JP2634359B2 - ウエハ保持装置およびその保持方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ウエハの保持装置、特
に、半導体基板や液晶用又はフォトマスク用ガラス基板
等の薄板状基板（以下、単に「ウエハ」という。）を化
学処理するためのウエハ処理装置において、該ウエハを
保持して搬送するための保持装置および保持方法に関す
る。

【０００２】

【従来技術】ウエハをキャリアに収容せずに直接チャッ
クで保持し、これを各処理槽に浸漬させて化学処理する
キャリアレス方式のウエハ処理装置にあっては、キャリ
ア不要のため、それだけ各処理槽を小型化でき、しか
も、洗浄が容易なので、処理液や純水が少なくて済み、
メンテナンスコストおよび処理能力の点で、従来のキャ
リア方式のものに比べて大変すぐれており、最近のウエ
ハ処理装置の主流になりつつある。

【０００３】このようなキャリアレス方式のウエハ処理
装置における、この発明の背景としてのウエハ保持装
置、あるいは従来周知のウエハ保持装置を、図７から図
９に示す。

【０００４】図７に示したものは、この発明の背景とし
てのウエハ保持装置であり、一対のチャック１の下部の
屈曲部１ａに、内側にウエハ２を保持するためのガイド
溝３ａをその長手方向に等間隔で複数刻設している保持
棒３を二対対向して保持するものである。ウエハ２は、
前記ガイド溝３ａと等間隔のガイド溝４ａが刻設された
ウエハ保持ホルダー４に複数整立されており、このウエ
ハ２を保持する際には、下方の保持棒３がウエハ２に接
触しない程度に該チャック１を拡げてから所定位置まで
下降させ、該チャック１を閉じてウエハ２の下部外縁を
保持棒３のガイド溝に挿入するようにしてこれを保持
し、上方に引き上げるようにしている。

【０００５】また、図８に示すウエハ保持装置は、チャ
ック５のウエハ保持部分に、内面に複数のガイド溝６ａ
を等間隔に刻設した保持板６が設けられており、この保
持板６で、ウエハ２の外縁を挟持するようになっている
（特開昭６３−１１１６３７号公報）。

【０００６】さらに、図９に示すウエハ保持装置は、内
側にガイド溝７ａを刻設した２本のウエハ保持ホルダー
７が、上下に移動可能に設けられており、一方、ウエハ
保持装置は、内側にガイド溝８ａを有する３本の保持棒
８を、水平方向に移動できるように構成されている。こ
のようなウエハ保持装置にあっては、該ウエハ保持ホル
ダー７を上昇させてウエハ２をＡの位置からＢの位置に
移動させた後、３本の保持棒８を水平移動させてウエハ
２の下に潜り込ませ、その後ウエハ保持ホルダー７を下
降させることにより、ウエハ２を保持棒８に移し変える
ようになっている（特開昭５９−１３４８３４号公
報）。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような背景としてのウエハ保持装置および従来のウエハ
保持装置にあっては、それぞれ次のような問題点があ
る。

【０００８】すなわち、図７に示すようなウエハ保持装
置にあっては、２対の保持棒３の各々でウエハ２を保持
するように構成されるために、各保持棒３の取付け位置
には高い精度が必要となる。すなわち、取付位置がわず
かでもずれると、ウエハ２の自重が２対の保持棒３の間
で不均等に分担され、その結果、一部の保持棒３によっ
てウエハ２に過度な力が印加されるという問題点があ
る。また、ウエハ２の径にわずかでもばらつきがあった
場合にも、同様の問題が発生する。

【０００９】また、図８に示すウエハ保持装置にあって
は、図７のものに比べ、ウエハ２を保持するためのチャ
ック５の開きを、最小限２枚の保持板６の厚さ分にとど
めることができ、該処理槽の幅をほとんど大きくする必
要はない点で優れているが、保持板６に刻設されたガイ
ド溝６ａの総面積が大きいので、この部分に処理液が付
着し、次の処理槽が汚染される可能性が高く、これを避
けるためには洗浄槽で十分洗浄する必要があるが、洗浄
液を多量に要し、メンテナンスコストの上昇が避けられ
ない。また、保持板６で両サイドからウエハ２を中心方
向に付勢して挟む込む方式であるため、ウエハ２の外縁
を痛めるおそれがある。

