JP3235608B2 - 洗浄装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、洗浄装置に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば、腕時計の製造を例に取ると、腕
時計を組み立てる前に、各種の腕時計部品を製造する必
要がある。このような腕時計部品の中には、製造途中
で、研磨工程を行う必要のあるものがある。そして、腕
時計部品に対して研磨を行った場合、かかる部品には、
研磨剤が付着することとなる。当然、かかる研磨剤は、
洗浄により、除去される。

【０００３】はるか昔、このような洗浄に用いられる洗
浄液には、トリエタンが使用されていた。しかし、トリ
エタンは、オゾン層を破壊する懸念がでてきたため、使
用されなくなった。

【０００４】そして、トリエタンの代わりに、洗浄液に
は、トリクロロエチレンが用いられるようになった。し
かし、トリクロロエチレンも環境に優しい洗浄液とはい
えず、なるべくなら使用しない方が好ましい。

【０００５】ところが、本発明者の実験から、トリクロ
ロエチレンの代替洗浄液の多くは、洗浄液中に大量の研
磨剤成分を溶解させることができないことが分かった。
したがって、代替洗浄液を用いて洗浄を行った場合、洗
浄液中に溶解しきれなかった研磨剤成分は、大量に洗浄
槽内に沈殿、堆積することとなる。その後の洗浄を円滑
に行うためには、かかる沈殿物を槽内から除去する必要
がある。

【０００６】このような沈殿物を除去する方法として
は、例えば、フィルターを用いて沈殿物を除去する方法
が考えられる。ところが、本発明者の実験から、フィル
ターに代替洗浄液を通過させて沈殿物を除去しようとす
ると、短時間でフィルターが目詰まりを起こしてしまう
ことが分かった。したがって、フィルターを用いて沈殿
物を除去するような方式の洗浄装置は、沈殿物が大量に
生じる場合、実用的でない。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、装置
内の沈殿物を効率よく除去できる洗浄装置を提供するこ
とにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】このような目的は下記
（１）〜（１６）の本発明により達成される。

【０００９】（１）本発明の洗浄装置は、洗浄液でワー
クを洗浄する洗浄槽と、該洗浄槽に通液可能に接続さ
れ、洗浄に供された洗浄液が含有する沈殿成分を沈殿さ
せる沈殿槽と、前記沈殿槽内の圧力を調整する第１圧力
調整手段とを有し、前記第１圧力調整手段により、前記
沈殿槽内部の圧力が減少されて、前記沈殿槽内部と前記
洗浄槽内部との間で圧力差が生じて、前記洗浄槽内の前
記洗浄液が前記沈殿槽内に流入し、前記洗浄液の移動に
伴って、前記洗浄槽内の沈殿物も、前記沈殿槽内に移動
することを特徴とする。

【００１０】（２）また、本発明の洗浄装置は、前記洗
浄槽に通液可能に接続され、前記洗浄槽で洗浄されたワ
ークをリンスするリンス槽を有し、前記洗浄槽内の圧力
を調整する第２圧力調整手段とを有し、前記第２圧力調
整手段により、前記洗浄槽内部の圧力が減少されて、前
記洗浄槽内部と前記リンス槽内部との間で圧力差が生じ
て、前記リンス槽内の洗浄液が、前記洗浄槽内に流入
し、前記洗浄液の移動に伴って、前記リンス槽底部の沈
殿物も、前記洗浄槽内に移動することを特徴とする。

