KR100347136B1 - 배관막힘 방지장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 배관막힘 방지장치에 관한 것으로서, 종래의 배관막힘 방지장치는 잔여가스가 배기관의 측벽에 증착되어 배기관을 막아 잔여가스의 배출을 방지하였으며, 상기 잔여가스가 증착되어 고체화가 되어도 상기 배기관 내부의 압력차이는 매우 미약하므로 이를 감지할 수 있는 기능이 없으므로 배기관이 막혀 진공장치에 이상이 발생되기 전에는 배관막힘현상을 예측할 수 없었고 이를 제어할 수도 없는 문제점이 있었으나, 본 발명은 진공장치에서 챔버내부에서 발생된 잔여가스를 통과시키는 배기관에 잔여가스의 압력을 변화시키는 압력변화수단과, 잔여가스를 기화시키는 증착물기화수단을 설치함으로써, 상기 배기관을 유동하는 잔여가스의 압력 및 기타 상태를 감지하여 배기관의 막힘상태를 사전에 파악할 수 있으며, 필요시 불활성가스를 공급함으로써 상기 잔여가스가 배기관에 증착되는 것을 저지하여 배기관이 막히는 것을 방지할 수 있다.

Description

배관막힘 방지장치{PRVENTING DEVICE FOR CLOSURE PIPE}
본 발명은 배관막힘 방지장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 본 발명은 진공장치에서 챔버내부의 잔여가스를 통과시키는 배기관에 압력변화수단과 증착물기화수단을 설치함으로써, 배기관의 내부에 잔여가스가 증착되어 배기관이 막히는 것을 방지할 수 있는 배관막힘 방지장치에 관한 것이다.
도 1은 일반적으로 사용되는 배관막힘 방지장치가 도시된 진공장치의 개요도로서, 주입된 공정가스가 웨이퍼 등과 진공상태에서 반응하여 소정의 물리적 또는 화학적 반응을 일으키고 잔여가스를 발생시키는 챔버(1)와, 상기 챔버(1)의 내부를 진공으로 유지시키는 진공펌프(2)와, 상기 챔버(1)와 진공펌프(2)를 연통하여 상기 잔여가스를 유동시키는 배기관(3)과, 상기 배기관(3)의 중간에 구비되어 상기 잔여가스를 가열하여 내측에 증착되는 것을 방지하는 가열부(4)와, 상기 챔버(1)와 진공펌프(2)를 분획하는 분할밸브(5)와, 상기 배기관(3)의 내측에서 상기 잔여가스의 압력을 제어하는 압력밸브(6)와 압력센서(7)가 설치되고, 상기 챔버(1)의 일측에는 정전용량 압력계(8)와 유량제어기(9)가 설치된다.
상기 배기관(3)은 상기 챔버(1)내부에서의 생성물과 잔여가스의 화학적 특성에 따라서 내식성이 강한 스테인레스강 또는 피브이시계통의 고분자화합물로 형성된다.
상기와 같이 구성된 종래의 배관막힘 방지장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.
도 1에서, 상기 챔버(1)의 내부에서는 전기에너지에 의한 프라즈마 또는 열에너지를 이용하는 배치로 등에 의하여 소정의 물리적 또는 화학적 반응을 일으켜 잔여가스를 발생시키고, 상기 잔여가스는 균일한 직경을 갖는 상기 배기관(3)과 상기 챔버(1)의 내부를 진공으로 유지시키는 진공펌프(2)를 통하여 외부로 배출된다.
도 2는 온도와 압력에 따른 물질의 상태도로서, 온도와 압력에 따라서 물질의 상태가 변화되는 것을 나타내고 있다. 따라서 상기 배기관(3)을 통과하는 잔여가스의 온도는 일반적으로 100-250℃ 정도이므로 잔여가스의 온도를 조절하여 잔여가스의 상태를 변경시킬 수 있는 바, 상기 가열부(4)를 배기관(3)의 중간에 구비하여 잔여가스가 고온을 갖도록 가열하고 상기 압력밸브(6)에서는 잔여가스의 압력을 제어하여 잔여가스가 배기관(3)의 내측에 증착되는 것을 방지하고 있다.
