JP2618368B2 - 圧力制御装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、エアリークテスタ等に
適用される圧力制御装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図５には、従来のエアリークテスタの一
例が示されている。エア通路１０（流体通路）の一端に
は圧縮エア源１１（圧力源）が接続され、エア通路１０
の他端が出力端１２となっている。エア通路１０には、
レギュレータ１８と電磁切換弁１９と流量計１４が上流
側から順に配置されている。レギュレータ１８はスプリ
ングのセット力に対応する所定レベルの供給圧力になる
ように圧縮エア源１１からの圧力をの一部を大気へ逃が
して減圧する。上記リークテスタでは、出力端１２にワ
ークを接続した後で、電磁切換弁１９をオンにしてレギ
ュレータ１８からの供給圧力をワークに供給する。ワー
クに漏れがない場合には、ワークの内圧が低下せず、レ
ギュレータ１８も開かないので、エア通路１０にエアが
流れない。ワークに漏れがある場合には、ワークの内圧
が低下し、これに応じてレギュレータ１８が開いて圧縮
エア源１１と出力端１２を連通させるので、エア通路１
０にエアが流れる。このエアの流れを流量計１４で検出
することにより、ワークの漏れを判定する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記構成では、供給圧
力のレベルはレギュレータ１８のスプリングのセット力
に対応していて一定であるため、供給圧力を変更するこ
とができなかった。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するためになされたものであり、請求項１の圧力制御
装置は、（イ）圧力源と、（ロ）上記圧力源に一端が接
続され他端が出力端として提供される流体通路と、
（ハ）流体通路に設けられた制御弁と、（ニ）上記出力
端またはその近傍の圧力を検出する圧力検出手段と、
（ホ）上記制御弁の下流側の圧力の微分値を検出する圧
力微分値検出手段と、（ヘ）圧力を設定する圧力設定手
段と、（ト）上記検出圧力と上記圧力微分値の和と、上
記設定圧力との差に基づいて、上記制御弁を制御するこ
とにより出力端圧力を設定圧力に一致させる弁制御手段
とを備え、上記圧力微分値検出手段が、上記圧力検出手
段の検出圧力を微分することにより第１微分値を得る第
１微分手段と、上記制御弁の下流かつ近傍の圧力を検出
する補助圧力検出手段と、この補助圧力検出手段からの
検出圧力を微分することにより第２微分値を得る第２微
分手段とを備え、これら第１微分値と第２微分値の和が
上記圧力微分値として提供されることを特徴とする。請
求項２の圧力制御装置は、上記（イ）〜（ロ）の構成を
備え、上記制御弁が主制御弁として提供され、上記弁制
御手段が、この主制御弁にパイロット圧を供給して主制
御弁を制御するパイロット制御弁と、このパイロット制
御弁を上記差に基づいて制御するパイロット圧制御手段
とを備え、上記圧力微分値検出手段が、上記圧力検出手
段の検出圧力を微分することにより第１微分値を得る第
１微分手段と、上記パイロット制御弁の下流かつ近傍の
圧力を検出する補助圧力検出手段と、この補助圧力検出
手段からの検出圧力を微分することにより第２微分値を
得る第２微分手段とを備え、これら第１微分値と第２微
分値の和が上記圧力微分値として提供されることを特徴
とする。請求項３の圧力制御装置は、（イ）圧力源と、
（ロ）上記圧力源に一端が接続され他端が出力端として
提供される流体通路と、（ハ）上記流体通路に設けられ
た主制御弁と、（ニ）上記主制御弁にパイロット圧を供
給してこの主制御弁を制御するパイロット制御弁と、
（ホ）上記出力端またはその近傍の圧力を検出する圧力
検出手段と、（ヘ）上記パイロット制御弁の下流側の圧
力を検出する補助圧力検出手段と、（ト）上記補助圧力
検出手段からの圧力を微分して圧力微分値を検出する微
分手段と、（チ）圧力を設定する圧力設定手段と、
（リ）上記検出圧力と上記圧力微分値の和と、上記設定
圧力との差に基づいて、上記パイロット制御弁を制御
し、ひいては主制御弁を制御することにより出力端圧力
を設定圧力に一致させるパイロット圧制御手段と、を備
えたことを特徴とする。

