JP2005128816A - 流体レギュレータ - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、弁体の開閉に伴う動作音を低減することができる流体レギュレータを得ることを目的とするものである。
【解決手段】給気流路１には、給気用比例制御弁４が設けられている。排気流路２には、排気用比例制御弁５が設けられている。給気用比例制御弁４及び排気用比例制御弁５としては、比例電磁弁が用いられる。比例電磁弁は、その内部のコイルに電流を流すことにより、電流値に応じた流量の空気を流す弁である。出力ポート３ａから出力される空気の圧力は、圧力センサ６により検出される。給気用比例制御弁４及び排気用比例制御弁５は、制御部７により制御される。制御部７は、圧力センサ６からの情報に基づいて給気用比例制御弁４及び排気用比例制御弁５を制御する。
【選択図】図１

Description

この発明は、例えば空気等の流体の供給・排出を制御する流体レギュレータに関するものである。

従来の電空レギュレータでは、実際の出力圧力が目標圧力となるように、目標圧力と実際の出力圧力との偏差に基づいてパイロット圧が制御される。また、パイロット圧の制御は、給気用電磁弁及び排気用電磁弁の開閉により行われる（例えば、特許文献１参照）。

特開平１０−１０７８２０号公報

しかし、従来の電空レギュレータにおいては、給気用電磁弁及び排気用電磁弁として開閉弁が用いられているため、出力圧力を微細に調整しようとすると、給気用電磁弁及び排気用電磁弁の開閉動作が頻繁になり、耳障りな動作音が発生する。このため、様々な騒音が発生している工場内等での使用であれば問題とならないものの、例えば病院内など、静かな環境での使用は制限される。従って、電空レギュレータを様々な用途に適用するために、動作音の低減が求められている。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、動作音を低減することができる流体レギュレータを得ることを目的とする。

この発明に係る流体レギュレータは、入力ポートから供給される流体の流路に設けられている供給弁と、ドレンポートから排出される流体の流路に設けられている排出弁と、出力ポートから出力される流体の圧力を検出する圧力センサと、圧力センサからの情報に基づいて供給弁及び排出弁を制御する制御部とを備え、供給弁及び排出弁の少なくともいずれか一方を比例制御弁としたものである。

この発明の流体レギュレータは、供給弁及び排出弁の少なくともいずれか一方を比例制御弁としたので、弁の開閉に伴う動作音を低減することができる。

以下、この発明を実施するための最良の形態について、図面を参照して説明する。

実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１による電空レギュレータ（流体レギュレータ）を示すブロック図である。図において、流体である空気が流通される空気流路は、供給流路としての給気流路１、排出流路としての排気流路２、及び出力流路３を有している。給気流路１、排気流路２及び出力流路３は、互いに連通されている。給気流路１には、入力ポート１ａが設けられている。排気流路２には、ドレンポート２ａが設けられている。出力流路３には、出力ポート３ａが設けられている。

給気流路１には、供給弁としての給気用比例制御弁４が設けられている。排気流路２には、排出弁としての排気用比例制御弁５が設けられている。給気用比例制御弁４及び排気用比例制御弁５としては、比例電磁弁が用いられている。比例電磁弁は、その内部のコイルに電流を流すことにより、電流値に応じた流量の空気を流す弁である。また、開閉弁は弁の開閉のみがオン・オフ制御されるが、比例電磁弁では、弁の開度が連続的にアナログ制御される。

出力ポート３ａから出力される空気の圧力は、圧力センサ６により検出される。給気用比例制御弁４及び排気用比例制御弁５は、制御部７により制御される。制御部７は、圧力センサ６からの情報に基づいて給気用比例制御弁４及び排気用比例制御弁５を制御する。制御部７は、差動増幅器８、給気側電流増幅器９及び排気側電流増幅器１０を有している。

