JP2615419B2 - 高分子量ポリシラン類の製造方法 - Google Patents

高分子量ポリシラン類の製造方法

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JP2615419B2
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敏明 小林
輝幸 林
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はポリシラン類の製造法に
関する。ポリシラン類は、光導電体、フォトレジスト等
の光反応性材料、炭化ケイ素系セラミックス類の原料等
として、有用なものである。
【0002】
【従来の技術】ポリシラン類は、従来、主として以下の
反応を用いる方法によって製造されていた。 1)ジクロロシラン類のWurtz反応による重縮合反
応。 2)トリヒドロシラン類の、IVa 族金属錯体またはIIIa
族金属錯体存在下での脱水素重縮合反応。
【0003】しかし、これらの方法は、それぞれ下記の
問題点を有している。すなわち、前記1)の反応では、
湿気に敏感で、腐食性のハロシラン類を用いる上に、ア
ルカリ金属すなわち発火性の試薬を取り扱うため、危険
が伴い、また、官能基を有するものの合成には自ずと制
限がある。前記2)の脱水素重縮合重合では、反応条件
は穏和であるが、一般に、高分子量のポリシラン類を製
造しにくい。また、本発明者らは、ヒドロシラン類を原
料として、ランタノイド錯体の存在下の反応によりポリ
シラン類を得る方法を報告した(特開平5−32785
号公報)。しかしながら、この方法では、得られるポリ
シラン類の高分子量化に限界があった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、脱水素縮合
で得られるヒドロポリシラン類等の、比較的分子量の低
いポリシラン類を、さらに高分子量化するための方法を
提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記問題
点を解決するべく鋭意検討を重ねた結果、IIIa族金属錯
体を用いて、ヒドロポリシラン類とシランSiH4 また
はジシランSi26を反応させることにより、より高
分子量のポリシラン類が得られることを見い出した。本
発明はこれらの知見に基づき完成されるに至ったもので
ある。
【0006】すなわち本発明は、(1)IIIa族金属錯体の 存在下、ヒドロポリシラン類と
シランSiH4 またはジシランSi26 を反応させる
ことを特徴とするポリシラン類の製造方法 (2)ヒドロポリシラン類がポリ(アルキルシリレン)
類またはポリ(アリールシリレン)類であることを特徴
とする(1)項記載の方法、 (3)IIIa族金属錯体が有機ネオジム錯体であることを
特徴とする(1)または(2)項記載の方法、及び (4)有機ネオジム錯体が下記式 Cp * 2 NdCH(SiMe 3 2 (式中、Cp * はペンタメチルシクロペンタジエニル基
を、Meはメチル基を表わす。)で表わされる錯体であ
ることを特徴とする(3)項記載の方法 を提供するもの
である。
【0007】本発明において触媒として用いられるIIIa
族金属錯体の中心金属としては、スカンジウム、イット
リウム、ランタノイド元素(ランタン、セリウム、プラ
セオジム、ネオジム、プロメチウム、サマリウム、ユー
ロピウム、ガドリニウム、テルビウム、ジスプロシウ
ム、ホルミウム、エルビウム、ツリウム、イッテルビウ
ム、ルテチウム)、アクチノイド元素から選ばれた任意
のものを用いることができる。この内、好ましくはラン
タン、ネオジム、サマリウム、イッテルビウム、ルテチ
ウムが用いられ、特に好ましくはネオジムが用いられ
る。
【0008】
【0009】本発明で触媒として用いられる前記金属錯
体の配位子としては、例えば、ハロゲン、水素、アルキ