【０００５】

【作用】請求項１の発明において、弁制御手段は、基本
的に、圧力検出手段からの検出圧力と圧力設定手段から
の設定圧力との差に基づいて検出圧力が設定圧力に一致
するように、制御弁を制御する。設定圧力は、圧力設定
手段で所望レベルに設定できる。圧力検出手段は、出力
端またはその近傍の圧力を検出するので、正確に出力端
圧力を設定圧力にすることができる。制御弁と出力端と
の間の流通抵抗により、制御弁の開度変化から遅れて出
力端圧力が変化するため、上記検出圧力を設定圧力との
差に基づいて制御弁を制御するだけでは、出力端圧力に
オーバーシュート，アンダーシュートが過度に現れてし
まう。しかし、請求項１の発明では、制御弁の下流側の
圧力微分値を圧力微分値検出手段で検出し、この圧力微
分値と上記検出圧力の和と、上記設定圧力との差に基づ
いて制御弁を制御する。そのため、上記検出圧力の和と
設定圧力の差を圧力微分値が減じる役割を担うことがで
き、上記検出圧力の遅れに起因して制御弁が過度に制御
されるのを抑制できる。その結果、設定圧力に基づき制
御弁の制御を開始した時や、設定圧力を変更した時等
に、オーバーシュート，アンダーシュートを抑制でき、
これに伴うハンチングを防止できるとともに、設定圧力
への収斂を早くさせることができる。しかも、制御弁の
下流かつ近傍の検出圧力の微分値（第２微分値）が、設
定圧力に基づく制御弁の制御開始直後や、設定圧力の変
更時の直後において、出力端での検出圧力と設定圧力の
差を減じて制御弁の開度変化を抑制し、しかも、これよ
り遅れて出力端に現れる検出圧力の微分値（第１微分
値）が、この遅れ時間経過時の検出圧力と設定圧力の差
を減じて制御弁の開度変化を抑制する。このように２つ
の時点での抑制効果により、上記ハンチング防止等をよ
り確実にすることができ、設定圧力への収斂をより早く
させることができる。

【０００６】請求項２の発明では、大流量を流体通路に
流す必要がある場合に適した構成であり、主制御弁をパ
イロット制御弁で制御する。この場合、主制御弁と出力
端との間の流通抵抗と、主制御弁の容量とにより、パイ
ロット制御弁での制御の結果が、上記出力端圧力に遅れ
て現れる。この場合でも、主制御弁の下流側の圧力微分
値を用いることにより、オーバーシュート，アンダーシ
ュートを抑制でき、これに伴うハンチングを防止できる
とともに、設定圧力への収斂を早くさせることができ
る。しかも、大流量を流体通路に流す必要がある場合に
適した構成であり、パイロット制御弁の下流側の検出圧
力の微分値（第２微分値）が、設定圧力に基づく制御弁
の制御開始直後や、設定圧力の変更時の直後において、
出力端での検出圧力と設定圧力の差を減じて制御弁の開
度変化を抑制し、しかも、これより遅れて出力端に現れ
る検出圧力の微分値（第１微分値）が、この遅れ時間経
過時の出力端での検出圧力と設定圧力の差を減じて制御
弁の開度変化を抑制する。このように２つの時点での抑
制効果により、上記ハンチング防止等をより確実にする
ことができ、設定圧力への収斂をより早くさせることが
できる。

【０００７】請求項５も、大流量を流体通路に流す必要
がある場合に適した構成であり、少なくともパイロット
制御弁の下流側の検出圧力の微分値が、設定圧力に基づ
く制御弁の制御開始直後や、設定圧力の変更時の直後に
おいて、出力端での検出圧力と設定圧力の差を減じて制
御弁の開度変化を抑制するので、上記ハンチングを防止
でき、設定圧力への収斂を早くさせることができる。

