TW202407245A - 壓力感測及調節系統 - Google Patents

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TW202407245A
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辛尼斯 庫瑪 佩魯默爾
亞拉文 瓦桑塔古瑪
蘇巴斯 古達蒂
蒙特雷 里菲
沙那多 巴羅利
愛德華 Ｅ 瓊斯
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美商恩特葛瑞斯股份有限公司
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Abstract

本發明揭示一種具有一壓力感測及調節系統之高壓流體儲存裝置，其經構形用於在一調節壓力範圍下輸送蒸發固體及液體前驅體材料。該壓力調節系統之至少一些組件容納在該儲存裝置內。

Description

壓力感測及調節系統
本發明係關於真空致動氣缸(VAC)及具有壓力調節閥之亞大氣壓力氣體輸送系統之領域。
亞大氣壓力輸送系統(諸如VAC)可使用組件之一壓力感測總成(PSA)來調節閥之打開及關閉。此等PSA通常包含各種機械組件，與組裝在一起之一伸縮管結構組件、一提動閥組件及一螺旋彈簧組裝在一起。機械組件之此等總成未經構形以控制或調節氣體之最終輸送管線處之氣體之波動，且PSA可導致氣體之最終輸送線處之壓力尖峰。
本文所揭示之一些實施例係針對用於調節一輸送管線之輸送壓力之系統及方法，使得一氣體之輸送壓力恒定(或實質上不變)且穩定。
因此，本文所揭示之一些實施例係針對用於調節一輸送管線之輸送壓力之系統及方法，使得一氣體之輸送壓力無壓力尖峰(其通常係未調節之質量氣流之一特性)。
在一些實施例中，一種流體供應系統包括：一容器本體，其界定用於儲存處於一第一壓力下之一流體之一內腔；及一壓力調節器系統，其包括各種組件及/或裝置，其中該壓力調節器之至少一些安置於該內腔中。
在一些實施例中，該壓力調節器系統經構形以獲取具有該第一壓力之該流體，該流體經由一主入口進入該調節器系統，且以一第二壓力將該流體之一流量引導至該出口，其中該第二壓力低於該第一壓力。在一些實施例中，該第一壓力係一壓縮壓力使得該壓縮壓力高於或等於大氣壓力。在一些實施例中，該第二壓力係亞大氣壓力。
在一些實施例中，一種系統經構形用於使容納在一容器內之一流體流動至一輸送管線，其中容納在該容器內之該流體在一第一壓力下壓縮且流動至該輸送管線之該流體處於一第二壓力下，該第二壓力係亞大氣壓力，該系統包括一機電閥，其中該機電閥包含一流體流入部分及一流體流出部分，且該機電閥具有自完全關閉變化至完全打開之一可變打開狀態，其中該可變打開狀態由一可變控制電信號控制；及一壓力感測器，其中該流體流出部分具有將該流體流動之至少一部分引導至該壓力感測器之一控制迴路流動部分，其中該壓力感測器偵測該流體之一局部壓力，且基於該局部壓力之該偵測，該壓力感測器經組態以產生該可變控制電信號(例如一輸出電壓或電流)且將其發送至該機電閥以控制該機電閥之該可變打開狀態。
在該系統之一些實施例中，該壓力感測器包含經構形以基於該局部壓力移動或撓曲之一壓敏組件。
在該系統之一些實施例中，該壓力感測器包括一壓電晶體，且該壓敏組件連接至該壓電晶體使得該壓敏組件之移動或撓曲引起該壓電晶體上之壓縮以產生該可變控制電信號。
在該系統之一些實施方案中，該壓敏組件包含一撓性膜。
在該系統之一些實施例中，該機電閥位於該壓力感測器之上游。
