WO2018003045A1 - アパーチャ機能を有するビームスプリッタ及びそのビームスプリッタを備えた検出器 - Google Patents

アパーチャ機能を有するビームスプリッタ及びそのビームスプリッタを備えた検出器 Download PDF

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寛之 東郷
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株式会社島津製作所
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    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3577—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing liquids, e.g. polluted water
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/08—Mirrors

Definitions

  • the present invention relates to a beam splitter having an aperture function and a detector such as a spectrophotometer equipped with the beam splitter.
  • a spectrophotometer is known as a detector for liquid chromatography. There are two types of spectrophotometers: pre-spectroscopy and post-spectroscopy.
  • the spectrophotometer of the pre-spectral method splits the light from the light source with a spectrometer, guides only the light of the wavelength used for the measurement to the sample cell, and detects the amount of light that has passed through the sample cell. By detecting with, the absorbance at a specific wavelength by the sample in the sample cell is measured.
  • a post-spectral spectrophotometer irradiates a sample cell with light from a light source, disperses the light that has passed through the sample cell for each wavelength component by a spectroscope, and the divided wavelength component light is a photodiode.
  • a detection element such as an array, an absorbance spectrum of the sample in the sample cell is acquired.
  • a spectrophotometer In a detector such as the above-mentioned spectrophotometer, when the light emission intensity of the light source fluctuates, the amount of light incident on the measurement detection element also fluctuates accordingly, which causes a reduction in the reproducibility of the measurement results. For this reason, in a spectrophotometer called a double beam method, a part of the light traveling from the light source toward the sample cell is extracted as reference light by a beam splitter, and the reference light is detected by a detection element (reference detection element) that is different from the measurement detection element. ) (See Patent Documents 1 and 2). Then, by correcting the measurement value based on the detection value of the reference detection element, the influence on the measurement result due to the variation in the light emission intensity of the light source is suppressed.
  • a detection element reference detection element
  • a part of the light from the light source is extracted as a reference light by the beam splitter, so the amount of light incident on the measurement detector that detects the light that has passed through the sample cell is reduced and emitted from the light source.
  • the utilization efficiency of the emitted light is reduced, and the detection sensitivity is lowered.
  • the proportion of light emitted from the light source that is not used for measurement is high, and the improvement in detection sensitivity is limited.
  • an object of the present invention is to improve the utilization efficiency for measurement of light emitted from a light source and to improve the detection sensitivity of a detector.
  • the beam splitter according to the present invention has a light incident surface on which light is incident, reflects a part of the light incident on the light incident surface, and transmits the remaining light. As described above, a transmission region for transmitting light is provided, and a reflection region for reflecting light is provided surrounding the periphery of the transmission region.
  • a through hole is provided as the transmission region in a partial region of the substrate in which the light incident surface is a mirror.
  • the reflective region is a region where a metal film is deposited on one surface of a light transmissive substrate, and the transmissive region is deposited by the metal film surrounded by the reflective region. It is an area that is not.
  • the detector according to the present invention includes a light source, a sample cell, an optical system that guides light from the light source to the sample cell, a detection element for measurement for detecting light that has passed through the sample cell, and the light source.
  • the beam splitter disposed on the incident side of the sample cell on the optical path of the light guided from the sample cell to the sample cell, and a reference detection element for detecting the light reflected by the beam splitter as reference light , With.
  • the beam splitter is provided so as to transmit only a part of the light on the center side of the light beam guided to the sample cell and reflect the light outside the light beam. Is preferred. Then, the light incident on the sample cell can be limited to only a part of the light on the center side of the light beam, and the light incident on the sample cell can be narrowed to suppress light scattering.
  • a transmission region that transmits light is provided as one region of the light incident surface, and a reflection region that reflects light is provided surrounding the periphery of the transmission region.
  • the beam splitter according to the present invention has an aperture that transmits only the central portion of the luminous flux in addition to the beam splitter function of transmitting part of the light incident on the light incident surface and reflecting the remaining light. It has the function of.
  • this beam splitter for a detector such as a spectrophotometer, it is possible to narrow the incident angle of light to the sample cell by guiding only the central part of the light beam from the light source toward the sample cell to the sample cell.
  • the light use efficiency in the detector can be improved and the detection sensitivity can be improved.
  • the light from the light source is distributed to the sample cell side and the reference detection element side using the beam splitter described above, so that the light use efficiency is improved and the detection sensitivity is improved. Can be improved.
  • FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a spectrophotometer as a detector having a beam splitter.
  • the light from the light source 2 is dispersed for each wavelength component by the diffraction grating 8 which is a spectroscope, and the light of the wavelength component used for the measurement among the dispersed light is guided to the flow cell 14.
  • 14 is a pre-spectroscopic absorption spectrophotometer configured to measure the absorbance of a liquid flowing in the interior of the apparatus.
  • a slit 4 As an optical system for guiding the light emitted from the light source 2 to the flow cell 14, a slit 4, a mirror 6, a diffraction grating 8, and a mirror 10 are provided.
  • the light incident on the mirror 6 through the slit 4 is guided to the diffraction grating 8 and is separated for each wavelength component.