【０００８】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図１を参照して説
明する。このエアリークテスタは、エア通路１０（流体
通路）を備えている。このエア通路１０の一端には、圧
縮エア源１１（圧力源）が接続され、他端は出力端１２
となっている。エア通路１０には、圧縮エア源１１の圧
力を設定圧力まで減じて出力端１２に供給する比例流量
制御弁１３が設けられている。この制御弁１３と出力端
１２との間のエア通路１０には、流量計１４が接続され
ている。

【０００９】上記制御弁１３を制御するための構成は以
下の通りである。圧力センサ２１（圧力検出手段）が、
出力端１２またはその近傍の圧力を検出して検出電圧を
出力する。この圧力センサ２１からの検出電圧は増幅器
２２により増幅される。また、この検出電圧は微分回路
２３（第１微分手段）により微分され、第１微分電圧Ｖ
ｆ₁（第１微分値）が得られる。また、補助圧力センサ
２４（補助圧力検出手段）が制御弁１３の下流側かつ近
傍の圧力を検出する。この検出圧力は微分回路２５（第
２微分手段）により微分され、第２微分電圧Ｖｆ₂（第
２微分値）が得られる。上記検出電圧Ｖｄと第１微分電
圧Ｖｆ₁と第２微分電圧Ｖｆ₂は、加算回路２６で加算さ
れて、差動増幅器２７（弁制御手段）の非反転入力端子
に入力される。

【００１０】他方、設定電圧発生回路（圧力設定手段）
２８は、電源Ｖと、これに接続される可変抵抗器２８ａ
と、電源Ｖと可変抵抗器２８ａとの間に介在されるスイ
ッチ２８ｂを備えている。この可変抵抗器２８ａの接点
電圧が、設定圧力を表す設定電圧Ｖｒとして上記差動増
幅器２７の反転入力端子に入力される。差動増幅器２７
の出力電圧Ｖoutは制御弁１３に出力され、この制御弁
１３は、差動増幅器２７からの出力電圧Ｖoutに比例し
た流量になるように開度制御される。

【００１１】上記エアリークテスタの基本的な作用を説
明する。上記出力端１２にリークテストの対象となるワ
ークを接続する。次に、設定電圧発生回路２８のスイッ
チ２８ｂをオンすることにより、設定電圧Ｖｒを発生さ
せる。この時の制御弁１３の下流側の圧力は大気圧であ
るから、増幅された検出電圧Ｖｄは設定電圧Ｖｒと大き
な差がある。そのため、差動増幅器２４からの出力電圧
Ｖoutが一方の極性（マイナス側）で大となり、これに
伴い制御弁１３の開度が大となって圧縮エア源１１から
の圧縮エアが比較的大きな流量で制御弁１３を流れる。
その結果、出力端１２に接続されたワークに圧縮エアが
供給され、ワーク内圧は急速に立ち上がる。ワーク内圧
が設定圧力になると、増幅された検出電圧Ｖｄと設定電
圧Ｖｒとの差はゼロとなり、これにより差動増幅器２４
の出力電圧はゼロとなって、制御弁１３は閉じられる。
なお、上記説明では、説明を簡略化するため微分電圧Ｖ
ｆ₁，Ｖｆ₂を無視して説明した。

【００１２】上記設定圧力でリークテストを行ってもよ
いが、可変抵抗器２８ａの操作により、上記設定電圧Ｖ
ｒを若干下げて（すなわち設定圧力を若干下げて）、制
御弁１３で排気動作を行わせてもよい。このように、設
定電圧Ｖｒを下げた時には、増幅された検出電圧Ｖｄの
方が設定電圧Ｖｒより高くなるので、差動増幅器２４か
らの出力電圧Ｖoutは上記とは逆の極性（すなわちプラ
ス側）となり、制御弁１３に排気動作（出力端１２と大
気を連通させる動作）を行わせることになる。これは、
最初にワークに圧縮空気を送り込んだ時に断熱圧縮によ
って生じたワーク温度の上昇分を、この排気動作時の断
熱膨張により低下させ、ワーク温度を安定させるためで
ある。