在一些實施例中，該系統進一步包括一第二機電閥，其中該第二機電閥包含一第二流體流入部分及一第二流體流出部分，且該第二機電閥具有自完全關閉變化至完全打開之第二可變打開狀態，其中該第二可變打開狀態由一第二可變控制電信號控制；及一第二壓力感測器，其中該第二流體流出部分具有具有將該流體流動之至少一部分引導至該第二壓力感測器之一第二控制迴路流動部分，其中該第二壓力感測器偵測該流體之一第二局部壓力，且基於該第二局部壓力之該偵測，該第二壓力感測器經組態以產生該第二可變控制電信號且將其發送至該第二機電閥以控制該第二機電閥之該第二可變打開狀態。
在該系統之一些實施例中，該機電閥位於該第二機電閥之上游。
在該系統之一些實施例中，該壓力感測器位於該第二壓力感測器之上游。
在該系統之一些實施例中，該機電閥及該壓力感測器均位於該第二機電閥及該第二壓力感測器之上游。
在該系統之一些實施例中，該機電閥之該流體流出部分連接至該第二機電閥之該第二流體流入部分。
在該系統之一些實施例中，該第二壓力感測器包含經構形以基於該第二局部壓力而移動或撓曲之一第二壓敏組件。
在該系統之一些實施例中，該第二壓力感測器包括一第二壓電晶體，且該第二壓敏組件連接至該第二壓電晶體使得該第二壓敏組件之移動或撓曲引起該第二壓電子晶體上之壓縮以產生該第二可變控制電信號。
在該系統之一些實施方案中，該第二壓敏組件包含一第二撓性膜。
在該系統之一些實施例中，該第二機電閥位於該第二壓力感測器之上游。
在一些實施例中，該系統進一步包括連接至該機電閥之該流體流入部分及其上游之一過濾器。
在一些實施例中，一種系統經構形用於使容納在一容器內之一流體流動至一輸送管線，其中容納在該容器內之該流體在一第一壓力下壓縮且流動至該輸送管線之該流體處於一第二壓力，該第二壓力係亞大氣壓力，該系統包括一機電閥，其中該機電閥包含一流體流入部分及一流體流出部分，且該機電閥具有自完全關閉變化至完全打開之一可變打開狀態，其中該可變打開狀態由一可變控制信號控制；一第一壓力感測器，其中該第一壓力感測器安置於該機電閥之上游；一第二壓力感測器，
其中該第二壓力感測器安置於該機電閥之下游；及一氣流控制裝置，其中該氣流控制裝置與該機電閥、該第一壓力感測器及該第二壓力感測器連通，其中該氣流控制裝置包括一微處理器及具有一專用演算法之一非暫時性記憶體，該專用演算法用於基於自該第一壓力感測器、該第二壓力感測器或兩者接收之資料來判定及發送用於控制該機電閥之該可變打開狀態之該可變控制信號。
在一些實施例中，該系統進一步包括一第二機電閥，其中該第二機電閥包含一第二流體流入部分及一第二流體流出部分，該第二流體流入部分連接至該機電閥之該流體流出部分，且該第二機電閥具有自完全關閉變化至完全打開之一第二可變打開狀態，其中該第二可變打開狀態由一第二可變控制信號控制；其中該氣流控制裝置與該第二機電閥連通，其中用於該氣流控制裝置之該專用演算法經組態用於至少基於自該第一壓力感測器、該第二壓力感測器或兩者接收之資料來判定及發送用於控制該第二電機閥之該第二可變打開狀態之該第二可變控制信號。
在一些實施例中，該系統進一步包括另一壓力感測器，其中該另一壓力感測器安置於該第二機電閥之下游，且其中該另一壓力感測器與該氣流控制裝置連通，其中該氣流控制裝置之該專用演算法經組態用於至少部分地基於自該另一壓力感測器接收之資料來判定及發送用於控制該機電閥之該可變打開狀態之該可變控制信號；至少部分地基於自該另一壓力感測器接收之資料來判定及發送用於控制該第二機電閥之該第二可變打開狀態之該第二可變控制信號，或兩者。
在一些實施例中，該系統進一步包括一輸送壓力感測器，其中該輸送壓力感測器安置於該機電閥之下游，且其中該輸送壓力感測器與該氣流控制裝置連通；其中該氣流控制裝置之該專用演算法經組態用於至少部分地基於自該輸送壓力感測器接收之資料來判定及發送用於控制該機電閥之該可變打開狀態之該可變控制信號；至少部分地基於自該輸送壓力感測器接收之資料來判定及發送用於控制該第二機電閥之該第二可變打開狀態之該第二可變控制信號，或兩者。
