JP2631356B2 - ゲートバルブ装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は半導体製造・検査装置
等に用いられる圧力差のある２室間、例えば真空状態と
大気圧下の２室間、または高真空状態と超高真空状態の
２室間を結ぶ開口部の開閉用ゲートバルブ装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のゲートバルブ装置は図６
に示すようなロッド５０を有し、ロッド５０の先端には
真空容器５１の開口部５２を開閉するためのシール部５
３が設けられており、またロッド５０は真空容器５１に
連通の隔壁５４内に配設されている。

【０００３】隔壁５４の外側には変位センサ部５５と電
磁石部５６が配設されており、変位センサ部５５はロッ
ド５０の変位を検出し、また電磁石部５６は変位センサ
部５５での検出結果に基づき励磁され、その磁力でロッ
ド５０の磁性体ターゲット５７を吸引し、ロッド５０を
径方向および軸方向の両方向に浮上支持する。

【０００４】このような構成のゲートバルブ装置におい
て開口部５２を閉とする際は、電磁石部５６の励磁電流
を制御してロッド５０を径方向に平行移動し、これによ
りシール部５３を開口部５２に当接させ、この当接力で
シール部５３のＯリング５８を弾性変形させる。なお開
口部５２を開とする際は上記とは逆方向にロッド５０を
平行移動し、開口部５２からシール部５３を遠ざける。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ゲートバルブ装置にあっては、電磁石部５６から磁性体
ターゲット５７までの距離が、Ｏリング５８のつぶし量
（約１ｍｍ）、Ｏリング５８と真空容器５１の隙間（約
０．５ｍｍ）および隔壁５４と電磁石部５６の隙間（約
０．５ｍｍ）を加算した合計（２．５ｍｍ以上）であ
り、このように電磁石部５６と磁性体ターゲット５７間
の距離が長く、しかも電磁石部５６は単にロッド５０を
径方向に支持するだけでなく、ロッド５０のスラスト荷
重をも受けるものである。このため大型の電磁石が必要
であり、装置全体が大型なものとなるとともに、装置コ
ストも高くなり、また電磁石からの発熱量も大きい等の
問題点がある。

【０００６】この発明は上述の事情に鑑みてなされたも
ので、その目的とするところは電磁石部の小型化を通じ
て低コスト化、コンパクト化および発熱量の低減を図る
のに好適なゲートバルブ装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載の発明は容器の開口部と対向する位置
に配設した蓋体と、上記蓋体の一側に一体に設けた首部
と、上記首部を径方向に磁力で浮上支持するための径方
向電磁石部を備えるラジアル磁気支持手段と、上記首部
に一体に装着した内側永久磁石体との反発力で当該首部
を軸方向に浮上支持する外側永久磁石体と、上記容器の
開口部に向かって首部を前後に振らせるとともに、この
首振り動作により蓋体での開口部の開閉を実行する首振
り手段とを具備することを特徴とする。

【０００８】請求項２記載の発明は首振り手段が、ラジ
アル磁気支持手段および外側永久磁石体を回転させる回
転機構体からなることを特徴とする。

【０００９】請求項３記載の発明はラジアル磁気支持手
段が、首部の軸方向に沿って配設された第１および第２
の径方向電磁石部を有し、首振り手段が、上記両径方向
電磁石部のうち少なくともいずれか一方の励磁電流を制
御して首部の径方向浮上位置を変更する、首振り制御部
からなることを特徴とする。

【００１０】請求項４記載の発明は蓋体を、磁性体で形
成し、容器の開口部と蓋体との間に、弾性シール部材を
配設し、容器の開口部に、蓋体を吸引するためのシール
用電磁石を設けたことを特徴とする。

【００１１】請求項５記載の発明は先部を一定角度の傾
斜端とし、後部を容器の開口部に接続してなる筒状のシ
ールブロックと、上記シールブロックの傾斜端側に位置
し、かつ傾斜端との対向面に斜面部を備える蓋体と、上
記蓋体の斜面部とシールブロックの傾斜端との間に配設
した弾性シール部材と、上記蓋体の下部に取り付けられ
た首部と、上記首部を径方向に磁力で浮上支持するため
の径方向電磁石部と、上記首部に一体に装着した内側永
久磁石体との反発力で当該首部を軸方向に浮上支持する
外側永久磁石体と、上記首部を軸方向に吸引するととも
に、この吸引力で蓋体の斜面部とシールブロックの傾斜
端とを密着させるシール用電磁石とを具備することを特
徴とする。

