JP2604012B2 - クリーンロボット - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明はクリーンルーム内などで作業を行うための作
業用ロボットに関するものである。

（従来の技術） 従来、クリーンルームで作業を行うロボットには発塵
を防ぐ対策が必要であるが、これまでのクリーンロボッ
トは、従来の産業用ロボットに防塵対策を施したような
ものが多かった。このような追加された防塵対策の設備
のため、設置面積を広くとってしまいクリーンルームと
いう限られた空間に適さなくなるという不具合が生じて
いた。このような防塵対策としては、ロボット本体の発
塵部位の近傍に吸引機構を設けたり、発塵部を取り囲む
カバーを設けたうえで吸引機構を設け、カバーの隙間よ
り塵が流失しないようにしていた。また、吸引された空
気はフィルタを介して塵を除去してからクリーンルーム
内に排気するか、クリーンルーム外に吸引・排気してい
た。

また、制御装置はロボット本体とは別に設置するた
め、制御装置用の防塵対策を別に必要としていた。この
対策としては、排気用ファンを床面に向けて設置した
り、制御装置を筐体で密封し、装置の加熱を防ぐため冷
却用ファンで筐体内の空気を循環させ、筐体表面から放
熱するようにしていた。

（発明が解決しようとする課題） 上述のようなクリーンロボットの構成では、防塵機構
の排気パイプの設置のためクリーンロボットの移動・再
設置が困難になり、クリーンルーム内のレイアウト変更
に支障を生じることとなった。

また、制御装置にしても筐体を密閉するには、その表
面より熱交換を行うだけの表面積が必要になり、そのた
め筐体表面をフィン状にしたり、表面積を大きくするた
めに筐体自身を大きく形成するようにしていた。そのた
め、小さな制御装置本体に対して非常に大きな筐体を設
けなければならず、クリーンルームという限られた空間
の中で非常に不合理な設計であるといえた。

本発明は上述のような不都合を解決し、クリーンルー
ム内の限られた空間を有効に活用可能なクリーンロボッ
トを提供する。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 上記のような問題点を解決するために、本発明は、筐
体と、この筐体上に設けられた作業用ロボットと、上記
筐体上に設けられこの作業用ロボットを上記筐体上で移
動可能に支持する移動機構と、上記筐体内に固定支持さ
れ上記作業用ロボット及び上記移動機構の制御を行う制
御装置とを有するクリーンロボットにおいて、上記制御
装置の上方でこの制御装置と対向するように設けられ、
かつ、上記制御装置を冷却すると共に上記筐体内に負圧
を生じさせ上記筐体内部に下方へ向かう空気の流れを生
じさせる制御装置冷却用ファンを設けたことを特徴とす
るクリーンロボットを提供するものである。

（作用） 上述のようにクリーンロボットを構成すると、ロボッ
ト本体の防塵対策と制御装置の冷却及び防塵対策の３つ
の機能を同時に持たせることができる。さらに、ロボッ
ト全体の設置面積を小さくできる。

すなわち、第１の作用効果としてクリーンロボット内
部で塵が発塵しても内部の上から下への空気の流れにし
たがって作業用ロボット及び制御装置筐体の内部を通
り、クリーンロボット本体の下部より排気されるので、
クリーンルーム内部に塵が飛散するのを防ぐことができ
る。また、制御装置上部に作業用ロボットを設けたこと
により、作業用ロボットの発塵を作業用ロボット上部に
設けた隙間より吸引することができる。さらに、クリー
ンロボット本体の下部から空気を排気するようにしたこ
とで、クリーンルーム自身の防塵機構を用いて塵を処理
することができる。そのため、クリーンロボットの移動
・再配置が容易になっている。

また、床面に室内の空気の吸引設備が設置されていな
い場合は、排気ダクトによる室外への排気も可能であ
る。

第２の作用効果として制御装置内部の空気の流れによ
り制御装置の冷却を行うことができる。これは空気の流
れが熱交換を行った空気をクリーンロボット本体下部よ
り排気しているので、従来の筐体を密封したクリーンロ
ボットのように、熱交換のために筐体を必要以上に大き
くしたり、筐体外部をフィン状に形成する必要を無くす
という効果も生じさせている。