그러나, 상기 배기관(3)은 챔버(1)내의 생성물과 잔여가스의 화학적 특성에 따라서 내식성이 강한 스테인레스강 또는 피브이시계통의 고분자화합물을 사용하므로 상기 배기관(3)으로 스테인레스강을 사용하는 경우에는 고온으로 가열시켜 증착을 방지할 수 있으나, 피브이시계통의 고분자화합물을 사용하는 경우에는 고온이므로 배기관(3)을 가열시키는 것이 부적절하였다.
또한, 상기 배기관(3)은 균일한 직경을 갖는 원형관이고 상기 잔여가스의 흐름은 소정방향으로 균일한 유속을 가지므로 상기 잔여가스가 상기 배기관(3)의 측벽에 증착되어 최종적으로는 배기관(3)을 막아 잔여가스의 유동을 방지하는 문제점이 있었다.
그리고 상기 배기관(3)의 내부에 잔여가스가 증착되어 고체화가 되어도 상기 배기관(3) 내부의 압력차이는 매우 미약하므로 이를 감지할 수 있는 기능이 없으므로 배기관(3)이 막힌 이후에 상기 진공펌프(2)의 작동에 이상이 발생되거나 배기공정에 이상이 발생되기 전에는 상기 배관막힘현상을 예측할 수 없었으며, 이를 제어할 수도 없는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로써, 본 발명의 목적은 진공장치에서 챔버내부의 잔여가스를 통과시키는 배기관에 증착물이 발생되어 배기관이 막히는 것을 사전에 예측할 수 있고, 이를 방지할 수 있는 배관막힘 방지장치를 제공하는 데 있다.
도 1은 일반적으로 사용되는 배관막힘 방지장치가 도시된 진공장치의 개요도
도 2는 온도와 압력에 따른 물질의 상태도.
도 3은 본 발명에 따른 배관막힘 방지장치치가 도시된 진공장치의 개요도.
도 4는 본 발명에 따른 배기관의 직경변화를 나타내 보인 개요도.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >
11 : 챔버 12 : 진공펌프
13 : 배기관 14 : 가열부
20 : 압력변화수단 21 : 압력계
30 : 증착물기화수단 31 : 가스공급관
32 : 히터 33 : 레귤레이터
상기 목적을 달성하기 위하여, 챔버내부의 잔여가스를 외부로 배출토록 진공펌프와 연통된 배기관에 증착물이 발생되는 것을 방지하는 배관막힘 방지장치에 있어서, 상기 배기관의 직경을 다수 변화시켜 상기 배기관을 흐르는 잔여가스의 압력을 변화시키는 압력변화수단이 포함되어 구성된 것을 특징으로 으로 한다.
상기 각 배기관에 상기 잔여가스의 압력을 측정하는 압력계가 설치된다.
또한, 챔버내부의 잔여가스를 외부로 배출토록 진공펌프와 연통된 배기관에 증착물이 발생되는 것을 방지하는 배관막힘 방지장치에 있어서, 상기 배기관에 고온가스를 공급하여 상기 배기관을 흐르는 잔여가스를 기화시키는 증착물기화수단이 포함되어 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 고온가스의 온도를 제어하는 히터 및/또는 압력을 제어하는 레귤레이터가 설치된다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시례를 첨부도면에 의거하여 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 배관막힘 방지장치가 도시된 진공장치의 개요도로서, 상기 진공장치는 주입된 공정가스가 웨이퍼 등과 진공상태에서 반응하여 소정의 물리적 또는 화학적 반응을 일으키고 잔여가스를 발생시키는 챔버(11)와, 상기 챔버(11)의 내부를 진공으로 유지시키는 진공펌프(12)와, 상기 챔버(11)와 진공펌프(12)를 연통하여 상기 잔여가스를 유동시키는 배기관(13)과, 상기 배기관(13)의 중간에 구비되어 상기 잔여가스를 가열하여 내측에 증착되는 것을 방지하는 가열부(14)와, 상기 챔버(11)와 진공펌프(12)를 분획하는 분할밸브(15)와, 상기 배기관(13)의 내측에서 상기 잔여가스의 압력을 제어하는 압력밸브(16)가 설치되고, 상기 챔버(11)의 일측에는 정전용량 압력계(18)와 유량제어기(19)가 설치된다.