【００１０】さらに、図９に示すようなウエハ保持装置
によると、チャックが不要なため、処理槽を非常にコン
パクトにでき、またウエハ保持装置の保持棒８自体は処
理槽に浸されず、かつ、ガイド溝の面積も図８の従来例
に比べ大変少ないため汚染の可能性が大変少なくなると
いう優れた利点があるが、処理槽毎にウエハ保持ホルダ
ー７を上下駆動する駆動手段が必要となり、機構的に大
変繁雑になるという欠点がある。

【００１１】本発明は、上述のような問題点を解消し、
簡単な構造により、コンパクトな処理槽においても確実
にウエハを保持し、高速搬送も可能なウエハ保持装置を
提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明にかかるウエハ保持装置は、内側にウエハ外
縁挿入のためのガイド溝を有し、該ウエハの下部外縁に
当接して、下方から該ウエハを持ち上げて保持する一対
の保持棒と、該一対の保持棒を接離自在に吊設する一対
のチャックとを有し、さらに、前記保持棒と同一ピッチ
のガイド溝を有し、このガイド溝に前記ウエハ外縁の前
記保持棒による保持位置とは異なる部分を挿入すること
により、該ウエハが倒れないようにガイドするだけで、
該ウエハ外縁をその中心方向には付勢しない補助棒を少
なくとも一つ前記チャックに備えることを特徴としてお
り、さらに、該補助棒は、前記一対の保持棒でウエハを
保持したとき、前記補助棒のガイド溝の底面が、前記ウ
エハの外縁に当接しない状態で該ウエハの外縁をガイド
するように、前記チャックの前記保持棒上方に吊設され
ていることを特徴とする。

【００１３】また、本発明にかかるウエハ保持方法は、
上述のウエハ保持装置を用いてなされる保持方法であっ
て、該ウエハの下部外縁に当該ウエハ保持装置の保持棒
のガイド溝を近接させ、次にチャックを上昇させて、該
ウエハの下部外縁の保持部分を前記ガイド溝に挿入させ
た後、さらにチャックを上昇させて、該ウエハの下部外
縁を前記ガイド溝の低部に当接させ、該ウエハの自重の
みにより、該保持棒に保持されるようにし、一方、該ウ
エハ外縁の前記保持棒による保持位置とは異なる位置の
少なくとも１箇所を前記補助棒によりガイドするように
したことを特徴としている。

【００１４】なお、本明細書において、ウエハの「外
縁」とは、ウエハの外周縁を、また、ウエハの「上部外
縁」または「下部外縁」とは、それぞれ当該ウエハの水
平中心線より上方または下方の外周縁をいう。

【００１５】

【作用】一対の保持棒で下方からすくい上げるようにし
てウエハを保持するので、ウエハに余計な付勢力を加え
る必要がなく、その外縁を傷付けるおそれがない。さら
に表面積の少ない保持棒による保持を行うので、付着す
る処理液が大変少なく、洗浄のためのメンテナンスコス
トを下げることができる。

【００１６】また、該ウエハ外縁に付勢力を加えない転
倒防止専用の補助棒を設けウエハ外縁の前記保持棒によ
る保持位置以外のところでガイドするので、ウエハ外縁
を傷付けず、さらに高速搬送が可能となる。

【００１７】

【実施例】以下、図面を参照して本発明にかかるウエハ
保持装置の実施例を詳細に説明するが、本発明の技術的
範囲がこれによって制限されるものではないことはもち
ろんである。

【００１８】図１は、本発明にかかるウエハ保持装置の
一実施例を示す概要図であり、保持棒などは説明の都合
上、ガイド溝での断面図が示されている。

【００１９】左右一対のチャック９の下端には、それぞ
れ保持棒１０が図の垂直方向に吊設されている。該保持
棒１０の内側には、図２に示すようなガイド溝１１が、
保持するウエハの枚数分等間隔に刻設されている。この
ガイド溝１１は、ウエハ２の外縁を導入するテーパ部１
１ａと、保持溝１１ｂからなっており、保持溝１１ｂの
底面部１１ｃの形状は、液切れがよいように八の字状に
形成されている（図１）。

