JP2600987Y2

JP2600987Y2 - 洗浄機における洗浄液分離装置

Info

Publication number: JP2600987Y2
Application number: JP1993021915U
Authority: JP
Inventors: 康行水沢
Original assignee: Kitamura Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Kitamura Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1993-04-26
Filing date: 1993-04-26
Publication date: 1999-11-02
Anticipated expiration: 2008-04-26
Also published as: JPH0681690U

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、洗浄機における使用済
みの洗浄液を分離する洗浄液分離装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、光学レンズ、シリコンウエハー、
各種精密機械部品などを洗浄する洗浄機として、例え
ば、特開平４−１１００８３号公報には、純水を用いて
主洗浄を行った被洗浄物を、イソプロピルアルコールな
どの水置換剤に浸漬させて被洗浄物に付着する洗浄液を
除去し、この後、完全フッ素化液体を加熱することによ
って発生する蒸気雰囲気中で水置換剤を除去するように
構成したアルコールを用いた洗浄方法およびその装置が
提案されている。しかし、このような洗浄装置では、被
洗浄物を単に、被洗浄物を純水で洗い流すことから、精
密洗浄には不向きな面があるため、その被洗浄物の洗浄
度を高めるために、まず、被洗浄物を例えば、イソパラ
フィン系炭化水素を主成分とする非水系洗浄液を用いて
主洗浄を行い、純水によってその非水系洗浄液を濯ぎ洗
浄し、この濯ぎ工程で被洗浄物に付着する純水を水置換
剤によって除去するように構成した多槽型洗浄機も広く
知られている。そして、このように、多槽型洗浄機の代
表的なものとしては、洗浄機の内部に先に説明した非水
系洗浄液、純水、水置換剤を収容する洗浄槽を設け、こ
れら洗浄槽内の被洗浄物を順次、浸漬させて被洗浄物を
洗浄する浸漬型洗浄機と、被洗浄物に洗浄液を高圧噴射
させるスプレー式の洗浄機とに大別されるが、次工程へ
の洗浄液の混入を防止し、より精密な洗浄を行うには、
後者のスプレー式の洗浄機の方が有利である。そして、
一般的に、この種のスプレー式の洗浄機では、被洗浄物
に噴射して使用済みとなった非水系洗浄液、純水、水置
換剤を１つの分離タンクに流入させ、これら非水系洗浄
液、純水、水置換剤の比重差を利用して分離させ、特
に、高価な非水系洗浄液を再利用するように構成してい
る。すなわち、純水とこの純水と置換する水置換剤は混
じり合って、分離タンクの下部に沈殿し、一方、純水よ
り比重の少ない炭化水素系の非水系洗浄液は純水と水置
換剤の溶液から分離する。そして、その分離タンクの上
層部分で遊離して分離する非水系洗浄液を回収し、これ
を再利用している。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】ところで、分離タンク
の上層部分で遊離する非水系洗浄液だけを効果的に取り
出して回収するには、純水中に水置換剤を溶け込ませ
て、分離タンクに沈殿させることが重要であるが、前記
従来例では、純水中の水置換剤が飽和状態となり、純水
に溶け切れなかった水置換剤が非水系洗浄液と混じって
しまい、このような、水置換剤の混入により、非水系洗
浄液の成分が変化し、結果的に、非水系洗浄液を再利用
して被洗浄物を洗浄する場合、洗浄度が低下するといっ
た不具合があった。

【０００４】本考案は、このような問題点を解決しよう
とするもので、分離タンクから回収する非水系洗浄液の
汚濁を防止し、洗浄度を高めることのできる洗浄機にお
ける洗浄液分離装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本考案は、前記目的を達
成するために、被洗浄物を洗浄する少なくとも、水より
比重の小さい非水系洗浄液と、この洗浄液を濯ぐ純水
と、この純水を置換する水置換溶剤とを回収する分離タ
ンクを設け、この分離タンクの上部寄り設けた給水孔か
ら前記使用済みの洗浄液、純水および水置換溶剤とは別
に純水を流入させ、その純水並び前記濯ぎ液としての純
水と水置換溶剤の溶液を分離タンクの下部に沈殿させ、
その溶液と前記非水系洗浄液とを分離するとともに、前
記溶液を前記給水孔より低い位置で上端を開口し、か
つ、下端を前記分離タンクの内側底部に開口する排出パ
イプでタンク外に排水し、前記非水系洗浄液は前記排出
パイプの上端開口部の上方に開口するオーバーフローパ
イプから排水させて前記被洗浄物の洗浄液として循環さ
せるものである。