  • the position of the diffraction grating 8 is adjusted so that light of the wavelength component used for measurement is guided to the mirror 10, and the light reflected by the mirror 10 is guided to the flow cell 14.
  • a sample cell 16 for circulating the liquid is provided in the flow cell 14.
  • the sample cell 16 for example, an eluate eluted from a separation column of a liquid chromatograph flows.
  • An entrance window and an exit window for transmitting measurement light are provided on the mirror 10 side (right side in the figure) and the opposite side (left side in the figure) of the flow cell 14, respectively. The light from the mirror 10 enters the sample cell 16 through the entrance window, and the light that has passed through the sample cell 16 exits from the exit window.
  • Detecting element 18 is provided on the exit window side of flow cell 14.
  • the detection element 18 is a measurement detection element for detecting the amount of light that has passed through the sample cell 16.
  • the detection element 18 is configured by, for example, a photodiode.
  • a beam splitter 12 is provided on the optical path of light reflected by the mirror 10 between the mirror 10 and the flow cell 14.
  • the beam splitter 12 reflects part of the light reflected by the mirror 10 and transmits the rest.
  • a detection element 20 is provided at a position for receiving the light reflected by the beam splitter 12.
  • the detection element 20 is a reference detection element for detecting the amount of light (reference light) reflected by the beam splitter 12.
  • the detection element 20 is configured by, for example, a photodiode.
  • the detection signals of the detection elements 18 and 20 are taken into the arithmetic processing unit 22.
  • the arithmetic processing unit 22 corrects the detection signal value of the detection element 18 with the detection signal value of the detection element 20, and calculates the absorbance of the solution flowing through the sample cell 16 based on the corrected signal value.
  • the calculated absorbance is displayed on a display unit 24 such as a liquid crystal display connected to the arithmetic processing unit 22.
  • the arithmetic processing unit 22 is realized by a dedicated computer or a general-purpose personal computer.
  • the beam splitter 12 will be described with reference to FIGS. 2 and 3A.
  • the beam splitter 12 has a transmission region 12a and a reflection region 12b on a light incident surface on which light is incident.
  • the transmission region 12a is provided in the center, and the planar shape is, for example, a circle.
  • the reflection region 12 is the entire region of the light incident surface other than the transmission region 12a and surrounds the transmission region 12a.
  • the beam splitter 12 transmits only the light incident on the transmission region 12a out of the light incident on the light incident surface, and reflects the rest.
  • the beam splitter 12 is configured such that only a part of the light beam 26 on the center side of the light beam reflected by the mirror 10 is guided to the flow cell 14 through the transmission region 12a, and the light beam 28 on the outer side. Are reflected by the reflection region 12 b and guided to the optical element 20.
  • the incident angle of light incident on the flow cell 14 is limited to an angle at which the light does not hit the inner wall surface of the sample cell 16.
  • the incident angle of light to the flow cell 14 and the ratio of the light guided to the sample cell 16 side and the detection element 20 side are determined by the size of the incident region 12 a of the beam splitter 12 and the position of the beam splitter 12 between the mirror 10 and the flow cell 14. Adjusted by.
  • an aperture for reducing the incident angle of light to the flow cell 14 is separately provided, or the reflection surface of the mirror 10 is masked.
  • a part of the measurement light is discarded without being used for measurement or for reference.
  • the beam splitter 12 in the spectrophotometer of this embodiment has a function as a beam splitter that divides the measurement light into measurement light and reference light, and an aperture that narrows the incident angle of the light to the flow cell 14. It also has a function as. Thereby, in the spectrophotometer of this embodiment, all of the light of the measurement wavelength extracted by the diffraction grating 8 is guided to either the flow cell 14 or the detection element 20. Therefore, in this spectrophotometer, the utilization efficiency of light becomes higher than before, and it can contribute to the improvement of detection sensitivity.
  • the beam splitter 12 is a metal having a property of reflecting light, such as aluminum, in all regions except one region on the central side of one surface of the light-transmitting substrate 30 such as quartz. This can be realized by depositing the film 32. The region where the metal film 32 is not deposited becomes the transmission region 12a, and the region where the metal film 32 is deposited becomes the reflection region.
  • the beam splitter 12 can also be realized by providing a through hole in a region on the center side of a metal plate 34 made of, for example, aluminum and having a mirror-finished at least one surface. it can.
  • the region provided with the through hole becomes the transmission region 12a, and the other region becomes the reflection region 12b.
  • the detector described above is a pre-spectral spectrophotometer, but the present invention is not limited to this, and can also be applied to a post-spectral spectrophotometer.
  • the post-spectral spectrophotometer is configured to irradiate the sample cell with light from the light source, split the light passing through the sample cell with a spectroscope, and detect the dispersed light with a detection element such as a photodiode array. It has been done.
  • a beam splitter having the same function as the above-described beam splitter 12 between the light source and the sample cell, a part of the light flux from the light source is taken out as reference light, and at the same time, is supplied to the sample cell.
  • the incident angle of light can be reduced to a desired angle.
  • the beam splitter of the present invention is not limited to a spectrophotometer, and is a detector that measures light absorption by a sample by irradiating the sample cell with light, and it is necessary to narrow the incident angle of light to the sample cell.
  • the present invention can be applied to a detector that needs to extract a part of the light traveling toward the sample cell, thereby improving the light utilization efficiency and contributing to the improvement of detection sensitivity.
  • Light source 4 Slit 6, 10 Mirror 8 Spectrometer 12 Beam splitter 14 Flow cell 16 Sample cell 18 Measurement detection element 20 Reference detection element 22 Arithmetic processing unit 24 Display unit 30 Light transmissive substrate 32 Metal film 34 Metal plate