ル、アラルキル、アリール、アルキルシリル、アリール
シリル、オレフィン、ジエン、トリエン、テトラエン、
シクロジエン、シクロトリエン、シクロテトラエン、ア
リル、アルコキシ、アリールオキシ、アルキルチオ、ア
リールチオ、シクロペンタジエニル、メチルシクロペン
タジエニル、ジメチルシクロペンタジエニル、ペンタメ
チルシクロペンタジエニル、アルキルアミン、アリール
アミン、ピリジル、アルキルホスフィン、アリールホス
フィン、アルキルアリールホスフィン、アルキルイソシ
アニド、アリールイソシアニド、エーテル等を用いるこ
とができる。これらの配位子は、さらに置換基を有して
いるものも包含する。この内、好ましい配位子としては
水素、アルキル[好ましくは炭素原子数1〜10のアル
キル基、例えばメチル、トリメチルシリルメチル、ビス
(トリメチルシリル)メチル、エチル、i−プロピル、
t−ブチル、ネオペンチル、ヘキシル]、シクロペンタ
ジエニル、ペンタメチルシクロペンタジエニル、テトラ
ヒドロフラン等を挙げることができる。
【0010】本発明で触媒として用いられる前記金属錯
体の構造としては下記一般式(I)または(II)で表わ
される有機金属錯体およびその会合体が特に好ましい
が、これらに限定されるものではない。 Cp’2 MR (I) Cp’2 M’ (II) (式中、Cp’はシクロペンタジエニル基またはその置
換体を表わし、Mは任意のIIIa族金属を表わし、M’は
サマリウム、ユーロピウム、イッテルビウムのうちのい
ずれかを表わし、Rは水素、アルコキシ基、1価の有機
基または1価のシリル基を表わす。)
【0011】上記一般式(I)においてRで表わされる
基のうち、好ましい基としては水素、メチル、トリメチ
ルシリルメチル、ビス(トリメチルシリル)メチル、ネ
オペンチル、フェニル、ベンジル等が挙げられる。本発
明において、触媒として有機ネオジム錯体が好ましい。
さらに有機ネオジム錯体が前記式(I)で表わされるも
のであって、式中、Rがビス(トリメチルシリル)メチ
ル基であるものが特に好ましい。
【0012】本発明において用いられるIIIa族金属錯体
(希土類金属錯体)は、錯体を形成しているものを用い
てもよいが、反応系中でこれらの錯体を発生させる前駆
体または原料の形で反応系に仕込んでもよい。
【0013】本発明で用いられるヒドロポリシラン類に
特に制限はないが、これを例示すれば、1,1,2,2
−テトラメチルジシラン、1,1,2,2,3,3,
4,4,5,5,6,6−ドデカメチルヘキサシラン、
ポリ(メチルシリレン)、ポリ(ヘキシルシリレン)等
のポリ(アルキルシリレン)類、ポリ(フェニルシリレ
ン)等のポリ(アリールシリレン)類を挙げることがで
きる。この内、ポリ(アルキルシリレン)類、ポリ(ア
リールシリレン)類が好ましく、特にケイ素原子数が5
個以上であるポリ(アルキルシリレン)類、ポリ(アリ
ールシリレン)類が好ましい。
【0014】本発明方法において反応温度は通常−50
〜300℃、好ましくは20〜200℃、より好ましく
は20〜160℃である。
【0015】本発明方法の反応圧力には、特に制限はな
いが、通常、常圧〜100気圧の範囲で実施される。
【0016】本発明方法を実施する場合、反応に際して
溶媒は必ずしも必要ではないが、溶媒を用いて反応系を
希釈し、それにより、反応の進行に伴う反応混合物の粘
度の増大を防ぐことも本発明の有利な態様の一つであ
る。ここで用いられる溶媒を例示すれば、トルエン、ベ
ンゼン等の芳香族化合物、ジエチルエーテル、テトラヒ
ドロフラン、ジオキサン等のエーテル類、ペンタン、ヘ
キサン、デカン等の脂肪族炭化水素などが挙げられる。
【0017】本発明方法において、ヒドロポリシラン類
に対するシランSiH4 またはジシランSi26 の使
用量に特に制限はないが、好ましくはヒドロポリシラン
1molに対してSiH4 またはSi26 を0.01