【０００６】

【作用】本考案の洗浄機における洗浄液分離装置では、
洗浄工程後に排水される非水系洗浄液、純水、水置換剤
が分離タンク内に流入すると、純水に水置換剤が溶出す
るが、これら洗浄工程後の排水とは別に、分離タンク内
に純水が流入し、分離タンク中の純水の流入量が増大す
るため、純水中における水置換剤の濃度を下がり、純水
に水置換剤が確実に溶出する。そして、純水と水置換剤
の溶液は非水系洗浄液との比重差によって、分離タンク
下部に沈殿し、一方、非水系洗浄液は、純水と水置換剤
の溶液と分離して溶液から浮遊する。このため、非水系
洗浄液への水置換剤の混入を抑制し、非水系洗浄液の汚
濁を防止できるとともに、その清浄な非水系洗浄液を再
利用して精密洗浄が可能となる。

【０００７】

【実施例】以下、本考案の実施例を添付図面を参照して
説明する。

【０００８】図１および図２は本考案の一実施例を示
し、被洗浄物１は洗浄機の内部に併設された洗浄槽２、
濯ぎ槽３、仕上げ槽４に順次搬送され、まず、洗浄槽２
内で炭化水素を主成分とする非水系洗浄液Ｗ１で主洗浄
を行った後、濯ぎ槽３で被洗浄物１に付着する非水系洗
浄液Ｗ１を純水Ｗ２で洗い流す。さらに、仕上げ槽４で
濯ぎ工程で被洗浄物１に付着する純水Ｗ２をイソプロピ
ルアルコールから成る水置換剤Ｗ３で置換させて純水Ｗ
２を除去する。そして、このようにして、被洗浄物１の
洗浄工程で排出された非水系洗浄液Ｗ１、純水Ｗ２、水
置換剤Ｗ３は、ポンプ５によって分離タンク６に回収さ
れる。分離タンク６は、図２に示すように、相対向する
複数の障壁７が分離タンク６の底部から離して立設され
ており、分離タンク６の上端部寄りには、第１給水孔８
と第２給水孔８Ａが設けられており、第１給水孔８から
洗浄工程で排出された使用済みの非水系洗浄液Ｗ１、純
水Ｗ２、水置換剤Ｗ３を分離タンク６内に流入し、第２
給水孔８Ａからイオン交換された純水Ｗ４が分離タンク
６内に流入し、このように、分離タンク６内に流入した
非水系洗浄液Ｗ１、純水Ｗ２、水置換剤Ｗ３およびはこ
れら使用済みの洗浄液とは別に分離タンク６内に流入し
た純水Ｗ４は障壁７に衝突し、その衝突による乱流作用
によって撹拌され、イソプロピルアルコールから成る水
置換剤Ｗ３は純水Ｗ２、Ｗ４に溶出して分離タンク６の
下部に沈殿し、一方、水より比重の小さいイソパラフィ
ン系炭化水素を主成分とする非水系洗浄液Ｗ１は純水Ｗ
２、Ｗ４と水置換剤Ｗ３の溶液から分離して浮遊する。
また、分離タンク６の一側には分離タンク６の下部に沈
殿する純水Ｗ２、Ｗ４と水置換剤Ｗ３の溶液を排水する
略Ｌ字状の排出パイプ９と上層部分で分離する非水系洗
浄液Ｗ１を前記洗浄槽２へと循環させるオーバーフロー
パイプ10が取り付けられている。なお、前記排出パイプ
９は前記第１給水孔８と第２給水孔８Ａより低い位置で
上端を開口し、下端は前記分離タンク６の内側底部に臨
ませて開口するように形成され、一方、オーバーフロー
パイプ10の流入孔10Ａは前記排出パイプ９の上端開口部
９Ａより高い位置で開口する。そして、分離タンク６内
に流入する非水系洗浄液Ｗ１、純水Ｗ２、Ｗ４，水置換
剤Ｗ３の勢いで分離タンク６の下部に沈殿する純水Ｗ
２、Ｗ４，水置換剤Ｗ３の溶液を排出パイプ９の下端開
口部９Ｂから取り込んでその排出パイプ９の上端開口部
９Ａから分離タンク６外に排水して廃棄、若しくはイオ
ン交換器などで瀘渦して再利用する。一方、純水Ｗ２、
Ｗ４，水置換剤Ｗ３の溶液から分離する非水系洗浄液Ｗ
１をオーバーフローパイプ10から回収し、ポンプ５Ａに
よって洗浄槽２へと循環させて再利用している。

