JP2003131743A - 排気装置の圧力制御システム - Google Patents
排気装置の圧力制御システムInfo
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- JP2003131743A JP2003131743A JP2001323366A JP2001323366A JP2003131743A JP 2003131743 A JP2003131743 A JP 2003131743A JP 2001323366 A JP2001323366 A JP 2001323366A JP 2001323366 A JP2001323366 A JP 2001323366A JP 2003131743 A JP2003131743 A JP 2003131743A
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- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D16/00—Control of fluid pressure
- G05D16/20—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means
- G05D16/2093—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with combination of electric and non-electric auxiliary power
- G05D16/2097—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with combination of electric and non-electric auxiliary power using pistons within the main valve
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- Fluid Mechanics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 気象条件等、使用環境の気圧変動の影響を受
けない、排気装置の圧力制御システムを提供すること。 【解決手段】 圧力制御システム１０は、入口ポート２
２、出口ポート２４、ブリードポート３４が設けられた
パイロット室３０を具え、内部にスプールが保持された
本体２０と、差圧センサＳ、制御バルブＶ、及び制御回
路Ｃからなるシステムに、基準圧力設定機構４０を加え
たものである。基準圧力設定機構４０は、絶対圧センサ
Ｓａ、調整バルブＶａ、絞りｄを具えている。基準圧力
ポートＲとブリードポート３４は絶対圧センサＳａに連
結され、これらの圧力が設定圧力Ｐａとなるように、調
整バルブＶａで制御される。その結果、絶対圧制御であ
りながら、制御応答性については出力信号の大きい差圧
センサによっているので、応答性がよい。
けない、排気装置の圧力制御システムを提供すること。 【解決手段】 圧力制御システム１０は、入口ポート２
２、出口ポート２４、ブリードポート３４が設けられた
パイロット室３０を具え、内部にスプールが保持された
本体２０と、差圧センサＳ、制御バルブＶ、及び制御回
路Ｃからなるシステムに、基準圧力設定機構４０を加え
たものである。基準圧力設定機構４０は、絶対圧センサ
Ｓａ、調整バルブＶａ、絞りｄを具えている。基準圧力
ポートＲとブリードポート３４は絶対圧センサＳａに連
結され、これらの圧力が設定圧力Ｐａとなるように、調
整バルブＶａで制御される。その結果、絶対圧制御であ
りながら、制御応答性については出力信号の大きい差圧
センサによっているので、応答性がよい。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、排気装置の排気圧
力を制御する圧力制御システム、特に、使用環境の気圧
変化に影響されない圧力制御システムの技術分野に属す
る。
力を制御する圧力制御システム、特に、使用環境の気圧
変化に影響されない圧力制御システムの技術分野に属す
る。
【０００２】
【従来の技術】酸化・拡散・ＣＶＤ装置等では、各種の
気体をチャンバ内に供給して反応させた後、排気装置に
よって反応後の気体を排気するようになっている。この