【００１１】（３）さらに、本発明の洗浄装置は、前記
リンス槽の底部近傍は、配管で前記洗浄槽の上部側に接
続されていることを特徴とする。

【００１２】（４）また、本発明の洗浄装置は、前記沈
殿槽に通液可能に接続され、前記洗浄液を再生する再生
器を有することを特徴とする。

【００１３】（５）本発明の洗浄装置は、前記再生器
は、配管で前記沈殿槽の底部近傍に接続されていること
を特徴とする。

【００１４】（６）本発明の洗浄装置は、前記沈殿槽に
通液可能に接続され、前記洗浄液を一時的に貯留するバ
ッファ槽を有することを特徴とする。

【００１５】（７）本発明の洗浄装置は、洗浄液でワー
クを洗浄する洗浄槽と、洗浄に供された洗浄液が含有す
る沈殿成分を沈殿させる沈殿槽と、前記洗浄液を一時的
に貯留するバッファ槽と、前記洗浄液を再生する再生器
と、前記洗浄槽で洗浄されたワークをリンスするリンス
槽とを有する循環ラインと、前記再生器と前記沈殿槽と
を接続するラインとを有することを特徴とする。

【００１６】（８）本発明の洗浄装置は、洗浄液でワー
クを洗浄する洗浄槽と、洗浄に供された洗浄液が含有す
る沈殿成分を沈殿させる沈殿槽と、前記洗浄液を一時的
に貯留するバッファ槽と、前記洗浄液を再生する再生器
と、前記再生器で再生された洗浄液を貯留する貯留槽
と、前記洗浄槽で洗浄されたワークをリンスするリンス
槽とを有する循環ラインと、前記再生器と前記沈殿槽と
を接続するラインとを有することを特徴とする。

【００１７】（９）本発明の洗浄装置は、前記リンス槽
の底部近傍が、配管で前記洗浄槽の上部側に接続されて
いることを特徴とする。

【００１８】（１０）本発明の洗浄装置は、前記再生器
と前記沈殿槽とを接続するラインは、前記沈殿槽の底部
近傍に接続されていることを特徴とする。

【００１９】（１１）本発明の洗浄装置は、前記ワーク
の洗浄時に、前記洗浄液は、前記リンス槽、前記洗浄
槽、前記沈殿槽の順に流れることを特徴とする。

【００２０】（１２）本発明の洗浄装置は、前記ワーク
の洗浄時に、前記ワークは、前記洗浄槽、前記リンス槽
の順に移動することを特徴とする。

【００２１】（１３）本発明の洗浄装置は、前記ワーク
の洗浄時に、前記ワークは、前記洗浄槽、前記リンス槽
の順に移動することを特徴とする。

【００２２】（１４）本発明の洗浄装置は、前記沈殿槽
の底部近傍が、配管で前記洗浄槽の底部近傍に接続され
ていることを特徴とする。

【００２３】（１５）本発明の洗浄装置は、前記洗浄液
は、炭化水素系であることを特徴とする。

【００２４】（１６）本発明の洗浄装置は、前記沈殿
槽、前記洗浄槽、前記リンス槽のうちの少なくとも１つ
は、底部が、水平方向に対して傾斜していることを特徴
とする。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、本発明を添付図面に示す好
適実施形態に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明
の洗浄装置の実施形態を示す回路図である。

【００２６】洗浄装置１は、洗浄液を用いて洗浄対象物
であるワークを洗浄する装置である。同図に示すよう
に、洗浄装置１は、第２圧力調整手段３５が接続された
洗浄槽３と第１圧力調整手段４５が接続された沈殿槽４
とバッファ槽５と再生器６と貯留槽７とリンス槽８と配
管とを有する循環ラインＬ１０と、沈殿槽４に接続され
た廃液ラインＬ４０と、乾燥槽９を有する乾燥ラインＬ
９０と、再生器沈殿槽接続ラインＬ６０と、廃液器１０
を有する第２廃液ラインＬ１００と、リンス槽バッファ
槽接続ラインＬ８０と、洗浄槽沈殿槽第２接続管４９と
で構成されている。以下、これらを各構成要素毎に説明
する。

