JP2001216030A - ガス流量制御システム - Google Patents
ガス流量制御システムInfo
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- JP2001216030A JP2001216030A JP2000028538A JP2000028538A JP2001216030A JP 2001216030 A JP2001216030 A JP 2001216030A JP 2000028538 A JP2000028538 A JP 2000028538A JP 2000028538 A JP2000028538 A JP 2000028538A JP 2001216030 A JP2001216030 A JP 2001216030A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 低負荷時にもガスの流量を正確に制御するこ
と。 【解決手段】 通風機１４に吸込まれるガスの流量をサ
クションダンパ１２の開度に応じて制御し、コントロー
ルダンパ１８に供給されるガスの流量を流量発信器２６
の検出による流量または発信器３４、３６の検出による
コントロールダンパ１８の入口側と出口側の圧力差に応
じて制御するに際して、低負荷時には通風機１４の出口
側の圧力が一定になるようにサクションダンパ１２の開
度を制御するとともに、コントロールダンパ１８の入口
側の圧力と出口側の圧力を差圧にしたがってコントロー
ルダンパ１８の開度を調整し、コントロールダンパ１８
から負荷に供給されるガスの流量を正確に制御する。
と。 【解決手段】 通風機１４に吸込まれるガスの流量をサ
クションダンパ１２の開度に応じて制御し、コントロー
ルダンパ１８に供給されるガスの流量を流量発信器２６
の検出による流量または発信器３４、３６の検出による
コントロールダンパ１８の入口側と出口側の圧力差に応
じて制御するに際して、低負荷時には通風機１４の出口
側の圧力が一定になるようにサクションダンパ１２の開
度を制御するとともに、コントロールダンパ１８の入口
側の圧力と出口側の圧力を差圧にしたがってコントロー
ルダンパ１８の開度を調整し、コントロールダンパ１８
から負荷に供給されるガスの流量を正確に制御する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガス流量制御装置
に係り、特に、ガス流量の変動範囲の大きいときのガス
流量を制御するに好適なガス流量制御システムに関す
る。
に係り、特に、ガス流量の変動範囲の大きいときのガス
流量を制御するに好適なガス流量制御システムに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、通風機により吸込まれたガスの流
量を制御するシステムとして、図３に示すものが知られ
ている。このシステムにおいては、サクションダンパ５
０を介して導入されたガスを通風機５２が吸込み、この
ガスを通風機５２が昇圧して排出し、このガスをエアホ
イール５４またはオリフィス（図示省略）、コントロー
ルダンパ５６を介して負荷に供給するようになってい
る。このとき、通風機５２出口側の圧力を発信器５８か
ら中央計器６０に伝送し、通風機５２の出口圧力にした
がってサクションダンパ５０の開度を制御して通風機５
２へのガスの流量を制御するようになっている。さら
に、エアホイール５４の入口側の圧力と出口側の圧力と
の差圧を流量発信器６２で検出し、検出された流量に関
する情報を流量発信器５８から中央計器６４に出力し、
流量発信器６２によって検出された差圧を基にコントロ
ールダンパ５６の開度を調整して負荷に対するガスの流
量を制御するようになっている。
量を制御するシステムとして、図３に示すものが知られ
ている。このシステムにおいては、サクションダンパ５
０を介して導入されたガスを通風機５２が吸込み、この
ガスを通風機５２が昇圧して排出し、このガスをエアホ
イール５４またはオリフィス（図示省略）、コントロー
ルダンパ５６を介して負荷に供給するようになってい
る。このとき、通風機５２出口側の圧力を発信器５８か
ら中央計器６０に伝送し、通風機５２の出口圧力にした
がってサクションダンパ５０の開度を制御して通風機５
２へのガスの流量を制御するようになっている。さら
に、エアホイール５４の入口側の圧力と出口側の圧力と
の差圧を流量発信器６２で検出し、検出された流量に関
する情報を流量発信器５８から中央計器６４に出力し、