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Abstract

ビームスプリッタは、光を入射させる光入射面をもち、その光入射面に入射した光の一部を反射させ、残りの光を透過させるものであり、前記光入射面の一領域として光を透過させる透過領域が設けられ、光を反射させる反射領域が前記透過領域の周囲を取り囲んで設けられている。

Description

アパーチャ機能を有するビームスプリッタ及びそのビームスプリッタを備えた検出器
　本発明は、アパーチャ機能を有するビームスプリッタ及びそのビームスプリッタを備えた分光光度計などの検出器に関するものである。
　液体クロマトグラフ用の検出器として分光光度計が知られている。分光光度計には前分光方式と後分光方式がある。
　前分光方式の分光光度計は、光源からの光を分光器によって分光し、分光された光のうち測定に用いる波長の光のみを試料セルに導き、試料セルを通過した光の量を検出素子で検出することにより、試料セル内の試料による特定波長の吸光度等を測定するものである。
　他方、後分光方式の分光光度計は、光源からの光を試料セルに照射し、試料セルを通過した光を分光器によって波長成分ごとに分光し、分光された各波長成分の光をフォトダイオードアレイ等の検出素子を用いて同時に検出することにより、試料セル内の試料の吸光度スペクトル等を取得するものである。
　上記分光光度計のような検出器では、光源の発光強度が変動すると、それに応じて測定用の検出素子に入射する光の光量も変動するため、測定結果の再現性を低下させる要因となる。そのため、ダブルビーム方式と呼ばれる分光光度計では、光源から試料セルに向かう光の一部をビームスプリッタによって参照光として取り出し、参照光を測定用の検出素子とは別の検出素子（参照用検出素子）によって検出する（特許文献１、２参照。）。そして、参照用検出素子の検出値に基づいて測定値を補正することで、光源の発光強度の変動による測定結果への影響が抑制される。
特開平５－１１３３６９号公報 特開２０１３－０１１４７３号公報
　ダブルビーム方式の分光光度計では、ビームスプリッタによって光源からの光の一部を参照光として取り出すため、試料セルを通過した光を検出する測定用検出器への入射光量は低減され、光源で発せられた光の測定への利用効率が低下し、検出感度が低下する。
　さらに、光源からの光が試料セルを通過する分光光度計のような検出器では、試料セルに入射した光りが試料セルの内壁にあたると、散乱や吸収によって試料セル内の液による光吸収がなくても測定用検出素子に入射する光量が変化することがある。しかし、そのような光量の変化は試料セル内の液による吸収によるものか光の散乱等によるものかの区別ができないため、測定の再現性を損なうこととなる。そのため、試料セルへの光の入射角度を絞る必要があるが、試料セルへの光の入射角度を絞ると、試料セルへ向かう光束のうちの外側部分を遮光して捨てることになるため、光源で発せられた光の利用効率が低下する。したがって、ここでも検出感度が低下する。
　以上のことから、従来の検出器では、光源で発せられた光のうち測定に使用されない光の割合が高く、検出感度の向上に限界があった。
　そこで、本発明は、光源で発せられた光の測定への利用効率を改善し、検出器の検出感度を向上させることができるようにすることを目的とするものである。
　本発明に係るビームスプリッタは、光を入射させる光入射面をもち、その光入射面に入射した光の一部を反射させ、残りの光を透過させるものであり、前記光入射面の一領域として光を透過させる透過領域が設けられ、光を反射させる反射領域が前記透過領域の周囲を取り囲んで設けられている。
　上記ビームスプリッタの一例は、前記光入射面がミラーとなっている基板の一部の領域に貫通孔が前記透過領域として設けられているものである。
　また、上記ビームスプリッタの他の例は、前記反射領域は光透過性基板の一表面に金属膜が蒸着された領域であり、前記透過領域は前記反射領域によって取り囲まれた前記金属膜が蒸着されていない領域であるものである。
　本発明に係る検出器は、光源と、試料セルと、前記光源からの光を前記試料セルへ導く光学系と、前記試料セルを通過した光を検出するための測定用検出素子と、前記光源から前記試料セルへと導かれる光の光路上であって前記試料セルの入射側の位置に配置された上記ビームスプリッタと、前記ビームスプリッタで反射した光を参照光として検出する参照用検出素子と、を備えたものである。