とき、チャンバの内部圧力が急激に変化すると、チャン
バ内部における反応に悪影響を及ぼすため、排気装置に
は圧力制御システムが設けられ、排気される気体の流量
変化、及び排気装置下流の圧力変化によらず、排気され
る気体の圧力が常に一定になるようにコントロールされ
ている。
気体をチャンバ内に供給して反応させた後、排気装置に
よって反応後の気体を排気するようになっている。この
とき、チャンバの内部圧力が急激に変化すると、チャン
バ内部における反応に悪影響を及ぼすため、排気装置に
は圧力制御システムが設けられ、排気される気体の流量
変化、及び排気装置下流の圧力変化によらず、排気され
る気体の圧力が常に一定になるようにコントロールされ
ている。
【０００３】このような圧力制御システムとして、本出
願の出願人の特開２００１−５５３６号のものがある。
図５は、この圧力制御システムの構成図である。図５に
示すように、この圧力制御システム１００は、気体の入
口ポート２２と出口ポート２４が形成された本体２０
と、本体２０の滑り面に受け入れられたスプール２６と
を有し、入口ポート２２には、酸化・拡散・ＣＶＤ装置
等のチャンバの排気ポート（図示せず。）が連結されて
いる。なお、スプール２６は、ばねによって保持されて
いる。
願の出願人の特開２００１−５５３６号のものがある。
図５は、この圧力制御システムの構成図である。図５に
示すように、この圧力制御システム１００は、気体の入
口ポート２２と出口ポート２４が形成された本体２０
と、本体２０の滑り面に受け入れられたスプール２６と
を有し、入口ポート２２には、酸化・拡散・ＣＶＤ装置
等のチャンバの排気ポート（図示せず。）が連結されて
いる。なお、スプール２６は、ばねによって保持されて
いる。
【０００４】本体２０上部にはパイロット室３０が設け
られており、このパイロット室３０は、ブリードポート
３４を介して外部と連通している。また、本体２０外部
には、入口ポート２２の圧力を測定する差圧センサＳ
と、差圧センサＳの出力に基づいて制御バルブＶを駆動
する制御回路Ｃが取付けられている。さらに、パイロッ
ト室３０には、パイロット通路を介して制御バルブＶか
ら調整用ガスが供給され、入口ポート２２の気体の圧力
Ｐｉが一定になるようにパイロット室３０の内部圧力Ｐ
ｐが調整されている。
られており、このパイロット室３０は、ブリードポート
３４を介して外部と連通している。また、本体２０外部
には、入口ポート２２の圧力を測定する差圧センサＳ
と、差圧センサＳの出力に基づいて制御バルブＶを駆動
する制御回路Ｃが取付けられている。さらに、パイロッ
ト室３０には、パイロット通路を介して制御バルブＶか
ら調整用ガスが供給され、入口ポート２２の気体の圧力
Ｐｉが一定になるようにパイロット室３０の内部圧力Ｐ
ｐが調整されている。
【０００５】前記特開２００１−５５３６号に詳しく説
明されているように、この圧力制御システム１００にお
いて、入口ポート２２の気体の圧力Ｐｉは、スプール２
６の重量、スプール２６を保持するばねのばね力、及び
パイロット室３０の内部圧力Ｐｐのみに依存し、出口ポ
ート２４の気体の圧力とは無関係である。すなわち、入
口ポート２２の気体の圧力Ｐｉを一定にするためには、
ばね力を一定に保持した状態で、パイロット室３０の内
部圧力Ｐｐが所定の圧力になるように、制御バルブＶか
ら供給される調整ガスの圧力を調整すればよい。
明されているように、この圧力制御システム１００にお
いて、入口ポート２２の気体の圧力Ｐｉは、スプール２
６の重量、スプール２６を保持するばねのばね力、及び
パイロット室３０の内部圧力Ｐｐのみに依存し、出口ポ
ート２４の気体の圧力とは無関係である。すなわち、入
口ポート２２の気体の圧力Ｐｉを一定にするためには、
ばね力を一定に保持した状態で、パイロット室３０の内
部圧力Ｐｐが所定の圧力になるように、制御バルブＶか
ら供給される調整ガスの圧力を調整すればよい。
【０００６】この圧力制御システム１００では、基準圧
力ポートＲが大気圧につながっている差圧センサＳで入
口ポートの圧力Ｐｉを検知し、これに基づいて制御バル
ブＶを駆動するようになっている。なお、この差圧セン
サＳは、２つの圧力差を検知するセンサであり、一方の
ポートが大気に開放されているため、大気圧との差を検
知するセンサになっている。一般的には、入力ポートの
圧力Ｐｉは大気圧より低い圧力に設定されるため、前記