【００１３】その後で、流量計１４によりワークの漏れ
の有無を判定する。すなわち、ワークに漏れがない限
り、制御弁１３の閉じ状態が維持され、流量計１４で検
出される流量はゼロである。ワークに漏れがあると、ワ
ーク内圧が低下する。この圧力低下は、圧力センサ２１
で検出され、この圧力低下分（検出電圧Ｖｄと設定電圧
Ｖｒとの差）に対応して差動増幅器２４からマイナスの
出力電圧Ｖoutが制御弁１３に供給され、この制御弁１
３が圧力低下を補うべく少し開く。その結果、エア通路
１０にエアの流れが生じ、これを流量計１４で検出する
ことにより、ワークの漏れを判定するのである。上記リ
ークテスタでは、出力端１２の近傍の圧力を検出してフ
ィードバックするので、正確に供給圧力を設定圧力にす
ることができる。

【００１４】ところで、制御弁１３と出力端１２との間
には、流量計１４等が配置されること等に起因して、流
通抵抗がある。この場合、圧力センサ２１で検出された
出力端１２またはその近傍の圧力を表す検出電圧Ｖｄだ
けをフィードバックして制御弁１３を制御しようとする
と、次の不都合が生じる。すなわち、上述したように、
スイッチ２８ｂをオンして制御弁１３を開き、ワークに
圧縮エアを供給する際、上記制御弁１３と出力端１２と
の間の流通抵抗に起因して、圧力センサ２１での検出電
圧Ｖｄが制御弁１３の開き動作開始から遅れて立ち上が
る。このため、差動増幅器２７の出力電圧Ｖoutは、こ
の遅れ時間において、大気圧に相当する検出電圧Ｖｄと
設定電圧Ｖｒとの差に基づいて高い電圧になり、制御弁
１３は過度に開かれる。しかも、検出電圧Ｖｒが設定電
圧Ｖｄと一致した時に、制御弁１３の閉じ動作をした
時、それまでに開き状態の制御弁１３を通過した圧縮エ
アが出力端１２に遅れて到着するため、出力端１２の圧
力が過度に上昇（オーバーシュート）する。このオーバ
ーシュートした圧力のフィードバックにより、今度は制
御弁１３は排気動作を行って圧力を下げるが、この圧力
低下は出力端１２に遅れをもって現れるため、制御弁１
３での排気動作が過度に実行され、排気動作開始時点か
ら遅れ時間をもって過度の圧力低下（オンダーシュー
ト）が出力端１２に現れる。この繰り返しによりハンチ
ングが生じりたり、検出圧力が設定圧力に収斂するのに
時間がかかってしまうのである。これと似た現象は上述
の設定電圧を下げる時にも生じる。

【００１５】しかし、本実施例では、フィードバックさ
れる情報は、出力端１２での検出圧力のみならず、その
微分値（第１微分値）と、制御弁１３近傍での検出圧力
の微分値（第２微分値）を含んでいる。具体的には、検
出電圧Ｖｄに、微分電圧Ｖｆ₁，Ｖｆ₂が加算されて差動
増幅器２７に入力され、この加算電圧と設定電圧Ｖｒの
差を増幅した電圧Ｖoutが制御弁１３に出力される。そ
のため、上記不都合が生じないのである。以下、その理
由を説明する。

【００１６】制御弁１３の下流かつ近傍の検出圧力の微
分電圧Ｖｆ₂が、スイッチ２８ｂオンに基づく制御弁１
３の制御開始直後や、設定電圧Ｖｒの変更時の直後にお
いて、検出電圧Ｖｄと設定電圧Ｖｒの差を減じて、制御
弁１３の開度を抑制する。また、これより遅れて出力端
１２に現れる検出電圧Ｖｄの微分電圧Ｖｆ₁が、この遅
れ時間経過時の検出電圧Ｖｄと設定電圧Ｖｒの差を減じ
て制御弁１３の開度を抑制する。このように２つの時点
での抑制効果により、上記オーバーシュートやアンダー
シュートを抑制でき、ひいてはハンチングを確実に防止
できるとともに、供給圧力を設定圧力へより早く収斂さ
せることができる。