상기 본 발명에 의한 배관막힘 방지장치는 챔버(11)내부의 잔여가스를 외부로 배출토록 진공펌프(12)와 연통된 배기관(13)에 부착되는 증착물을 제거하는 것으로써, 상기 배기관(11)을 흐르는 잔여가스의 압력을 변화시키는 압력변화수단(20)과, 상기 배기관(13)을 흐르는 잔여가스를 기화시키는 증착물기화수단(30)이 구비된다.
상기 압력변환수단(20)은 상기 배기관(13)의 직경을 6회 반복하여 변화시키며, 상기 각 배기관(13)에 상기 잔여가스의 압력을 측정하는 6개의 압력계(21: P1, P2, P3, P4, P5, P6)가 설치된다.
상기 증착물기화수단(30)은 상기 배기관(13)을 흐르는 잔여가스에 고온의 불활성가스를 공급하는 가스공급관(31)이 설치되며, 상기 불활성가스의 온도를 제어하는 히터(32) 및/또는 압력을 제어하는 레귤레이터(33)가 설치된다.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 배관막힘 방지장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.
도 3에서, 상기 진공장치에서 챔버(11)는 그 내부에서 프라즈마 또는 열에너지를 이용하여 소정의 물리적, 화학적 반응을 일으켜 잔여가스를 발생시키고, 상기 잔여가스는 직경이 반복되어 변화되는 상기 배기관(13)과 상기 챔버(11)내부를 진공으로 유지시키는 진공펌프(12)를 통하여 외부로 배출된다.
그리고 도 2는 온도와 압력에 따른 물질의 상태도로서, 온도와 압력에 따라서 물질의 상태가 변화되는 것을 나타내고 있는 바, 종래와 같이 상기 가열부(14)와 압력밸브(16)를 상기 배기관(13)의 중간에 구비하여 상기 배기관(13)을 통과하는 잔여가스의 온도와 압력을 조절하여 잔여가스의 상태를 변경시킴으로써, 상기 잔여가스가 상기 배기관(13)의 내측에 증착되는 것을 방지하고 있다.
또한, 본 발명은 상기 배기관(13)에 압력변화수단(20)을 설치하여 상기 배기관(11)을 흐르는 잔여가스의 압력을 변화시켜 상기 배기관(13)에 증착물이 발생되는 것을 방지한다. 즉, 상기 배기관(13)의 직경을 6회 반복하여 변화시키며, 상기배기관(13)에 6개의 압력계(21: P1, P2, P3, P4, P5, P6)를 설치하여 상기 잔여가스의 압력을 측정한다.
상기 배기관(13)의 직경변화는 도 4에 도시된 바와 같이, 정밀한 측정을 위하여 직경이 큰(D1) 배관(P1)과 직경이 작은(D2) 배관(P2)의 크기를 반복하여 일정하게 형성한다. 상기 구조는 전기회로에서의 직렬연결과 동일한 것이며, 연속의 법칙에 의하여 각 부분을 통과하는 유량은 일정하나, 상기 각 압력계가 위치되는 배관에서 압력손실 등과 같은 저항에 의하여 각 위치에 따라서 다른 압력값을 나타내며, 이는 상기 각 압력계(21)로 측정되거나, 유속을 측정하여 대응되는 압력값으로 변환시킬 수도 있다.
따라서, 상기 배기관(13)의 특정위치에 증착물이 발생되어 배기관(13)을 막으면 상기 잔여가스의 유속 및 압력이 변화되므로 상기 변화값을 측정하여 상관관계를 분석하면 상기 배기관(13)내부에서의 증착 진행정도를 일 수 있다.