差圧センサの低圧ポートで入力ポートの圧力Ｐｉを検知
し、高圧ポートは基準圧力ポートとして大気圧につなが
れている。
力ポートＲが大気圧につながっている差圧センサＳで入
口ポートの圧力Ｐｉを検知し、これに基づいて制御バル
ブＶを駆動するようになっている。なお、この差圧セン
サＳは、２つの圧力差を検知するセンサであり、一方の
ポートが大気に開放されているため、大気圧との差を検
知するセンサになっている。一般的には、入力ポートの
圧力Ｐｉは大気圧より低い圧力に設定されるため、前記
差圧センサの低圧ポートで入力ポートの圧力Ｐｉを検知
し、高圧ポートは基準圧力ポートとして大気圧につなが
れている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この圧力制御
システム１００は、本質的に大気圧を基準とした差圧制
御システムであるため、気象状態の変化や標高差等によ
る気圧の変動がチャンバ内の絶対圧変動となり、これ
が、チャンバ内の反応に影響を及ぼすという問題があ
る。すなわち、このシステムにおける差圧センサＳは、
入口ポート２２の圧力Ｐｉを検知するものであるが、前
記のとおり、差圧センサＳは、大気圧が基準となってい
るとともに、パイロット室３０もブリードポート３４を
介して大気と連通しているから、使用環境の気圧が変動
すると、それが入口ポート２２の圧力Ｐｉに絶対圧変動
として影響し、これが、チャンバ内の反応に影響を及ぼ
してしまうのである。
システム１００は、本質的に大気圧を基準とした差圧制
御システムであるため、気象状態の変化や標高差等によ
る気圧の変動がチャンバ内の絶対圧変動となり、これ
が、チャンバ内の反応に影響を及ぼすという問題があ
る。すなわち、このシステムにおける差圧センサＳは、
入口ポート２２の圧力Ｐｉを検知するものであるが、前
記のとおり、差圧センサＳは、大気圧が基準となってい
るとともに、パイロット室３０もブリードポート３４を
介して大気と連通しているから、使用環境の気圧が変動
すると、それが入口ポート２２の圧力Ｐｉに絶対圧変動
として影響し、これが、チャンバ内の反応に影響を及ぼ
してしまうのである。
【０００８】上記問題を解決するため、前記差圧センサ
の替わりに、大気圧の変動に左右されない絶対圧センサ
を使用することが考えられるが、絶対圧センサの出力
（信号の大きさ）は差圧センサの約１／１００程度であ
るため、制御応答性が劣るという問題が生じる。その一
例として、一般的な圧力制御システムの差圧センサを絶
対圧センサに変更し（図示せず。）、入口ポートにおい
て気体の流量変化に対する圧力の変化を測定した結果を
図６に示す。図６に示すように、このような圧力制御シ
ステムでは、入口ポートにおける気体の流量Ｑが変化す
ると圧力Ｐも大幅に変化してしまい、さらに、この圧力
変動は長時間続き、安定した制御を行なうことができな
い。
の替わりに、大気圧の変動に左右されない絶対圧センサ
を使用することが考えられるが、絶対圧センサの出力
（信号の大きさ）は差圧センサの約１／１００程度であ
るため、制御応答性が劣るという問題が生じる。その一
例として、一般的な圧力制御システムの差圧センサを絶
対圧センサに変更し（図示せず。）、入口ポートにおい
て気体の流量変化に対する圧力の変化を測定した結果を
図６に示す。図６に示すように、このような圧力制御シ
ステムでは、入口ポートにおける気体の流量Ｑが変化す
ると圧力Ｐも大幅に変化してしまい、さらに、この圧力
変動は長時間続き、安定した制御を行なうことができな
い。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、本体に入口ポ
ートと出口ポートとパイロット室が形成され、前記パイ
ロット室にブリードポートが設けられ、前記本体の入口
ポートと出口ポートとを連結する滑り面にスプールが保
持され、前記入口ポートの圧力を検知する差圧センサ
と、前記パイロット室に調整用ガスを供給する制御バル
ブと、前記差圧センサの出力に基づいて、前記制御バル
ブを駆動する制御回路を具えた排気装置の圧力制御シス
テムであって、前記パイロット室のブリードポートにお
ける圧力と、前記差圧センサの基準圧力ポートにおける
気体の圧力を一定に保持する基準圧力設定機構を具えた
排気装置の圧力制御システムによって、前記の課題を解
決した。
ートと出口ポートとパイロット室が形成され、前記パイ