差動増幅器８には、圧力センサ６からの圧力信号電圧が入力されるとともに、基準電圧及び制御電圧が入力される。制御電圧は、予め設定された制御圧力（目標圧力）に対応した電圧信号である。差動増幅器８では、実際の出力圧に対応した圧力信号電圧を制御電圧と比較し、圧力信号電圧が制御電圧と同じになるように給気側電流増幅器９及び排気側電流増幅器１０に電流信号を出力する。給気側電流増幅器９は、差動増幅器８からの信号を増幅して給気用比例制御弁４に出力する。排気側電流増幅器１０は、差動増幅器８からの信号を増幅して排気用比例制御弁５に出力する。

図２は図１の制御部７の制御回路の一例を示す回路図である。差動増幅器８には、圧力センサ６からの圧力信号電圧が入力される圧力信号入力部１１と、制御電圧が入力される制御信号入力部１２と、基準電圧を発生する基準電圧発生部１３とが接続されている。

図３は図１の電空レギュレータを示す側面図、図４は図３の電空レギュレータを示す正面図、図５は図３の電空レギュレータを示す背面図である。図において、空気流路、入力ポート１ａ、ドレンポート２ａ及び出力ポート３ａは、ブロック状のベース１４に一体に設けられている。ベース１４には、制御部７の制御回路を含む回路基板１５が固定されている。回路基板１５上には、制御回路を構成する複数の電子部品１６が実装されている。

給気用比例制御弁４及び排気用比例制御弁５は、ベース１４上に搭載されている。即ち、給気用比例制御弁４及び排気用比例制御弁５は、ベース１４と回路基板１５との間に配置されている。

回路基板１５の裏面（ベース１４に対向する面）には、圧力センサ６が実装されている。圧力センサ６とベース１４との間には、出力流路３内の圧力を圧力センサ６に導く筒状の圧力導入部１７が設けられている。

このような電空レギュレータでは、基準電圧、圧力信号電圧及び制御電圧が差動増幅器８に入力され、圧力信号電圧と制御電圧との差に応じた電流が給気用比例制御弁４又は排気用比例制御弁５内のコイルに流される。これにより、給気用比例制御弁４又は排気用比例制御弁５内の弁体の開度が調整され、出力ポート３ａから出力される空気の圧力が制御される。

このとき、供給弁として給気用比例制御弁４を用い、排出弁として排気用比例制御弁５を用いたので、出力圧力を微細に調整する場合であっても、開閉弁のような大きな動作音が発生せず、動作音を低減することができる。これにより、例えば病院内など、静かな環境での使用が可能となり、様々な用途に適用することができる。

ここで、図６は図１の給気用比例制御弁４及び排気用比例制御弁５の流量特性を示すグラフである。図のように、電流を増加させる過程と電流を減少させる過程とでは、同じ電流値に対応する流量が異なっている。即ち、電流増加時と電流減少時との間で流量特性にはヒステリシスが発生する。また、弁の一次側が低圧のとき、弁の全開状態を維持しようとすると、高い電流値の電流をコイルに継続して流す必要がある。

次に、図７は図１の電空レギュレータにおける制御電圧と出力圧力との関係を示すグラフである。図において、制御電圧が所定値Ｖ１から最大電圧Ｖｍａｘまでの間の範囲であるときは、上記のように、給気用比例制御弁４及び排気用比例制御弁５の開閉と、圧力センサ６から入力した圧力信号電圧のフィードバックとにより、出力圧力が調整される。これに対して、制御電圧が０〜Ｖ１までの間の範囲であるときは、給気用比例制御弁４が全閉状態とされ、排気用比例制御弁５のみが開放され、常時排気状態とされる。

例えば、制御電圧が０の場合、排気用比例制御弁５への通電電流値は最大となる。また、制御電圧が０からＶ１へと変化すると、排気用比例制御弁５への通電電流値は徐々に小さくなり、制御電圧がＶ１の時点で排気用比例制御弁５への通電電流値は０となる。