【００２７】まず、循環ラインＬ１０を中心に説明す
る。循環ラインＬ１０は、洗浄液が通液・循環する主ラ
インである。この循環ラインＬ１０は、前述したよう
に、第２圧力調整手段３５が接続された洗浄槽３と、第
１圧力調整手段４５が接続された沈殿槽４と、バッファ
槽５と、再生器６と、貯留槽７と、リンス槽８と、配管
（洗浄槽沈殿槽接続管３９、沈殿槽バッファ槽接続管４
７、バッファ槽再生器接続管５９、再生器貯留槽接続管
６９、貯留槽リンス槽接続管７９、およびリンス槽洗浄
槽接続管８９）とを有している。

【００２８】洗浄槽（第１洗浄槽）３は、洗浄槽３内に
入れられた（供給された）洗浄液によりワークの洗浄を
行う槽である。この洗浄槽３の上部側には、例えばポン
プ等で構成され、洗浄槽３内の圧力を調整する第２圧力
調整手段３５が、バルブ３６１を備えた配管３６を介し
て接続されている。かかる洗浄槽３内は、例えば密閉可
能となっている。したがって、洗浄槽３内を密閉して、
圧力調整手段３５を作動させることにより、洗浄槽３内
の圧力を変化させることができる。

【００２９】この洗浄槽３の底部３１は、水平方向に対
して傾斜している。すなわち、洗浄槽３の底部３１に
は、深さが漸増するような傾斜が設けられている。この
底部３１の最深部近傍には、バルブ３９１を備え、洗浄
槽３と沈殿槽４とを接続する洗浄槽沈殿槽接続管（配
管）３９の一端（洗浄槽接続口）が接続されている。

【００３０】この洗浄槽沈殿槽接続管（洗浄槽沈殿槽第
１接続管）３９の他端（沈殿槽接続口）は、沈殿槽４の
底部４１近傍に接続されている。すなわち、洗浄槽沈殿
槽接続管３９を介して、洗浄槽３には、沈殿槽４が通液
可能に接続されている。このような洗浄槽沈殿槽接続管
３９では、沈殿槽接続口は、洗浄槽接続口よりも低いと
ころに位置している。

【００３１】沈殿槽４は、洗浄に供された洗浄液等が含
有する沈殿成分を沈殿、堆積させるためなどに用いられ
る。この沈殿槽４の上部側には、例えばポンプ等で構成
され、沈殿槽４内の圧力を調整する圧力調整手段４５
が、バルブ４６１を備えた配管４６を介して接続されて
いる。この沈殿槽４内は、例えば密閉可能となってい
る。したがって、沈殿槽４内を密閉して、圧力調整手段
４５を作動させることにより、沈殿槽４内の圧力を変化
させることができる。

【００３２】この沈殿槽４の底部４１は、水平方向に対
して傾斜している。すなわち、沈殿槽４の底部４１に
は、深さが漸増するような傾斜が設けられている。例え
ば、底部４１の最浅部近傍には、前述した洗浄槽沈殿槽
接続管３９が接続されている。また、底部４１の最深部
近傍には、沈殿槽４の底部４１に沈殿、堆積した沈殿物
を排出する廃液ラインＬ４０が接続されている。なお、
この廃液ラインＬ４０には、バルブ４８１が設けられて
いる。

【００３３】沈殿槽４の上部側には、バルブ４９１を備
えた洗浄槽沈殿槽第２接続管４９の一端（沈殿槽接続
口）が接続されている。この洗浄槽沈殿槽第２接続管４
９の他端（洗浄槽接続口）は、洗浄槽３の上部側に接続
されている。なお、本明細書における槽の「上部側」と
は、例えば、底部よりも高いところを意味する。

【００３４】また、沈殿槽４の上部側には、バルブ４７
１を備え、沈殿槽４とバッファ槽５とを接続する沈殿槽
バッファ槽接続管（配管）４７の一端（沈殿槽接続口）
が接続されている。