ロット室にブリードポートが設けられ、前記本体の入口
ポートと出口ポートとを連結する滑り面にスプールが保
持され、前記入口ポートの圧力を検知する差圧センサ
と、前記パイロット室に調整用ガスを供給する制御バル
ブと、前記差圧センサの出力に基づいて、前記制御バル
ブを駆動する制御回路を具えた排気装置の圧力制御シス
テムであって、前記パイロット室のブリードポートにお
ける圧力と、前記差圧センサの基準圧力ポートにおける
気体の圧力を一定に保持する基準圧力設定機構を具えた
排気装置の圧力制御システムによって、前記の課題を解
決した。
【００１０】
【作用】本発明の圧力制御システムによると、差圧セン
サにより差圧制御がなされるとともに、基準圧力設定機
構により絶対圧制御がなされることになるので、使用環
境の大気圧が変化しても影響を受けることがない。
サにより差圧制御がなされるとともに、基準圧力設定機
構により絶対圧制御がなされることになるので、使用環
境の大気圧が変化しても影響を受けることがない。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の圧力制御システムは、以
下に説明する基準圧力設定機構によって、差圧センサの
基準圧力ポートを大気と連通させず、差圧センサの基準
圧力ポートとパイロット室のブリードポートを、或る基
準圧力に保持するようにしたものである。
下に説明する基準圧力設定機構によって、差圧センサの
基準圧力ポートを大気と連通させず、差圧センサの基準
圧力ポートとパイロット室のブリードポートを、或る基
準圧力に保持するようにしたものである。
【００１２】周知のとおり、大気圧は、気象条件や標高
の変化等により、上昇することもあれば、下降すること
もある。そこで、本発明の圧力制御システムでは、両方
の場合について、大気圧変動の影響を受けないようにさ
れている。
の変化等により、上昇することもあれば、下降すること
もある。そこで、本発明の圧力制御システムでは、両方
の場合について、大気圧変動の影響を受けないようにさ
れている。
【００１３】図１は、本発明の第１実施形態による排気
装置の圧力制御システム１０の構成を示す図である。こ
の実施形態は、基準圧力を常に大気圧より高く維持する
場合の例である。この圧力制御システム１０は、図５の
ものと同様に、気体の入口ポート２２と出口ポート２４
が形成された本体２０と、本体２０にばねで保持された
スプール２６とを有し、本体２０上部には、ブリードポ
ート３４を具えた上蓋部３２で囲まれたパイロット室３
０が設けられている。本体２０外部には、制御バルブ
Ｖ、差圧センサＳ、及び制御回路Ｃが取付けられてお
り、差圧センサＳで入口ポート２２の圧力Ｐｉを検知
し、その圧力が一定になるようにパイロット室３０の圧
力Ｐｐを調整すべく、制御バルブＶが駆動されるように
なっている。
装置の圧力制御システム１０の構成を示す図である。こ
の実施形態は、基準圧力を常に大気圧より高く維持する
場合の例である。この圧力制御システム１０は、図５の
ものと同様に、気体の入口ポート２２と出口ポート２４
が形成された本体２０と、本体２０にばねで保持された
スプール２６とを有し、本体２０上部には、ブリードポ
ート３４を具えた上蓋部３２で囲まれたパイロット室３
０が設けられている。本体２０外部には、制御バルブ
Ｖ、差圧センサＳ、及び制御回路Ｃが取付けられてお
り、差圧センサＳで入口ポート２２の圧力Ｐｉを検知
し、その圧力が一定になるようにパイロット室３０の圧
力Ｐｐを調整すべく、制御バルブＶが駆動されるように
なっている。
【００１４】差圧センサＳの基準圧力ポートＲ、及びパ
イロット室３０のブリードポート３４には、絶対圧セン
サＳａ、調整バルブＶａ、及び絞りｄを具えた基準圧力
設定機構４０が連結されている。このシステムでは、差
圧センサＳの高圧ポートを基準圧力ポートとして使って
いる。この基準圧力設定機構４０では、絶対圧センサＳ
ａが基準圧力ポートＲとブリードポート３４に接続さ
れ、これらの圧力が常に大気圧より高い設定圧力Ｐａと
なるように、調整バルブＶａで制御されるようになって
いる。なお、ブリードポート３４における圧力は、設定
圧力Ｐａとなるので、パイロット室３０の内部圧力Ｐｐ
は、この基準圧力設定機構４０によって、絶対圧で調整
されることになる。
イロット室３０のブリードポート３４には、絶対圧セン
サＳａ、調整バルブＶａ、及び絞りｄを具えた基準圧力