流量発信器６２によって検出された差圧を基にコントロ
ールダンパ５６の開度を調整して負荷に対するガスの流
量を制御するようになっている。
【０００３】コントロールダンパ５６の開度を調整して
ガスの流量を制御するに際しては、例えば、図４に示す
ように、コントロールダンパ５６の開度を一定にし、サ
クションダンパ５０の開度を徐々に大きくしていくと、
サクションダンパ５０の開度に応じてファン特性曲線Ａ
が変化し、抵抗曲線Ｂとの交点（丸印）が圧力のバラン
ス点となる。そして各バランス点における流量がサクシ
ョンダンパ５０の各開度における流量となる。
ガスの流量を制御するに際しては、例えば、図４に示す
ように、コントロールダンパ５６の開度を一定にし、サ
クションダンパ５０の開度を徐々に大きくしていくと、
サクションダンパ５０の開度に応じてファン特性曲線Ａ
が変化し、抵抗曲線Ｂとの交点（丸印）が圧力のバラン
ス点となる。そして各バランス点における流量がサクシ
ョンダンパ５０の各開度における流量となる。
【０００４】一方、サクションダンパ５０の開度を一定
にし、コントロールダンパ５６の開度を全開状態から徐
々に締めていくと、図５に示すように、抵抗曲線Ｃが順
次立ち上がる特性を示し、抵抗曲線Ｃとファン特性曲線
Ｄとの交点（丸印）が圧力バランス点となる。そして各
圧力バランス点における流量がコントロールダンパ５６
の各開度における流量となる。
にし、コントロールダンパ５６の開度を全開状態から徐
々に締めていくと、図５に示すように、抵抗曲線Ｃが順
次立ち上がる特性を示し、抵抗曲線Ｃとファン特性曲線
Ｄとの交点（丸印）が圧力バランス点となる。そして各
圧力バランス点における流量がコントロールダンパ５６
の各開度における流量となる。
【０００５】このようにシングルフローのシステムにお
いては、コントロールダンパ５６またはサクションダン
パ５０のいずれか一方のダンパの開度を調整することで
流量を制御することができる。
いては、コントロールダンパ５６またはサクションダン
パ５０のいずれか一方のダンパの開度を調整することで
流量を制御することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来システムでは、サ
クションダンパ５０とコントロールダンパ５６のいずれ
か一方の開度を調整することでガスの流量を制御してい
るため、ガスの流量の変動範囲が１０〜１００％であっ
ても広範囲に渡ってガスの流量を制御することができ
る。
クションダンパ５０とコントロールダンパ５６のいずれ
か一方の開度を調整することでガスの流量を制御してい
るため、ガスの流量の変動範囲が１０〜１００％であっ
ても広範囲に渡ってガスの流量を制御することができ
る。
【０００７】しかし、従来のシステムでは、エアホイー
ル５４またはオリフィスによって上流側と下流側の差圧
を検出しているため、負荷の状態によってはガスの流量
を正確に制御することができない。すなわち、ガスの流
量の変動範囲が１０〜１００％のように広い場合、１０
０％で１００ｍｍＡｑに設定した圧力は、１０％の流量
では１ｍｍＡｑとなり、エアホイール５４の誤差を考慮
すると、１０％のような低負荷での測定は不可能であ
る。このため、１０％程度の低負荷運転時にはコントロ
ールダンパ５６の開度を調整してガスの流量を正確に制
御することができない。
ル５４またはオリフィスによって上流側と下流側の差圧
を検出しているため、負荷の状態によってはガスの流量
を正確に制御することができない。すなわち、ガスの流
量の変動範囲が１０〜１００％のように広い場合、１０
０％で１００ｍｍＡｑに設定した圧力は、１０％の流量
では１ｍｍＡｑとなり、エアホイール５４の誤差を考慮
すると、１０％のような低負荷での測定は不可能であ
る。このため、１０％程度の低負荷運転時にはコントロ
ールダンパ５６の開度を調整してガスの流量を正確に制
御することができない。
【０００８】本発明の目的は、低負荷時にもガスの流量
を正確に制御することができるガス流量制御システムを
提供することにある。
を正確に制御することができるガス流量制御システムを
提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は、ガスを吸い込みこのガスを昇圧して排出
する通風機の出口圧力を検出する出口圧力検出手段と、
前記通風機の吸い込み流量を開度に応じて調整するサク
ションダンパと、前記出口圧力検出手段の検出圧力に従
って前記サクションダンパの開度を制御する第１の開度
制御手段と、前記通風機からのガスを導入してその流量
