JPH0560102A

JPH0560102A - 流体圧アクチユエータ装置

Info

Publication number: JPH0560102A
Application number: JP3218304A
Authority: JP
Inventors: Kazuhide Togai; 一英栂井
Original assignee: Mitsubishi Motors Corp
Current assignee: Mitsubishi Motors Corp
Priority date: 1991-08-29
Filing date: 1991-08-29
Publication date: 1993-03-09
Anticipated expiration: 2016-07-23
Also published as: JP3191332B2

Abstract

(57)【要約】【目的】流体圧アクチュエータ装置の応答性を向上さ
せる。【構成】車両のＥＧＲ装置の弁体５の開度を変化させ
るアクチュエータ本体１２と、負圧タンク１３と、これ
らを連通する連通路１９と、連通路１９から分岐する通
路２３と、第１及び第２の電磁開閉弁１４，１５と、開
度センサ２１と、各電磁開閉弁１４，１５を選択的に操
作するコントローラ１６等を備えた負圧アクチュエータ
装置１０である。コントローラ１６は、ＣＵ４から供給
された目標開度Ｌ_tと、開度センサ２１から供給された
実測開度Ｌ_mとの大小関係より、いずれの電磁開閉弁を
操作するかを決定すると共に、その操作時間を、実測開
度Ｌ _mと目標開度Ｌ_tとの差、及び圧力室１８の容積Ｖ
の大小に応じて算出する。この操作時間中は電磁開閉弁
が開弁しており、弁体５の開度を迅速に変化させること
ができる。また、容積Ｖが考慮されているので、前記変
化が正確になる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、開閉弁等を、流体の圧
力を利用して開閉操作する流体圧アクチュエータ装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】車両に装備された排気ガス再循環装置
（以下、ＥＧＲ装置と称す）のコントロールバルブは、
エンジン吸気系の負圧を利用した流体圧アクチュエータ
装置で開閉操作されている。従来の流体圧アクチュエー
タ装置は、例えばベロフラムで区画された負圧室を有す
るアクチュエータ本体と、この負圧室にインテークマニ
ホールドの負圧を供給する連通路と、この連通路の途中
から分岐する大気開放路と、大気開放路を開閉する第１
の電磁開閉弁と、連通路を、大気開放路とインテークマ
ニホールドとの間の位置で開閉する第２の電磁開閉弁
と、各電磁開閉弁を選択的に操作するコントローラ等を
備えて構成されている。アクチュエータ本体は、ＥＧＲ
装置のコントロールバルブと一体に形成されており、コ
ントロールバルブの弁体はベロフラムに取り付けられて
いる。従って、コントローラが各電磁開閉弁を選択的に
操作して前記負圧室内の圧力を変化させると、ベロフラ
ムが変位して前記コントロールバルブの開度が変化す
る。

【０００３】コントローラは、コントロールバルブに取
り付けられた開度センサからの信号に基づいてバルブの
現在の開度を監視している。そして、この現在の開度Ｌ
_mと、ＥＧＲ装置で算出された目標開度Ｌ_tとの偏差Δ
Ｌを求め、各電磁開閉弁をフィードバック制御してい
る。つまり、コントローラは、目標開度Ｌ_tが現在開度
Ｌ_mよりも大きく偏差ΔＬが正の場合には、第２の電磁
開閉弁を開弁させて負圧室に負圧を導入し、目標開度Ｌ
_tが現在開度Ｌ_mよりも小さく偏差ΔＬが負の場合に
は、第１の電磁開閉弁を開弁させて負圧室に大気圧を導
入する。

【０００４】そして、コントローラは、偏差ΔＬの絶対
値が所定値ε₁よりも大きい場合には、一方の電磁開閉
弁を全開させてアクチュエータ本体を急激に駆動し、偏
差ΔＬの絶対値が所定値ε₁以下になると一方の電磁開
閉弁をデューティ制御してアクチュエータ本体を緩やか
に駆動させ、さらに、偏差ΔＬの絶対値が所定値ε₂よ
りも小さくなると、現在開度Ｌ_mと目標開度Ｌ_tとが一
致したものとみなし、電磁開閉弁を全閉させてアクチュ
エータ本体を停止させ、コントロールバルブのオーバシ
ュートを防止する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の流体圧アクチュエータ装置においては、前記偏差Δ
Ｌの絶対値が所定値ε₂よりも小さくなった場合に、電
磁開閉弁をデューティ制御してコントロールバルブを緩
やかに操作するので、コントロールバルブを迅速に変位
させることができず、流体圧アクチュエータ装置が応答
性に劣るとの問題があった。