【０００９】以上のように、本考案は、分離タンク６内
に洗浄工程で排水される炭化水素を主成分とする非水系
洗浄液Ｗ１と、その非水系洗浄液Ｗ１を濯ぐ純水Ｗ２
と、その純水Ｗ２と置換するイソプロピルアルコールか
ら成る水置換剤Ｗ３を流入させるとともに、これら洗浄
工程後の排水と共に、純水Ｗ４を分離タンク６内に流入
させることによって、分離タンク６中における純水Ｗ
１、Ｗ４の流入量を増大させ、純水Ｗ１、Ｗ４と置換す
る水置換剤Ｗ３を効果的に純水Ｗ１、Ｗ４に溶出させる
ことによって、純水Ｗ１、Ｗ４と水置換剤Ｗ３の溶液と
非水系洗浄液Ｗ１とを確実に分離させて、この溶液から
遊離する非水系洗浄液Ｗ１中への水置換剤Ｗ３の混入を
抑制することができる。したがって、オーバーフローパ
イプ10から回収する非水系洗浄液Ｗ１の成分変化もな
く、これを洗浄槽２へと循環させて洗浄したとしても、
洗浄度の低下を引き起こすことはなく、精密洗浄を行う
ことができる。

【００１０】このように、本考案は、洗浄工程後の排液
と共に、分離タンク６の内部に純水Ｗ４を流入させると
いった極めて簡単な手段によって、高価な非水系洗浄液
Ｗ１の汚濁を防止して、清浄な非水系洗浄液Ｗ１を洗浄
液として再利用することができ、ランニングコストを低
く抑えることができるとともに、被洗浄物１の精密洗浄
を行うことができる。

【００１１】なお、本考案は、前記実施例に限定される
ものではなく、種々の変形実施が可能である。例えば、
洗浄機の配置レイアウトやその構造などは適宜設定すれ
ばよく、また、非水系洗浄液や水置換剤の成分なども適
宜設定すればよい。

【００１２】

【考案の効果】本考案によれば、被洗浄物を洗浄する少
なくとも、水より比重の小さい非水系洗浄液と、この洗
浄液を濯ぐ純水と、この純水を置換する水置換溶剤とを
回収する分離タンクを設け、この分離タンクの上部寄り
設けた給水孔から前記使用済みの洗浄液、純水および水
置換溶剤とは別に純水を流入させ、その純水並び前記濯
ぎ液としての純水と水置換溶剤の溶液を分離タンクの下
部に沈殿させ、その溶液と前記非水系洗浄液とを分離す
るとともに、前記溶液を前記給水孔より低い位置で上端
を開口し、かつ、下端を前記分離タンクの内側底部に開
口する排出パイプでタンク外に排水し、前記非水系洗浄
液は前記排出パイプの上端開口部の上方に開口するオー
バーフローパイプから排水させて前記被洗浄物の洗浄液
として循環させることによって、分離タンクから回収す
る非水系洗浄液の汚濁を防止し、洗浄度を高めることの
できる洗浄機における洗浄液分離装置を提供することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す概略説明図である。

【図２】同、分離タンクの断面図である。

【符号の説明】

１被洗浄物６分離タンク８第１給水孔８Ａ第２給水孔９排水パイプ９Ａ上端開口部９Ｂ下端開口部 10 フローパイプＷ１非水系洗浄液Ｗ２純水Ｗ３水置換剤Ｗ４純水

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) C02F 1/26 B01D 12/00 B08B 3/00 - 3/14 H01L 21/304 341

Claims

(57)【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】被洗浄物を洗浄する少なくとも、水より
比重の小さい非水系洗浄液と、この洗浄液を濯ぐ純水
と、この純水を置換する水置換溶剤とを回収する分離タ
ンクを設け、この分離タンクの上部寄り設けた給水孔か
ら前記使用済みの洗浄液、純水および水置換溶剤とは別
に純水を流入させ、その純水並び前記濯ぎ液としての純
水と水置換溶剤の溶液を分離タンクの下部に沈殿させ、
その溶液と前記非水系洗浄液とを分離するとともに、前
記溶液を前記給水孔より低い位置で上端を開口し、か
つ、下端を前記分離タンクの内側底部に開口する排出パ
イプでタンク外に排水し、前記非水系洗浄液は前記排出
パイプの上端開口部の上方に開口するオーバーフローパ
イプから排水させて前記被洗浄物の洗浄液として循環し
て成ることを特徴とする洗浄機における洗浄液分離装
置。