実施の形態２．
次に、図８はこの発明の実施の形態２による電空レギュレータの要部を示す正面図である。図において、ブロック状のベース２１上には、供給弁としての給気用比例制御弁２２、及び排出弁としての排気用比例制御弁２３が搭載されている。給気用比例制御弁２２及び排気用比例制御弁２３としては、円筒形の比例電磁弁が用いられている。ベース２１には、入力ポート２４、ドレンポート２５及び出力ポート２６が設けられている。また、ベース２１には、出力ポート２６から出力される空気の圧力を検出する圧力センサ２７が取り付けられている。

ベース２１内には、給気流路、排気流路及び出力流路を含む空気流路が設けられている。空気流路に対する給気用比例制御弁２２、排気用比例制御弁２３及び圧力センサ２７の配置関係は、実施の形態１と同様である。また、給気用比例制御弁２２及び排気用比例制御弁２３は、実施の形態１と同様の制御部により制御される。また、実施の形態２の制御部は、ベース２１とは別体で構成されている。

このように、空気流路を含むユニットを制御部から切り離して構成してもよい。例えば、複数のチャンネルの空気圧を制御するために、チャンネル数と同数のユニットを使用する場合、各ユニットを制御する制御部を共通の回路基板上にまとめて搭載することができ、全体の小形化を図ることができる。

実施の形態３．
次に、図９はこの発明の実施の形態３による電空レギュレータの要部を示す正面図である。給気用比例制御弁２２及び排気用比例制御弁２３は、ノーマリクローズ（常閉）タイプの比例電磁弁であり、非通電時には全閉となり、通電電流の大きさに応じて開度が大きくなる。即ち、給気用比例制御弁２２及び排気用比例制御弁２３を全開状態に保つには、最大電流を流し続ける必要がある。

ベース２１には、排気用比例制御弁２３よりも小形の補助電磁弁２８が搭載されている。また、補助電磁弁２８は、ノーマリオープン（常開）タイプの電磁開閉弁であり、非通電時には全開となり、例えば２０〜３０ｍＡ程度の通電時に全閉となる。

図１０は図９の電空レギュレータを示すブロック図である。補助電磁弁２８は、出力ポート２６とドレンポート２５との間に、排気用比例制御弁２３に対して並列に配置されている。給気用比例制御弁２２、排気用比例制御弁２３及び補助電磁弁２８は、圧力信号電圧、制御電圧及び基準電圧に基づいて、制御部２９により制御される。

次に、制御部２９による制御方法について説明する。まず、図７に示したように、出力圧力を制御するための制御電圧をＶ１以上とすると、制御電圧が０〜Ｖ１までの間の範囲では、補助電磁弁２８は開放状態であり、給気用比例制御弁２２及び排気用比例制御弁２３は全閉状態である。また、制御電圧がＶ１以上の範囲では、補助電磁弁２８は全閉状態であり、給気用比例制御弁２２及び排気用比例制御弁２３の開度は制御電圧変化に応じて調整される。

このような電空レギュレータでは、制御電圧がＶ１未満のときに、補助電磁弁２８を開いて排気を行うことができるので、排気用比例制御弁２３は閉じておくことができる。このとき、排気用比例制御弁２３で排気を行うためには、排気用比例制御弁２３が全開となるような大きな電流を排気用比例制御弁２３に通電する必要があり、コストが高くなるとともに制御回路や弁のコイルの発熱量が大きくなるが、補助電磁弁２８はノーマリオープンタイプであるため、電流を流す必要がなく、コストを低減できる。また、制御電圧がＶ１以上の範囲では、補助電磁弁２８を全閉とする電流を流し続ける必要があるが、制御電圧がＶ１未満のときに排気をするだけの補助電磁弁２８は、排気用比例制御弁２３よりも小形のもので済むため、補助電磁弁２８に流し続ける電流も小さくてよく、全体として制御回路の発熱量を低減することができる。