【０００６】本発明は、上述の問題点を解決するために
なされたもので、操作の確実性を保持しつつ、応答性に
優れた流体圧アクチュエータ装置を提供することを目的
とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明によれば、被駆動部材の現在位置を検出する手
段を有し、この被駆動部材を目標位置にまでフィードバ
ック制御しながら変位させる流体圧アクチュエータ装置
において、可動膜で区画された圧力室を有するととも
に、被駆動部材と可動膜とを連結する出力伝達部材を有
するアクチュエータ本体と、圧力源と、圧力室と圧力源
とを連通する流体通路と、この流体通路の途中に設けら
れた大気開放通路と、大気開放通路を開閉する第１の電
磁開閉弁と、流体通路の途中に、圧力源と大気開放通路
との間に位置して設けられた第２の電磁開閉弁と、圧力
室の容積を検出する容積検出手段と、第１及び第２の電
磁開閉弁を選択的に開閉操作して圧力室の容積を変化さ
せるコントローラとを備え、このコントローラは、被駆
動部材の現在位置と目標位置との大小関係より第１及び
第２の電磁開閉弁のうちのいずれの電磁開閉弁を操作す
るかを決定すると共に、この決定された電磁開閉弁の操
作時間を、前記現在位置と目標位置との差、及び圧力室
の容積の大小に応じて算出する構成としたものである。

【０００８】

【作用】第１及び第２の電磁開閉弁を選択的に操作する
ことで、アクチュエータ本体の圧力室内には大気圧ある
いは圧力源の圧が導入され、可動膜が変位する。可動膜
が変位すると、出力伝達部材が被駆動部材を移動させ
る。操作する電磁開閉弁や、その操作時間を変えると、
可動膜の変位する方向や距離が変化し、従って、被駆動
部材の移動方向や距離が変わる。

【０００９】コントローラは、被駆動部材の現在位置と
目標位置との大小関係より第１の電磁開閉弁を操作する
か第２の電磁開閉弁を操作するかを決定する。そして、
前記現在位置と目標位置との差、及び負圧室の容積の大
小に応じて、電磁開閉弁の操作時間を算出する。この操
作時間だけ、コントローラが、操作決定された電磁開閉
弁を操作すると、可動膜が所望方向に所望距離だけ変位
し、従って、被駆動部材が目標位置まで移動する。コン
トローラは、例えば、所定の時間周期毎に、または、被
駆動部材の目標位置が更新される毎に上記手順を繰り返
し、被駆動部材をフィードバッグ制御する。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面に基づい
て詳述する。図１は、本発明を適用した流体圧アクチュ
エータ装置の一実施例を示し、この流体圧アクチュエー
タ装置１０は、負圧アクチュエータ装置であり、例え
ば、ＥＧＲ装置に取り付けられている。

【００１１】ＥＧＲ装置は、排気管と吸入管（共に図示
せず）を連通させる排気ガス再循環路２と、この排気ガ
ス再循環路２に介在されたコントロールバルブユニット
（以下、単にバルブユニットと記す）３と、各種センサ
からの信号に基づきバルブユニット３の目標開度（目標
位置）Ｌ_tを算出するＥＧＲコントロールユニット４等
より構成されている。バルブユニット３は、排気ガス再
循環路２内の排気ガス流量を調整する弁体５と、後述す
るように流体圧アクチュエータ装置１０の構成要素であ
るアクチュエータ本体１２等を備えている。また、ＥＧ
Ｒコントロールユニット（以下、ＣＵと記す）４は、算
出した目標開度Ｌ_tの更新毎に、この目標開度Ｌ_tを流
体圧アクチュエータ装置１０のコントローラ１６に供給
する。

【００１２】流体圧アクチュエータ装置（以下、負圧ア
クチュエータ装置と記す）１０は、アクチュエータ本体
１２、負圧タンク１３、第１及び第２の電磁開閉弁１
４，１５、及びコントローラ１６等より構成されてい
る。この負圧アクチュエータ装置１０は、フィードバッ
ク制御することにより、バルブユニット３、詳しくは弁
体５の実測開度Ｌ_mをＣＵ４から供給された目標開度Ｌ
_tに向けて変化させる。

