JP2613402B2 - 炭化珪素ウィスカー強化窒化珪素質焼結体およびその製造方法 - Google Patents

炭化珪素ウィスカー強化窒化珪素質焼結体およびその製造方法

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    • C04B35/58Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
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Description

【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野) 本発明は炭化珪素ウィスカーを用いて強化した窒化珪
素系複合材料に関し、特に高温での強度および耐クリー
プ性に優れた窒化珪素質焼結体とその製造方法に関し、
セラミックロータやセラミックバルブ等の自動車エンジ
ン部材やガスタービンロータ等の高温構造部材に広く有
用な複合材料とその製造方法を提供するのである。 (従来の技術) 炭化珪素焼結体や窒化珪素(Si3N4)を主成分とする
窒化珪素質焼結体は、原子の結合様式が共有結合を主体
としており、機械的強度、耐酸化性、耐摩耗性、耐衝撃
性、耐食性等の特性に優れているため、特に自動車エン
ジン部品やガスタービンロータ等の高温構造部材や切削
工具材料として実用化が始まっている。 しかしこのような優れた特徴をもっているにもかかわ
らず、金属と比較すると品質安定性や均質性に乏しく、
信頼性の向上や高特性という視点から、窒化珪素系セラ
ミックに於いても一層の高靱性化が望まれている。 ところで、窒化珪素や炭化珪素はともに共有結合を主
体とした化合物であって難焼結材とされている。従っ
て、窒化珪素や炭化珪素はそれ単独に焼結させるのでは
なく、通常焼結助剤を数%乃至数十%添加することによ
り、低融点化合物を形成させ焼結を促進しており、添加
した焼結助剤は粒界のガラス相あるいは結晶相として焼
結後に残存するか、窒化珪素の結晶中に固溶し残存す
る。 しかしながら、このようにして得られる焼結体は、焼
結助剤として添加したAl2O3,Y2O3,La2O3,MgO,CaO,希土
類元素酸化物などが、前記したように低融点化合物を形
成して焼結を促進せしめるという利点がある反面、この
低融点化合物が原因となり焼結体の高温における機械的
強度が低下するという欠点があることから、焼結助剤の
種類の検討やその量を出来るだけ少なくするなどの検討
がなされているが、高温時の機械的強度低下の欠点は未
だ解決されていないのが現状である。 この対策としてセラミックにSiCウィスカーを複合化
して改良されたセラミック焼結体を得る各種の試みが行
われている。 例えば特公昭58−51911号はSi3N4とSiCウィスカー混
合物のペーストを用いて板状に成形したものを積層し、
加圧焼結する製造方法であり、粉末状態で焼結する方法
を示唆していない。 特公昭60−35316号はSi3N4中に導電性のある繊維状Si
Cを分散させることにより高い電気伝導性を与え、放電
加工可能なSi3N4焼結体を提供するものであるが、SiC繊
維は10〜500μm程度の比較的長繊維のものを均一に分
散させる必要のあるところから、混合技術上SiC繊維の
集塊に留意しなければならず、集塊に基づく焼結不良、
延いては信頼性の低下のおそれがあり、かつ又、室温強
度、高温強度に一層の改善が求められるところである。 又、特開昭59−102862号は前記した特公昭60−35316
号の延長線上の発明で、Si3N4中に導電性のある繊維状S
iCとともに特定の導電性を有する無機粉末を分散させ、
電気伝導性を高めるものであるが、特公昭60−35316号
同様な問題を有し、特に高温強度は改善の余地のあるも
のと考えられる。 特開昭60−200863号はSiCウィスカーと、4a族、5a族
の炭化物並びに窒化物を含有し、残りがSi3N4からなる
組成のセラミックであって、鉄との親和性を低下し、鉄
との摩擦を生じる用途での摩耗の進行を防止できるもの
であるが、高温1200℃の抗析力は50kg/mm2内外に留まる
ために、なお一層の向上が求められるものである。 特公昭60−55469号は窒化珪素粉末の分散液と繊維状
炭化珪素結晶の分散液とを、それぞれフィルターを通過
させた後、前者に対し後者が5〜50重量%となるように
混合し、成形、焼結する方法であり、粉末を成形焼結す
るのに比して手数がかかり面倒である。 特開昭60−246268号および特開昭61−291463号はサイ