　上記検出器において、ビームスプリッタは、前記試料セルへ導かれる光束のうち中心側の一部の光のみを透過させ、それよりも外側の光を外側の光を反射するように設けられていることが好ましい。そうすれば、試料セルへ入射する光を光束の中心側の一部の光のみに限定することができ、試料セルへの光の入射角度を絞って光の散乱等を抑制することができる。
　本発明に係るビームスプリッタでは、光入射面の一領域として光を透過させる透過領域が設けられ、光を反射させる反射領域が透過領域の周囲を取り囲んで設けられているので、光入射面に入射した光の光束のうち、中心側の一部のみを透過領域を通じて透過させ、残りの外周側部分を反射領域で反射させることができる。すなわち、本発明のビームスプリッタは、光入射面に入射した光りの一部を透過させて残りを反射させるというビームスプリッタとしての機能に加えて、光束のうち中心側部分のみを透過させるというアパーチャとしての機能を備えている。したがって、このビームスプリッタを分光光度計のような検出器に用いることで、光源から試料セルへ向かう光束の中心側部分のみを試料セルへ導くことによって試料セルへの光の入射角度を絞ることができるとともに、光束の外周側部分の光をすべて反射させて参照用検出素子へ導くことができるため、検出器における光の利用効率が向上し、検出感度の向上に寄与することができる。
　本発明に係る検出器では、光源からの光を、上述のビームスプリッタを用いて試料セル側と参照用検出素子側へ分配するようになっているので、光の利用効率が向上し、検出感度の向上を図ることができる。
検出器の一実施例として分光光度計を示す概略構成図である。 同実施例のビームスプリッタの機能を説明するための概念図である。 同ビームスプリッタの平面図である。 ビームスプリッタの構造の一例を示す断面図である。 ビームスプリッタの構造の他の例を示す断面図である。
　以下、図面を用いて本発明に係るビームスプリッタ及び検出器の実施形態について説明する。
　図１は、ビームスプリッタを備えた検出器としての分光光度計を示す概略構成図である。
　この実施例の分光光度計は、光源２からの光を分光器である回折格子８によって波長成分ごとに分光し、分光された光のうち測定に用いる波長成分の光をフローセル１４に導いてフローセル１４内を流れる液の吸光度を測定するように構成された前分光方式の吸光分光光度計である。
　光源２により発せられた光をフローセル１４に導く光学系として、スリット４、ミラー６、回折格子８及びミラー１０が設けられている。スリット４を介してミラー６に入射した光は回折格子８に導かれ、波長成分ごとに分光される。回折格子８は、測定に用いる波長成分の光がミラー１０へ導かれるようにその位置が調整されており、ミラー１０で反射した光はフローセル１４へ導かれる。
　フローセル１４内には液を流通させるための試料セル１６が設けられている。試料セル１６内は、例えば液体クロマトグラフの分離カラムから溶出した溶出液が流れている。フローセル１４のミラー１０側（図において右側）の面とその反対側（図において左側）の面にはそれぞれ、測定光を透過させる入射窓及び出射窓が設けられている。ミラー１０からの光は入射窓を介して試料セル１６内に入射し、試料セル１６内を通過した光が出射窓から出射する。
　フローセル１４の出射窓側に検出素子１８が設けられている。検出素子１８は、試料セル１６を通過した光の光量を検出するための測定用検出素子である。検出素子１８は、例えばフォトダイオードによって構成される。
　ミラー１０とフローセル１４との間でミラー１０で反射した光の光路上にビームスプリッタ１２が設けられている。ビームスプリッタ１２は、ミラー１０で反射した光の一部を反射させ、残りを透過させるものである。ビームスプリッタ１２で反射した光を受光する位置に検出素子２０が設けられている。検出素子２０は、ビームスプリッタ１２で反射した光（参照光）の光量を検出するための参照用検出素子である。検出素子２０は、例えばフォトダイオードによって構成される。
　検出素子１８及び２０の検出信号は演算処理部２２に取り込まれる。演算処理部２２は、検出素子１８の検出信号値を検出素子２０の検出信号値で補正し、補正後の信号値に基づいて試料セル１６を流れる溶液の吸光度を算出する。算出された吸光度は、演算処理部２２に接続された液晶ディスプレイ等の表示部２４に表示される。演算処理部２２は専用のコンピュータ又は汎用のパーソナルコンピュータによって実現される。