【００１３】アクチュエータ本体１２は、所謂べロフラ
ム式のアクチュエータで、ケーシング１２ａ内に配置さ
れたベロフラム１２ｂで負圧室１８を区画している。ケ
ーシング１２ａは、前記排気ガス再循環路２の所定位置
に介在されている。このケーシング１２ａの所定位置に
は、負圧室１８に臨むポート１２ｃが形成されており、
このポート１２ｃには、連通路１９の一端１９ａが接続
されている。

【００１４】ベロフラム１２ｂには、弁軸１２ｅが接続
されている。この弁軸１２ｅは、前記弁体５と一体に成
形されている。従って、このベロフラム１２ｂが変位す
ると、弁体５の開度が変化する。また、ベロフラム１２
ｂは、リターンスプリング１２ｄにより、バルブユニッ
ト３を閉じる方向に常時付勢されている。また、アクチ
ュエータ本体１２には、開度センサ２１が取り付けられ
ている。開度センサ２１は、前記弁体５の開度を電気抵
抗を利用して検出し、実測開度Ｌ _mとしてコントローラ
１６に供給する。弁体５は、弁軸１２ｅを介してベロフ
ラム１２ｂに接続されているので、コントローラ１６
は、弁体５の実測開度Ｌ_mが小さい場合には負圧室１８
の容積Ｖが大であると、また、全体５の実測開度Ｌ_mが
大きい場合には負圧室１８の容積Ｖが小であると判断す
る。即ち、開度センサ２１は、バルブユニット３の実測
開度Ｌ_mを検出する開度検出手段であると共に、負圧室
１８の容積Ｖを検出する容積検出手段でもある。

【００１５】負圧タンク１３には、連通路１９の他端１
９ｂが接続されている。従って、負圧タンク１３と前記
アクチュエータ本体１２の負圧室１８とは、この連通路
１９を介して連通されている。負圧タンク１３は所定の
容積を有しており、逆止弁２０を介して負圧源、例えば
インテークマニホールド（図示せず）に接続されてお
り、所定の負圧力を蓄えている。従って、この負圧タン
ク１３は、所定の負圧力を負圧室１８に供給することが
できる。

【００１６】連通路１９の途中からは通路２３が分岐し
ており、その先端２３ａは大気に開放されている。そし
て、この通路２３の途中には、第１の電磁開閉弁１４が
取り付けられている。第１の電磁開閉弁１４は常閉型の
開閉弁で、コントローラ１６がソレノイド１４ａを励磁
すると弁体１４ｂが通路２３を開く。通路２３が開く
と、連通路１９を介して負圧室１８内に大気が供給され
る。負圧室１８内に供給される大気の量、即ち圧力の大
きさは、電磁開閉弁１４の開弁時間で決定される。

【００１７】第２の電磁開閉弁１５は、連通路１９の途
中に、通路２３と負圧タンク１３との間に位置して設け
られている。電磁開閉弁１５は常閉型の開閉弁で、コン
トローラ１６がソレノイド１５ａを励磁すると弁体１５
ｂが連通路１９を開く。連通路１９が開くと、負圧タン
ク１３から負圧室１８内に所定の負圧力が供給される。
負圧室１８内に供給される負圧力の量、即ち負圧の大き
さは、電磁開閉弁１４の開弁時間により決定される。

【００１８】コントローラ１６は、マイクロコンピュー
タを有している。コントローラ１６の入力側には開度セ
ンサ２１及びＣＵ４が、また、出力側には各電磁開閉弁
１４，１５がそれぞれ電気的に接続されている。コント
ローラ１６は、後述する手順に従い、各電磁開閉弁１
４，１５を励磁して負圧室１８内の圧力を調整し、弁体
５の実測開度Ｌ_mをＣＵ４から供給された目標開度Ｌ_t
に一致させる方向に変化させる。コントローラ１６は、
所定時間毎に、また、ＣＵ４からの目標開度Ｌ_tが更新
される毎にその手順を繰り返し、フィードバック制御す
る。