【００１２】

【作用】この発明では、外側永久磁石体が首部のスラス
ト荷重を受ける。このため径方向電磁石部の役割負担は
首部の径方向浮上支持のみとなる。

【００１３】特に、請求項１ないし３記載の発明による
と、開口部の開閉を行う際は首部の首振り動作が行われ
る。このため首部を僅かに振るだけで、これが拡大され
て蓋体が大きく前後に移動し、開口部の開閉に要する蓋
体の移動ストロークが十分に得られる。

【００１４】請求項４記載の発明では、シール用電磁石
が弾性シール部材の弾性変形力（つぶし力）を発生す
る。

【００１５】請求項５記載の発明では、開口部の開閉を
行う際は蓋体の首部が軸方向に前後移動し、またシール
用電磁石が弾性シール部材の弾性変形力（つぶし力）を
発生する。

【００１６】

【実施例】以下、この発明に係るゲートバルブ装置の実
施例について図１ないし図５を用い詳細に説明する。

【００１７】このゲートバルブ装置は図１に示すように
真空容器１内に蓋体２を備え、蓋体２は真空容器１の開
口部３と対向する位置に配設されており、また蓋体２の
一側にはロッド状の首部４が一体に設けられている。

【００１８】首部４は真空容器１の貫通穴５に上下動可
能に挿入されており、その先端４ａは真空容器１内に位
置するが、後端４ｂは真空と大気とを遮断するための隔
壁６内に配置されている。

【００１９】隔壁６は真空容器１の外側に配設され、か
つ筒状に形成されており、隔壁６の一端は貫通穴５に開
口し、かつ真空容器１に固定されている一方、隔壁６の
他端は密閉蓋７により密閉されている。

【００２０】なお、真空容器１への隔壁６の固定は隔壁
６の一端外周縁に設けたフランジ部８と、これを真空容
器１に連結するねじ（図示省略）とによるものであり、
またフランジ部８と真空容器１との間にはその隙間を遮
断するためのシール部材１０が介挿されている。

【００２１】隔壁６の外周面側にはラジアル磁気支持手
段１１が設けられており、ラジアル磁気支持手段１１は
径方向電磁石部１２および径方向変位センサ部（図示省
略）等から構成されている。

【００２２】径方向電磁石部１２は図２に示すように隔
壁６の外周面側に環状に設置された電磁石１２ａ，１２
ａ…から構成されており、また図示省略の径方向変位セ
ンサ部は首部４の径方向変位を検出し、これを制御回路
（図示省略）に出力する。制御回路は径方向変位センサ
部での検出結果に基づき径方向電磁石部１２の励磁電流
を制御し、これにより径方向電磁石部１２の吸引力を調
節する。

【００２３】隔壁６の内側には磁性体ターゲット１３が
配設されており、磁性体ターゲット１３は首部４の外周
面に一体に設けられ、かつ隔壁６を介して径方向電磁石
部１２と対向するように設置されている。

【００２４】このようなラジアル磁気支持手段１１は径
方向電磁石部１２の磁力で磁性体ターゲット１３を吸引
し、これにより首部４を径方向に浮上支持するように構
成されている。

【００２５】隔壁６の外周面側には図１に示す通り上位
・下位の外側永久磁石体１４，１５が、また隔壁６の内
側には上位・下位の内側永久磁石体１６，１７が配設さ
れており、外側永久磁石体１４，１５は径方向電磁石部
１２の両側に位置し、かつ隔壁６を介して内側永久磁石
体１６，１７と対向するように設置されている一方、内
側永久磁石体１６，１７は磁性体ターゲット１３の両側
に位置し、かつ首部４に一体に取り付けられている。

【００２６】外側永久磁石体１４，１５は内側永久磁石
体１６，１７と反発するように設定されており、また上
位の外側永久磁石体１４は上位の内側永久磁石体１６よ
り若干貫通穴５寄りに、下位の外側永久磁石体１５は下
位の内側永久磁石体１７より若干密閉蓋７寄りに配置さ
れている。