なお、実施の形態３では補助電磁弁２８として電磁開閉弁を用いたが、比例電磁弁を用いてもよい。
また、実施の形態３では、供給弁及び排出弁として比例電磁弁を用いたが、少なくともいずれか一方を電磁開閉弁としてもよい。

実施の形態４．
次に、図１１はこの発明の実施の形態４による電空レギュレータの要部を示す正面図である。この例では、排気用比例制御弁２３よりも小形の給気用比例制御弁３０が用いられている。即ち、給気用比例制御弁３０と排気用比例制御弁２３とは、互いに異なる流量特性を有している。他の構成は、実施の形態２と同様である。

このように、給気用比例制御弁３０及び排気用比例制御弁２３のサイズが互いに異なっていても、比例電磁弁を用いることにより、動作音を低減することができる。例えば、空気の供給をゆっくりと行い、空気の排出は素早く行うような機器に電空レギュレータを適用する場合、供給時の空気流量は小さくて済むため、排気用比例制御弁２３よりも流量の小さな給気用比例制御弁３０を用いることができる。逆に、空気の排出をゆっくりと行い、空気の供給は素早く行うような機器に電空レギュレータを適用する場合、給気用比例制御弁よりも流量の小さな排気用比例制御弁を用いることができる。

実施の形態５．
次に、図１２はこの発明の実施の形態５による電空レギュレータの制御回路の一例を示す回路図である。この例では、圧力信号入力部１１と差動増幅器８との間に周波数低減部３１が接続されている。周波数低減部３１は、抵抗器及び電解コンデンサを有し、圧力センサ６からフィードバックされる圧力信号電圧の周波数を低下させ、制御部７の制御感度を鈍らせる。また、排気側電流増幅器１０と差動増幅器８との間には、排気閉止手段３２が接続されている。排気閉止手段３２は、制御電圧を０にしたときに排気用比例制御弁５を一度開き、所定時間後に閉じる。この例では、排気閉止手段３２は、抵抗器及び電解コンデンサにより時定数を設定し、上記のような制御を行っている。

このような電空レギュレータでは、圧力信号入力部１１と差動増幅器８との間に周波数低減部３１を設けたので、制御部７の制御感度を鈍らせることができ、給気用比例制御弁４及び排気用比例制御弁５の開閉動作の応答性を鈍くすることができる。これにより、給気用比例制御弁４及び排気用比例制御弁５の動作音をより確実に低減することができる。

また、図１３は図１２の電空レギュレータに対する制御電圧のかけ方の一例を示すグラフである。図において、時刻Ｔ０〜Ｔ１では所定の圧力制御が行われ、時刻Ｔ１で制御電圧が０にされる。これにより、時刻Ｔ１では排気用比例制御弁５が全開にされる。即ち、排気用比例制御弁５に最大電流が流される。この後、制御電圧は、予め設定された時間後（例えば１秒後）の時刻Ｔ２まで０に保たれ、時刻Ｔ２以降はＶ１になるように制御される。従って、給気用比例制御弁４は時刻Ｔ１以降閉じたままとなり、給気用比例制御弁４には電流が供給されない。

また、時刻Ｔ２以降は、排気閉止手段３２により排気用比例制御弁５に供給される電流が減少され、排気用比例制御弁５も閉じられる。即ち、時刻Ｔ２以降制御電圧がＶ１に維持されている待機状態では、排気用比例制御弁５が常時開放ではなく、閉じたままとなる。これにより、待機状態で排気用比例制御弁５に通電する電流を減少させることができ、制御回路や弁のコイルの発熱量を低減することができる。

例えば、電空レギュレータからの出力を空気圧アクチュエータに供給する場合、予め設定された時間（Ｔ１〜Ｔ２）の間に出力圧力を０にすれば、その後は排気用比例制御弁５を閉じたままでもよいことになる。逆に言えば、空気圧アクチュエータの残存圧力を十分に放出できるように排気閉止手段３２の時定数を設定すればよい。

