JP6928938B2 - 光学測定方法およびその装置 - Google Patents

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Description

本発明は、光学測定方法およびその装置に関する。
従来の光学測定方法の一例を図6に示す。
同図に示す光学測定方法においては、複数の光源LS、被測定物5、検出器6、およびデータ処理部7を備えた装置が用いられる。検出器6は、1チャンネル検出器である。複数の光源LSは、簡単のため、光源LS1〜LS3としている。これら複数の光源LS1〜LS3の個々から発せられた光Laは被測定物5に入射し、被測定物5からの反射光または透過光Lbが、検出器6に到達する。データ処理部7においては、検出器6から受けたデータに基づき、被測定物5の光学的特性が判断される。
しかしながら、前記従来においては、次に述べるように、改善すべき余地がある。
第1に、複数の光源LSから被測定物5に光を照射させる場合に、従来においては、複数の光源LSを1つずつ順番に点灯させて被測定物5に光を個々に照射し、その反射光または透過光Lbを検出器6で逐一検出させている。このため、被測定物5に照射する光の波長の数を増加させると、トータルの測定回数も増加する。したがって、測定所要時間が長くなり、効率が悪い。
第2に、検出器6および被測定物5には、光源LSからの光に加え、室内光または太陽光などの外光Lcが侵入しうる。この場合、図6の波長と光の強度との関係図に示されているように、光の強度には、光源LSに由来する強度I1〜I3に加え、外光Lcに由来する強度IBも含まれる。これでは、測定誤差が大きくなる。これを解消するには、検出器6および被測定物5への外光Lcの侵入を防ぐための機構を設ける手段、あるいは外光9による測定強度の誤差をなくすための補正処理を行なう手段を採用する必要がある。したがって、経済的コストが高くなったり、あるいは測定の所要時間(データ処理時間)が長くなる。
1チャネル検出器を用いた光学測定方法としては、前述した図6の方法の他に、たとえば広帯域のスペクトルを有する光源と複数のフィルタを用いる方法や、複数の検出器を用いる方法がある。ところが、これらの方法によれば、多くの機器が必要となり、装置全体のコストが高価となる。
特許第6371926号公報
本発明は、前記した事情に鑑みてなされたものであり、簡易な構成により、被測定物の光学的特性を正確かつ迅速に判断することが可能な光学測定方法、およびその装置を提供することを、その課題としている。
上記の課題を解決するため、本発明では、次の技術的手段を講じている。
本発明の第1の側面により提供される光学測定方法は、複数の光源に異なる周波数の強
度変調を与え、前記複数の光源のそれぞれから発せられる光を被測定物に同時に照射する第1のステップと、前記被測定物からの反射光または透過光を、検出器を用いて1チャンネルで受光し、前記反射光または前記透過光の強度に関するデータを取得する第2のステップと、前記データにフーリエ変換を施してパワースペクトルを求め、かつこのパワースペクトルに基づき、前記複数の光源のそれぞれから発せられる光に対する前記被測定物の特性を判断する第3のステップと、を有していることを特徴としている。
このような構成によれば、次のような効果が得られる。
第1に、複数の光源を1つずつ順番に点灯させて被測定物に光を個々に照射する必要はなく、複数の光源から被測定物に一斉に光を照射して、その反射光または透過光を検出器で検出させればよく、複数回にわたって測定を行なう必要はない。また、検出器としては、1チャンネル検出器を1つ用いればよい。したがって、測定所要時間を短くし、効率のよい光学測定が可能となる。また、装置構成も簡易なものとし、装置全体のコストも低減することができる。
第2に、検出器や被測定物などに外光が侵入したとしても、この外光は、検出器で得られたデータをフーリエ変換してパワースペクトルを求める際に、このパワースペクトルのデータから実質的に除外される。したがって、測定誤差の精度を高めることができる。また、検出器への外光の侵入を防ぐための機構を設ける必要をなくし、または機構の簡素化を図ることもできるため、装置全体のコストを一層低減することが可能となる。
本発明において、好ましくは、前記被測定物は、薄膜であり、前記第2のステップにおいては、前記複数の光源のそれぞれから発せられて前記薄膜の表面および裏面側界面により反射される反射光の強度に関するデータを取得し、前記第3のステップにおいては、フーリエ変換により反射スペクトルを求め、かつこの反射スペクトルに基づいて前記薄膜の厚みを判断する。
このような構成によれば、薄膜の厚みを簡易かつ正確に判断することができる。
本発明の第2の側面により提供される光学測定装置は、被測定物に光を照射するための複数の光源と、これら複数の光源に異なる周波数の強度変調を与える強度変調手段と、前記被測定物からの反射光または透過光を1チャンネルで受光し、前記反射光または前記透過光の強度に関するデータを取得するための検出器と、前記データにフーリエ変換を施すことにより前記光の強度のパワースペクトルを求め、かつこのパワースペクトルに基づき、前記複数の光源のそれぞれから発せられる光に対する前記被測定物の特性を判断するデータ処理手段と、を備えていることを特徴としている。