　ここで、ビームスプリッタ１２について図２及び図３Ａを用いて説明する。
　ビームスプリッタ１２は、光を入射させる光入射面に、透過領域１２ａと反射領域１２ｂを有する。透過領域１２ａは中央部に設けられており、平面形状が例えば円形である。反射領域１２は光入射面のうち透過領域１２ａ以外の全領域であり、透過領域１２ａを取り囲んでいる。ビームスプリッタ１２は、光入射面に入射した光のうち、透過領域１２ａに入射した光のみを透過させ、残りを反射させる。
　この実施例において、ビームスプリッタ１２は、ミラー１０で反射した光の光束のうち、中心側の一部の光２６のみが透過領域１２ａを通ってフローセル１４へ導かれ、それよりも外側の光２８がすべて反射領域１２ｂで反射して光学素子２０へ導かれるように設けられている。フローセル１４に入射する光の入射角度は、光が試料セル１６の内壁面に当たらない角度に絞られている。光のフローセル１４への入射角度及び試料セル１６側と検出素子２０側へ導かれる光の割合は、ビームスプリッタ１２の入射領域１２ａの大きさ、ミラー１０とフローセル１４の間におけるビームスプリッタ１２の位置によって調整される。
　ビームスプリッタ１２がこの実施例のように、光束の一部の範囲のみを透過させるようなものでない場合、フローセル１４への光の入射角度を絞るアパーチャを別途設けたり、ミラー１０の反射面をマスク等によって制限したりする必要があるが、それらの方法では、測定光の一部を測定用としても参照用としても利用することなく捨てることとなる。
　これに対し、この実施例の分光光度計におけるビームスプリッタ１２は、測定光を測定用の光と参照用の光に分けるビームスプリッタとしての機能に加え、フローセル１４への光の入射角度を絞るアパーチャとしての機能も備えている。これにより、この実施例の分光光度計では、回折格子８によって取り出された測定波長の光のすべてがフローセル１４又は検出素子２０のいずれかに導かれる。したがって、この分光光度計では、光の利用効率が従来よりも高くなり、検出感度の向上に寄与することができる。
　ビームスプリッタ１２は、図３Ｂに示されているように、例えば石英などの光透過性基板３０の一表面の中央側の一領域を除く全領域に、例えばアルミニウムなど光を反射させる特性を有する金属膜３２を蒸着することによって実現できる。金属膜３２の蒸着されていない領域が透過領域１２ａとなり、金属膜３２の蒸着された領域が反射領域となる。
　また、ビームスプリッタ１２は、図３Ｃに示されているように、少なくとも一方の表面が鏡面仕上げされた、例えばアルミニウムなどからなる金属板３４の中央側の一領域に貫通穴を設けることによっても実現できる。貫通穴の設けられた領域が透過領域１２ａとなり、それ以外の領域が反射領域１２ｂとなる。
　以上において説明した検出器は前分光方式の分光光度計であるが、本発明はこれに限定されるものでなく、後分光方式の分光光度計についても適用することができる。後分光方式の分光光度計は、光源から試料セルに光を照射し、試料セルを通過した光を分光器によって分光し、分光された光をフォトダイオードアレイなどの検出素子によって検出するように構成されたものである。この場合、光源と試料セルとの間に、上述のビームスプリッタ１２と同様の機能をもつビームスプリッタを配置することで、光源からの光束の一部を参照光として取り出すと同時に、試料セルへの光の入射角度を所望の角度に絞ることができる。
　また、本発明のビームスプリッタは、分光光度計に限らず、試料セルに光を照射して試料による光の吸収等を測定する検出器であって、試料セルへの光の入射角度を絞る必要があり、かつ試料セルへ向かう光の一部を取り出す必要のある検出器に対して適用することができ、それによって光利用効率の向上を図り、検出感度の向上に寄与することができる。
　　　２　　　光源
　　　４　　　スリット
　　　６，１０　　　ミラー
　　　８　　　分光器
　　　１２　　　ビームスプリッタ
　　　１４　　　フローセル
　　　１６　　　試料セル
　　　１８　　　測定用検出素子
　　　２０　　　参照用検出素子
　　　２２　　　演算処理部
　　　２４　　　表示部
　　　３０　　　光透過性基板
　　　３２　　　金属膜
　　　３４　　　金属板