を開度に応じて調節して負荷に出力するコントロールダ
ンパと、前記通風機から前記コントロールダンパに供給
されるガスの流量を検出するガス流量検出手段と、前記
コントロールダンパの入口圧力と出口圧力との差圧を検
出する差圧検出手段と、前記ガス流量検出手段の検出出
力または前記差圧検出手段の検出出力に従って前記コン
トロールダンパの開度を制御する第２の開度制御手段と
を備えてなるガス流量制御システムを構成したものであ
る。
に、本発明は、ガスを吸い込みこのガスを昇圧して排出
する通風機の出口圧力を検出する出口圧力検出手段と、
前記通風機の吸い込み流量を開度に応じて調整するサク
ションダンパと、前記出口圧力検出手段の検出圧力に従
って前記サクションダンパの開度を制御する第１の開度
制御手段と、前記通風機からのガスを導入してその流量
を開度に応じて調節して負荷に出力するコントロールダ
ンパと、前記通風機から前記コントロールダンパに供給
されるガスの流量を検出するガス流量検出手段と、前記
コントロールダンパの入口圧力と出口圧力との差圧を検
出する差圧検出手段と、前記ガス流量検出手段の検出出
力または前記差圧検出手段の検出出力に従って前記コン
トロールダンパの開度を制御する第２の開度制御手段と
を備えてなるガス流量制御システムを構成したものであ
る。
【００１０】前記ガス流量制御装置を構成するに際して
は、以下の要素を付加することができる。
は、以下の要素を付加することができる。
【００１１】前記第１の開度制御手段は、低負荷時に、
前記通風機の出口圧力を一定とする条件で前記サクショ
ンダンパの開度を制御し、前記第２の開度制御手段は、
低負荷時に、前記差圧検出手段の検出出力に従って前記
コントロールダンパの開度を制御しそれ以外のときには
前記ガス流量検出手段の検出出力に従って前記コントロ
ールダンパの開度を制御してなる。
前記通風機の出口圧力を一定とする条件で前記サクショ
ンダンパの開度を制御し、前記第２の開度制御手段は、
低負荷時に、前記差圧検出手段の検出出力に従って前記
コントロールダンパの開度を制御しそれ以外のときには
前記ガス流量検出手段の検出出力に従って前記コントロ
ールダンパの開度を制御してなる。
【００１２】前記手段によれば、低負荷時、すなわち流
量が少ないときには、コントロールダンパ自身の抵抗が
大きくなり、コントロールダンパの開度はほぼ閉状態に
あるが、コントロールダンパの入口側と出口側の圧力差
は大きくなっており、この圧力差を低負荷時に検出し、
この検出値にしたがってコントロールダンパの開度を制
御するようにしているため、低負荷時にもガスの流量を
正確に制御することができる。
量が少ないときには、コントロールダンパ自身の抵抗が
大きくなり、コントロールダンパの開度はほぼ閉状態に
あるが、コントロールダンパの入口側と出口側の圧力差
は大きくなっており、この圧力差を低負荷時に検出し、
この検出値にしたがってコントロールダンパの開度を制
御するようにしているため、低負荷時にもガスの流量を
正確に制御することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。図１は本発明の一実施形態を示す
ガス流量制御システムの全体構成図である。図１におい
て、ガス通路１０中に、ガス通路１０の上流側からサク
ションダンパ１２、通風機１４、エアホイール１６、コ
ントロールダンパ１８が挿入されている。サクションダ
ンパ１２は開度調整器２０の調整により、その開度に応
じたガスを通風機１４に送給するようになっており、開
度調整器２０は中央計器２２に接続されている。通風機
１４はサクションダンパ１２からのガスを吸込み、この
ガスを昇圧して排出するようになっている。通風機１４
の出口側には、通風機１４の出口圧力を検出し、検出出
力を中央計器２２に出力する出口圧力検出手段としての
発信器２４が設けられている。中央計器２２は、発信器
２４からの検出出力に応答して、開度調整器２０に制御
信号を出力してサクションダンパ１２の開度を制御する
ようになっている。すなわち中央計器２２と開度調整器
２０は第１の開度制御手段として構成されている。
に基づいて説明する。図１は本発明の一実施形態を示す
ガス流量制御システムの全体構成図である。図１におい
て、ガス通路１０中に、ガス通路１０の上流側からサク
ションダンパ１２、通風機１４、エアホイール１６、コ
ントロールダンパ１８が挿入されている。サクションダ
ンパ１２は開度調整器２０の調整により、その開度に応
じたガスを通風機１４に送給するようになっており、開