【００２０】ウエハ２の中心線２ａの位置を挟んで、上
方には、一対の補助棒１２が、上記保持棒１０と平行に
チャック９に付設されている。補助棒１２の内側にも保
持棒１０と同様なテーパ部１３ａと保持溝１３ｂを有す
るガイド溝１３が刻設されているが、その底面部１３ｃ
の形状は、直線状になっており、しかも保持棒１０でウ
エハ２を保持した状態で、その底面部１３ｃとウエハ２
の外縁の間にわずかな隙間ができるように前記チャック
９に吊設されている。

【００２１】チャック９の上方は、ヘッド１４内に設け
られたチャック駆動手段１５に連結されている。このチ
ャック駆動手段１５は、チャック９の回転軸９ａに固定
され、一部にピニオギャ１６ａが形成された駆動歯車１
６と、この駆動歯車１６に噛合するラックギャ１７と、
このラックギャ１７を上下駆動するアクチュエータ１８
からなっており、このアクチュエータ１８でラックギャ
１７を上下駆動することにより、チャック９が開閉され
るように形成されている。

【００２２】なお、１９は、保持棒１１と同一ピッチで
形成されたガイド溝１９ａを上部に有するウエハ支持ホ
ルダであり、ウエハ２は、そのオリエンテイション・フ
ラット２ｂが下に来るようにして３つのウエハ保持ホル
ダ１９のガイド溝１９ａに挿入され整立保持される。こ
の場合、該ウエハ２は、実質上、３つの保持ホルダ１９
のうち両端の２つで支持されており、中央の保持ホルダ
は、ウエハ２が前後に倒れるのを防止すると共に、処理
槽内でのウエハ処理中に該ウエハ２が回転しようとした
とき、当該オリエンテイション・フラット２ｂの直線部
に係合し、その回転を阻止して、安定したウエハ処理を
可能ならしめる。

【００２３】図３は、本実施例にかかるウエハ保持装置
をウエハ搬送装置本体に搭載したときの全体の斜視図で
ある。

【００２４】ヘッド１４は、ウエハ搬送器本体の垂直部
２２に、そのガイド溝２２ａに沿って上下方向に移動可
能に取り付けられており、図示しない駆動手段により上
下駆動される。また、ウエハ搬送器本体は、図示しない
駆動手段によって左右に移動可能になっている。

【００２５】なお、チャック９や、回転軸９ａ、保持棒
１０、補助棒１２、ヘッド１４などの、処理液に直接接
触する部材もしくは処理液の飛沫がかかるおそれがある
部材は、使用する処理液に対し耐腐食性を有する樹脂で
形成されている。

【００２６】このようなウエハ保持装置を用いて処理槽
内のウエハ２を保持する方法を図４に基づき説明する。

【００２７】（ａ） 処理槽２３内は所定の処理液２４
で満されており、この中にウエハ２がウエハ保持ホルダ
１９に複数枚保持されており、この中に、チャック９
を、その保持棒１０がウエハ２に接触しない程度に開き
ながら、所定位置まで下降させる。

【００２８】（ｂ) チャック９を閉じて、保持棒１０
のガイド溝１１および補助棒１２のガイド溝１３にウエ
ハ２の外縁を挿入させる。この段階では、それぞれのガ
イド溝１１、１３の底面部１１ｃ、１３ｃ（図１）は、
ウエハ２の外縁に接触していない。

【００２９】（ｃ） 次に、チャック９を上昇させる。
この段階で保持棒１０のガイド溝１１の底面部１１ｃ
が、ウエハ２の下部外縁に当接するが、補助棒１２のガ
イド溝１３の底面部１３ｃは、ウエハ２の外縁から離れ
たままであり、ウエハ２が前後に倒れないように補助す
る役目をする。