【００３５】この沈殿槽バッファ槽接続管４７の他端
（バッファ槽接続口）は、バッファ槽５の上部側に接続
されている。すなわち、沈殿槽バッファ槽接続管４７を
介して、沈殿槽４には、バッファ槽５が通液可能に接続
されている。このバッファ槽５には、洗浄液が一時的に
貯留される。これにより、循環ラインＬ１０内への液の
供給量、循環量を容易に調整できるようになり、洗浄装
置１が有する各槽等で、洗浄液が溢れるのを、好適に防
止することができる。このバッファ槽５の底部５１近傍
には、バルブ５９１を備え、バッファ槽５と再生器６と
を接続するバッファ槽再生器接続管（配管）５９の一端
（バッファ槽接続口）が接続されている。

【００３６】このバッファ槽再生器接続管５９の他端
（再生器接続口）は、再生器６の上部側に接続されてい
る。すなわち、バッファ槽再生器接続管５９を介して、
バッファ槽５には、再生器６が通液可能に接続されてい
る。この再生器６では、洗浄液を蒸留、再生する処理を
行うことができる。この再生器６の上部側には、バルブ
６９１を備え、再生器６と貯留槽７とを接続する再生器
貯留槽接続管（配管）６９の一端（再生器接続口）が接
続されている。

【００３７】この再生器貯留槽接続管６９の他端（貯留
槽接続口）は、貯留槽７の上部側に接続されている。す
なわち、再生器貯留槽接続管６９を介して、再生器６に
は、貯留槽７が、通気、通液可能に接続されている。こ
の貯留槽７には、再生器６で蒸留、再生処理が施された
洗浄液が貯留される。この貯留槽７の上部側には、バル
ブ７９１を備え、貯留槽７とリンス槽８とを接続する貯
留槽リンス槽接続管（配管）７９の一端（貯留槽接続
口）が接続されている。

【００３８】この貯留槽リンス槽接続管７９の他端（リ
ンス槽接続口）は、リンス槽８の上部側に接続されてい
る。すなわち、貯留槽リンス槽接続管７９を介して、貯
留槽７には、リンス槽（第２洗浄槽）８が、通液可能に
接続されている。このリンス槽８では、貯留槽７から供
給された洗浄液を用いて、ワークのリンスが行われる。
もしくは、このリンス槽８で、洗浄槽３で洗浄されたワ
ークの最終洗浄が行われる。このリンス槽８の底部８１
は、水平方向に対して傾斜している。すなわち、リンス
槽８の底部８１には、深さが漸増するような傾斜が設け
られている。この底部８１の最深部近傍には、バルブ８
９１を備え、リンス槽８と洗浄槽３とを接続するリンス
槽洗浄槽接続管（配管）８９の一端（リンス槽接続口）
が接続されている。

【００３９】このリンス槽洗浄槽接続管８９の他端（洗
浄槽接続口）は、洗浄槽３の上部側に接続されている。
すなわち、リンス槽洗浄槽接続管８９を介して、洗浄槽
３には、リンス槽８が通液可能に接続されている。

【００４０】また、リンス槽８は、リンス槽バッファ槽
接続ラインＬ８０を介して、バッファ槽５に通液可能に
接続されている。このリンス槽バッファ槽接続ラインＬ
８０は、バルブ８８１を備えたリンス槽バッファ槽接続
管８８を有しており、このリンス槽バッファ槽接続管８
８の一端（リンス槽接続口）はリンス槽８の上部側に、
他端（バッファ槽接続口）はバッファ槽５の上部側に、
それぞれ接続されている。リンス槽バッファ槽接続ライ
ンＬ８０は、例えば洗浄液の迂回路などとして機能す
る。例えば、バルブ８９１が閉じられている場合、リン
ス槽８内の洗浄液は、オーバーフローして、リンス槽バ
ッファ槽接続ラインＬ８０を通り、バッファ槽５内に流
れる。これにより、リンス槽８で洗浄液が溢れること
が、好適に防止される。