アロン系母材にSiCウィスカー等を加えたもので前者は
β−サイアロン、後者はα−サイアロンであり窒化珪素
系母材にSiCウィスカーを加えた焼結体に関するもので
はない。 (発明が解決すべき問題点) 上記の如くSi3N4系のセラミックにSiCウィスカーを分
散した複合材は未だ十分に実用化できるまでに至らず、
なお一層の高靱性化が期待されるとともに1000℃以上の
高温下での使用にはいまだ不十分なものであった。即
ち、上記においてサイアロン基セラミックは高靱性であ
るものの、1000℃以上の高温では強度劣化や耐酸化性が
悪く、又窒化珪素(サイアロンを除く)基セラミックは
高温特性がサイアロン基セラミックに比べて優れている
ものの靱性が低い等高温構造材料として使用するには問
題があった。 (問題点を解決するための手段) 本発明者らはこの点について鋭意検討の結果窒化珪素
質焼結体の高温時における機械的特性が、その結晶相、
粒界相の形態によることが大きく、特に靱性や高温にお
ける強度を高めるには特定のSiCウィスカーが焼結体の
中で相当の長さを有したまゝ、均一に分散することと、
Si3N4中のα−Si3N4の割合即ちα率がある値以下である
場合に好ましい特性の焼結体が得られるとの地見に基い
たものであり、その概要は以下のとおりである。 即ち第1の発明は平均長さ5〜30μmのSiCウィスカ
ー5〜40重量%、少なくともセリウム族元素の酸化物の
1種以上を含む希土類元素の酸化物5〜30重量%、残部
が窒化珪素とからなる配合組成物を成形し焼結された窒
化珪素質焼結体であって、焼結体中のSi3N4のα率が40
重量%以下であることを特徴とする炭化珪素ウィスカー
強化窒化珪素質焼結体にして、第2の発明は上記焼結体
を製造するために平均長さ30μm以下のSiCウィスカー
5〜40重量%と、少なくともセリウム族元素の酸化物の
1種以上を含む希土類元素の酸化物の粉末5〜30重量
%、残部がα率90重量%以上のSi3N4粉末とを、該SiCウ
ィスカーの平均長さが5〜30μmの範囲で均一に分散す
るように粉砕混合し成形した後、非酸化性雰囲気下で16
50〜1850℃の温度で、Si3N4のα率が40重量%以下にな
るまで焼結することを特徴とする炭化珪素ウィスカー強
化窒化珪素質焼結体の製造方法である。なお成形焼結に
あたっては所定の配合組成物を必要に応じ金型成形、静
水圧成形および射出成形した後還元または不活性ガス雰
囲気中でホットプレス、常圧焼結、ガス圧焼結及び熱間
静水圧焼結することによって行うことができる。 なお本発明で用いられるSiCウィスカーはそれ自体常
温から高温まで硬度や強度が高く、焼結後もウィスカー
の形状のまま組織内に均一に分散していることによって
セラミックの高温強度を向上し、破壊靱性を大きくし、
かつ、硬くするものである。 本発明で用いられる出発原料としてのSiCウィスカー
としては平均直径0.2〜5μm、平均長さ5〜30μmの
アスペクト比2〜150のものが望ましい。又、このウィ
スカーは、Al,Ca,Mg,Ni,Fe,Mn,Co,Cr等のカチオン不純
物やSiO2含有量が1.0重量%以下で、クビレや枝分れお
よび面欠陥等が少ないヒゲ状結晶のものが高靱性の緻密
な焼結体を得る上で好ましい。 SiCウィスカーの添加量を5〜40重量%とする理由
は、SiCウィスカーが5重量%より少ない場合はセラミ
ック焼結体にウィスカー添加の効果が殆どないため、強
度、靱性の向上が見られず、逆に40重量%を越える場合
はウィスカーの異方性によって均一分散性が低下し焼結
性も著しく低下するためであり、より好ましくは10〜30
重量%添加するのがよい。なお、本発明で使用するSiC
ウィスカーは焼結後もウィスカー形状で焼結耐中に残留
するものである。 又SiCウィスカーは粉砕、混合、成形、焼結後も平均
長さが5〜30μmであることが必要であり、その理由
は、平均長さが5μmより短い場合はウィスカーの添加
効果が見られず、強度や靭性の向上が認められないため
であり、30μmより長い場合は、焼結性の低下やウィス
カー同士の凝集が著しくなり、焼結体中に生成する凝集
部分が欠陥となって強度の低下をもたらすためであり、
更に好ましくは5〜20μmであることがより高靭性、高
強度を保持する点で好ましい。 少なくともセリウム族元素の酸化物の1種以上を含む
希土類元素の酸化物は焼結助剤として働くとともに、焼
結体中でガラス相を形成し、緻密体を構成する添加量は
5〜30重量%である。 少なくともセリウム族元素の酸化物の1種以上を含む