度調整器２０は中央計器２２に接続されている。通風機
１４はサクションダンパ１２からのガスを吸込み、この
ガスを昇圧して排出するようになっている。通風機１４
の出口側には、通風機１４の出口圧力を検出し、検出出
力を中央計器２２に出力する出口圧力検出手段としての
発信器２４が設けられている。中央計器２２は、発信器
２４からの検出出力に応答して、開度調整器２０に制御
信号を出力してサクションダンパ１２の開度を制御する
ようになっている。すなわち中央計器２２と開度調整器
２０は第１の開度制御手段として構成されている。
【００１４】エアホイール１６はオリフィスとしての機
能を備えており、通風機１４からのガスをコントロール
ダンパ１８側へ送給するようになっている。このエアホ
イール１６には流量発信器２６が設けられており、この
流量発信器２６は、エアホイール１６の入口側の圧力と
出口側の圧力との差圧にしたがってガスの流量を検出
し、検出したガス流量に関する情報を中央計器２８に出
力するようになっている。
能を備えており、通風機１４からのガスをコントロール
ダンパ１８側へ送給するようになっている。このエアホ
イール１６には流量発信器２６が設けられており、この
流量発信器２６は、エアホイール１６の入口側の圧力と
出口側の圧力との差圧にしたがってガスの流量を検出
し、検出したガス流量に関する情報を中央計器２８に出
力するようになっている。
【００１５】コントロールダンパ１８は、エアホイール
１６からのガスを導入し、導入したガスを開度調整器３
０の調整による開度に応じた流量のガスを負荷側に送給
するようになっており、開度調整器３０は中央計器２８
に接続されている。このコントロールダンパ１８の入口
側には、コントロールダンパ１８の入口圧力を検出し、
検出した圧力を中央計器３２に出力する発信器３４が設
けられており、コントロールダンパ１８の出口側には、
コントロールダンパ１８の出口圧力を検出し、検出した
圧力を中央計器３２に出力する発信器３６が設けられて
いる。中央計器３２は、発信器３４の検出による入口圧
力と発信器３６の検出による出口圧力との差圧を検出
し、検出出力を中央計器２８に出力するようになってい
る。すなわち、発信器３４、３６、中央計器３２は差圧
検出手段として構成されている。中央計器２８は、流量
発信器２６からの流量に関する情報と中央計器３２から
の差圧に関する情報にしたがって開度調整器３０を制御
し、コントロールダンパ１８の開度を制御するようにな
っている。すなわち中央計器２８、開度調整器３０は第
２の開度制御手段として構成されている。
１６からのガスを導入し、導入したガスを開度調整器３
０の調整による開度に応じた流量のガスを負荷側に送給
するようになっており、開度調整器３０は中央計器２８
に接続されている。このコントロールダンパ１８の入口
側には、コントロールダンパ１８の入口圧力を検出し、
検出した圧力を中央計器３２に出力する発信器３４が設
けられており、コントロールダンパ１８の出口側には、
コントロールダンパ１８の出口圧力を検出し、検出した
圧力を中央計器３２に出力する発信器３６が設けられて
いる。中央計器３２は、発信器３４の検出による入口圧
力と発信器３６の検出による出口圧力との差圧を検出
し、検出出力を中央計器２８に出力するようになってい
る。すなわち、発信器３４、３６、中央計器３２は差圧
検出手段として構成されている。中央計器２８は、流量
発信器２６からの流量に関する情報と中央計器３２から
の差圧に関する情報にしたがって開度調整器３０を制御
し、コントロールダンパ１８の開度を制御するようにな
っている。すなわち中央計器２８、開度調整器３０は第
２の開度制御手段として構成されている。
【００１６】本実施形態におけるガス流量制御システム
において、ガス通路１０中のガスの流量を制御するに際
しては、低負荷時以外のときには、サクションダンパ１
２の開度またはコントロールダンパ１８の開度を制御し
てガスの流量を制御するようになっている。そして、コ
ントロールダンパ１８の開度を制御する場合、ガスの流
量が多いときには、コントロールダンパ１８の入口側と
出口側の圧力差が小さくなるため、流量発信器２６の検
出による流量にしたがってコントロールダンパ１８の開
度を制御する。
において、ガス通路１０中のガスの流量を制御するに際
しては、低負荷時以外のときには、サクションダンパ１
２の開度またはコントロールダンパ１８の開度を制御し
てガスの流量を制御するようになっている。そして、コ
ントロールダンパ１８の開度を制御する場合、ガスの流