在一些實施例中，該系統進一步包括一輸送管線壓力感測器，其中該輸送管線壓力感測器安置於該機電閥之下游，其中該輸送管線壓力感測器與該氣流控制裝置連通，其中該氣流控制裝置之該專用演算法經組態用於至少部分地基於自該輸送管線壓力感測器接收之資料來判定及發送用於控制該機電閥之該可變打開狀態之該可變控制信號；至少部分地基於自該輸送管線壓力感測器接收之資料來判定及發送用於控制該第二機電閥之該第二可變打開狀態之該第二可變控制信號，或兩者。
在一些實施例中，該系統進一步包括一輸送管線壓力感測器，其中該輸送管線壓力感測器安置於該機電閥之下游，其中該輸送管線壓力感測器與該氣流控制裝置連通，其中該氣流控制裝置之該專用演算法經組態用於至少部分地基於自該輸送管線壓力感測器接收之資料來判定及發送用於控制該機電閥之該可變打開狀態之該可變控制信號。
在一些實施例中，該系統進一步包括一輸送壓力感測器，其中該輸送壓力感測器安置於該機電閥之下游，且其中該輸送壓力感測器與該氣流控制裝置連通；其中該氣流控制裝置之該專用演算法經組態用於至少部分地基於自該輸送壓力感測器接收之資料來判定及發送用於控制該機電閥之該可變打開狀態之該可變控制信號。
在一些實施例中，一種流體容器包括本文所描述之系統之任一或多者。
在已揭示之該等益處及改良中，本發明之其他目的及優點將自結合附圖進行之以下描述變得顯而易見。本文揭示本發明之詳細實施例；然而，應理解所揭示之實施例僅說明可以各種形式體現之本發明。另外，所給出之關於本發明之各種實施例各者意欲繪示性而非限制性。
在整個說明書及申請專利範圍中，除非上下文另有明確規定，否則以下術語具有本文明確相關聯之含義。本文所使用之片語「在一個實施例中」、「在一實施例中」及「在一些實施例中」不一定指涉(若干)相同實施例，儘管其可指涉(若干)相同實施例。此外，本文所使用之片語「在另一實施例中」及「在其他一些實施例中」不一定指涉一不同實施例，儘管其可指涉一不同實施例。在不背離本發明之範疇或精神之情況下，本發明之所有實施例意欲可組合。
如本文所使用，除非上下文另有明確規定，否則術語「基於」並非排他性且允許基於未描述之額外因素。另外，在整個說明書中，「一」及「該」之含義包含複數指涉物。「在…中」之含義包含「在…中」及「在…上」。
圖1描繪一亞大氣壓力輸送系統100之一非限制性實施例之一示意圖。亞大氣壓力輸送系統100可包含經構形以容納一加壓流體(例如一氣體)使得流體之壓力處於大於或等於大氣壓力(例如100 psig至1600 psig)之一壓力下之一容器102。在一些實施例中，容器102經構形以容納加壓流體，其中流體之壓力處於大於大氣壓力之一壓力下。在一些實施例中，容器102經構形以容納加壓流體，其中流體之壓力處於不低於大氣壓力之一壓力下。在一些實施例中，容器102經構形以容納加壓流體，其中流體之壓力處於並非亞大氣壓力之一壓力下。在一些實施例中，如圖1中所展示，亞大氣壓力輸送系統100容納在容器102之內部體積104內。亞大氣壓力輸送系統100具有將流體流動引向連接至一輸送管線110之一出口108之一主入口106。亞大氣壓力輸送系統100經構形以在流體自主入口106流動至出口108期間調節流體之壓力使得出口108及/或輸送管線110處之輸出壓力係一實質上恒定之壓力。即，在出口108及/或輸送管線110處，流體不具有壓力之實質峰值，且此輸出壓力(即，輸送壓力)係亞大氣壓力。圖1展示包含主入口106處或附近之一過濾器112之亞大氣壓力輸送系統100。過濾器112之下游係一壓力控制閥系統114之一第一集合。壓力控制閥系統114包含一機電閥114a及一壓力感測器114b。下文參考圖2描述壓力控制閥系統114之工作。當閥114a打開時(其中流經閥114a之流體之壓力由壓力感測器114b控制)，亞大氣壓力輸送系統100中之流體流動流經閥114a，其中流體通過一擴散器116。擴散器116阻尼流體之流動且增加通過其之流體之壓降。