設定機構４０が連結されている。このシステムでは、差
圧センサＳの高圧ポートを基準圧力ポートとして使って
いる。この基準圧力設定機構４０では、絶対圧センサＳ
ａが基準圧力ポートＲとブリードポート３４に接続さ
れ、これらの圧力が常に大気圧より高い設定圧力Ｐａと
なるように、調整バルブＶａで制御されるようになって
いる。なお、ブリードポート３４における圧力は、設定
圧力Ｐａとなるので、パイロット室３０の内部圧力Ｐｐ
は、この基準圧力設定機構４０によって、絶対圧で調整
されることになる。
【００１５】また、この基準圧力設定機構４０には絞り
ｄが設けられているため、調整バルブＶａを介して窒素
ガス等の気体を供給すると、ブリードポート３４の圧
力、すなわち、ブリードポート３４と、基準圧力ポート
Ｒの圧力が加圧状態で維持されることになる。従って、
この基準圧力設定機構４０を具えた圧力制御システム１
０によると、差圧センサＳの高圧ポートの圧力をＳH、
低圧ポートの圧力をＳLとすると、Ｐａ＝ＳH，Ｐｉ＝Ｓ
Lとなり、Ｐａ−Ｐｉ＝ＳH−ＳL（差圧センサ設定）か
ら、制御圧Ｐｉ＝（絶対圧センサ設定Ｐａ）−（差圧セ
ンサ設定）となる。この実施形態の圧力制御システム１
０では、基準圧力は常に大気圧より高い一定圧力Ｐａに
維持され、制御圧Ｐｉは差圧センサＳにより、Ｐａより
一定圧だけ低い圧力に制御され、気圧の変動があっても
影響を受けることがない。
ｄが設けられているため、調整バルブＶａを介して窒素
ガス等の気体を供給すると、ブリードポート３４の圧
力、すなわち、ブリードポート３４と、基準圧力ポート
Ｒの圧力が加圧状態で維持されることになる。従って、
この基準圧力設定機構４０を具えた圧力制御システム１
０によると、差圧センサＳの高圧ポートの圧力をＳH、
低圧ポートの圧力をＳLとすると、Ｐａ＝ＳH，Ｐｉ＝Ｓ
Lとなり、Ｐａ−Ｐｉ＝ＳH−ＳL（差圧センサ設定）か
ら、制御圧Ｐｉ＝（絶対圧センサ設定Ｐａ）−（差圧セ
ンサ設定）となる。この実施形態の圧力制御システム１
０では、基準圧力は常に大気圧より高い一定圧力Ｐａに
維持され、制御圧Ｐｉは差圧センサＳにより、Ｐａより
一定圧だけ低い圧力に制御され、気圧の変動があっても
影響を受けることがない。
【００１６】このように、本発明の圧力制御システム１
０は、従来の差圧センサによる差圧制御と、基準圧力設
定機構４０による絶対圧制御とを組合わせたものであ
る。従って、制御する圧力は絶対圧でありながら、制御
応答性については、出力信号の大きい差圧センサＳの出
力を使うため、良好な特性が得られる。
０は、従来の差圧センサによる差圧制御と、基準圧力設
定機構４０による絶対圧制御とを組合わせたものであ
る。従って、制御する圧力は絶対圧でありながら、制御
応答性については、出力信号の大きい差圧センサＳの出
力を使うため、良好な特性が得られる。
【００１７】図２は、図１に示す第１実施形態による本
発明の圧力制御システムについて、流量変化に対する圧
力制御特性について調べた結果を示す。この図に示すよ
うに、本発明の圧力制御システムによると、入口ポート
における気体の流量が変化しても圧力はほぼ一定に保持
される。
発明の圧力制御システムについて、流量変化に対する圧
力制御特性について調べた結果を示す。この図に示すよ
うに、本発明の圧力制御システムによると、入口ポート
における気体の流量が変化しても圧力はほぼ一定に保持
される。
【００１８】次に、図３は、本発明の第２実施形態によ
る圧力制御システム１２であり、基準圧力を常に大気圧
より低く維持する場合の例である。このシステムは、図
１に示す第１実施形態における基準圧力設定機構４０の
絞りｄを、エジェクタ（「アスピレータ」ともいう。）
Ｅに変更したものである。さらに、差圧センサＳは低圧
ポートを基準圧力ポートとして使っている。この実施形
態では、基準圧力設定機構４２にエジェクタＥを設けて
いるため、基準圧力ポートＲとブリードポート３４の圧
力、すなわち、パイロット室３０の圧力は、大気圧より
も低い負圧状態に保持される。従って、この圧力制御シ
ステム１２によると、Ｐａ＝ＳL，Ｐｉ＝ＳHとなり、Ｐ
ａ−Ｐｉ＝ＳL−ＳHから、制御圧Ｐｉ＝（絶対圧センサ
設定Ｐａ）＋（差圧センサ設定）となるため、基準圧力
は常に大気圧より低い一定圧力Ｐａに維持され、制御圧
Ｐｉは差圧センサＳにより、Ｐａより一定圧だけ高い圧
力に制御される。このシステムも、第１実施形態と同