【００２７】このような外側永久磁石体１４，１５は内
側永久磁石体１６，１７との反発力で首部４を軸方向に
浮上支持し、首部４にかかる軸方向の荷重（スラスト
力）を受けるように機能する。

【００２８】径方向電磁石部１２、径方向変位センサ部
（図示省略）および外側永久磁石体１４，１５等はすべ
てブロック１８に取り付けられており、ブロック１８の
近傍には首振り手段として回転機構体１９が設けられて
いる。

【００２９】回転機構体１９は回転ピン２０を介してブ
ロック１８を一定方向に回転させる機構であり、回転機
構体１９によるブロック１８の正逆転がなされると、こ
れに追従して首部４が前後に振れる、いわゆる首部４の
首振り動作が行われる。

【００３０】上記のような首振り動作の方向は首部４が
真空容器１の開口部３に向かって前後に振れる方向に設
定されている。

【００３１】なお、ブロック１８は全体が隔壁６に沿っ
て前後移動するようにも構成されており、このようなブ
ロック１８の前後移動は図示しないスライド機構により
行われ、またブロック１８が前後進すると、これに追従
して首部４もブロック１８と同じ方向に前後進する。

【００３２】真空容器１の開口部３と蓋体２との間には
筒状のシールブロック２１および弾性シール部材として
Ｏリング２２が配設されており、筒型のシールブロック
２１は後部が開口部３周縁に取り付けられ、かつ先部が
蓋体２と対向するように設けられ、またＯリング２２は
シールブロック２１と蓋体２との当接部をシールするた
めに蓋体２側に装着されている。

【００３３】蓋体２は磁性体で形成されている一方、真
空容器１の開口部３にはシール用電磁石２３が配設され
ており、シール用電磁石２３はシールブロック２１の外
周面側に位置し、かつ蓋体２を吸引し、この吸引力でＯ
リング２２を弾性変形させるために設けられている。

【００３４】次に、上記の如く構成されたゲートバルブ
装置の動作について図１ないし図３を基に説明する。

【００３５】このゲートバルブ装置によれば、ラジアル
磁気支持手段１１が作動すると、径方向電磁石部１２が
磁性体ターゲット１３を吸引し、これにより首部４が径
方向に浮上支持される。

【００３６】これに加えて、外側永久磁石体１４，１５
が内側永久磁石体１６，１７との反発力で首部４を軸方
向に浮上支持する。

【００３７】つまり、首部４の径方向浮上支持は径方向
電磁石部１２が、また軸方向浮上支持は外側永久磁石体
１４，１５がそれぞれ個別に担当する。

【００３８】上記の如く首部４が浮上支持された状態
で、ブロック１８全体が隔壁６に沿って前後移動する
と、これに追従して首部４もブロック１８と同じ方向に
前後進するので、このような追従移動を利用して蓋体２
が真空容器１の開口部３と対向するようにセットする。

【００３９】その後、回転機構体１８が作動し、開口部
３と蓋体２を密着させるための首振り動作が行われる。

【００４０】すなわち、ブロック１８が一定の角度で回
転するとともに、これに追従・同期して首部４が同じ方
向に回転移動し、これにより蓋体２が開口部３側に向か
って前進し、蓋体２とシールブロック２１とが当接す
る。

【００４１】このようにして蓋体２がシールブロック２
１に当接すると、シール用電磁石２３に励磁電流が供給
され、これにより蓋体２がシール用電磁石２３側に吸引
されるとともに、この吸引力でＯリング２２が弾性変形
し、開口部３が完全に閉じられる。

【００４２】なお、開口部３を開とする場合には上記と
は逆の動作が行われる。すなわちシール用電磁石２３へ
の電流供給が停止され、その後、開口部３と蓋体２の密
着・当接を解除するための首振り動作が行われる。密着
解除のための首振動作はブロック１８を上記とは逆方向
に回転させるものである。

【００４３】図４はこの発明の他の実施例を示すもの
で、同図に示すゲートバルブ装置が上記実施例と異なる
ところはラジアル磁気支持手段１１が第１および第２の
径方向電磁石部２４，２５を備え、首振り手段が首振り
制御部２６から構成されている点にある。