量が多いときには、コントロールダンパ１８の入口側と
出口側の圧力差が小さくなるため、流量発信器２６の検
出による流量にしたがってコントロールダンパ１８の開
度を制御する。
【００１７】一方、低負荷時になってガスの流量が少な
くなったときには、コントロールダンパ１８の入口側と
出口側の圧力に差が生じるため、この差圧とガス流量と
の関係にしたがってコントロールダンパ１８の開度を制
御する。この場合、通風機１４の出口圧力を一定に保つ
ように、サクションダンパ１２の開度を制御する。
くなったときには、コントロールダンパ１８の入口側と
出口側の圧力に差が生じるため、この差圧とガス流量と
の関係にしたがってコントロールダンパ１８の開度を制
御する。この場合、通風機１４の出口圧力を一定に保つ
ように、サクションダンパ１２の開度を制御する。
【００１８】具体的には、図２に示すように、コントロ
ールダンパ１８が全開状態にあって抵抗曲線Ｃ１にある
ときから、コントロールダンパ１８を締めて抵抗曲線が
Ｃ２で示すように変化した場合、通風機１４の出口側の
圧力を一定とした条件でサクションダンパ１２の開度を
変化させると、ファン特性曲線は特性曲線Ｄ１、Ｄ２、
Ｄ３、Ｄ４のように変化し、例えば、抵抗曲線Ｃ２とフ
ァン特性曲線Ｄ４との交点Ａにおいては、交点Ａにおけ
る流量に対応した流量のガスが流れることになる。そし
て抵抗曲線Ｃ１における点Ｂと抵抗曲線Ｃ２における交
点Ａとの差圧はコントロールダンパ１８を締めることに
より発生した圧力損失であり、この圧力差にしたがって
ガスの流量を計測することができる。すなわち、コント
ロールダンパ１８の抵抗曲線の特性を元圧が一定の条件
で事前に把握することで、コントロールダンパ１８の入
口側と出口側の圧力差にしたがってガス流量を計測する
ことができる。
ールダンパ１８が全開状態にあって抵抗曲線Ｃ１にある
ときから、コントロールダンパ１８を締めて抵抗曲線が
Ｃ２で示すように変化した場合、通風機１４の出口側の
圧力を一定とした条件でサクションダンパ１２の開度を
変化させると、ファン特性曲線は特性曲線Ｄ１、Ｄ２、
Ｄ３、Ｄ４のように変化し、例えば、抵抗曲線Ｃ２とフ
ァン特性曲線Ｄ４との交点Ａにおいては、交点Ａにおけ
る流量に対応した流量のガスが流れることになる。そし
て抵抗曲線Ｃ１における点Ｂと抵抗曲線Ｃ２における交
点Ａとの差圧はコントロールダンパ１８を締めることに
より発生した圧力損失であり、この圧力差にしたがって
ガスの流量を計測することができる。すなわち、コント
ロールダンパ１８の抵抗曲線の特性を元圧が一定の条件
で事前に把握することで、コントロールダンパ１８の入
口側と出口側の圧力差にしたがってガス流量を計測する
ことができる。
【００１９】このように、低負荷時に、ガスの流量が１
０％以下のときでも、コントロールダンパ１８の入口側
の圧力と出口側の圧力との差圧を基にコントロールダン
パ１８の開度を調整することで、低負荷時におけるガス
の流量を正確に制御することができ、ガスの流量が１〜
１００％の範囲で変化しても、ガスの流量を正確に制御
することができる。
０％以下のときでも、コントロールダンパ１８の入口側
の圧力と出口側の圧力との差圧を基にコントロールダン
パ１８の開度を調整することで、低負荷時におけるガス
の流量を正確に制御することができ、ガスの流量が１〜
１００％の範囲で変化しても、ガスの流量を正確に制御
することができる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
低負荷時、すなわち流量が少ないときには、コントロー
ルダンパ自身の抵抗が大きくなり、コントロールダンパ
の開度はほぼ閉状態にあるが、コントロールダンパの入
口側と出口側の圧力差は大きくなっており、この圧力差
を低負荷時に検出し、この検出値にしたがってコントロ
ールダンパの開度を制御するようにしているため、低負
荷時にもガスの流量を正確に制御することができる。
低負荷時、すなわち流量が少ないときには、コントロー
ルダンパ自身の抵抗が大きくなり、コントロールダンパ
の開度はほぼ閉状態にあるが、コントロールダンパの入
口側と出口側の圧力差は大きくなっており、この圧力差
を低負荷時に検出し、この検出値にしたがってコントロ
ールダンパの開度を制御するようにしているため、低負
荷時にもガスの流量を正確に制御することができる。
【図１】本発明の一実施形態を示すガス流量制御システ
ムの全体構成図である。
ムの全体構成図である。
【図２】通風機の性能特性曲線を示す特性図である。
【図３】従来例の構成図である。