なお、実施の形態５では待機状態で排気用比例制御弁５を完全に閉じるようにしたが、完全に閉じずに、ある程度の開度を保った状態で待機させることも可能ではある。
また、このような制御は、供給弁及び排出弁の両方が電磁開閉弁である場合にも適用することができる。

実施の形態６．
次に、図１４はこの発明の実施の形態６によるエアアクチュエータシステムを示す構成図である。この例では、人体に装着することにより、人体の関節を動かすエアアクチュエータシステムを示している。図において、人体に装着される装着部４１には、流体圧式アクチュエータ（空気圧式アクチュエータ）としての複数本（例えば８〜３２本）のチューブ形エアアクチュエータ４２が設けられている。チューブ形エアアクチュエータ４２は、空気の供給・排出により、その長さが縮小・伸長するものであり、縮小時に駆動力（引張力）を発生する。

各チューブ形エアアクチュエータ４２には、それぞれ電空レギュレータ４３が接続されている。各電空レギュレータ４３としては、制御部を除いて実施の形態１〜５と同様のものを用いることができる。全ての電空レギュレータ４３には、共通の小形コンプレッサ４４から空気が供給される。また、全ての電空レギュレータ４３は、ホストコンピュータ４５により制御される。即ち、ホストコンピュータ４５からは、予め設定されたプログラムに基づいて、電空レギュレータ４３に圧力制御信号（圧力指令信号）が出力される。

図１５は図１４の電空レギュレータ４３を示すブロック図である。図において、制御部４６は、処理手段であるＣＰＵ４７、ソフトウエア４８、Ａ／Ｄコンバータ４９、Ｄ／Ａコンバータ５０、アドレス記憶部であるアドレスＲＯＭ５１、給気側電流増幅器９及び排気側電流増幅器１０を有している。ＣＰＵ４７は、ソフトウエア４８に格納されたプログラムに基づいて演算処理を行う。アドレスＲＯＭ５１には、各電空レギュレータ４３固有のアドレスが記憶されている。各制御部４６は、シリアルＩ／Ｏポート５２を介してホストコンピュータ４５に接続されている。そして、ホストコンピュータ４５からの圧力制御信号のうち、その電空レギュレータ４３のアドレスに対応する信号について、ＣＰＵ４７で演算処理されることになる。

各チューブ形エアアクチュエータ４２には、その長さを検出する長さセンサ５３が設けられている。各長さセンサ５３は、チューブ形エアアクチュエータ４２の長さに応じた電気信号（アナログ信号）を出力する。長さセンサ５３及び圧力センサ６からの信号は、Ａ／Ｄコンバータ４９でＡ／Ｄ変換されてＣＰＵ４７に入力される。ＣＰＵ４７では、電空レギュレータ４３の出力圧力が圧力制御信号による目標圧力となるように指令信号を生成し出力する。この指令信号は、Ｄ／Ａコンバータ５０によりＤ／Ａ変換され、給気側電流増幅器９及び排気側電流増幅器１０を介して給気用比例制御弁２２や排気用比例制御弁２３に出力される。

このシステムでは、電空レギュレータ４３は、チューブ形エアアクチュエータ４２に１：１で対応するようにチューブ形エアアクチュエータ４２と同数設けられている。そして、各電空レギュレータ４３は、それぞれ図１５に示すように構成されている。

図１６は図１４の電空レギュレータ群の構成例を示す斜視図、図１７は図１６の電空レギュレータ群を示す側面図である。この例では、８チャンネル（出力が８系統）の電空レギュレータ群を示している。図において、金属製の平板状のベース５４は、上面５４ａ、底面５４ｂ、及び第１〜第４の側面５４ｃ〜５４ｆを有している。第１及び第２の側面５４ｃ，５４ｄは、ベース５４の長手方向両端部に位置している。