【００４１】このような循環ラインＬ１０では、例え
ば、貯留槽リンス槽接続管７９の貯留槽接続口は、沈殿
槽バッファ槽接続管４７の沈殿槽接続口（またはリンス
槽洗浄槽接続管８９の洗浄槽接続口）よりも高いところ
に位置している。また、例えば、バッファ槽再生器接続
管５９では、バッファ槽接続口は、再生器接続口よりも
高いところに位置している。

【００４２】以下、再生器６に接続された乾燥ラインＬ
９０、再生器沈殿槽接続ラインＬ６０、第２廃液ライン
Ｌ１００について説明する。

【００４３】再生器６には、乾燥ラインＬ９０が接続さ
れている。この乾燥ラインＬ９０は、貯留槽７にも接続
されている。この乾燥ラインＬ９０は、乾燥槽９と、バ
ルブ９９１を備え、再生器６と乾燥槽９とを通気可能に
接続する再生器乾燥槽接続管９９と、バルブ９８１を備
え、乾燥槽９と貯留槽７とを通気（または通液）可能に
接続する乾燥槽貯留槽接続管９８とを有している。再生
器乾燥槽接続管９９の一端（再生器接続口）は、再生器
６の上部側に接続されており、他端（乾燥槽接続口）
は、乾燥槽９の上部側に接続されている。乾燥槽貯留槽
接続管９８の一端（乾燥槽接続口）は、乾燥槽９の底部
側に接続されており、他端（貯留槽接続口）は、貯留槽
７の上部側に接続されている。

【００４４】乾燥槽９は、例えば、内部の圧力を調整す
る手段（ポンプ等（図示せず））、あるいは、内部の温
度を調整する手段（ヒーター等（図示せず））を備えて
おり、これにより、ワークの乾燥を行うことができる。
また、乾燥槽９では、再生器６から供給された洗浄液の
蒸気をワークに接触させることも可能である。これによ
り、ワークに対して仕上リンスを施すこともできる。

【００４５】再生器６には、再生器６と沈殿槽４とを接
続する再生器沈殿槽接続ラインＬ６０が接続されてい
る。この再生器沈殿槽接続ラインＬ６０は、バルブ６８
１を備えた再生器沈殿槽接続管（配管）６８を有してい
る。この再生器沈殿槽接続管６８の一端（再生器接続
口）は、再生器６の底部６１近傍に接続されており、他
端（沈殿槽接続口）は、沈殿槽４の底部４１近傍に接続
されている。

【００４６】再生器６には、第２廃液ラインＬ１００が
接続されている。この第２廃液ラインＬ１００によって
も、再生器６内に溜まった廃液を排出することができ
る。この第２廃液ラインＬ１００は、廃液を貯留する廃
液器１０と、再生器６と廃液器１０とを接続する再生器
廃液器接続管１０９と、廃液器１０の流入側（再生器廃
液器接続管１０９の流路）に設けられたバルブ１０８
と、廃液器１０の流出側に設けられたバルブ１０７とを
有している。

【００４７】なお、洗浄装置１では、上記各配管（ライ
ン）に設けられたバルブの開閉、開放量の設定等を適宜
行うことにより、それぞれの流路の開閉、流速・流量の
調整等を行うことができる。例えば、バッファ槽再生器
接続管５９に設けられたバルブ５９１により、バッファ
槽５から再生器６への洗浄液の供給量、流量を、調整す
ることができる。

【００４８】以下、洗浄装置１の作用（使用方法）を説
明する。 Ｉ．ワーク洗浄 まず、洗浄装置１がワークを洗浄する場合の作用を説明
する。まず、図１に示すように、貯留槽７、リンス槽
８、洗浄槽３、沈殿槽４、バッファ槽５、および再生器
６内に、所定量の洗浄液Ｗを入れておく。

