ｂ）に示すような第
２パルス信号Ｂが得られ、この信号Ｂと、予め測定され
ている試料２５を透過していない光の信号とを比較して
分光特性が測定されることとなる。
マル２１からの信号により、図５（ｂ）に示すような第
２パルス信号Ｂが得られ、この信号Ｂと、予め測定され
ている試料２５を透過していない光の信号とを比較して
分光特性が測定されることとなる。
【００４４】他の作用は実施の形態１と同様である。
【００４５】［発明の実施の形態４］図６には、この発
明の実施の形態４を示す。
明の実施の形態４を示す。
【００４６】この実施の形態４は、上記実施の形態３と
比較すると、第３チョッパー３７が設けられていない点
で異なっている。従って、間欠的に照射された試料照射
光２８による散乱光等の影響により、フォトマル２１か
らの信号により、図６の（ｂ）に示すように、試料照射
光２８のタイミングに合わせて測定光１６の信号に試料
照射光２８の散乱光等分が付加された試料照射信号３８
が出力されてしまう。
比較すると、第３チョッパー３７が設けられていない点
で異なっている。従って、間欠的に照射された試料照射
光２８による散乱光等の影響により、フォトマル２１か
らの信号により、図６の（ｂ）に示すように、試料照射
光２８のタイミングに合わせて測定光１６の信号に試料
照射光２８の散乱光等分が付加された試料照射信号３８
が出力されてしまう。
【００４７】そこで、この実施の形態４では、試料照射
タイミングに合わせて、図６の（ｂ）中範囲Ｌの部位の
みの信号を読み取り、試料照射信号３８の信号を読み取
らないように、フォトマル２１からの信号が入力される
制御部が設定されている。
タイミングに合わせて、図６の（ｂ）中範囲Ｌの部位の
みの信号を読み取り、試料照射信号３８の信号を読み取
らないように、フォトマル２１からの信号が入力される
制御部が設定されている。
【００４８】このようにすれば、測定結果にその試料照
射信号３８が影響を与えることがない。
射信号３８が影響を与えることがない。
【００４９】他の作用は実施の形態１と同様である。
【００５０】［発明の実施の形態５］図７には、この発
明の実施の形態５を示す。
明の実施の形態５を示す。
【００５１】この実施の形態５は、上記各実施の形態が
試料照射光２８を間欠的に照射していたのに対し、連続
的に照射するようにしている。
試料照射光２８を間欠的に照射していたのに対し、連続
的に照射するようにしている。
【００５２】このため、この実施の形態５では、連続的
に照射しても悪影響がないように光学系の配置を以下の
ように設定している。
に照射しても悪影響がないように光学系の配置を以下の
ように設定している。
【００５３】すなわち、単色光化部１２は実施の形態１
と同様であるが、その後は分割されずに、測定光１６が
試料２５を透過してフォトマル２１に入射するシングル
ビーム方式である。そして、その試料２５に測定光１６
を照射する試料照射光光源２９、ミラー３０及びビーム
トラップ３１が実施の形態１と同様に配設されている。
と同様であるが、その後は分割されずに、測定光１６が
試料２５を透過してフォトマル２１に入射するシングル
ビーム方式である。そして、その試料２５に測定光１６
を照射する試料照射光光源２９、ミラー３０及びビーム
トラップ３１が実施の形態１と同様に配設されている。
【００５４】また、試料２５とフォトマル２１との間に
は、試料２５を透過してフォトマル２１に向けて進む試
料照射光２８の散乱光等を遮光し、測定光１６を通過さ
せるスリット４０が配設されている。
は、試料２５を透過してフォトマル２１に向けて進む試
料照射光２８の散乱光等を遮光し、測定光１６を通過さ
せるスリット４０が配設されている。
【００５５】従って、このスリット４０を設けることに
より、試料２５に試料照射光２８を照射したときに予想
される試料２５からの反射光、散乱光、蛍光等により、
フォトマル２１での検知結果に誤差が発生することを防
止できる。
より、試料２５に試料照射光２８を照射したときに予想
される試料２５からの反射光、散乱光、蛍光等により、
フォトマル２１での検知結果に誤差が発生することを防
止できる。
【００５６】このようにすれば、試料照射光２８を連続
して試料２５に照射できるため、より使用状態に近い状
態で、測定ができる。また、間欠的に試料照射光２８を
照射する場合には、試料照射光光源２９を制御する必要
があるが、連続的にすれば、制御する必要がなく装置自
体の構造を簡単にできる。
して試料２５に照射できるため、より使用状態に近い状
態で、測定ができる。また、間欠的に試料照射光２８を
照射する場合には、試料照射光光源２９を制御する必要
があるが、連続的にすれば、制御する必要がなく装置自
体の構造を簡単にできる。
【００５７】なお、この発明は、上記各実施の形態に限
らず、試料照射光を連続的に照射する場合にこの光が測
定に影響を与えないようにする他の方法としては、試料
と測定光受光部との間に分光機構を設けて、測定光と異
なる波長の光が受光部に入射しないようにすることもで
きる。
らず、試料照射光を連続的に照射する場合にこの光が測
定に影響を与えないようにする他の方法としては、試料
と測定光受光部との間に分光機構を設けて、測定光と異
なる波長の光が受光部に入射しないようにすることもで
きる。
【００５８】
【発明の効果】請求項１乃至５に記載の発明によれば、