上面５４ａには、８組の給気用比例制御弁２２及び排気用比例制御弁２３が搭載されている。ベース５４の内部には、互いに連通された給気流路１、排気流路２及び出力流路３が設けられている。８個の給気用比例制御弁２２に連通された給気流路１は互いに連通されており、ベース５４の第１及び第２の側面５４ｃ，５４ｄには、給気流路１に連通された一対の共通の入力ポート１ａが設けられている。

８系統の排気流路２は互いに連通されており、ベース５４の第１及び第２の側面５４ｃ，５４ｄには、排気流路２に連通された一対の共通のドレンポート２ａが設けられている。ベース５４の第３の側面５４ｅには、８系統の出力流路３に対応する８個の出力ポート３ａが設けられている。ベース５４の第４の側面５４ｆには、回路基板５５が接続されている。回路基板５５には、８系統の電空レギュレータ４３の制御部４６が設けられている。なお、制御部４６を構成する電子部品の図示は省略している。

回路基板５５のベース５４側の面には、８個の圧力センサ６が実装されている。ベース５４には、出力流路３内の圧力を対応する圧力センサ６に導く８つの圧力導入路５６が設けられている。

このようなエアアクチュエータシステムでは、ホストコンピュータ４５からのデジタル指令信号に応じて各電空レギュレータ４３を制御することができる。従って、図１２の排気閉止手段３２で行っていた制御も、プログラム化することができる。即ち、制御部４６は、出力圧力を０にする旨の指令を受けたとき、排気用比例制御弁２３を一度開き、所定時間後に排気用比例制御弁２３を閉じるようにすることができる。

また、複数の系統の給気用比例制御弁２２及び排気用比例制御弁２３を共通のベース５４上に搭載し、ベース５４の内部に空気流路を設けたので、複雑な配管をなくし、全体をコンパクトに構成することができる。また、ベース５４の長手方向両端部に入力ポート１ａを設けたので、全ての給気用比例制御弁２２に均等に空気を供給することができる。さらに、複数の電空レギュレータ４３の制御部４６を共通の回路基板５５に搭載したので、構成を簡単にすることができる。さらにまた、制御部４６と共通の回路基板５５に圧力センサ６も搭載し、ベース５４には圧力導入路５６を設けたので、構成をさらに簡単にすることができる。

なお、上記の例では、供給弁及び排出弁の両方を比例制御弁としたが、供給弁及び排出弁のいずれか一方のみを比例制御弁としてもよく、動作音を低減することができる。このような場合、供給弁及び排出弁のうち開度調整頻度の高い側を比例制御弁とすることにより、動作音を効果的に低減できる。また、供給弁及び排出弁のうちの一方を開閉弁とすることにより、制御を簡単にすることができる。例えば上記のエアアクチュエータシステムのように、空気の供給時に圧力をゆっくりと制御し、空気の排出は素早く行うシステムでは、供給弁のみを比例制御弁とし、排出弁は開閉弁とする方法が考えられる。

また、上記の例では、流体が空気である場合について示したが、流体は空気以外の気体や油等の液体であってもよい。

この発明の実施の形態１による電空レギュレータを示すブロック図である。 図１の制御部の制御回路の一例を示す回路図である。 図１の電空レギュレータを示す側面図である。 図３の電空レギュレータを示す正面図である。 図３の電空レギュレータを示す背面図である。 図１の給気用比例制御弁４及び排気用比例制御弁５の流量特性を示すグラフである。 図１の電空レギュレータにおける制御電圧と出力圧力との関係を示すグラフである。 この発明の実施の形態２による電空レギュレータの要部を示す正面図である。 この発明の実施の形態３による電空レギュレータの要部を示す正面図である。 図９の電空レギュレータを示すブロック図である。 この発明の実施の形態４による電空レギュレータの要部を示す正面図である。 この発明の実施の形態５による電空レギュレータの制御回路の一例を示す回路図である。 図１２の電空レギュレータに対する制御電圧のかけ方の一例を示すグラフである。 この発明の実施の形態６によるエアアクチュエータシステムを示す構成図である。 図１４の電空レギュレータを示すブロック図である。 図１４の電空レギュレータ群の構成例を示す斜視図である。 図１６の電空レギュレータ群を示す側面図である。