【００４９】そして、バルブ６９１、５９１、４７１、
３９１、８９１、および７９１を所定量開き、再生器６
を作動させる。なお、バルブ４６１、４８１、４９１、
６８１、１０８、１０７、９９１、９８１、８８１およ
び３６１は、閉じておく。

【００５０】これにより、貯留槽７では、貯留槽リンス
槽接続管７９の貯留槽接続口よりも高いところに位置す
る洗浄液Ｗがオーバーフローし、貯留槽リンス槽接続管
７９を通り、リンス槽８内に流入する。リンス槽８内に
流入した洗浄液Ｗの一部はオーバーフローし、リンス槽
洗浄槽接続管８９を通って洗浄槽３内に流入する。洗浄
槽３内に流入した洗浄液Ｗの一部はオーバーフローし、
洗浄槽沈殿槽接続管３９を通って沈殿槽４内に流入す
る。沈殿槽４では、沈殿槽バッファ槽接続管４７の貯留
槽接続口よりも高いところに位置する洗浄液Ｗがオーバ
ーフローし、沈殿槽バッファ槽接続管４７を通り、バッ
ファ槽５内に流入する。バッファ槽５内の洗浄液Ｗは、
高低差により、バッファ槽再生器接続管５９内に所定流
速（流量）で流入し、バッファ槽再生器接続管５９を通
り、再生器６内に、流入する。再生器６内では、洗浄液
Ｗが加熱され、これにより、洗浄液Ｗの一部が気化す
る。この気化した洗浄液Ｗは、再生器貯留槽接続管６９
内に入り、再生器貯留槽接続管６９を通り、貯留槽７内
に入る。このとき、気化した洗浄液Ｗは、再生器貯留槽
接続管６９内および貯留槽７内で冷却され、再び液化す
る。これにより、貯留槽７内には、蒸留再生された洗浄
液Ｗが供給される。

【００５１】このように洗浄液Ｗは、循環ラインＬ１０
内を循環中、貯留槽７から、リンス槽８、洗浄槽３、沈
殿槽４、そしてバッファ槽５へと、オーバーフローによ
り流れることとなる。したがって、洗浄液Ｗの循環時に
は、沈殿槽４内の洗浄液Ｗの液面は、沈殿槽バッファ槽
接続管４７の沈殿槽接続口（またはバッファ槽接続口）
とほぼ対応・一致する。また、洗浄槽３内の洗浄液Ｗの
液面は、沈殿槽４内の洗浄液Ｗの液面とほぼ対応・一致
する。また、リンス槽８内の洗浄液Ｗの液面は、沈殿槽
３内の洗浄液Ｗの液面（またはリンス槽洗浄槽接続管８
９の洗浄槽接続口）とほぼ対応・一致する。さらには、
貯留槽７内の洗浄液Ｗの液面は、貯留槽リンス槽接続管
７９の貯留槽接続口（またはリンス槽接続口）とほぼ対
応・一致する。

【００５２】次に、このように洗浄液Ｗが循環している
際の、ワーク（図示せず）の移動について説明する。洗
浄対象物であるワークは、まず、洗浄槽３内に入れられ
る。この洗浄槽３内で、ワークは、洗浄液Ｗにより洗浄
され、ワークに付いた汚れが落とされる。

【００５３】洗浄槽３で洗浄が終了したワークは、洗浄
槽３内から引き上げられ、リンス槽８内に移動する。こ
のリンス槽８内で、ワークは、洗浄液Ｗによりリンスさ
れる。また、このとき、洗浄槽３内で完全に落としきれ
なかった汚れがワークに付着していた場合でも、かかる
汚れは、リンス槽８内の洗浄液Ｗにより落とされる。す
なわち、リンス槽８内で、ワークは最終洗浄が行われる
場合もある。