【００１７】図２は、大容量のワークのためのエアリー
クテスタ（圧力制御装置）を示す。図２において、図１
に対応する構成には同番号を付してその説明を省略す
る。このリークテスタでは、大流量のエア流通制御が可
能な主制御弁１５がエア通路１０に設けられる。主制御
弁１５は、パイロット制御弁１６からのパイロット圧に
より制御される。パイロット制御弁１６は、圧縮エア源
１１からの圧縮エアを受け、差動増幅器２７からの出力
電圧Ｖoutにより制御される。パイロット制御弁１６と
差動増幅器２７は主制御弁１５のための弁制御手段を構
成する。このリークテスタでは、パイロット制御弁１６
の下流側の圧力が、補助圧力センサ２４により検出され
る。リークテストの方法は、図２の場合と似ているので
説明を省略する。

【００１８】図２では、主制御弁１５と出力端１２との
間の流通抵抗のみならず、主制御弁の容量により、パイ
ロット制御弁１６での制御の結果が、上記出力端１２の
圧力に遅れて現れる。パイロット制御弁１６の下流側の
検出圧力の微分電圧Ｖｆ₂（第２微分値）が、スイッチ
２８ｂオンによる設定電圧Ｖｒに基づく主制御弁１５の
制御開始直後や、設定電圧Ｖｒの変更時の直後におい
て、出力端１２での検出電圧Ｖｄと設定電圧Ｖｒの差を
減じて主制御弁１５の開度変化を抑制し、しかも、これ
より遅れて出力端１２に現れる検出電圧Ｖｄの微分電圧
Ｖｆ₂（第１微分値）が、この遅れ時間経過時の出力端
１２での検出電圧Ｖｄと設定電圧Ｖｒの差を減じて主制
御弁１５の開度変化を抑制する。このように２つの時点
での抑制効果により、上記ハンチング等をより確実に防
止することができ、設定圧力への収斂をより早くさせる
ことができる。

【００１９】図３は、エアリークテスタとは異なり、設
定圧力のエアをワークに流し続けることが要求される圧
力制御装置を示す。この圧力制御装置は、構成が図１の
実施例と似ているので、図１に対応する部位には同番号
を付してその説明を省略する。この実施例では、エア通
路４０は、２つの分岐通路４０ａ，４０ｂと、この分岐
通路４０ａ，４０ｂが下流側で合流する共通通路４０ｃ
を有している。一方の分岐通路４０ａの上流端には正圧
エア源Ｐ（圧力源）が接続され、他方の分岐通路４０ｂ
の上流端には負圧エア源Ｎ（圧力源）が接続されてい
る。

【００２０】上記合流点には、比例圧力制御弁３０が配
置されている。この制御弁３０は、ケーシング３１を有
し、このケーシング３１には、互いに相対向する一対の
ノズル３２，３３が臨んでいる。ノズル３２は分岐路４
０ａの下流端に連なり、ノズル３３は分岐路４０ｂの下
流端に連なっている。また、ケーシング１１には共通通
路１０ｃの上流端に連なる出力ポート３４が設けられて
いる。ケーシング３１には、ロッド３５の中途部がシー
ルリング３８を支点として図３において上下方向に回動
可能に支持されている。このロッド３５のケーシング３
１内の一端にはノズルフラッパ３６が取り付けられてお
り、ロッド３５の他端はアクチュエータ３７に連結され
ている。このロッド３５の回動に伴って、ノズルフラッ
パ３６のノズル３２，３３に対する相対位置が制御さ
れ、これにより制御弁３０の出力ポート３４の圧力を制
御するようになっている。

【００２１】上記実施例では、出力端１２の圧力が設定
圧力を維持された状態で、エアが出力端１２に接続され
たワーク等に供給される。圧力の制御については、図１
の実施例と同様であるので省略する。なお、差動増幅器
２７とアクチュエータ３７との間には、微小のふらつき
を防止するための積分回路４５が介在されている。ま
た、分岐通路１０ａには電磁レギュレータ４６が介在さ
れている。