【００３０】（ｄ） そのまま、チャック９を上昇させ
ることによりウエハ２が保持棒１０に載置された状態で
ウエハ保持ホルダ１９から離脱し上昇する。

【００３１】このような保持方法によると、チャック９
の開きを最小限に止めることができ、処理槽２３の幅を
極力小さくしてメンテナンスコストを安価にすることが
できる。また、保持棒１０で、ウエハ２を下方からすく
い上げるようにして、該ウエハ２の自重のみで保持する
ことができるので、該外縁に無駄な力が加わらず、ウエ
ハ２を損傷することがなく、一方、ウエハ２の上部外縁
を補助棒１２により、前後左右にウエハ２が転倒しない
ようにガイドしているので、高速搬送する場合であって
も十分対応できるという利点がある。しかも、補助棒１
２のガイド溝１３は余裕をもってウエハ２に接触してい
るので、該外縁を損傷することはない。また、保持棒１
０または補助棒１２の取付位置、あるいは、ウエハ２の
径に多少のばらつきがあっても、ウエハ２の自重が一対
の保持棒１０のみで支えられるので、保持棒１０の一部
によって、偏った過大な力がウエハ２へと加わる恐れが
ない。さらに、補助棒１２は、保持棒１０とともにチャ
ック９に取り付けられており、チャック９の開閉にとも
なって、保持棒１０とともに開閉する。このため、所定
位置から主面に沿った水平方向にずれた位置にあるウエ
ハ２を保持する際にも、保持棒１０のみでウェハの水平
位置が矯正され、ウエハ２が補助棒１２に当接する恐れ
がない。

【００３２】なお、ウエハ保持装置を図４に示した動作
と逆の順序で動作させることにより、ウエハ２をウエハ
保持ホルダ１９に装着することが可能である。

【００３３】また、本実施例によるウエハ保持装置によ
れば、該チャック９の下降位置および閉じ具合を調整す
ることにより、直径の異なるウエハをチャック９を交換
せずに保持することが可能である。

【００３４】図５に、本発明にかかるウエハ保持装置の
別の実施例を示す。

【００３５】本実施例においては、図１と異なり、補助
棒１２´は、チャック９に直接付設されるのではなく、
回転軸９ｂを中心に回転可能にチャック９に付設された
揺動アーム９ｃに一つだけ取り付けられている。

【００３６】揺動アーム９ｃおよび補助棒１２´の材質
は、もちろん、所定の処理液に対し、耐腐食性を有する
必要があるが、チャック９を処理液中に沈めたとき浮か
び上がらないように、一番比重の大きい処理液より比重
の大きな材料を用いるか、もしくは、別の重りを付ける
ようにすることが望ましい。

【００３７】なお、ピン９ｄは、ウエハ２を保持してい
ないとき、揺動アーム９ｃが一定角度下がると、チャッ
ク９の右端に係合して、必要以上に下がるのを阻止する
ためのものである。

【００３８】本実施例にかかるウエハ保持装置の構造に
よれば、揺動アーム９ｃおよび補助棒１２´の重さはそ
れほど大きなものではないので、該ウエハ２にほとんど
負担はかからず、しかもほぼ真上でウエハ２をガイドで
きるので、その転倒を効率的に防止することが可能とな
ると共に、ウエハ２の上部外縁の位置に応じて、揺動ア
ーム９ｃが揺動するので、直径の異なるウエハを保持す
る際にチャック９を交換する必要がない。

【００３９】次に、本発明にかかるウエハ保持装置を組
み入れたウエハ処理システムの一例を示す。

【００４０】図６は、該ウエハ処理システム２５を前面
から見た概要図であり、キャリアストッカ２６、２７が
両サイドに配設され、該キャリアストッカ２６は、未処
理のウエハ２を収納したキャリア２８を収納しており、
キャリアストッカ２７は、処理済みウエハ２を収納した
キャリア２８を収納するようになっている。

【００４１】２９は、キャリア２８に収納されたウエハ
２を、本実施例にかかるウエハ保持装置３０ａで保持す
るためのロード部、反対に、３１は処理済のウエハ２を
ウエハ保持部３０ｂからキャリア２８に収納するための
アンロード部である。

【００４２】また、３２は、ウエハ処理部であり、内部
に処理槽３２ａ、３２ｂ、３２ｃ、３２ｄが配設されて
おり、その周囲には排気ダクト（図示せず。）が設けら
れている。また、処理槽３２ｄの隣には、公知の回転乾
燥機３７が設置されている。

【００４３】このウエハ処理部３２の前面には、ウエハ
搬送手段３３ａ、３３ｂが、左右に移動可能なように基
台３４に取り付けれており、該ウエハ搬送手段３３ａ、
３３ｂのそれぞれには、本発明にかかるウエハ保持装置
３０ａ、３０ｂが上下に移動可能に取り付けられてい
る。ウエハ搬送装置３３ａは、ロード部２９と処理槽３
２ａ、３２ｂ、３２ｃを担当し、ウエハ搬送装置３３ｂ
は、処理槽３２ｃ、３２ｄ、回転乾燥部３７およびアン
ロード部３１を担当するようになっている。