【００５４】リンス槽８内でリンスが終了したワーク
は、乾燥槽９内に入れられる。ワークを乾燥槽９内に入
れた後、例えば、バルブ９９１および９８１を開けるこ
とにより、蒸気状の洗浄液Ｗを再生器６から乾燥槽９内
に供給することができる。これにより、蒸気状の洗浄液
Ｗをワークに接触させて、ワークの仕上リンスを行うこ
ともできる。その後、乾燥槽９内を減圧、加熱等するこ
とにより、ワークを乾燥させる。

【００５５】その後、ワークを乾燥槽９から取り出すこ
とにより、洗浄、リンス、および乾燥が施されたワーク
を得ることができる。

【００５６】このように洗浄装置１を稼動させると、再
生器６で蒸留、再生されたきれいな洗浄液Ｗは、貯留槽
７→リンス槽８→洗浄槽３→沈殿槽４と流れる。これに
対し、ワークは、洗浄槽３→リンス槽８と移動する。し
たがって、ワークは、洗浄槽３で洗浄された後、リンス
槽８でよりきれいな洗浄液Ｗと接触することとなる。こ
のため、ワークは、洗浄槽３で洗浄された後、リンス槽
８で、さらに清浄化されることとなる。

【００５７】このようなリンス槽８では、貯留槽リンス
槽接続管７９がリンス槽８の上部側に、リンス槽洗浄槽
接続管８９がリンス槽８の底部８１近傍にそれぞれ接続
されているため、洗浄液Ｗは、リンス槽８の上部側から
流入し底部８１側から流出することとなる。すなわち、
リンス槽８では、洗浄液Ｗは、基本的に上部側から底部
８１側へ流れる。したがって、ワークをリンスすること
により生じた沈殿成分などは、比較的速やかに底部８１
に沈殿することとなる。このため、ワークには沈殿成分
が付着しにくく、ワークは、清浄な状態が好適に保たれ
る。

【００５８】また、洗浄槽３では、リンス槽洗浄槽接続
管８９が洗浄槽３の上部側に、洗浄槽沈殿槽接続管３９
が洗浄槽３の底部３１近傍にそれぞれ接続されているた
め、洗浄液Ｗは、洗浄槽３の上部側から流入し底部３１
側から流出することとなる。すなわち、洗浄液Ｗは、基
本的に洗浄槽３の上部側から底部３１側へ流れることと
なる。したがって、ワークを洗浄することにより生じた
沈殿成分などは、比較的速やかに底部３１に沈殿するこ
ととなる。このため、ワークには沈殿成分が付着しにく
く、ワークは、清浄な状態が好適に保たれる。

【００５９】さらには、洗浄槽沈殿槽接続管３９の沈殿
槽接続口は、洗浄槽接続口よりも低いところに位置して
いる。このため、洗浄槽３の底部３１に堆積した沈殿物
Ｐの一部は、洗浄液Ｗの流れに乗じて沈殿槽４内に、円
滑に移動する。ゆえに、洗浄装置１が稼動しているとき
に、洗浄槽３の底部に沈殿物Ｐが大量に溜まることが防
止される。これにより、洗浄槽３では、洗浄液Ｗが大幅
に汚れるのを防止することができる。

【００６０】沈殿槽バッファ槽接続管４７１の沈殿槽接
続口は沈殿槽４の上部側に設けられているため、底部４
１近傍から沈殿槽４内に流入した洗浄液Ｗは、沈殿槽４
の上部側から流出することとなる。すなわち、沈殿槽４
内では、洗浄液Ｗは、基本的に底部４１側から上部側に
移動する。この間に、洗浄液Ｗが含有する沈殿成分は、
好適に底部４１に沈殿、堆積することとなる。そして、
沈殿槽４からは、洗浄液Ｗの上澄み部分が流出すること
となる。このため、バッファ槽５内には、沈殿物が好適
に除去された洗浄液Ｗが流入することとなる。