〜2mol程度の量で用いる。本発明方法において、シ
ラン、ジシランによる処理は、常法により、シラン、ジ
シランの気体を用いて行うことができ、例えば、反応装
置内をこれらの気体で置換して行うことができる。
【0018】触媒として用いる前記IIIa族金属錯体の使
用量は、いわゆる触媒量で十分であるが、好ましくはヒ
ドロポリシラン1モルに対して0.001〜0.1mo
l程度の量が用いられる。
【0019】本発明方法で得られるポリシラン類は、そ
れ自身ヒドロポリシラン類であるが、原料として用いる
ヒドロポリシラン類よりも高分子量のものである。ま
た、シランSiH4 またはジシランSi26 が取り込
まれているため、通常、H/Siの原子比が原料におけ
るよりも高くなっている。
【0020】反応生成物の分離は、溶媒および未反応の
原料をろ過、濃縮などの通常の手段により除去した後
に、再沈、分取GPC等により、容易に行うことができ
る。
【0021】
【発明の効果】本発明によって、ヒドロポリシラン類か
ら、高収率で、より高分子量のポリシラン類を得ること
ができ、その工業的意義は多大である。
【0022】
【実施例】次に本発明を実施例に基づいてさらに詳細に
説明するが、もとより本発明は、これらの実施例に限定
されるものではない。
【0023】実施例1 ステンレス製オートクレーブ(37mlガラスインサー
ト付)に、ビス(ペンタメチルシクロペンタジエニル)
[ビス(トリメチルシリル)メチル]ネオジム(0.0
1mmol)、ポリ(ヘキシルシリレン)(Mw=86
5、Mw/Mn=1.03)354mgを入れた。ここ
でMwは重量平均分子量、Mnは数平均分子量を、それ
ぞれ表わす。シランSiH4 を10気圧まで加圧パージ
を3回繰り返して、装置内をシランSiH4 で置換
(1.5mmol)した後、80℃で48時間反応させ
た。反応混合物から未反応のシランを窒素パージにより
除去して、ポリシランを384mg得た。収率は定量的
であった。GPC分析によると、生成物はMw 46,
000(Mw/Mn=5.00)とMw 1100(M
w/Mn=1.07)の成分からなっていた。
【0024】生成物の1 H−NMR(C66 )は、
0.7〜1.8ppm(m、ヘキシル基)、および3.
5〜4.5ppm(m、Si−H)の共鳴を示し、積分
より、Si−Hex/Si−H=1:1.78であっ
た。
【0025】比較例1 ステンレス製オートクレーブ(37mlガラスインサー
ト付)に、ビス(ペンタメチルシクロペンタジエニル)
[ビス(トリメチルシリル)メチル]ネオジム(0.0
1mmol)、ポリ(ヘキシルシリレン)(Mw 86
5、Mw/Mn=1.03)353mgを入れた。80
℃で48時間反応したところ、原料ヒドロポリシラン3
53mgが回収された。回収したポリシランはMw 1
300(Mw/Mn=1.12)であった。

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 IIIa族金属錯体の存在下、ヒドロポリシ
    ラン類とシランSiH4 またはジシランSi26 を反
    応させることを特徴とするポリシラン類の製造方法。
  2. 【請求項2】 ヒドロポリシラン類がポリ(アルキルシ
    リレン)類またはポリ(アリールシリレン)類であるこ
    とを特徴とする請求項1記載の方法。
  3. 【請求項3】 IIIa族金属錯体が有機ネオジム錯体であ
    ることを特徴とする請求項1または2記載の方法。
  4. 【請求項4】 有機ネオジム錯体が下記式 Cp* 2NdCH(SiMe32 (式中、Cp* はペンタメチルシクロペンタジエニル基
    を、Meはメチル基を表わす。)で表わされる錯体であ
    ることを特徴とする請求項3記載の方法。
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