符号の説明

１ 給気流路（供給流路）、１ａ，２４ 入力ポート、２ 排気流路（排出流路）、２ａ，２５ ドレンポート、３ 出力流路、３ａ，２６ 出力ポート、４，２２，３０ 給気用比例制御弁（供給弁）、５，２３ 排気用比例制御弁（排出弁）、６，２７ 圧力センサ、７，４６ 制御部、２８ 補助電磁弁、５４ ベース、５５ 回路基板、５６ 圧力導入路。

Claims (8)

1. 入力ポートから供給される流体の流路に設けられている供給弁と、
   ドレンポートから排出される流体の流路に設けられている排出弁と、
   出力ポートから出力される流体の圧力を検出する圧力センサと、
   上記圧力センサからの情報に基づいて上記供給弁及び上記排出弁を制御する制御部と
   を備え、上記供給弁及び上記排出弁の少なくともいずれか一方は、比例制御弁であることを特徴とする流体レギュレータ。
2. 上記制御部には、上記圧力センサから入力される信号の周波数を低減する周波数低減部を有していることを特徴とする請求項１記載の流体レギュレータ。
3. 上記供給弁と上記排出弁とは、互いに異なる流量特性を有していることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の流体レギュレータ。
4. 入力ポートから供給される流体の流路に設けられている供給弁と、
   ドレンポートから排出される流体の流路に設けられている排出弁と、
   出力ポートから出力される流体の圧力を検出する圧力センサと、
   上記出力ポートとドレンポートとの間に上記排出弁に対して並列に設けられ、上記排出弁よりも小形でノーマリオープンタイプの補助電磁弁と、
   上記圧力センサからの情報に基づいて上記供給弁、上記排出弁及び上記補助電磁弁を制御する制御部と
   を備え、
   上記排出弁は、ノーマリクローズタイプの電磁弁であり、
   上記制御部は、入力される制御電圧が所定値以上のとき、上記補助電磁弁を閉じたままの状態で出力圧力を制御し、上記制御部に入力される制御電圧が所定値未満のとき、上記排出弁を閉じ上記補助電磁弁を開放することを特徴とする流体レギュレータ。
5. 入力ポートから供給される流体の流路に設けられている供給弁と、
   ドレンポートから排出される流体の流路に設けられている排出弁と、
   出力ポートから出力される流体の圧力を検出する圧力センサと、
   上記圧力センサからの情報に基づいて上記供給弁及び上記排出弁を制御する制御部と
   を備え、
   上記排出弁は、ノーマリクローズタイプの電磁弁であり、
   上記制御部は、出力圧力を０にする旨の指令を受けたとき、上記排出弁を一度開き、所定時間後に上記排出弁を閉じるようになっていることを特徴とする流体レギュレータ。
6. 入力ポート、ドレンポート、及び複数の出力ポートを有し、内部に流体の流路が設けられているベースと、
   上記ベース上に搭載され、入力ポートから供給される流体の流量を調整する複数の供給弁と、
   上記ベース上に搭載され、ドレンポートから排出される流体の流量を調整する複数の排出弁と、
   各上記出力ポートから出力される流体の圧力をそれぞれ検出する複数の圧力センサと、
   各上記圧力センサからの情報に基づいて、対応する上記供給弁及び上記排出弁をそれぞれ制御する制御部と
   を備えていることを特徴とする流体レギュレータ。
7. 上記ベースに接続され、上記制御部が設けられているとともに上記圧力センサが実装されている回路基板をさらに備えていることを特徴とする請求項６記載の流体レギュレータ。
8. 上記ベースには、上記出力ポートの圧力を対応する上記圧力センサに導く複数の圧力導入路が設けられていることを特徴とする請求項７記載の流体レギュレータ。

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