【００４４】すなわち、ラジアル磁気支持手段１１は磁
力で首部４を径方向に２点支持する構成を採用したもの
であり、このような２点支持を行うために、第１および
第２の径方向電磁石部２４，２５は首部４の軸方向に沿
って配設されている。なお第１および第２の径方向電磁
石部２４，２５がいずれも複数の電磁石から構成されて
いること等は上記実施例と同様である。

【００４５】首振り制御部２６は第１の径方向電磁石部
２４の励磁電流、第２の径方向電磁石部２５の励磁電
流、または両径方向電磁石部２４，２５の励磁電流を制
御して首部４の径方向浮上位置を変更し、これにより首
部４を振らせる。

【００４６】つまり、励磁電流の制御により第１または
第２の径方向電磁石部２４，２５の吸引力をコントロー
ルすると、第１の径方向電磁石部２４側での首部４の径
方向浮上位置、または第２の径方向電磁石部２５側での
首部４の径方向浮上位置を自在に変更することができる
ことから、首振り制御部２６はこのような励磁電流の制
御による浮上位置の変更を行い、これにより首部４の首
振り動作を実行するものとして構成されている。

【００４７】首振り動作のための励磁電流の制御対象
を、第１の径方向電磁石部２４のみとした場合には第２
の径方向電磁石部２５の支持中心Ｏ₁ を支点とする首振
り動作を、また第２の径方向電磁石部２５のみとした場
合には第１の径方向電磁石部２４の支持中心Ｏ₂ を支点
とする首振り動作を行うことができ、さらにそのような
制御対象を両電磁石部２４，２５とした場合には首振り
動作の支点を両電磁石部２４，２５間Ｏ₃ に設定するこ
とができる。

【００４８】なお、首振り動作の方向は上記実施例と同
じく首部４が真空容器１の開口部３に向かって前後に振
れる方向に設定されている。

【００４９】次に、上記の如く構成されたゲートバルブ
装置の動作について図４を基に説明する。

【００５０】このゲートバルブ装置では、首部４の径方
向浮上支持は径方向電磁石部２４，２５が、また首部４
の軸方向浮上支持は外側永久磁石体１４，１５がそれぞ
れ個別に担当する。そして、このように首部４を浮上支
持した状態で、ブロック１８全体が隔壁６に沿って前後
移動すると、これに追従して首部４もブロック１８と同
じ方向に前後進するので、この追従移動を利用して蓋体
２が真空容器１の開口部３と対向するようにセットす
る。

【００５１】その後、首振り制御部２６が第１の径方向
電磁石部２４の励磁電流を制御して、開口部３と蓋体２
を密着させるための首振り動作を実行する。

【００５２】すなわち、首部４が第２の径方向電磁石部
２５の支持点を中心に回転移動し、これにより蓋体２が
開口部３側へ前進し、蓋体２とシールブロック２１とが
当接する。

【００５３】このようにして蓋体２とシールブロック２
１が当接した後は、上記実施例と同じくシール用電磁石
２３による蓋体２の吸引と、この吸引力によるＯリング
２２の弾性変形がなされ、開口部３が完全に閉じられ
る。なお開口部３を開とする場合には上記とは逆の動作
を実行すればよい。

【００５４】図５はこの発明の他の実施例を示すもの
で、上記実施例と同一部材には同一符号を付す。

【００５５】同図に示すゲートバルブ装置も上記実施例
と同じく筒状のシールブロック２１を具備するが、この
実施例のシールブロック２１は上記実施例のものと異な
り、その先部が一定角度の傾斜端２１ａとして設けられ
ており、傾斜端２１ａは筒の胴体腹部を一定の角度で斜
めに切り取った形状を呈する。なおシールブロック２１
の後部２１ｂは上記実施例と同じく真空容器１の開口部
３周縁に接続されている。

【００５６】シールブロック２１の傾斜端２１ａ側には
蓋体２が配設され、蓋体２には傾斜端２１ａとの対向面
に斜面部２６が形成されており、傾斜端２１ａと斜面部
２６の傾斜角度は等しく設けられている。

【００５７】斜面部２６と傾斜端２１ａとの間には弾性
シール部材としてＯリング２２が配設されており、Ｏリ
ング２２は傾斜端２１ａと斜面部２６との当接部をシー
ルするために蓋体２側に装着されている。