【図４】従来例における通風機の性能特性曲線を示す特
性図である。
性図である。
【図５】従来例における通風機の他の性能特性曲線を示
す特性図である。
す特性図である。
１０ ガス通路 １２ サクションダンパ １４ 通風機 １６ エアホイール １８ コントロールダンパ ２０ 開度調整器 ２２ 中央計器 ２４ 発信器 ２６ 流量発信器 ２８ 中央計器 ３０ 開度調整器 ３２ 中央計器 ３４、３６ 発信器
フロントページの続き Ｆターム(参考） 5H004 HA02 HA03 HB02 HB03 JA03 JB08 JB09 JB10 JB17 JB18 JB29 LB06 5H307 BB01 DD06 DD20 EE02 EE08 EE15 EE21 ES05 FF02 FF12 FF13 GG03 GG11 HH04 HH11 JJ03 5H316 BB01 DD07 EE02 EE09 EE15 ES05 FF01 FF02 FF06 FF22 GG01 GG15 HH04
Claims (2)
- 【請求項１】 ガスを吸い込みこのガスを昇圧して排出
する通風機の出口圧力を検出する出口圧力検出手段と、
前記通風機の吸い込み流量を開度に応じて調整するサク
ションダンパと、前記出口圧力検出手段の検出圧力に従
って前記サクションダンパの開度を制御する第１の開度
制御手段と、前記通風機からのガスを導入してその流量
を開度に応じて調節して負荷に出力するコントロールダ
ンパと、前記通風機から前記コントロールダンパに供給
されるガスの流量を検出するガス流量検出手段と、前記
コントロールダンパの入口圧力と出口圧力との差圧を検
出する差圧検出手段と、前記ガス流量検出手段の検出出
力または前記差圧検出手段の検出出力に従って前記コン
トロールダンパの開度を制御する第２の開度制御手段と
を備えてなるガス流量制御システム。 - 【請求項２】 前記第１の開度制御手段は、低負荷時
に、前記通風機の出口圧力を一定とする条件で前記サク
ションダンパの開度を制御し、前記第２の開度制御手段
は、低負荷時に、前記差圧検出手段の検出出力に従って
前記コントロールダンパの開度を制御しそれ以外のとき
には前記ガス流量検出手段の検出出力に従って前記コン
トロールダンパの開度を制御してなること特徴とする請
求項１に記載のガス流量制御システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000028538A JP2001216030A (ja) | 2000-02-07 | 2000-02-07 | ガス流量制御システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000028538A JP2001216030A (ja) | 2000-02-07 | 2000-02-07 | ガス流量制御システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001216030A true JP2001216030A (ja) | 2001-08-10 |
Family
ID=18553926
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000028538A Pending JP2001216030A (ja) | 2000-02-07 | 2000-02-07 | ガス流量制御システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001216030A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100426169C (zh) * | 2002-06-03 | 2008-10-15 | 株式会社富士金 | 从备有流量控制装置的气体供给设备向腔室的气体分流供给方法 |
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2000
- 2000-02-07 JP JP2000028538A patent/JP2001216030A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100426169C (zh) * | 2002-06-03 | 2008-10-15 | 株式会社富士金 | 从备有流量控制装置的气体供给设备向腔室的气体分流供给方法 |
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