Claims (5)

  1. 　光を入射させる光入射面をもち、その光入射面に入射した光の一部を反射させ、残りの光を透過させるビームスプリッタであって、
    　前記光入射面の一領域として光を透過させる透過領域が設けられ、光を反射させる反射領域が前記透過領域の周囲を取り囲んで設けられているビームスプリッタ。
  2. 　前記光入射面がミラーとなっている基板の一部の領域に貫通孔が前記透過領域として設けられている請求項１に記載のビームスプリッタ。
  3. 　前記反射領域は光透過性基板の一表面に金属膜が蒸着された領域であり、前記透過領域は前記反射領域によって取り囲まれた前記金属膜が蒸着されていない領域である請求項１に記載のビームスプリッタ。
  4. 　光源と、
    　試料セルと、
    　前記光源からの光を前記試料セルへ導く光学系と、
    　前記試料セルを通過した光を検出するための測定用検出素子と、
    　前記光源から前記試料セルへと導かれる光の光路上であって前記試料セルの入射側の位置に配置された請求項１から３のいずれか一項に記載のビームスプリッタと、
    　前記ビームスプリッタで反射した光を参照光として検出する参照用検出素子と、を備えた検出器。
  5. 　前記ビームスプリッタは、前記試料セルへ導かれる光束のうち中心側の一部の光のみを透過させ、それよりも外側の光を外側の光を反射するように設けられている請求項４に記載の検出器。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111307733A (zh) * 2018-11-27 2020-06-19 株式会社岛津制作所 原子吸收分光光度计

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57161519A (en) * 1981-03-06 1982-10-05 Perkin Elmer Corp Achromatic beam splitter
JPH01173702U (ja) * 1988-05-27 1989-12-11
JP2004294072A (ja) * 2003-03-25 2004-10-21 Minolta Co Ltd 多波長光源装置及び光学測定装置
JP2013218078A (ja) * 2012-04-06 2013-10-24 Nikon Corp 光学装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57161519A (en) * 1981-03-06 1982-10-05 Perkin Elmer Corp Achromatic beam splitter
JPH01173702U (ja) * 1988-05-27 1989-12-11
JP2004294072A (ja) * 2003-03-25 2004-10-21 Minolta Co Ltd 多波長光源装置及び光学測定装置
JP2013218078A (ja) * 2012-04-06 2013-10-24 Nikon Corp 光学装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111307733A (zh) * 2018-11-27 2020-06-19 株式会社岛津制作所 原子吸收分光光度计
CN111307733B (zh) * 2018-11-27 2023-06-09 株式会社岛津制作所 原子吸收分光光度计

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