自擴散器116，流體流動被引導至一分歧區段117，其中一些流體流動引導至壓力感測器114b，且流體流動之剩餘部分引導至一第二壓力控制閥系統118。分歧區段及第二壓力控制閥系統118組合為用於亞大氣壓力輸送系統100之流體流動之若干控制迴路(例如控制迴路流動部分)之一者。在一些實施例中，第二壓力控制閥系統118相同或實質上類似於壓力控制閥系統114。即，在一些實施例中，壓力控制閥系統118包含一機電閥118a及一壓力感測器118b，下文參考圖2描述其等之工作。當閥118a打開時(其中流經閥118a之流體之壓力由壓力感測器118b控制)，亞大氣壓力輸送系統100中之流體流動流經閥118a，其中流體通過另一擴撒器120。流體流動引導至另一分歧區段122，其中一些流體流動引導至壓力感測器118b，而流體流動之剩餘部分引導至一輸送閥124。輸送閥124之下游係一擴散器126，且接著流體流動引導通過擴散器126至連接至輸送管線110之出口108。擴散器126減緩流體流動且增加通過其之流體之壓降。出口108、輸送管線110或兩者處之流體壓力係亞大氣壓且不存在壓力尖峰(其可在未調節之流體流動系統中看見)。
在一些實施例中，亞大氣壓力輸送系統100具有沿流體之流動路徑定位之多個機電閥114a、118a。因此，機電閥114a之至少一者在一或多個其他機電閥118a之上游。
在一些實施例中，亞大氣壓力輸送系統100具有多個壓力感測器114b、118b。因此，壓力感測器114b之至少一者位於一或多個其他壓力感測器118b之上游。
在一些實施例中，亞大氣壓力輸送系統100具有多個機電閥114a、118a及壓力感測器114b、118b。因此，機電閥114a及壓力感測器114b之至少一個集合位於其他機電閥118a及壓力感測器118b之一或多個其他集合之上游。
圖2描繪用於亞大氣壓力輸送系統(例如圖1中所描繪之亞大氣壓力傳輸系統100)之一例示性壓力控制閥系統200 (其可相同或類似於圖1中所描繪之114及118)之一非限制性實施例之示意圖。壓力控制閥系統200之此實施例包含一機電閥202及一壓力感測器204。機電閥202具有一流體流入部分206及一流體流出部分208。因此，機電閥202經構形以經由一打開或關閉操作來控制通過其中之一流體流動。在一些實施例中，機電閥202經構形以具有自完全關閉變化至完全打開之一可變打開狀態。即，機電閥202可以此一方式在一變化程度上部分打開以控制流過其中之流體之量且此構形允許控制流經且通過機電閥202之流體之一流體壓力。機電閥202之可變打開狀態由來自壓力感測器204之一可變控制信號210 (例如可為或包含(例如)一輸出電壓或電流之一可變控制電信號)控制。
根據一些實施例，壓力感測器204具有含一入口212之一本體，入口212允許流體接觸經構形以基於歸因於一側上之流體之局部壓力而移動或撓曲之一壓敏組件214 (例如一撓性膜)之一個側。壓敏組件214連接至能夠產生可變控制信號210之一組件216。在一些實施例中，組件216包含或係電連接至機電閥202之一壓電晶體。壓電晶體藉由壓敏組件214之移動或撓曲而壓縮或解壓縮，且此壓縮或解壓縮可接通、斷開或變動發送至機電閥202之電控制信號。