試料照射光を試料に照射しながら分光特性を測定して
も、悪影響が生じることが無く測定できるため、実際の
光学機器の使用状態に即した分光特性を測定できる。
試料照射光を試料に照射しながら分光特性を測定して
も、悪影響が生じることが無く測定できるため、実際の
光学機器の使用状態に即した分光特性を測定できる。
【００５９】また、従来のように試料照射光を照射した
後、分光光度計にセットする必要がないため、作業性が
向上する。しかも、時間的に見れば、従来のように試料
照射光を一定時間照射した後、分光特性を測定するもの
と比較すると、全体に掛かる測定時間を短縮できる、と
いう実用上有益な効果を発揮する。
後、分光光度計にセットする必要がないため、作業性が
向上する。しかも、時間的に見れば、従来のように試料
照射光を一定時間照射した後、分光特性を測定するもの
と比較すると、全体に掛かる測定時間を短縮できる、と
いう実用上有益な効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１に係る分光光度計の光
路図である。
路図である。
【図２】同実施の形態１に係る分光光度計のチョッパー
の正面図である。
の正面図である。
【図３】同実施の形態１に係る受光信号を示す図であ
る。
る。
【図４】この発明の実施の形態２に係る分光光度計を示
し、（ａ）は同分光光度計のチョッパーの正面図、
（ｂ）は受光信号を示す図である。
し、（ａ）は同分光光度計のチョッパーの正面図、
（ｂ）は受光信号を示す図である。
【図５】この発明の実施の形態３に係る分光光度計を示
し、（ａ）は同分光光度計の光路図、（ｂ）は受光信号
を示す図である。
し、（ａ）は同分光光度計の光路図、（ｂ）は受光信号
を示す図である。
【図６】この発明の実施の形態４に係る分光光度計を示
し、（ａ）は同分光光度計の光路図、（ｂ）は受光信号
を示す図である。
し、（ａ）は同分光光度計の光路図、（ｂ）は受光信号
を示す図である。
【図７】この発明の実施の形態５に係る分光光度計の光
路図である。
路図である。
１ 光源 12 単色光化部 16 測定光 21 フォトマル（受光部） 25 試料 25a 反射防止膜 26 第２チョッパー 28 試料照射光 29 試料照射光光源 37 第３チョッパー 40 スリット
Claims (5)
- 【請求項１】 単色光化された測定光を試料に照射した
後、該測定光を受光部で受光して分光特性を測定する分
光光度計において、 前記試料に前記測定光とは異なる試料照射光を照射する
試料照射光光源を設け、該試料照射光を照射しながら前
記分光特性を測定する際に、該測定結果に前記試料照射
光による信号が影響を与えないようにしたことを特徴と
する分光光度計。 - 【請求項２】 前記測定光は間欠的に前記試料に照射す
ると共に、前記試料照射光は前記測定光が前記試料を照
射していないときに該試料を照射する一方、該試料照射
光による信号が検知されないようにする試料照射光除去
手段を設けることにより、該測定結果に前記試料照射光
による信号が影響を与えないようにしたことを特徴とす
る請求項１記載の分光光度計。 - 【請求項３】 前記試料照射光を間欠的に照射する一
方、前記試料と前記受光部との間に、前記試料照射光の
前記受光部への入射を遮断し、前記測定光の前記受光部
への入射を許容するチョッパーを設けることにより、前
記測定結果に前記試料照射光による信号が影響を与えな
いようにしたことを特徴とする請求項１記載の分光光度
計。 - 【請求項４】 前記試料照射光を間欠的に照射する一
方、前記試料照射光による影響を含んだ前記受光部から
の試料照射信号を検出せず、前記測定光による測定信号
を検出する制御部を設けることにより、前記測定結果に
前記試料照射光による信号が影響を与えないようにした
ことを特徴とする請求項１記載の分光光度計。 - 【請求項５】 前記試料と前記受光部との間には、前記
試料を透過して前記受光部に進む前記試料照射光を遮光
し、前記測定光を通過させるスリットを設けることによ
り、前記測定結果に前記試料照射光による信号が影響を
与えないようにしたことを特徴とする請求項１記載の分
光光度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8194756A JPH1038688A (ja) | 1996-07-24 | 1996-07-24 | 分光光度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8194756A JPH1038688A (ja) | 1996-07-24 | 1996-07-24 | 分光光度計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1038688A true JPH1038688A (ja) | 1998-02-13 |
Family
ID=16329722
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8194756A Pending JPH1038688A (ja) | 1996-07-24 | 1996-07-24 | 分光光度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1038688A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6459201B1 (en) | 1999-08-17 | 2002-10-01 | Lg Electronics Inc. | Flat-panel display with controlled sustaining electrodes |