더불어, 본 발명은 상기 배기관(13)에 상기 증착물기화수단(30)을 설치하여 상기 배기관(13)을 흐르는 잔여가스를 기화시켜 증착물이 발생되는 것을 방지하고 있는 바, 상기 가스공급관(31)을 설치하고 상기 배기관(13)을 흐르는 잔여가스에 고온의 불활성가스를 고속으로 공급하여 상기 불활성가스와 잔여가스를 의도적으로 충돌시킴으로써, 열에너지 및 운동에너지를 잔여가스에 직접적으로 전달하여 상기 잔여가스가 기체상태로 변화되도록 한다.
즉, 고온의 불활성가스가 갖는 에너지를 잔여가스에 전달하여 온도를 상승시키고 압력에 변화를 줌으로써, 도 2에서 기체상태로 상태변화될 수 있는 영역으로 상태를 변화시킨다.
특히, 상기 불활성가스는 상기 진공펌프(12)의 흡입력과 중력에 의하여 하부로 유동되고 상기 배기관(13)의 측벽을 따라서 배기되므로 이미 배기관(13)의 측벽에 증착된 증착물도 기체상태로 상태변화시킬 수 있으며, 상기 배기관(13)의 중앙부에 유동되는 잔여가스에도 상기 불활성가스와의 충돌에 의하여 더 많은 열에너지가 전달되므로 외부로의 배출이 용이해진다.
그리하여 상기 불활성가스에 의한 열에너지와 유동에 따른 운동에너지의 시너지효과로 열에너지의 전달은 증가되어 잔여가스의 응착을 방지할 수 있다.
한편, 상기 불활성가스를 공급하는 가스공급관(31)은 잔여가스의 성질에 따라서 그 설치장소, 설치수량 및 배관의 특성이 변화될 수 있으며, 이에 의하여 도 2에 도시된 물질의 상태도를 변화시킬 수 있다.
그리고, 상기 가스공급관(31)에는 히터(32)가 설치되어 공급되는 불활성가스의 온도를 적정한 정도로 제어하며, 레귤레이터(33)가 설치되어 압력을 제어한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 배관막힘 방지장치는 진공장치에서 챔버내부에서 발생된 잔여가스를 통과시키는 배기관에 잔여가스의 압력을 변화시키는 압력변화수단과, 잔여가스를 기화시키는 증착물기화수단을 설치함으로써, 상기 배기관을 유동하는 잔여가스의 압력 및 기타 상태를 감지하여 배기관의 막힘상태를 사전에 파악할 수 있으며, 필요시 불활성가스를 공급함으로써 상기 잔여가스가 배기관에 증착되는 것을 저지하여 배기관이 막히는 것을 방지하는 효과가 있다.

Claims (6)

  1. 챔버내부의 잔여가스를 외부로 배출토록 진공펌프와 연통된 배기관에 증착물이 발생되는 것을 방지하는 배관막힘 방지장치에 있어서,
    상기 배기관의 직경을 다수 변화시켜 상기 배기관을 흐르는 잔여가스의 압력을 변화시키는 압력변화수단이 포함되어 구성된 것을 특징으로 하는 배관막힘 방지장치.
  2. 삭제
  3. 제 2항에 있어서, 상기 각 배기관에 상기 잔여가스의 압력을 측정하는 압력계가 설치된 것을 특징으로 하는 배관막힘 방지장치.
  4. 챔버내부의 잔여가스를 외부로 배출토록 진공펌프와 연통된 배기관에 증착물이 발생되는 것을 방지하는 배관막힘 방지장치에 있어서,
    상기 배기관에 고온가스를 공급하여 상기 배기관을 흐르는 잔여가스를 기화시키는 증착물기화수단이 포함되어 구성된 것을 특징으로 하는 배관막힘 방지장치.
  5. 삭제
  6. 제 4항에 있어서, 상기 고온가스의 온도를 제어하는 히터 및/또는 압력을 제어하는 레귤레이터가 설치된 것을 특징으로 하는 배관막힘 방지장치.
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