【００５８】蓋体２の下部には首部４が取り付けられて
いる。なお首部４およびその周辺構造、すなわち首部４
は真空容器１の貫通穴５に上下動可能に挿入され、その
後端４ｂは隔壁６内に位置し、隔壁６は真空容器１の外
側に配設されていること、および隔壁６の外周面側には
ラジアル磁気支持手段１１と外側永久磁石体１４，１５
が設けられており、ラジアル磁気支持手段１１は径方向
電磁石部１２の磁力で磁性体ターゲット１３を吸引し、
これにより首部４を径方向に浮上支持する一方、外側永
久磁石体１４，１５は内側永久磁石体１６，１７との反
発力で首部４を軸方向に浮上支持すること等については
上記実施例と同様なため、その詳細説明は省略する。

【００５９】隔壁６は首部４の後端４ｂに中段部２７を
有し、この中段部２７から密閉蓋７までの間は大径の拡
径室２８として設けられており、拡径室２８内には吸引
板２９が、また拡径室２８の外側にはシール用電磁石２
３が配設されている。

【００６０】吸引板２９は連結ロット３０を介して首部
４の後端４ｂに一体に取り付けられており、またシール
用電磁石２３は吸引板２９と対向する位置に設置され、
かつ吸引板２９を通じて首部４を軸方向に吸引し、この
吸引力でＯリング２２を弾性変形させるために設けられ
ている。

【００６１】なお、吸引板２９の表面には吸引時の衝撃
を緩和するためのクッション材３１が配設されている。

【００６２】次に、上記の如く構成されたゲートバルブ
装置の動作について図５を基に説明する。

【００６３】このゲートバルブ装置においても、上記実
施例と同じく首部４の径方向浮上支持は径方向電磁石部
２１が、また首部４の軸方向浮上支持は外側永久磁石体
１４，１５がそれぞれ個別に担当する。

【００６４】上記のように首部４を浮上支持した状態
で、そのままブロック１８全体が隔壁６に沿って上昇す
る。これに追従して首部４が上昇移動し、蓋体２の斜面
部２６がシールブロック２１の傾斜端２１ａに接近・対
向する。

【００６５】その後、シール用電磁石２３に励磁電流が
供給されると、シール用電磁石２３が吸引板２９を通じ
て首部４を軸方向に吸引し、この吸引力でＯリング２２
が弾性変形し、開口部３が完全に閉じられる。なお開口
部３を開とする場合には上記とは逆の動作を実行すれば
よい。

【００６６】したがって、上記各実施例の装置にあって
は、いずれも首部４のスラスト荷重を外側永久磁石体１
４，１５で受けるとともに、Ｏリング２２の弾性変形力
（つぶし力）をシール用電磁石２３で発生するように構
成したものである。このため径方向電磁石部１２，２
４，２５の役割負担が首部４の径方向浮上支持のみとな
り、径方向電磁石部を小型なものとすることができるこ
とから、装置全体のコンパクト化、低コスト化、および
電磁石部からの発熱量の低減を図れる。

【００６７】特に、第１および第２の実施例の装置は、
開口部３の開閉を行う際、蓋体２の首部４を径方向に平
行移動させるのではなく、首振り動作させるように構成
したものである。このため首部４を僅かに振るだけで、
これが拡大されて蓋体２が大きく前後に移動し、開口部
３の開閉に要する蓋体２の移動ストロークが十分に得ら
れる。従って径方向電磁石１２，２４，２５から首部４
の磁性体ターゲット１３までの間は首部４の僅かな回転
に要する微小スペースを確保するだけでよく、その間の
距離を短く設定することができる点でも径方向電磁石部
の小型化を図れる。

【００６８】また、第３の実施例の装置は、開口部３の
開閉を行う際、蓋体２の首部４を径方向の平行移動でな
く、軸方向に前後移動するものであるため、径方向電磁
石部１２から首部４の磁性体ターゲット１３までの間
に、首部４の径方向平行移動のためのスペースを設ける
必要がなく、その間の距離を短く設定することができ、
上記実施例と同じく径方向電磁石部の小型化を図れる。

【００６９】

【発明の効果】この発明に係るゲートバルブ装置にあっ
ては、首部のスラスト荷重を外側永久磁石体で受けるよ
うに構成したものである。このため径方向電磁石部の役
割負担が首部の径方向浮上支持のみとなり、径方向電磁
石部を小型なものとすることができることから、装置全
体のコンパクト化、低コスト化、および電磁石部からの
発熱量の低減を図れる。