圖3描繪一亞大氣壓力輸送系統300之一非限制性實施例之一示意圖。亞大氣壓力輸送系統300可包含之一容器301，經構形以容納一加壓流體(例如一氣體)使得流體之壓力處於大於或等於大氣壓力(例如100 psig至1600 psig)之一壓力下。在一些實施例中，容器301經構形以容納加壓流體，其中流體之壓力處於大於大氣壓力之一壓力下。在一些實施例中，容器301經構形以容納加壓流體，其中流體之壓力處於大於大氣壓力之一壓力下。在一些實施例中，容器301經構形以容納加壓流體，其中流體之一壓力處於並非亞大氣壓力之一壓力下。
圖3中所描繪之亞大氣壓力輸送系統300具有多個級302、304、306，其中各級302、304、306包含至少一個感測器308a、308b、308c及至少一個控制機電閥310a、310b。感測器308a至308c之各者感測流體管線之不同部分處之壓力P1、P2、P3，且將此等壓力P1、P2、P3傳達至一氣流控制裝置312。因此，在圖3中所描繪之亞大氣壓力輸送系統300中，存在用於降低流體壓力以最終在輸送管線314處實現一亞大氣壓力輸送壓力P4之三個級302、304、306。在三個級302、304、306之各者處，由氣流控制裝置312施加一回饋迴路控制。在一些實施例中，氣流控制裝置312連同亞大氣壓力輸送系統300一起容納在容器內。在一些實施例中，氣流控制裝置312不連同亞大氣壓力輸送系統300一起容納在容器內。在一些實施例中，氣流控制裝置312連同亞大氣壓力輸送系統300一起安置於容器外部。在一些實施例中，氣流控制裝置312不連同亞大氣壓力輸送系統300一起安置於容器外部。
在一些實施例中，亞大氣壓力輸送系統300包含位於主入口318處或附近之一過濾器316。過濾器316之下游係一第一控制閥310a。控制閥310a之上游係用於偵測及量測壓力P1之一壓力感測器308a。當閥310a打開時(其中閥310a之可變打開狀態由氣流控制裝置312控制)，亞大氣壓力輸送系統300中之流體流動流經閥310a。閥310a之下游係一多孔膜320a，且流體通過膜320a，其中流體之流動減緩，且此增加通過其之流體之壓降。
流體流動通過用於偵測及量測壓力P2之另一壓力感測器308b。接著，當閥310b打開時，另一控制閥310b。閥310b之可變打開狀態由氣流控制裝置312控制。另一多孔膜320b位於閥310b之下游，且當流體通過膜320b時，流體之流動減緩，且此增加通過膜320a之流體之壓降。膜320b之下游存在用於偵測及量測壓力P3之另一壓力感測器308c。壓力感測器308c下游存在亦由氣流控制裝置312控制之一輸送閥322。且在輸送管線處，存在用於偵測及量測輸送管線314處之一輸送壓力P4之另一壓力感測器308d。
在一些實施例中，氣流控制裝置312包括一微處理器及具有一專用演算法之一非暫時性記憶體。例如，根據一實施例且使用圖3作為一參考，可由各種壓力感測器偵測及量測以下壓力且將其傳達至氣流控制裝置312： P1–在閥310a之上游感測之壓力(通常處於高壓下) P2–在多孔膜320a之下游感測之壓力 P3–在多孔膜320b之下游感測之壓力 P4–輸送壓力
在第一級302處，氣流控制裝置312經構形以藉由比較P1及P2來判定壓降(例如壓降= P1 - P2)。基於此差異(例如存在自P1至P2之一壓降)，氣流控制裝置312可控制閥310a之可變打開狀態以打開。
在第二級304處，氣流控制裝置312經構形以藉由比較P2及P3來判定壓降(例如壓降= P2 - P3)。基於此差異(例如存在自P2至P3之一壓降)，氣流控制裝置312可控制閥310b之可變打開狀態以打開。