【００２２】図４は、エアリークテスタとは異なり、設
定圧力のエアをワークに大容量で流し続けることが要求
される圧力制御装置を示す。この圧力制御装置は、構成
が図３の実施例と似ているので、図３に対応する部位に
は同番号を付してその説明を省略する。ここでは、エア
通路１０に、大容量の主制御弁５０が設けられている。
この主制御弁５０は、ケーシング５１を有し、このケー
シング５１は、エア通路１０の中間部に位置する弁口５
２を備えている。この弁口５２は弁体５３により開度制
御される。この弁体５３はダイヤフラム５４に連結され
ている。このダイヤフラム５４は、ケーシング４１に形
成された空間を２つの圧力導入室５５，５６に仕切るも
のである。一方の圧力導入室５５には、出力端１２近傍
の圧力が導入される。他方の圧力導入室５５には、図３
の制御弁と同一構成のパイロット制御弁３０からのパイ
ロット圧が導入され、圧力バランスが得られる。

【００２３】図４の実施例では、圧力制御に関しては図
２と似ているので、詳しい説明は省略する。パイロット
制御弁３０からのパイロット圧により弁体５３が制御さ
れ、圧縮エア源１１の圧縮エアが出力端１２で設定圧力
に維持されるように弁口５２の開度が制御される。

【００２４】本発明は上記実施例に制約されず、種々の
態様が可能である、例えば、図１，図２の装置は、エア
リークテスタとしてではなく単なる空圧源として用いて
もよいことは勿論である。図１〜図４の実施例におい
て、微分回路２３は省いてもよく、補助圧力検出センサ
２４と微分回路２５だけで、微分電圧を得てもよい。こ
れとは逆に、補助圧力検出センサ２４と微分回路２５を
省き、微分回路２３のみで微分出力を得てもよい。流体
として、エアの代わりに液体を用いてもよい。

【００２５】

【発明の効果】請求項１の発明において、設定圧力は、
圧力設定手段で所望レベルに設定できる。圧力検出手段
は、出力端またはその近傍の圧力を検出するので、正確
に出力端圧力を設定圧力にすることができる。しかも、
制御弁の下流側の圧力微分値を圧力微分値検出手段で検
出し、この圧力微分値と上記検出圧力の和と、上記設定
圧力との差に基づいて制御弁を制御することにより、設
定圧力に基づき制御弁の制御を開始した時や、設定圧力
を変更した時等に、オーバーシュート，アンダーシュー
トを抑制でき、これに伴うハンチングを防止できるとと
もに、設定圧力への収斂を早くさせることができる。そ
して、出力端に現れる検出圧力の第１微分値と、制御弁
の下流かつ近傍の検出圧力の第２微分値を用いることに
より、上記ハンチング防止等をより確実にすることがで
き、設定圧力への収斂をより早くさせることができる。
請求項２の発明では、大流量を流体通路に流す必要があ
る場合に適した構成であり、主制御弁の下流側の圧力微
分値を用いることにより、オーバーシュート，アンダー
シュートを抑制でき、これに伴うハンチングを防止でき
るとともに、設定圧力への収斂を早くさせることができ
る。しかも、大流量を流体通路に流す必要がある場合に
適した構成であり、出力端に現れる検出圧力の第１微分
値と、パイロット制御弁の下流側の検出圧力の第２微分
値とを用いることにより、上記ハンチング防止等をより
確実にすることができ、設定圧力への収斂をより早くさ
せることができる。請求項３の発明も、大流量を流体通
路に流す必要がある場合に適した構成であり、少なくと
もパイロット制御弁の下流側の検出圧力の微分値を用い
ることにより、上記ハンチングを防止でき、設定圧力へ
の収斂を早くさせることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例を示す回路図である。