様、気圧の変動があっても、制御圧Ｐｉは影響されるこ
とがない。
る圧力制御システム１２であり、基準圧力を常に大気圧
より低く維持する場合の例である。このシステムは、図
１に示す第１実施形態における基準圧力設定機構４０の
絞りｄを、エジェクタ（「アスピレータ」ともいう。）
Ｅに変更したものである。さらに、差圧センサＳは低圧
ポートを基準圧力ポートとして使っている。この実施形
態では、基準圧力設定機構４２にエジェクタＥを設けて
いるため、基準圧力ポートＲとブリードポート３４の圧
力、すなわち、パイロット室３０の圧力は、大気圧より
も低い負圧状態に保持される。従って、この圧力制御シ
ステム１２によると、Ｐａ＝ＳL，Ｐｉ＝ＳHとなり、Ｐ
ａ−Ｐｉ＝ＳL−ＳHから、制御圧Ｐｉ＝（絶対圧センサ
設定Ｐａ）＋（差圧センサ設定）となるため、基準圧力
は常に大気圧より低い一定圧力Ｐａに維持され、制御圧
Ｐｉは差圧センサＳにより、Ｐａより一定圧だけ高い圧
力に制御される。このシステムも、第１実施形態と同
様、気圧の変動があっても、制御圧Ｐｉは影響されるこ
とがない。
【００１９】さらに、図４は、本発明の第３実施形態に
よる圧力制御システム１４であり、この実施形態は、第
２実施形態と同一の構成において、出口ポート２４も基
準圧力設定機構４４に連結したものである。第２実施形
態のものと同様に、この実施形態の場合も、制御圧Ｐｉ
＝（絶対圧センサ設定Ｐａ）＋（差圧センサ設定）とな
るため、第２実施形態と同様、気圧の変動があっても制
御圧Ｐｉは影響されることはない。
よる圧力制御システム１４であり、この実施形態は、第
２実施形態と同一の構成において、出口ポート２４も基
準圧力設定機構４４に連結したものである。第２実施形
態のものと同様に、この実施形態の場合も、制御圧Ｐｉ
＝（絶対圧センサ設定Ｐａ）＋（差圧センサ設定）とな
るため、第２実施形態と同様、気圧の変動があっても制
御圧Ｐｉは影響されることはない。
【００２０】
【発明の効果】本発明の排気装置の圧力制御システム１
０，１２，１４は、気象状態の変化や標高差等、使用環
境における気圧の変動の影響を受けることがなく、応答
性、精度、及び安定性に優れているという効果を奏す
る。
０，１２，１４は、気象状態の変化や標高差等、使用環
境における気圧の変動の影響を受けることがなく、応答
性、精度、及び安定性に優れているという効果を奏す
る。
【００２１】また、前記基準圧力設定機構４０，４２，
４４は、比較的簡単な構成で構築することができる。
４４は、比較的簡単な構成で構築することができる。
【図１】 本発明の第１実施形態の圧力制御システムの
構成図。
構成図。
【図２】 図１の圧力制御システムの流量−圧力特性の
図。
図。
【図３】 本発明の第２実施形態の圧力制御システムの
構成図。
構成図。
【図４】 本発明の第３実施形態の圧力制御システムの
構成図。
構成図。
【図５】 従来の圧力制御システムの構成図。
【図６】 従来の圧力制御システムの流量−圧力特性の
図。
図。
１０，１２，１４：圧力制御システム
２０：本体
２２：入口ポート
２４：出口ポート
２６：スプール
３０：パイロット室
３４：ブリードポート
４０，４２，４４：基準圧力設定機構
Ｖ：制御バルブ
Ｓ：差圧センサ
Ｒ：基準圧力ポート
Ｃ：制御回路
Ｖａ：調整バルブ
Ｓａ：絶対圧センサ
ｄ：絞り
Ｅ：エジェクタ
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 3H056 AA01 AA05 BB01 CA03 CB02
CB07 CB09 CC03 CC11 CD03
DD03 EE06 GG02 GG14
5H316 AA20 BB02 DD06 EE02 EE10
EE12 FF01 FF02 FF33 GG05
GG11 HH04 HH11 HH14 JJ08
KK01
Claims (4)
- 【請求項１】 本体に入口ポートと出口ポートとパイロ
ット室が形成され、前記パイロット室にブリードポート
が設けられ、前記本体の入口ポートと出口ポートとを連
結する滑り面にスプールが保持され、前記入口ポートの
圧力を検知する差圧センサと、前記パイロット室に調整
用ガスを供給する制御バルブと、前記差圧センサの出力
に基づいて、前記制御バルブを駆動する制御回路を具え
た排気装置の圧力制御システムであって、 前記パイロット室のブリードポートにおける圧力と、前
