KR970030293A - 반도체 확산 설비의 배기 압력 자동 조절장치 - Google Patents
반도체 확산 설비의 배기 압력 자동 조절장치 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 반도체 확산 설비의 배기 압력 자동 조절장치에 관한 것으로서, 산화 장치에서 배출되는 반응 가스를 희석 장치가 구비되는 반도체의 확산 설비에 있어서, 상기 희석 장치의 가스의 통로에는 배기 가스의 압력값을 감지하여 현재 데이터를 출력하는 감지 수단과, 요구되는 배기 압력값에 해당하는 기준 데이터를 설정하는 기준 데이터 입력 수단과, 상기 감지 수단에서 입력되는 현재 데이터와 기준 데이터 입력수단에서 입력되는 기준 데이트를 비교하여 현재 데이터를 기준 데이터와 일치하도록 제어하는 비교 수단과, 상기 비교 수단에서 출력되는 데이터에 의하여 밸브 부재의 개폐량을 조정할 수 있도록 구동하는 구동 수단으로 이루어진 것을 특징으로 하여 산화 장치로부터 배출되는 반응가스의 압력을 자동으로 일정하게 유지시키므로 반도체 소자에 균일한 산화막을 성장시킬 수 있게 되어 공정의 안정화에 기여하는 것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 압력 자동 조절 장치가 채용된 반도체의 확산 설비를 나타낸 개략도.
Claims (4)
- 산화 장치에서 배출되는 반응 가스를 희석시키는 희석 장치가 구비되는 반도체의 확산 설비에 있어서, 상기 희석 장치의 가스 통로에는 배기 가스의 압력값을 감지하여 현재 데이터를 출력하는 감지 수단과, 요구되는 배기 압력값에 해당하는 기준 데이터를 설정하여 입력되는 기준 데이터 입력 수단과, 상기 감지 수단에서 입력되는 현재 데이터와 기준 데이터 입력수단에서 입력되는 기준 데이트를 비교하여 현재 데이터를 기준 데이터와 일치하도록 제어하는 비교 수단과, 상기 비교 수단에서 출력되는 데이터에 의하여 밸브 부재의 개폐량을 조정할 수 있도록 구동하는 구동 수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 확산 설비의 배기 압력 자동 조절 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 감지 수단은 희석 장치의 배기관 내에만 설치된 것을 특징으로 하는 반도체 확산 설비의 배기 압력 자동 조절 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 감지 수단은 희석 장치의 흡기관 내에만 설치된 것을 특징으로 하는 반도체 확산 설비의 배기 압력 자동 조절 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 감지 수단은 희석 장치의 배기관 및 흡기관의 양측에 모두 설치된 것을 특징으로 하는 반도체 확산 설비의 배기 압력 자동 조절 장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950043252A KR970030293A (ko) | 1995-11-23 | 1995-11-23 | 반도체 확산 설비의 배기 압력 자동 조절장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950043252A KR970030293A (ko) | 1995-11-23 | 1995-11-23 | 반도체 확산 설비의 배기 압력 자동 조절장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970030293A true KR970030293A (ko) | 1997-06-26 |
Family
ID=66588643
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950043252A KR970030293A (ko) | 1995-11-23 | 1995-11-23 | 반도체 확산 설비의 배기 압력 자동 조절장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970030293A (ko) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100317315B1 (ko) * | 1998-12-29 | 2002-02-19 | 김영환 | 압력 조정 시스템 |
| KR100347136B1 (ko) * | 1999-12-27 | 2002-07-31 | 주식회사 하이닉스반도체 | 배관막힘 방지장치 |
| KR100591723B1 (ko) * | 1998-08-10 | 2006-06-22 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 산화처리방법 및 산화처리장치 |
-
1995
- 1995-11-23 KR KR1019950043252A patent/KR970030293A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100591723B1 (ko) * | 1998-08-10 | 2006-06-22 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 산화처리방법 및 산화처리장치 |
| KR100317315B1 (ko) * | 1998-12-29 | 2002-02-19 | 김영환 | 압력 조정 시스템 |
| KR100347136B1 (ko) * | 1999-12-27 | 2002-07-31 | 주식회사 하이닉스반도체 | 배관막힘 방지장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| WITN | Withdrawal due to no request for examination |