【００４４】また、ウエハ処理部３２の上方には、空キ
ャリア移送部３５があり、図示しないベルトコンベアに
より、ロード部２９上方からアンロード部３１上方へ空
キャリア２８を移動させる。

【００４５】また、３６は、下方に空気流を生じさせる
ための送風部である。

【００４６】なお、ウエハ処理部３２の背部には、各処
理槽に所定の処理液や洗浄液を供排するためのパイプ群
が配設されており、ロード部２９、アンロード部３１の
それぞれの背部にはキャリア搬送手段３８ａ、３８ｂが
設けられている（このキャリア搬送部３８ａ、３８ｂの
具体的な構造は図示しないが、キャリア２８を保持して
所定位置に移送できる搬送手段であればどのようなもの
でも構わない。）。

【００４７】次に、このようなウエハ処理システム２５
の動作を簡単に説明する。

【００４８】まず、キャリア搬送手段３８ａで、キャリ
アストッカ２６に収納されているキャリア２８を取り出
し、ロード部２９に載置する。キャリア２８の内面には
複数のガイド溝が等ピッチで刻設されており、そのガイ
ド溝にウエハ２の外縁が挿入されて整立され複数枚キャ
リア２８内に収納されている。このキャリア２８の底面
の中央部には、移し変え用の長穴が設けられており、こ
の長穴の下方から、上面にキャリア２８のガイド溝と同
様なガイド溝を刻設したロード用ウエハ保持ホルダ２９
ａを上方に突き出してウエハ２をキャリア２８から取り
出す。

【００４９】ウエハ搬送手段３３ａが、ロード部２９の
前に移動し、保持手段３０ａで該ウエハ２を保持しウエ
ハ処理部３２方向に搬送する。

【００５０】ウエハ２を取り出されて空となったキャリ
ア２８は、キャリア搬送手段３８ａによって、上方の空
キャリア移送部３５に移送され、さらにこの空キャリア
移送部３５に設けられたベルトコンベアによって、アン
ロード部３１の上方に移送される。キャリア搬送手段３
８ｂは、この移送された空キャリア２８をアンロードブ
３１に載置する。

【００５１】一方、ウエハ搬送手段３３ａとウエハ搬送
手段３３ｂは協力して、順次処理槽３２ａ、３２ｂ、３
２ｃ、３２ｄに該ウエハ２を浸漬せしめてウエハ処理を
した後、回転乾燥部３７で該ウエハ２を乾燥させ、アン
ロード部３１にて、空キャリア２８の底部の移し変え用
長穴から上方に突き出たアンロード用ウエハ保持ホルダ
３１ａに該ウエハ２を受け渡す。

【００５２】その後、アンロード用ウエハ保持ホルダ３
１ａがウエハ２を保持したまま下降し、空キャリア２８
に該処理済みウエハ２を収納せしめる。

【００５３】キャリア搬送手段３８ｂが、該キャリア２
８をキャリアストッカ２７に載置し、一連の処理動作が
終了する。

【００５４】なお、ウエハ２がオリエンテイション・フ
ラットを有する場合には、ロード部２９に公知のウエハ
整列装置（特開昭６２−１１５７３８号公報）を設け、
該オリエンテイション・フラットが全て下方に来るよう
に整列させておけば、以後のウエハ処理を均一に行うこ
とが可能となる。

【００５５】また、処理槽の数は必要に応じて増加する
ことが可能であり、それに応じてウエハ搬送手段３３
ａ、３３ｂを増加してもよい。

【００５６】また、必要に応じ、各処理槽の間にチャッ
ク洗浄槽を設ければ、各処理槽間の汚染をさらに防止す
ることができる。

【００５７】上述のウエハ処理システム２５では、空キ
ャリア搬送部３５を、処理部３２の上方に配設するよう
に構成したので、平面的にスペースを節約することがで
き、また、この結果処理部３２の前方および後方がフリ
ーとなるので、前面からの処理部３２のメンテナンスが
容易になると共に、背部からの処理液供排パイプ群のメ
ンテナンスも容易になる。また、このようなシステム構
成にすることにより、キャリアストッカ２６、２７、ロ
ード部２９、アンロード部３１、空キャリア搬送部３５
のそれぞれの間のキャリアの受け渡しを、一平面内で移
動するキャリア搬送手段３８ａ，３８ｂだけで行うこと
ができ、実に機能的なキャリアレス方式のウエハ処理シ
ステムを得ることができる。