記差圧センサの基準圧力ポートにおける気体の圧力を一
定に保持する基準圧力設定機構を具えたことを特徴とす
る、 排気装置の圧力制御システム。 - 【請求項２】 前記基準圧力設定機構が、前記ブリード
ポートと基準圧力ポートの圧力を検知する絶対圧センサ
と、該絶対圧センサの出力に基づいて調整用ガスを供給
する調整バルブと、絞りとを具えたものである、請求項
１の排気装置の圧力制御システム。 - 【請求項３】 前記基準圧力設定機構が、前記ブリード
ポートと基準圧力ポートの圧力を検知する絶対圧センサ
と、該絶対圧センサの出力に基づいて調整用ガスを供給
する調整バルブと、エジェクタとを具えたものである、
請求項１の排気装置の圧力制御システム。 - 【請求項４】 前記基準圧力設定機構が、前記ブリード
ポート、前記基準圧力ポート、及び前記出口ポートの圧
力を検知する絶対圧センサと、該絶対圧センサの出力に
基づいて調整用ガスを供給する調整バルブと、エジェク
タとを具えたものである、請求項１の排気装置の圧力制
御システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001323366A JP2003131743A (ja) | 2001-10-22 | 2001-10-22 | 排気装置の圧力制御システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001323366A JP2003131743A (ja) | 2001-10-22 | 2001-10-22 | 排気装置の圧力制御システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003131743A true JP2003131743A (ja) | 2003-05-09 |
Family
ID=19140263
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001323366A Withdrawn JP2003131743A (ja) | 2001-10-22 | 2001-10-22 | 排気装置の圧力制御システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003131743A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007011984A (ja) * | 2005-07-04 | 2007-01-18 | Advanced Energy Japan Kk | 排気装置の圧力制御システム |
| WO2010019759A3 (en) * | 2008-08-13 | 2010-05-20 | Advanced Energy Industries. Inc. | System and method for monitoring control status of an exhaust apparatus pressure control system |
-
2001
- 2001-10-22 JP JP2001323366A patent/JP2003131743A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007011984A (ja) * | 2005-07-04 | 2007-01-18 | Advanced Energy Japan Kk | 排気装置の圧力制御システム |
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| EP1899784A4 (en) * | 2005-07-04 | 2011-11-23 | Hitachi Metals Ltd | PRESSURE REGULATOR FOR AN EXHAUST |
| WO2010019759A3 (en) * | 2008-08-13 | 2010-05-20 | Advanced Energy Industries. Inc. | System and method for monitoring control status of an exhaust apparatus pressure control system |
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