| US6597120B1 (en) | 1999-08-17 | 2003-07-22 | Lg Electronics Inc. | Flat-panel display with controlled sustaining electrodes |
| US6603266B1 (en) | 1999-03-01 | 2003-08-05 | Lg Electronics Inc. | Flat-panel display |
| US6825606B2 (en) | 1999-08-17 | 2004-11-30 | Lg Electronics Inc. | Flat plasma display panel with independent trigger and controlled sustaining electrodes |
-
1996
- 1996-07-24 JP JP8194756A patent/JPH1038688A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6603266B1 (en) | 1999-03-01 | 2003-08-05 | Lg Electronics Inc. | Flat-panel display |
| US6459201B1 (en) | 1999-08-17 | 2002-10-01 | Lg Electronics Inc. | Flat-panel display with controlled sustaining electrodes |
| US6597120B1 (en) | 1999-08-17 | 2003-07-22 | Lg Electronics Inc. | Flat-panel display with controlled sustaining electrodes |
| US6825606B2 (en) | 1999-08-17 | 2004-11-30 | Lg Electronics Inc. | Flat plasma display panel with independent trigger and controlled sustaining electrodes |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2008096200A (ja) | 形状検査方法及び形状検査装置 | |
| JP3689278B2 (ja) | 粒子径分布測定装置および粒子径分布測定方法 | |
| US20170082490A1 (en) | High Dynamic Range Infrared Imaging Spectroscopy | |
| JP3761734B2 (ja) | 光計測方法および装置 | |
| US10823678B2 (en) | Raman spectrum detection apparatus and method based on power of reflected light | |
| JPH0252980B2 (ja) | ||
| JPS5811567B2 (ja) | バツクグラウンドホセイオトモナウゲンシキユウシユウブンコウブンセキオヨビ ゲンシキユウシユウブンコウコウドケイ | |
| CN111829971A (zh) | 一种减小宽光谱透过率测量误差的方法 | |
| JPH1038688A (ja) | 分光光度計 | |
| JPH0580981B2 (ja) | ||
| JP2004138499A (ja) | ガス濃度検出センサ | |
| US4166697A (en) | Spectrophotometer employing magneto-optic effect | |
| KR20020020622A (ko) | 분광분석장치 | |
| JP2965731B2 (ja) | 赤外線式測定装置 | |
| WO2018003045A1 (ja) | アパーチャ機能を有するビームスプリッタ及びそのビームスプリッタを備えた検出器 | |
| US7626697B2 (en) | Grating photometer | |
| JP2003098078A (ja) | 試料濃度測定装置 | |
| JPS62147344A (ja) | 多波長分光光度計 | |
| JP2000206047A (ja) | スペクトル測定装置 | |
| JPH11101739A (ja) | エリプソメトリ装置 | |
| JP3302208B2 (ja) | 赤外線分析計 | |
| JP6928938B2 (ja) | 光学測定方法およびその装置 | |
| KR102608202B1 (ko) | 투과율 측정용 자외선-가시광선-적외선 분광 분석기 | |
| JPH0712718A (ja) | 分光分析装置 | |
| JP2005164255A (ja) | 分光分析装置 |