在第三級306處，氣流控制裝置312經構形以藉由比較P3及P4來判定壓降(例如壓降= P3 - P4)。基於此差異(例如存在自P3至P4之一壓降)，氣流控制裝置312可控制輸送閥322之可變打開狀態以打開，但即使當存在自P3至P4之一壓降時，若P4並非亞大氣壓力，則氣流控制裝置312不打開輸送閥322 (即，輸送閥322保持關閉)。僅當存在自P3至P4之一壓降且P4係亞大氣壓力時，氣流控制裝置312控制輸送閥322以打開。
根據一些實施例，氣流控制裝置312具有額外程序以基於以下關係來判定壓降與其他預期壓力值(其可應用於判定感測器或系統之操作中之誤差)。 P2 = P1 -第一級壓降 P3 = P2 -第二級壓降 P4 = P3 -第三級壓降 P4 = P1 -第一級壓降-第二級壓降-第三級壓降
儘管圖3中未展示，但在一些實施例中，亞大氣壓力輸送系統300亦可包含與氣流控制裝置312連通之額外壓力感測器及/或其他感測器。例如，亞大氣壓力輸送系統300可包含用於偵測及量測輸送壓力之一輸送壓力感測器，其中輸送壓力感測器安置於一或多個機電閥之下游。
此外，在一些實施例中，亞大氣壓力輸送系統300可經構形以在其未通電時(例如經由一功率感測器或觸發器)不可操作。此可增強亞大氣壓力輸送系統300之安全操作。
根據一些實施例，氣流控制裝置312可控制一或多個閥之可變打開狀態以及閥之打開速率及/或關閉速率。
圖4描繪用於一亞大氣壓力輸送系統之一封閉迴路回饋程序400之一非限制性實施例之一示意性流程圖。圖4展示一負回饋系統，其使所要輸出與輸入之間的誤差最小化。此回饋迴路程序400可由氣流控制裝置312在級302、304、306之各者或至少一者處應用。由氣流控制裝置312將各級302、304、306處之偵測到之壓力P1、P2、P3與該級之一參考比較。在氣流控制裝置312處，校正誤差，且氣流控制裝置312可精確地操作閥310a、310b、310c之各者以在無壓力尖峰之情況下實現所要亞大氣壓力。
應理解可在不背離本發明之範疇之情況下進行詳細改變，尤其在所採用之構造材料及部件之形狀、大小及配置方面。本說明書及所描述之實施例係實例，其中本發明之真實範疇及精神由以下申請專利範圍指示。
100:亞大氣壓力輸送系統 102:容器 104:內部體積 106:主入口 108:出口 110:輸送管線 112:過濾器 114:壓力控制閥系統 114a:機電閥 114b:壓力感測器 116:擴散器 117:分歧區段 118:第二壓力控制閥系統 118a:機電閥 118b:壓力感測器 120:擴散器 122:分歧區段 124:輸送閥 126:擴散器 200:壓力控制閥系統 202:機電閥 204:壓力感測器 206:流體流入部分 208:流體流出部分 210:可變控制信號 212:入口 214:壓敏組件 216:組件 300:亞大氣壓力輸送系統 301:容器 302:級 304:級 306:級 308a:壓力感測器 308b:壓力感測器 308c:壓力感測器 308d:壓力感測器 310a:閥 310b:閥 310c:閥 312:氣流控制裝置 314:輸送管線 316:過濾器 318:主入口 320a:多孔膜 320b:多孔膜 322:輸送閥 400:封閉迴路回饋程序 P1:壓力 P2:壓力 P3:壓力 P4:大氣壓輸送壓力
本文僅以實例的方式參考附圖描述本發明之一些實施例。現具體詳細參考附圖，應強調圖中所展示之實施例以實例之方式且為了本發明之實施例之繪示性討論之目的。據此而言，結合圖式進行之描述使熟習技術者明白可如何實踐本發明之實施例。
圖1描繪一亞大氣壓力輸送系統之一非限制性實施例之一示意圖。
圖2描繪一壓力感測器及可控機電閥系統之一非限制性實施例之一示意圖。
圖3描繪一亞大氣壓力輸送系統之一非限制性實施例之一示意圖。
圖4描繪用於一亞大氣壓力輸送系統之一封閉迴路回饋程序之一非限制性實施例之一示意性流程圖。