希土類元素の酸化物が5重量%未満では生成するガラス
相(液相)が少な過ぎるため、焼結助剤としての効果が
なく緻密化されず、又、30重量%を超える場合は過度に
窒化珪素が粒成長して却って焼結性が阻害され強度劣化
を招いたり、ガラス相の生成量の増大に伴い、高温での
機械的強度や耐酸化性等の高温特性が劣化するため上記
範囲が好ましい。より好ましくは10〜25重量%である。 焼結体中のSi3N4のα率を40重量%以下とする理由
は、α率が40重量%より多い焼結体は強度や靭性が低い
為であり、高強度、高靭性な焼結体を得るためにはα率
が40重量%以下が好ましく、更に好ましくはα率が20重
量%以下の焼結体である。 (実施例) 以下、本発明の実施例について説明する。 実施例1 平均粒径0.6μm α率90重量%のSi3N4粉末64重量%
と、平均粒径1.2μmのY2O3粉末6.4重量%と、平均粒径
2μmのLa2O3粉末9.6重量%に、平均直径0.5μmで平
均長さの異なる市販のSiCウィスカー20重量%を加え、
エタノール溶媒中でスターラーで撹拌しながら1時間超
音波照射して混合した後、乾燥し、造粒して素地粉末を
得た。 次にこの素地粉末を黒鉛型中で焼結温度1800℃,圧力
200kg/cm2,1時間ホットプレスし焼結体を得た。 得られた焼結体は4mm×3mm×40mmの寸法の試験片に研
磨加工した後、密度およびJIS−R 1601により抗析強度
を測定した。 また、焼結体を鏡面研磨し、光学顕微鏡で観察するこ
とにより、すべての配合組成物において添加したSiCウ
ィスカーは配合時の形状が変わることなく存在している
ことを確認した。一方得られた焼結体のX線回折や、化
学分析及びカーボン定量を行うことによりSiCウィスカ
ーは殆ど配合組成のまま存在していることも確認した。
本実施例によって得られた焼結体の結果を第1表に示
すが、添加するSiCウィスカーの平均長さが30μmより
長いとウィスカー同士の凝集が著しくなり焼結体中での
均一分散性が悪化して焼結性の低下および凝集部分が欠
陥となるため強度の低下を招くことが判った。また第1
表には得られた焼結体の比抵抗を測定した結果も併記し
た。 実施例2 平均長さ30μmのSiCウィスカーをあらかじめ粉砕し
て、平均長さを第2表に示す様に変えたウィスカーを用
いる以外は実施例1と同様にして素地粉末を得た。 次にこの素地粉末を黒鉛型中で焼結温度1800℃,200kg
/cm2の圧力で、1時間ホットプレスして十分に緻密な焼
結体を得た。 得られた焼結体については実施例1と同様にして抗析
強度を測定し、さらに押し込み荷重30kgでのインデンテ
ィション・マイクロフラクシャー法(IM法)により破壊
靱性値を測定した。 本実施例によって得られた焼結体の結果を第3表に示
すが、得られた焼結体中に分散して存在するウィスカー
の平均長さは5μmでないとその添加効果はなく、強度
および破壊靭性は向上しないことが判った。 実施例1および2の結果より焼結体に存在すべきウィ
スカーの平均長さは5〜30μmの範囲でなければその添
加効果がないことが判る。 実施例3 平均長さ30μmのSiCウィスカーと、平均粒径0.6μm
のSi3N4粉末と、平均粒径2μm以下のLa2O3,CeO2,Nd2O
3,Sm2O3から選ばれたセリウム族元素の酸化物の1種以
上およびこれとY2O3を含めた希土類元素の酸化物及び比
較実験として平均粒径1μmのα−Al2O3と平均粒径0.5
μmのAlNを第4表に示す様な組成に配合したものを各
々エタノール溶媒中で16時間ボールミルで粉砕し混合し
た後、乾燥、造粒して素地粉末を得た。 次にこの素地粉末を黒鉛型中で第4表に示すような焼
結条件でホットプレスして焼結体を得た。 得られた焼結体は実施例2と同様にして室温での抗析
強度と破壊靱性値を測定した。さらに、1300℃大気中に
おける抗析強度と1300℃大気中で100時間酸化させた時
の重量変化から耐酸化性を評価した。また焼結体中のα
−Si3N4含有量については便宜的にX線回折による回折
ピーク高さ(α相ピーク高さIα、β相ピーク高さI
β)から以下の式によって求めた。
【名工試:鈴木,菅野;Si中のα分率簡易定量
法(窯業協会誌;92〔8〕1984)参照】 また得られた焼結体を鏡面研磨し、光学顕微鏡で観察
した結果、すべての焼結体中に存在するSiCウィスカー
の平均長さは5〜15μmであることが判った。 本実施例によって得られた焼結体の結果を第4表に示
すが、これらの結果から焼結体中のα−Si3N4が40重量
%以下でSiCウィスカーを5〜40重量%含有した炭化珪