【００１９】また、コントローラ１６内のメモリには、
後述する弁開度制御ルーチン、所定値ε₀，α，β，Ｔ
_D1、図４及び図５のコントロールマップ等が予め記憶さ
れている。次に、負圧アクチュエータ装置１０が、弁体
５の弁開度を変化させる手順を、図２及び図３に基づい
て詳述する。

【００２０】図２及び図３は、コントローラ１６のメモ
リ内に記憶された弁開度制御ルーチンの流れ図であり、
このルーチンは、所定時間毎に繰り返し実行される。し
かしながら、ＣＵ４から供給される目標開度Ｌ_tが更新
された場合には、たとえこのルーチンを実行している最
中であっても、その実行を直ちに中止して新たにこのル
ーチンの実行を開始する。

【００２１】先ず、図２のステップＳ３１においては、
ＣＵ４から供給された目標開度Ｌ_tと、開度センサ２１
から供給された実測開度Ｌ_mとを読み込む。そして、ス
テップＳ３２において、目標開度Ｌ_tから実測開度Ｌ_m
を減じて偏差ΔＬを求める。ステップＳ３３では、偏差
ΔＬの絶対値が、所定値ε₀に比べて小であるか否かを
判断する。偏差ΔＬの絶対値が微小であり所定値ε₀よ
りも小さいには、コントローラ３の開度が、目標開度Ｌ
_tと一致しているとみなすことができる。従って、偏差
ΔＬの絶対値が所定値ε₀よりも小の場合には、各電磁
開閉弁１４，１５を操作することなくこのルーチンから
脱出し、再度所定時間毎に、または、目標開度Ｌ_tが更
新される毎にこのルーチンを繰り返し実行する。

【００２２】一方、ステップＳ３３において、上述の条
件を満たさず、偏差ΔＬの絶対値が所定値ε₀以上の場
合には、ステップＳ３４に進む。ステップＳ３４では、
操作する電磁開閉弁を決定する。つまり、偏差ΔＬが正
の場合、即ち目標開度Ｌ_tが実測開度Ｌ_mよりも大きい
場合にはステップＳ３５に進み、操作する電磁開閉弁を
第２の電磁開閉弁１５に設定する。これにより、負圧室
１８に負圧を供給でき、負圧室１８の容積Ｖを減少させ
て、弁体５の開度を増加させることができる。

【００２３】一方、ステップＳ３４において、偏差ΔＬ
が負の場合、即ち目標開度Ｌ_tが実測開度Ｌ_mに比べて
小さい場合にはステップＳ３６に進み、操作する電磁開
閉弁を第１の電磁開閉弁１４に設定する。これにより、
負圧室１８に大気圧を供給でき、負圧室１８の容積Ｖを
増加させて、弁体５の開度を減少させることができる。

【００２４】そして、ステップＳ３７では、コントロー
ラ１６のメモリに記憶されているコントロールマップを
基に、上述のようにして決定された電磁開閉弁の基本開
弁時間Ｔ₀を求める。このコントロールマップの概念を
図４に示す。偏差ΔＬが正の領域では第２の電磁開閉弁
１５の基本開弁時間Ｔ₀を表し、偏差ΔＬが負の領域で
は第１の電磁開閉弁１５の基本開弁時間Ｔ₀を表してい
る。基本開弁時間Ｔ₀の設定曲線は、偏差ΔＬの絶対値
の増加に応じて増加するように設定されている。基本開
弁時間Ｔ₀の設定曲線は、負圧室１８の容積Ｖごとに設
定されており、容積Ｖが、Ｖ₁，Ｖ₂・・・Ｖ_nと増加
するに従って各設定曲線の傾きが大きくなり、容積Ｖが
大きくなるに従って基本開弁時間Ｔ₀を大きく設定して
いる。

【００２５】負圧室１８の容積Ｖの大小は、弁体５の開
度等に影響を与える。詳述すると、アクチュエータ本体
１２のベロフラム１２ｂの変形量（変位量）と、負圧室
１８の容積Ｖの変化量とは、比例しない。つまり、ベロ
フラム１２ｂが伸びていない状態から所定量Ｘだけ伸び
た場合と、ある程度伸びている状態からさらに所定量Ｘ
だけ伸びた場合とでは、負圧室１８の容積Ｖの変化量が
異なる。換言すると、負圧室１８内に一定量の大気圧あ
るいは負圧が導入された場合、その容積Ｖが比較的小さ
い容積Ｖ₁であるときと、容積Ｖ₁よりも大きいＶ₂で
あるときとでは、ベロフラム１２ｂの変形量が異なる。