100:亞大氣壓力輸送系統
102:容器
104:內部體積
106:主入口
108:出口
110:輸送管線
112:過濾器
114:壓力控制閥系統
114a:機電閥
114b:壓力感測器
116:擴散器
117:分歧區段
118:第二壓力控制閥系統
118a:機電閥
118b:壓力感測器
120:擴散器
122:分歧區段
124:輸送閥
126:擴散器

Claims (24)

  1. 一種用於使容納在一容器內之一流體流動至一輸送管線之系統，其中容納在該容器內之該流體在一第一壓力下壓縮且流動至該輸送管線之該流體處於一第二壓力，該第二壓力係亞大氣壓力，該系統包括： 一機電閥， 其中該機電閥包含一流體流入部分及一流體流出部分，且該機電閥具有自完全關閉變化至完全打開之一可變打開狀態，其中該可變打開狀態由一可變控制電信號控制；及 一壓力感測器， 其中該流體流出部分具有將該流體流動之至少一部分引導至該壓力感測器之一控制迴路流動部分，其中該壓力感測器偵測該流體之一局部壓力，且基於該局部壓力之偵測，該壓力感測器經組態以產生該可變控制電信號且將其發送至該機電閥以控制該機電閥之該可變打開狀態。
  2. 如請求項1之系統，其中該壓力感測器包含經構形以基於該局部壓力移動或撓曲之一壓敏組件。
  3. 如請求項2之系統，其中該壓力感測器包括一壓電晶體，且該壓敏組件連接至該壓電晶體使得該壓敏組件之移動或撓曲引起該壓電晶體上之壓縮以產生該可變控制電信號。
  4. 如請求項2之系統，其中該壓敏組件包含一撓性膜。
  5. 如請求項1之系統，其中該機電閥位於該壓力感測器之上游。
  6. 如請求項1之系統，其進一步包括： 一第二機電閥， 其中該第二機電閥包含一第二流體流入部分及一第二流體流出部分，且 該第二機電閥具有自完全關閉變化至完全打開之一第二可變打開狀態，其中該第二可變打開狀態由一第二可變控制電信號控制；及 一第二壓力感測器， 其中該第二流體流出部分具有將該流體流動之至少一部分引導至該第二壓力感測器之一第二控制迴路流動部分，其中該第二壓力感測器偵測該流體之一第二局部壓力，且基於該第二局部壓力之偵測，該第二壓力感測器經組態以產生該第二可變控制電信號且將其發送至該第二機電閥以控制該第二機電閥之該第二可變打開狀態。
  7. 如請求項6之系統，其中該機電閥位於該第二機電閥之上游。
  8. 如請求項6之系統，其中該壓力感測器位於該第二壓力感測器之上游。
  9. 如請求項6之系統，其中該機電閥及該壓力感測器兩者皆位於該第二機電閥及該第二壓力感測器之上游。
  10. 如請求項9之系統，其中該機電閥之該流體流出部分連接至該第二機電閥之該第二流體流入部分。
  11. 如請求項6之系統，其中該第二壓力感測器包含經構形以基於該第二局部壓力而移動或撓曲之一第二壓敏組件。
  12. 如請求項11之系統，其中該第二壓力感測器包括一第二壓電晶體，且該第二壓敏組件連接至該第二壓電晶體使得該第二壓敏組件之移動或撓曲引起該第二壓電晶體上之壓縮以產生該第二可變控制電信號。
  13. 如請求項6之系統，其中該第二壓敏組件包含一第二撓性膜。
  14. 如請求項6之系統，其中該第二機電閥位於該第二壓力感測器之上游。
  15. 如請求項1之系統，其進一步包括連接至該機電閥之該流體流入部分及其上游之一過濾器。
  16. 一種流體容器，其包括如請求項1之系統。