【図２】本発明の第２実施例を示す回路図である。

【図３】本発明の第３実施例を示す回路図である。

【図４】本発明の第４実施例を示す回路図である。

【図５】従来の圧力制御装置としてのエアリークテスタ
を示す概略図である。

【符号の説明】

１０ … エア通路（流体通路） １１ … 圧縮エア源（圧力源） １２ … 出力端 １３ … 制御弁 １５ … 主制御弁 １６ … パイロット圧制御弁 ２１ … 圧力センサ（圧力検出手段） ２３ … 微分回路（第１微分手段） ２４ … 補助圧力センサ（補助圧力検出手段） ２５ … 微分回路（第２微分手段） ２７ … 弁制御手段 ２８ … 設定電圧発生回路（圧力設定手段） ３０ … 制御弁，パイロット制御弁 ４０ … エア通路（流体通路） ５０ … 主制御弁

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】（イ）圧力源と、 （ロ）上記圧力源に一端が接続され他端が出力端として
   提供される流体通路と、 （ハ）流体通路に設けられた制御弁と、 （ニ）上記出力端またはその近傍の圧力を検出する圧力
   検出手段と、 （ホ）上記制御弁の下流側の圧力の微分値を検出する圧
   力微分値検出手段と、 （ヘ）圧力を設定する圧力設定手段と、 （ト）上記検出圧力と上記圧力微分値の和と、上記設定
   圧力との差に基づいて、上記制御弁を制御することによ
   り出力端圧力を設定圧力に一致させる弁制御手段とを備
   え、 上記圧力微分値検出手段が、上記圧力検出手段の検出圧
   力を微分することにより第１微分値を得る第１微分手段
   と、上記制御弁の下流かつ近傍の圧力を検出する補助圧
   力検出手段と、この補助圧力検出手段からの検出圧力を
   微分することにより第２微分値を得る第２微分手段とを
   備え、これら第１微分値と第２微分値の和が上記圧力微
   分値として提供されることを特徴とする圧力制御装置。
2. 【請求項２】（イ）圧力源と、 （ロ）上記圧力源に一端が接続され他端が出力端として
   提供される流体通路と、 （ハ）流体通路に設けられた制御弁と、 （ニ）上記出力端またはその近傍の圧力を検出する圧力
   検出手段と、 （ホ）上記制御弁の下流側の圧力の微分値を検出する圧
   力微分値検出手段と、 （ヘ）圧力を設定する圧力設定手段と、 （ト）上記検出圧力と上記圧力微分値の和と、上記設定
   圧力との差に基づいて、上記制御弁を制御することによ
   り出力端圧力を設定圧力に一致させる弁制御手段とを備
   え、 上記制御弁が主制御弁として提供され、上記弁制御手段
   が、この主制御弁にパイロット圧を供給して主制御弁を
   制御するパイロット制御弁と、このパイロット制御弁を
   上記差に基づいて制御するパイロット圧制御手段とを備
   えており、 上記圧力微分値検出手段が、上記圧力検出手段の検出圧
   力を微分することにより第１微分値を得る第１微分手段
   と、上記パイロット制御弁の下流かつ近傍の圧力を検出
   する補助圧力検出手段と、この補助圧力検出手段からの
   検出圧力を微分することにより第２微分値を得る第２微
   分手段とを備え、これら第１微分値と第２微分値の和が
   上記圧力微分値として提供されることを特徴とする圧力
   制御装置。
3. 【請求項３】（イ）圧力源と、 （ロ）上記圧力源に一端が接続され他端が出力端として
   提供される流体通路と、 （ハ）上記流体通路に設けられた主制御弁と、 （ニ）上記主制御弁にパイロット圧を供給してこの主制
   御弁を制御するパイロット制御弁と、 （ホ）上記出力端またはその近傍の圧力を検出する圧力
   検出手段と、 （ヘ）上記パイロット制御弁の下流側の圧力を検出する
   補助圧力検出手段と、 （ト）上記補助圧力検出手段からの圧力を微分して圧力
   微分値を検出する微分手段と、 （チ）圧力を設定する圧力設定手段と、 （リ）上記検出圧力と上記圧力微分値の和と、上記設定
   圧力との差に基づいて、 上記パイロット制御弁を制御し、ひいては主制御弁を制
   御することにより出力端圧力を設定圧力に一致させるパ
   イロット圧制御手段と、 を備えたことを特徴とする圧力制御装置。