【００２６】弁体５は、ベロフラム１２ｂが変形するこ
とで開閉されるので、ベロフラム１２ｂの変形量が異な
ると、弁体５の移動距離、即ち開度量も異なる。このた
め、負圧室１８の容積Ｖの大小に応じてその変化量を調
整すれば、容積ＶがＶ₁の場合とＶ₂の場合とで弁体５
の移動距離を一定にすることができる。負圧室１８内の
容積Ｖは、負圧室１８内の圧力変化に伴って変化する。
負圧室１８内に供給される圧力の大きさは、前述したよ
うに、各電磁開閉弁１４，１５の開弁時間で決定され
る。従って、負圧室１８の容積ＶがＶ₁，Ｖ₂・・・Ｖ
_nと増加するに応じて基本開弁時間Ｔ₀を大きく設定す
ると、負圧室１８の容積Ｖの大小とは無関係に弁体５の
移動距離が一定になる。

【００２７】そして、ステップＳ３７において、基本開
弁時間Ｔ₀を求めた後、図３に示すステップＳ４０に進
む。ステップＳ４０では、電磁開閉弁１４あるいは１５
を励磁中であるか否かを識別し、弁体５の操作中である
か否かを判断する。つまり、このルーチンは、その実行
が最終ステップ（ステップＳ４７）まで進んでいない場
合であっても、前記目標開度Ｌ_tが更新されたときに
は、その実行を途中で中止して、新たにステップＳ３１
から実行し直す。このときには、弁体５の開度を変化さ
せている状態のままで前回のルーチンの実行を中止する
ことがある。

【００２８】弁体５の開度を変化させている状態でのま
まで前回のルーチンの実行を中止したときには、電磁開
閉弁１４あるいは１５が励磁されてから実際に弁体５の
開度が変化し始めるまでの応答遅れ等の時間を考慮する
必要がない。一方、電磁開閉弁１４あるいは１５が励磁
されておらず、弁体５の開度が保持されているときに
は、前記応答遅れ等の時間を考慮する必要がある。

【００２９】ステップＳ４０において、電磁開閉弁１４
あるいは１５を励磁しておらず、弁体５の開度が保持さ
れていると判断した場合には、ステップＳ４１に進む。
そして、ステップＳ４１において、弁体５の開度の微分
値よりこの開弁速度を求めた後、ステップＳ４２に進
み、基本開弁時間Ｔ₀の補正時間Ｔ_Dをメモリに記憶さ
れているコントロールマップに基づいて演算する。

【００３０】図５は、このコントロールマップの概念を
示す。電磁開閉弁１４，１５を励磁していない場合にの
み、ステップＳ４０からステップＳ４１，４２に進むの
であるが、この場合においても、排気ガス再循環路２内
を流れる排気ガス等の圧力等により弁体５の開度が変化
することがある。従って、補正時間Ｔ_Dを設定する際、
このことを考慮する。

【００３１】つまり、弁体５が停止中でその開弁速度が
０である場合や、開弁速度の絶対値が所定値α以下の場
合には、補正時間Ｔ_Dを所定値Ｔ_D1に設定する。また、
前記開弁速度の絶対値が所定値αよりも大きく、且つ、
所定値β以下の場合には、その開弁速度に応じて補正時
間Ｔ_Dを設定する。そして、前記開弁速度の絶対値が所
定値βよりも大きい場合には、電磁開閉弁１４あるいは
１５が励磁されてから実際に弁体５の開度が変化し始め
るまでの応答遅れの時間等を考慮せずに、補正時間Ｔ_D
に０を代入する。そして、ステップＳ４４に進む。

【００３２】なお、ステップＳ４２においては、所定の
値を一律に補正時間Ｔ_Dに代入しても良い。一方、ステ
ップＳ４０において、電磁開閉弁１４あるいは１５を励
磁しており、弁体５の開度が変化している最中であると
判断した場合には、ステップＳ４３に進み、上述したよ
うに補正時間Ｔ_Dに０を代入する。そして、ステップＳ
４４に進む。