このような構成によれば、本発明の第1の側面により提供される光学測定方法を簡易かつ適切に実施することができ、光学測定方法について述べたのと同様な効果が得られる。
本発明のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行なう発明の実施の形態の説明から、より明らかになるであろう。
本発明に係る光学測定装置およびこれを用いた光学測定方法の一例を示す概略説明図である。 本発明に係る光学測定装置およびこれを用いた光学測定方法の他の例を示す概略説明図である。 本発明に係る光学測定装置およびこれを用いた光学測定方法の他の例を示す概略説明図である。 本発明に係る光学測定装置およびこれを用いた光学測定方法の他の例を示す概略説明図である。 本発明に係る光学測定装置およびこれを用いた光学測定方法の他の例を示す概略説明図である。 従来技術の一例を示す概略説明図である。
以下、本発明の好ましい実施の形態について、図面を参照して具体的に説明する。
理解の容易のため、図6に示した従来技術と同一または類似の要素には、従来技術と同一の符号を適宜付すこととする。
図1に示す光学測定装置Aは、複数の光源LS(LS1〜LS3)、変調用信号生成部2、被測定物5に光を照射するための光出射部30を有する光路3、被測定物5の透過光を受光する検出器6、およびデータ処理部7を備えている。
複数の光源LSは、たとえば発光波長が互いに相違する単色光源である。
変調用信号生成部2は、複数の光源LSに対し、互いに相違する所定の周波数f1〜f3〔Hz〕の強度変調用の周期信号S(S1〜S3)を入力させる。このことにより、複数の光源LSは、周波数f1〜f3〔Hz〕で点灯駆動する。好ましくは、周波数f1〜f3〔Hz〕は、外光Lcの周波数と比較して十分に高いものとされる。
光路3は、複数の光源LSのそれぞれから発せられた光を光出射部30に導き、かつこの光出射部30から被測定物5に光を照射するための部位であり、たとえば光ファイバを用いて構成されている。
検出器6は、被測定物5の透過光を受光し、かつこれを光電変換するものであり、1チャンネルの検出器である。
データ処理部7は、検出器6から出力される信号(データ)を、後述するように、フーリエ変換し、被測定物5の光学特性を判断するものであり、たとえばパーソナルコンピュータを用いて構成されている。ただし、これに代えて、光学測定専用のデータ処理装置として構成されていてもよい。
被測定物5の光透過率を測定する場合には、次のような処理が実行される。
すなわち、複数の光源LS(LS1〜LS3)については、周期信号S(S1〜S3)の入力により、互いに異なる周波数の強度変調を与えた状態で同時点灯させる。複数の光源LSから発せられて被測定物5を透過した光は、検出器6で光電変換されてからデータ処理部7に入力するが、その際の信号(データ)は、たとえば図1の符号Daで示すようなデータである。データ処理部7においては、このデータDaにフーリエ変換が施され、符号Dbで示すようなパワースペクトルのデータが得られる。このパワースペクトルのデータDbは、周波数f1〜f3〔Hz〕毎の透過光の強度を示しているため、このデータDbに基づき、複数の光源LS1〜LS3のそれぞれに対する被測定物5の光透過特性(透過率)を判断することができる。
前記した処理によれば、複数の光源LSから発せられる光を被測定物5に同時に照射し、かつその透過光を1つの検出器6で同時に受け、かつデータ処理部7においては、それらを分別している。このため、複数の光源LSの数と同数だけ測定処理を繰り返す必要はなく、測定処理時間の短縮を図ることが可能である。また、検出器6には外光Lcが侵入する虞があるが、仮に、外光Lcが検出器6に侵入したとしても、フーリエ変換後のデータDbにおいて、周波数f1〜f3〔Hz〕の箇所には出現せず、実質的に除外される。したがって、測定精度を高めることもできる。
図2〜図5は、本発明の他の実施形態を示しており、以下に説明する。ただし、図1に示す光学測定装置Aと同一または類似の要素の重複説明は省略する(図1と同一または類
似の要素には、図1と同一の符号を付している)。
図2に示す光学測定装置Aaにおいては、複数の光源LS(LS1〜LS3)が被測定物5に対向して設けられており、図1に示した光路3を介することなく、被測定物5への光の照射が可能とされている。
本発明においては、このような構成とすることも可能である。
図3に示す光学測定装置Abにおいては、複数の光源LSから発せられた光Ldは、光出射・入射部31から被測定物5に照射され、かつ被測定物5からの正反射光Lfが、光出射・入射部31に入射し、光路3Aを経て検出器6で受光されるように設定されている。データ処理部7においては、検出器6から受けたデータをフーリエ変換し、たとえば符号Dcで示すようなパワースペクトルのデータが得られる。このデータDcに基づき、複数の光源LS1〜LS3のそれぞれに対する被測定物5の正反射特性(正反射率)を判断することができる。