素ウィスカー強化窒化珪素質焼結体は靱性が高く、かつ
1300℃の高温においてもサイアロンを母材とする焼結体
に比べて強度や耐酸化性に優れた材料であり、高温構造
材料として十分に満足できる特性を有していることが判
った。 (発明の効果) 本発明は前記実施例の内容から明らかなとおり抗析強
度(常温、高温)、破壊靱性および耐酸化性、硬度など
の特性に優れた焼結体とその製造方法を提供するもので
あり、自動車エンジン部材や高温構造部材に広く有用な
材料を提供するものである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 渡辺 正一 愛知県名古屋市瑞穂区高辻町14番18号 日本特殊陶業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−144171(JP,A)

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】平均長さ5〜30μmのSiCウィスカー:5〜4
    0重量%と、少なくともセリウム族元素の酸化物の一種
    以上を含む希土類元素の酸化物:5〜30重量%と、残部が
    窒化珪素とからなる配合組成物を成形し焼結された窒化
    珪素質焼結体であって、焼結体中のSi3N4のα率が40重
    量%以下であることを特徴とする炭化珪素ウィスカー強
    化窒化珪素質焼結体。
  2. 【請求項2】平均長さ5〜20μmのSiCウィスカーが10
    〜30重量%であることを特徴とする特許請求の範囲第1
    項記載の炭化珪素ウィスカー強化窒化珪素質焼結体。
  3. 【請求項3】少なくともセリウム族元素の酸化物の一種
    以上を含む希土類元素の酸化物の合計量が10〜25重量%
    であることを特徴とする特許請求の範囲第1項または第
    2項記載の炭化珪素ウィスカー強化窒化珪素質焼結体。
  4. 【請求項4】焼結体中のSi3N4のα率が20重量%以下で
    あることを特徴とする特許請求の範囲第1項または第3
    項記載の炭化珪素ウィスカー強化窒化珪素質焼結体。
  5. 【請求項5】平均長さ30μm以下のSiCウィスカー:5〜4
    0重量%と、少なくともセリウム族元素の酸化物の一種
    以上を含む希土類元素の酸化物の粉末5〜30重量%と、
    残部がα率90重量%以上のSi3N4粉末とを、該SiCウィス
    カーの平均長さが5〜30μmの範囲で均一に分散するま
    で粉砕混合し、成形した後、非酸化性雰囲気下で1650℃
    〜1850℃の温度でSi3N4のα率が40重量%以下になるま
    で焼結することを特徴とする炭化珪素ウィスカー強化窒
    化珪素質焼結体の製造方法。
  6. 【請求項6】平均長さが30μm以下のSiCウィスカー10
    〜30重量%と、少なくともセリウム族元素の酸化物の一
    種以上を含む希土類元素の酸化物の粉末:10〜25重量%
    と、残部がα率90重量%以上のSi3N4粉末とを、該SiCウ
    ィスカーの平均長さが5〜20μmの範囲で均一に分散す
    るまで粉砕混合することを特徴とする特許請求の範囲第
    5項記載の炭化珪素ウィスカー強化窒化珪素質焼結体の
    製造方法。
  7. 【請求項7】焼結体中のSi3N4のα率が20重量%以下に
    なるまで焼結することを特徴とする特許請求の範囲第5
    項または第6項記載の炭化珪素ウィスカー強化窒化珪素
    質焼結体の製造方法。
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DE3516931A1 (de) * 1985-05-10 1986-11-13 Dragoco Gerberding & Co Gmbh, 3450 Holzminden Verfahren zur herstellung von 4,4,7-trimethyl-3,4,7,8-tetra-hydro-2(6h)-naphthalin-on in gereinigter form oder im gemisch mit 3,5,5-trimethyl-4-butenyliden-cyclo-hex-2-en-1-onen, dabei erhaltene produkte und verwendung derselben als riech- und aromastoffe

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