【００３３】ステップＳ４４では、開弁タイマＴを設定
する。即ち、開弁タイマＴには、ステップＳ３７で求め
た基本開弁時間Ｔ₀と、ステップＳ４２，Ｓ４３で求め
た補正時間Ｔ_Dとを加えた時間を代入する。そして、ス
テップＳ４５に進み、コントローラ１６は、ステップＳ
３５あるいはＳ３６で設定された電磁開閉弁１４あるい
は１５の励磁を開始する。これにより、電磁開閉弁１４
あるいは１５は全開となり、従来のように電磁開閉弁を
デューティ制御した場合に比べて、短時間に多量の空気
を流すことができ、負圧室１８の容積Ｖの増減が迅速に
なる。

【００３４】ステップＳ４６では、開弁タイマＴの経過
を判断し、時間Ｔが経過していない場合にはこのステッ
プをループし、弁体５を目標開度Ｌ_tに向けて変化させ
る。そして、時間Ｔが経過すると、ステップＳ４７に進
み、励磁中の電磁開閉弁１４あるいは１５の励磁を停止
しこれを閉弁させる。従って、各電磁開閉弁１４及び１
５は閉弁状態となり、負圧室１８内の圧力及び容積Ｖは
保持される。

【００３５】そして、このルーチンから脱出し、所定時
間の経過毎、あるいは、目標開度Ｌ _tの更新毎に、繰り
返しこのルーチンを実行し、弁体５の開度をフィードバ
ック制御する。なお、本実施例の負圧アクチュエータ装
置１０においては、車両に装備されたＥＧＲ装置のバル
ブユニット３の弁体５を開閉操作する構成としたが、こ
れに限るものではなく、例えば、車両に装備されるトラ
クションコントロールシステムのスロットルバルブ等
を、負圧アクチュエータ装置１０で開閉操作しても良
い。

【００３６】また、本実施例においては、負圧室１８を
有する負圧アクチュエータ装置１０に適用した場合につ
いて説明したが、これに限るものではなく、正圧室を有
する正圧アクチュエータ装置に適用しても良い。さら
に、本実施例においては、ベロフラム１２ｂに代えて、
単なるダイヤフラムやベーロズ等でも良い。

【００３７】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、コ
ントローラは、被駆動部材の現在位置と目標位置との関
係と、これに加えて圧力室の容積の大小に応じて、第１
あるいは第２の電磁開閉弁の操作時間を算出する。操作
時間中には、電磁開閉弁が全開し、駆動部材を迅速に変
位させることができる。また、操作時間には圧力室の容
積が反映されており、被駆動部材の変位精度が向上する
等の優れた効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した流体圧アクチュエータ装置の
一実施例を示す概略構成図である。

【図２】図１の流体圧アクチュエータ装置の作動を示
し、その処理の前側部分の流れ図である。

【図３】図２の続きの処理の流れ図である。

【図４】基本開弁時間Ｔ₀を求めるコントロールマップ
の概念図である。

【図５】補正時間Ｔ_Dを求めるコントロールマップの概
念図である。

【符号の説明】

３コントロールバルブユニット１０負圧アクチュエータ装置１２アクチュエータ本体１３負圧タンク１４第１の電磁開閉弁１５第２の電磁開閉弁１６コントローラ１８負圧室１９連通路２１開度センサ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被駆動部材の現在位置を検出する手段を
有し、この被駆動部材を目標位置にまでフィードバック
制御しながら変位させる流体圧アクチュエータ装置にお
いて、可動膜で区画された圧力室を有するとともに、被駆動部
材と可動膜とを連結する出力伝達部材を有するアクチュ
エータ本体と、圧力源と、圧力室と圧力源とを連通する
流体通路と、この流体通路の途中に設けられた大気開放
通路と、大気開放通路を開閉する第１の電磁開閉弁と、
流体通路の途中に、圧力源と大気開放通路との間に位置
して設けられた第２の電磁開閉弁と、圧力室の容積を検
出する容積検出手段と、第１及び第２の電磁開閉弁を選
択的に開閉操作して圧力室の容積を変化させるコントロ
ーラとを備え、このコントローラは、被駆動部材の現在位置と目標位置
との大小関係より第１及び第２の電磁開閉弁のうちのい
ずれの電磁開閉弁を操作するかを決定すると共に、この
決定された電磁開閉弁の操作時間を、前記現在位置と目
標位置との差、及び圧力室の容積の大小に応じて算出す
ることを特徴とする流体圧アクチュエータ装置。