図4に示す光学測定装置Acにおいては、光源LS(LS1,LS2)から被測定物5に直接的に光の照射が可能とされている一方、その反射光および透過光は、2つの光入射部32a,32bで受光されるように構成されている。これら光入射部32a,32bで受光された光Lgは、光路3Bの光出射部30から検出器6に到達する。データ処理部7においては、たとえば符号Ddとして示すようなパワースペクトルのデータが得られる。このデータDdに基づき、複数の光源LS1,LS2のそれぞれに対する被測定物5の光反射率および透過率をトータルした特性を判断することが可能である。
図5は薄膜の膜厚測定装置Adとその原理図を示している。
同図に示す光学測定装置Adにおいては、薄膜5Aが被測定物とされており、この薄膜5Aの厚みtを、反射率分光法と同様な手法により測定可能とされている。より具体的には、光出射・入射部31は、薄膜5Aに光Ldを照射する一方、薄膜5Aの表面からの反射光I1と、薄膜5Aの裏面側界面50からの反射光I2との双方を含む合成反射光Lhを受光し、この合成反射光Lhが光路3Cの光出射部30から検出器6に到達するように構成されている。データ処理部7においては、検出器6から受けたデータにフーリエ変換を施すことにより、データDeとして示すようなパワースペクトル(反射スペクトル)のデータが得られる。また、このデータDeは、データDfとして示されているように波長と反射率との対応関係を示す干渉波形データに変換される。反射光I1およびI2は、薄膜5Aの膜厚および屈折率に応じて特定の波長で互いに強め合うまたは弱め合う。それによってデータDfの干渉波形に山と谷の構造が現れる。このようなデータDfの干渉波形の山と谷の波長、屈折率、光の入射角などに基づき、たとえば最小2乗法により、薄膜5Aの厚みtを、所定の演算式を利用して求めることが可能であり、データ処理部7においては、そのような演算処理が実行される。
本実施形態においては、薄膜5Aの厚みtを簡易な構成の光学測定装置Acを用いて、迅速かつ正確に測定することが可能である。
本発明は、上述した実施形態の内容に限定されない。本発明に係る光学測定方法の各ステップの具体的な内容は、本発明の意図する範囲内において種々に変更可能である。同様に、本発明に係る光学測定装置の各部の具体的な構成は、本発明の意図する範囲内において種々に設計変更可能である。
光源は複数用いられていればよく、その個数や光源の種類は問わない。光源として、各種の単色光源の他に、S偏光、P偏光の光源などを用いることもできる。測定速度を速める手段として、光源に与える強度変調の速度を上げることは有効である。
被測定物の種類、材質などは問わない。
A,Aa〜Ad 光学測定装置
LS 光源
5 被測定物
5A 薄膜(被測定物)
6 検出器
7 データ処理部(データ処理手段)

Claims (2)

  1. 複数の光源に異なる周波数の強度変調を与え、前記複数の光源のそれぞれから発せられる光を被測定物に同時に照射する第1のステップと、
    前記被測定物からの反射光または透過光を、検出器を用いて1チャンネルで受光し、前記反射光または前記透過光の強度に関するデータを取得する第2のステップと、
    前記データにフーリエ変換を施してパワースペクトルを求め、かつこのパワースペクトルに基づき、前記複数の光源のそれぞれから発せられる光に対する前記被測定物の特性を判断する第3のステップと、
    を有しており、
    前記第2のステップにおいては、前記複数の光源のそれぞれから発せられて前記被測定物の表面および裏面側界面により反射される反射光の強度に関するデータを取得し、
    前記第3のステップにおいては、フーリエ変換により反射スペクトルを求め、かつこの反射スペクトルに基づいて前記被測定物の厚みを判断することを特徴とする、光学測定方法。
  2. 被測定物に光を照射するための複数の光源と、
    これら複数の光源に異なる周波数の強度変調を与える強度変調手段と、
    前記被測定物からの反射光または透過光を1チャンネルで受光し、前記反射光または前記透過光の強度に関するデータを取得するための検出器と、
    前記データにフーリエ変換を施すことにより前記光の強度のパワースペクトルを求め、かつこのパワースペクトルに基づき、前記複数の光源のそれぞれから発せられる光に対する前記被測定物の特性を判断するデータ処理手段と、
    を備えており、
    前記データ処理手段は、前記複数の光源のそれぞれから発せられて前記被測定物の表面および裏面側界面により反射される反射光の強度に関するデータを取得した上で、このデータのフーリエ変換により反射スペクトルを求め、かつこの反射スペクトルに基づいて前記被測定物の厚みを判断することが可能な構成とされていることを特徴とする、光学測定装置。
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