【００７０】特に、請求項１ないし３記載の発明による
と、開口部の開閉を行う際、蓋体の首部を径方向に平行
移動させるのではなく、首振り動作させるように構成し
たものである。このため首部を僅かに振るだけで、これ
が拡大されて蓋体が大きく前後に移動し、開口部の開閉
に要する蓋体の移動ストロークが十分に得られる。従っ
て径方向電磁石から首部までの間は首部の僅かな回転に
要する微小スペースを確保するだけでよく、その間の距
離を短く設定することができる点でも径方向電磁石の小
型化を図れる。

【００７１】請求項５記載の発明は、開口部の開閉を行
う際、蓋体の首部を径方向の平行移動でなく、軸方向に
前後移動するものであるため、径方向電磁石から首部の
磁性体ターゲットまでの間に、首部の径方向平行移動の
ためのスペースを設ける必要がなく、その間の距離を短
く設定することができる点で、上記と同じく径方向電磁
石の小型化を図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に係るゲートバルブ装置の一実施例を
示す断面図。

【図２】図１のII−II線断面図。

【図３】図１に示すゲートバルブ装置の動作説明図。

【図４】この発明の他の実施例を示す断面図。

【図５】この発明の他の実施例を示す断面図。

【図６】従来のゲートバルブ装置の断面図。

【符号の説明】 １ 容器 ２ 蓋体 ３ 開口部 ４ 首部 １２ 径方向電磁石部 １１ ラジアル磁気支持手段 １４，１５ 外側永久磁石体 １９ 回転機構体（首振り手段） ２１ シールブロック ２２ Ｏリング（弾性シール部材） ２３ シール用電磁石 ２４ 第１の径方向電磁石部 ２５ 第２の径方向電磁石部 ２６ 首振り制御部（首振り手段）

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 容器の開口部と対向する位置に配設した
   蓋体と、 上記蓋体の一側に一体に設けた首部と、 上記首部を径方向に磁力で浮上支持するための径方向電
   磁石部を備えるラジアル磁気支持手段と、 上記首部に一体に装着した内側永久磁石体との反発力で
   当該首部を軸方向に浮上支持する外側永久磁石体と、 上記容器の開口部に向かって首部を前後に振らせるとと
   もに、この首振り動作により蓋体での開口部の開閉を実
   行する首振り手段とを具備することを特徴とするゲート
   バルブ装置。
2. 【請求項２】 首振り手段が、ラジアル磁気支持手段お
   よび外側永久磁石体を回転させる回転機構体からなるこ
   とを特徴とする請求項１記載のゲートバルブ装置。
3. 【請求項３】 ラジアル磁気支持手段が、首部の軸方向
   に沿って配設された第１および第２の径方向電磁石部を
   有し、 首振り手段が、上記両径方向電磁石部のうち少なくとも
   いずれか一方の励磁電流を制御して首部の径方向浮上位
   置を変更する、首振り制御部からなることを特徴とする
   請求項１記載のゲートバルブ装置。
4. 【請求項４】 蓋体を、磁性体で形成し、 容器の開口部と蓋体との間に、弾性シール部材を配設
   し、 容器の開口部に、蓋体を吸引するためのシール用電磁石
   を設けたことを特徴とする請求項１記載のゲートバルブ
   装置。
5. 【請求項５】 先部を一定角度の傾斜端とし、後部を容
   器の開口部に接続してなる筒状のシールブロックと、 上記シールブロックの傾斜端側に位置し、かつ傾斜端と
   の対向面に斜面部を備える蓋体と、 上記蓋体の斜面部とシールブロックの傾斜端との間に配
   設した弾性シール部材と、 上記蓋体の下部に取り付けられた首部と、 上記首部を径方向に磁力で浮上支持するための径方向電
   磁石部と、 上記首部に一体に装着した内側永久磁石体との反発力で
   当該首部を軸方向に浮上支持する外側永久磁石体と、 上記首部を軸方向に吸引するとともに、この吸引力で蓋
   体の斜面部とシールブロックの傾斜端とを密着させるシ
   ール用電磁石とを具備することを特徴とするゲートバル
   ブ装置。