  17. 一種用於使容納在一容器內之一流體流動至一輸送管線之系統，其中容納在該容器內之該流體在一第一壓力下壓縮且流動至該輸送管線之該流體處於一第二壓力，該第二壓力係亞大氣壓力，該系統包括： 一機電閥， 其中該機電閥包含一流體流入部分及一流體流出部分，且該機電閥具有自完全關閉變化至完全打開之一可變打開狀態，其中該可變打開狀態由一可變控制信號控制； 一第一壓力感測器， 其中該第一壓力感測器安置於該機電閥之上游； 一第二壓力感測器， 其中該第二壓力感測器安置於該機電閥之下游；及 一氣流控制裝置， 其中該氣流控制裝置與該機電閥、該第一壓力感測器及該第二壓力感測器連通， 其中該氣流控制裝置包括一微處理器及具有一專用演算法之一非暫時性記憶體，該專用演算法用於基於自該第一壓力感測器、該第二壓力感測器或兩者接收之資料來判定及發送用於控制該機電閥之該可變打開狀態之該可變控制信號。
  18. 如請求項17之系統，其進一步包括： 一第二機電閥， 其中該第二機電閥包含一第二流體流入部分及一第二流體流出部分， 該第二流體流入部分連接至該機電閥之該流體流出部分，且 該第二機電閥具有自完全關閉變化至完全打開之一第二可變打開狀態，其中該第二可變打開狀態由一第二可變控制信號控制； 其中該氣流控制裝置與該第二機電閥連通， 其中用於該氣流控制裝置之該專用演算法經組態用於至少基於自該第一壓力感測器、該第二壓力感測器或兩者接收之資料來判定及發送用於控制該第二機電閥之該第二可變打開狀態之該第二可變控制信號。
  19. 如請求項17之系統，其進一步包括： 另一壓力感測器， 其中該另一壓力感測器安置於該第二機電閥之下游，且 其中該另一壓力感測器與該氣流控制裝置連通， 其中該氣流控制裝置之該專用演算法經組態用於： 至少部分地基於自該另一壓力感測器接收之資料來判定及發送用於控制該機電閥之該可變打開狀態之該可變控制信號， 至少部分地基於自該另一壓力感測器接收之資料來判定及發送用於控制該第二機電閥之該第二可變打開狀態之該第二可變控制信號，或 兩者。
  20. 如請求項19之系統，其進一步包括： 一輸送壓力感測器， 其中該輸送壓力感測器安置於該機電閥之下游，且 其中該輸送壓力感測器與該氣流控制裝置連通； 其中該氣流控制裝置之該專用演算法經組態用於： 至少部分地基於自該輸送壓力感測器接收之資料來判定及發送用於控制該機電閥之該可變打開狀態之該可變控制信號， 至少部分地基於自該輸送壓力感測器接收之資料來判定及發送用於控制該第二機電閥之該第二可變打開狀態之該第二可變控制信號，或 兩者。
  21. 如請求項19之系統，其進一步包括： 一輸送管線壓力感測器， 其中該輸送管線壓力感測器安置於該機電閥之下游， 其中該輸送管線壓力感測器與該氣流控制裝置連通， 其中該氣流控制裝置之該專用演算法經組態用於： 至少部分地基於自該輸送管線壓力感測器接收之資料來判定及發送用於控制該機電閥之該可變打開狀態之該可變控制信號， 至少部分地基於自該輸送管線壓力感測器接收之資料來判定及發送用於控制該第二機電閥之該第二可變打開狀態之該第二可變控制信號，或 兩者。
  22. 如請求項17之系統，其進一步包括： 一輸送管線壓力感測器， 其中該輸送管線壓力感測器安置於該機電閥之下游， 其中該輸送管線壓力感測器與該氣流控制裝置連通， 其中該氣流控制裝置之該專用演算法經組態用於至少部分地基於自該輸送管線壓力感測器接收之資料來判定及發送用於控制該機電閥之該可變打開狀態之該可變控制信號。
  23. 如請求項17之系統，其進一步包括： 一輸送壓力感測器， 其中該輸送壓力感測器安置於該機電閥之下游，且 其中該輸送壓力感測器與該氣流控制裝置連通； 其中該氣流控制裝置之該專用演算法經組態用於： 至少部分地基於自該輸送壓力感測器接收之資料來判定及發送用於控制該機電閥之該可變打開狀態之該可變控制信號。
  24. 一種流體容器，其包括如請求項17之系統。
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