（実施例） 以下に本発明の一実施例を図面を用いて説明する。

第１図は本実施例の構成図である。作業用ロボット
（１）を移動させる移動機構（２）とが設けられてい
る。この移動機構（２）の下方にはこの作業用ロボット
（１）と移動機構（２）とを制御する制御装置（３）が
設けられ、各被制御体に接続されている。この制御装置
（３）は筐体（４）内部に固定支持されており、筐体
（４）はその上部に移動機構（２）を載置している。さ
らに、筐体（４）上面と移動機構（２）下面とにおいて
両者は空間的に接続されており、両者の接続部は密着さ
れている。制御装置（３）の上方には筐体（４）により
保持された制御装置冷却用ファン（以下、冷却用ファン
と称す）（５）が設置され、図示しない制御装置（３）
の電源が入ると同時に作動するように接続されている。
また、筐体（４）下部は吹抜けになっており、筐体
（４）下部全面が排気用の通気孔となっている。

以下に本実施例の作用を説明する。制御装置（３）の
図示しない電源を入れると同時に冷却用ファン（５）が
作動を開始する。この冷却用ファン（５）が作動を開始
すると、図中矢印で空気の流れを示したように移動機構
（２）内部の空気を取り込み、制御装置（３）を冷却す
る。空気を取り込まれた移動機構（２）内部は負圧を生
じることとなり、このため作業用ロボット本体（１）移
動用の隙間穴（６）より外部の空気を流入することにな
る。また、クリーンロボット内の空気の流れは制御装置
（３）を冷却し筐体（４）下部の通気孔より排気され
る。ここで移動機構（２）を作動させた場合、移動機構
（２）内で作業用ロボット（１）が摺動する度に発塵す
る塵は冷却ファンの起こす空気の流れにより筐体（４）
内部に取り入れられ、筐体（４）外部に排気されること
となる。

このとき作業用ロボット本体（１）からの発塵をクリ
ーンロボット内に吸引することができるが、作業用ロボ
ット本体（１）の排気機構については、本発明とは別に
独自の防塵機構を有していてもよい。しかし、そのよう
な場合はクリーンロボットの設置効率や構成などを考慮
にいれれば、作業用ロボット本体（１）で発塵した塵を
吸気した空気を移動機構（２）または筐体（４）内部に
排気するように排気口を設けた方が効率的であろう。

以下に本発明の第２の実施例を図面を用いて示す。

基本的な構成は第１の実施例と同じてあるが、制御装
置（２）の構成の関係で排気用の通気孔を大きく設ける
ことができなかった。そこで第１の実施例のような筐体
（４）の下部全面を通気孔にする代りに、筐体（４）下
部の一部に通気孔を設け、この通気孔に排気用ファン
（７）を設けたものである。

第２の実施例の作用も第１の実施例と基本的には同様
であるが、通気孔が一箇所であるので、排気用ファン
（７）により強制的に空気の流れを通気孔に向けて作り
出している。また、排気用ファンに防塵フィルタを取付
け、塵をクリーンルームないに出さないようにしてもよ
い。

上述の第１および第２の実施例のように上から下への
空気の流れをクリーンロボット内部に作り出すことによ
り、クリーンルーム内の空気の流れと一致させ、発塵し
た塵をクリーンルーム床面に排気することができ、簡単
な構成により容易に発塵した塵がクリーンルーム内部に
飛散することを防ぐことができる。

［発明の効果］ 上述のようにクリーンロボットを構成することによ
り、従来のクリーンロボットの課題であった防塵機構の
ための移動・再配置の困難や装置自身の大きさ、設置面
積、形状などの問題を解決し、容易に移動・設置可能
な、かつ小面積のクリーンロボットを構成することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明のクリーンロボットの構成
を示す構成図である。 １……作業用ロボット、２……移動機構、 ３……制御装置、４……筐体、 ５……冷却用ファン、６……隙間穴、 ７……排気用ファン

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】筐体と、この筐体上に設けられた作業用ロ
   ボットと、上記筐体上に設けられこの作業用ロボットを
   上記筐体上で移動可能に支持する移動機構と、上記筐体
   内に固定支持され上記作業用ロボット及び上記移動機構
   の制御を行う制御装置とを有するクリーンロボットにお
   いて、上記制御装置の上方でこの制御装置と対向するよ
   うに設けられ、かつ、上記制御装置を冷却すると共に上
   記筐体内に負圧を生じさせ上記筐体内部に下方へ向かう
   空気の流れを生じさせる制御装置冷却用ファンを設けた
   ことを特徴とするクリーンロボット。