【００５８】また、ウエハ保持装置３０ａ、３０ｂは上
述のように、ウエハ２を保持するときのチャック９の開
きが最小にできるように形成されているので、処理槽の
容積が少なくて済み、本システム全体をコンパクトにで
きるだけでなく、処理液の量及び洗浄時間が大幅に減少
され、メンテナンスコストが安価で、かつ、全体の処理
時間の短いすぐれたウエハ処理システムがを提供できる
ものである。

【００５９】また、ウエハ保持装置３０ａ、３０ｂに
は、上述のようにウエハの転倒防止専用補助棒を設けて
いるので、ウエハ搬送の際のウエハの転倒・脱落が防止
され高速搬送が可能になり、処理時間の短縮をさらに図
れる。

【００６０】上述のウエハ保持装置の実施例において
は、補助棒１２、１２′をウエハ２の中心線２ａのやや
上方の上部外縁に対応する位置に設けたものについて説
明したが、補助棒１２、１２′は、ウエハ２の転倒を防
止できる位置であれば他のどの位置に設けてもよい。た
だし本実施例においては、チャック９を直線状に形成し
ているため当該補助棒１２、１２′を保持棒１０の位置
よりさらに下方に設けることは実際上困難であろう。

【００６１】また、補助棒１２、１２′を、ウエハ２の
中心線２ａのやや下方の位置に設けておけば、ウエハ２
を処理槽２３から引き上げたときに補助棒１２、１２′
のガイド溝１３に入り込んだ処理液２４が滴となって下
に落ちる際にウエハ２の表面を流れることがなく、万一
ウエハ処理中にガイド１３内にパーティクルが生じたと
しても当該パーティクルがウエハ２の表面に付着するこ
とがない。

【００６２】また、上述のウエハ保持装置の実施例にお
いては、図２に示したように、保持棒１０、補助棒１
２、１２′のガイド溝１１、１３の断面形状をＹ形とし
ているが、これをＶ形とすることも可能である。後者の
場合においては、ウエハ２の外縁は、その端部において
ガイド溝１１、１３に接触するだけなので、ウエハ２と
各ガイド１１、１３との接触面積が少なくなり、当該ガ
イド溝１１、１３によって生じるウエハ２の損傷を最小
限に止めることができる。

【００６３】さらに、上述のウエハ保持装置の実施例に
おいて、保持棒１０、補助棒１２、１２′の断面形状は
円形に限定されるものではないが、液切れを早くするた
めには円形もしくはこれに近い形の方が望ましい。ま
た、それぞれのガイド溝の底面部１１ｃ、１３ｃの形状
は上述のものに限定されないのはもちろんである。

【００６４】また、駆動部１５の機構は、上述のピニオ
ン・ラック機構に限定されるものではなく、公知のチャ
ック駆動機構であればどのようなものでもよく、またア
クチュエータも空気式、油圧式のほかネジ送り機構を利
用したものでも使用可能である。さらに、チャック９を
回転により開閉させるのでなく、平行にスライドさせて
開閉動作させるように構成することも可能である。

【００６５】また、チャックのウエハ保持部分（該ウエ
ハを保持するため、処理槽などに挿入される部分）は、
ほぼ直線状に形成されているので、ウエハ保持の際に該
チャックの開きを最小にすることができ、処理槽の容積
を最小限に維持することが可能となる。この結果、ウエ
ハ処理装置自体の大きさをコンパクトにすることができ
るだけでなく、消費する処理液の量および処理液を少な
くすることができ、コストが大変安くなる。また、処理
液の量が少なくなった結果、その給排に要する時間も短
縮することができ、システム全体の処理時間を大幅に短
縮することができるようになった。

【００６６】

【発明の効果】本発明にかかるウエハ保持装置は、上述
のように、ウエハ２の下方の外縁を一対の保持棒ですく
い上げるように保持し、ウエハ２の外縁を、中心方向に
付勢力を持たない補助棒にてガイドしているので、ウエ
ハにほとんど力が加えられることはなく、したがってウ
エハ保持の際のウエハ損傷が全く生じない上、該補助棒
の働きにより、ウエハ搬送の際のウエハの転倒・脱落が
防止され高速搬送が可能になり、処理時間の短縮を図れ
る。また、保持棒または補助棒の取付位置、あるいは、
ウエハの径に多少のばらつきがあっても、ウエハの自重
が一対の保持棒のみで支えられるので、保持棒の一部に
よって、偏った過大な力がウエハへと加わる恐れがな
い。さらに、補助棒は、保持棒とともにチャックに取り
付けられており、チャックの開閉にともなって、保持棒
とともに開閉するので、所定位置から主面に沿った水平
方向にずれた位置にあるウエハを保持する際にも、保持
棒のみでウェハの水平位置が矯正され、ウエハが補助棒
に当接する恐れがない。

【００６７】さらに、一対の保持棒と少なくとも一本の
補助棒のみでウエハを保持するので、付着する処理液が
極めて少なく、これにより汚染のおそれが軽減されると
共に、洗浄層で洗浄する場合でも非常に短時間で洗浄す
ることが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例にかかるウエハ保持装置の概要
を示す図である。

【図２】図１の実施例における保持棒のガイド溝の形状
を示す図である。

【図３】図１の実施例の全体斜視図である。

【図４】図１の実施例にかかるウエハ保持装置を用い
て、ウエハを保持する方法を説明する図である。

【図５】本発明の別の実施例にかかるウエハ保持装置の
概要を示す図である。

【図６】本発明にかかるウエハ保持装置を組み入れたウ
エハ処理システムの一例を示す図である。

【図７】発明の背景としてのウエハ保持装置の構造を示
す図である。

【図８】従来のウエハ保持装置の構造を示す図である。

【図９】従来の別のウエハ保持装置の構造を示す図であ
る。

【符号の説明】

２ ウエハ ９ チャック ９ｃ 揺動アーム １０ 保持棒 １１、１３、１９ａ ガイド溝 １２、１２´ 補助棒 １４ ヘッド １５ チャック駆動手段 １６ 駆動歯車 １７ ラックギャ １８ アクチュエータ １９ ウエハ保持ホルダ ２２ 搬送装置本体 ２３ 処理槽 ２４ 処理液 ２５ ウエハ処理システム

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 廣江 敏朗 滋賀県野洲郡野洲町大字三上字口ノ川原 2426番１ 大日本スクリーン製造株式会 社 野洲事業所内 (56)参考文献 特開 昭63−111637（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−134834（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−90522（ＪＰ，Ａ)

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内側にウエハ外縁挿入のためのガイド溝
   を有し、該ウエハの下部外縁に当接して、下方から該ウ
   エハを持ち上げて保持する一対の保持棒と、該一対の保
   持棒を接離自在に吊設する一対のチャックとを有し、 さらに、前記保持棒と同一ピッチのガイド溝を有し、こ
   のガイド溝に前記ウエハ外縁の前記保持棒による保持位
   置とは異なる部分を挿入することにより、該ウエハが倒
   れないようにガイドするだけで該ウエハ外縁をその中心
   方向には付勢しない補助棒を少なくとも一つ前記チャッ
   クに備えることを特徴とするウエハ保持装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載のウエハ保持装置におい
   て、 前記補助棒が、前記チャックに回動可能に取り付けられ
   た揺動部材に設けられていることを特徴とする ウエハ保
   持装置。
3. 【請求項３】 請求項１記載のウエハ保持装置を用い
   て、垂直に整立されたウエハを保持する方法であって、 該ウエハの下部外縁に前記ウエハ保持装置の保持棒のガ
   イド溝を近接させ、次にチャックを上昇させて、該ウエ
   ハの下部外縁に前記ガイド溝に挿入させた後、さらにチ
   ャックを上昇させて、該ウエハの下部外縁を前記ガイド
   溝の底面に当接させ、該ウエハの自重のみにより該保持
   棒に保持されるようにし、一方、該ウエハ外縁の前記保
   持棒による保持位置とは異なる位置の少なくとも１箇所
   を、前記補助棒によりガイドするようにしたことを特徴
   とするウエハ保持方法。