【００６１】このような洗浄装置１では、沈殿槽バッフ
ァ槽接続管４７のバッファ槽接続口がバッファ槽５の上
部側、特にバッファ槽５内の洗浄液Ｗの液面（通常時）
よりも高いところに接続されているので、バッファ槽５
内から沈殿槽４内に洗浄液Ｗが逆流することが好適に防
止される。

【００６２】このように洗浄装置１を稼動させると、洗
浄槽３および沈殿槽４内には、沈殿物Ｐが堆積すること
となる。また、リンス槽８内にも、若干量であるが、沈
殿物Ｐが堆積することとなる。さらには、洗浄装置１の
稼動中に、バッファ槽５内にも若干量であるが沈殿物Ｐ
が生じる。このバッファ槽５内の沈殿物Ｐは、バッファ
槽再生器接続管５９が底部５１に接続され、かつバッフ
ァ槽再生器接続管５９のバッファ槽接続口が再生器接続
口よりも高いところに位置しているので、稼動時（また
は始動時）の循環ラインＬ１０の流れに乗り、バッファ
槽再生器接続管５９内に流入し、バッファ槽再生器接続
管５９内を移動し、再生器６内に流入する。また、再生
器６で洗浄液Ｗの再生処理を行うことによっても、沈殿
物Ｐが生じ得る。このため、再生器６内にも、若干量、
沈殿物Ｐが堆積する。

【００６３】したがって、洗浄装置１を好適な状態に維
持し、円滑に稼動させるためには、沈殿物Ｐを各槽（洗
浄槽３、リンス槽８、および再生器６、さらには沈殿槽
４）から除去する必要がある。かかる沈殿物Ｐは、洗浄
装置１では、以下のようにして除去することができる。

【００６４】II．沈殿物除去 以下、洗浄装置１の各槽（洗浄槽３、沈殿槽４、リンス
槽８および再生器６）内に沈殿、堆積した沈殿物Ｐの除
去方法について説明する。

【００６５】概略としては、洗浄槽３および再生器６内
に堆積した沈殿物Ｐを沈殿槽４内に集め、この集めた沈
殿物Ｐを廃液ラインＬ４０から排出することにより、洗
浄装置１の各槽内に沈殿、堆積した沈殿物Ｐを排出す
る。また、リンス槽８内に堆積した沈殿物Ｐは、洗浄槽
３内に移動させる。この沈殿物Ｐは、次回の沈殿物除去
操作（次のバッチ）で、洗浄装置１内から除去されるこ
ととなる。このような沈殿物Ｐの各槽間の移送は、移送
元の槽内と移送先の槽内との間で圧力差を作り出す（設
ける）ことによりなされる。

【００６６】（１）洗浄槽３内の沈殿物Ｐの除去 まず、バルブ３９１、４６１以外の沈殿槽４に接続され
た配管のバルブ（バルブ４７１、４８１、４９１および
６８１）を全て閉じる。また、洗浄槽３は、開放状態
（密閉状態でない状態）にしておく。

【００６７】次に、バルブ４６１（および３９１）を開
き、第１圧力調整手段４５を作動させ、沈殿槽４上部側
の空気を配管４６から排出し、沈殿槽４内の圧力を減少
させる（減圧する）。

【００６８】沈殿槽４内の圧力（沈殿槽４内上部側の空
間の圧力）が減少すると、沈殿槽４内の洗浄液Ｗの液面
が上昇する。この液面の上昇に伴い、洗浄槽３内の洗浄
液Ｗが、洗浄槽沈殿槽接続管３９を通り、沈殿槽４内に
流入する。このとき、洗浄液Ｗの移動に伴って、洗浄槽
３の底部３１に堆積した沈殿物Ｐも、沈殿槽４内に移動
する。

【００６９】これにより、図２に示すように、洗浄槽３
内の沈殿物Ｐは、沈殿槽４内に移送され、洗浄槽３から
は沈殿物Ｐが除去される。また、洗浄槽３内の洗浄液Ｗ
の液面は、低下する。最後に、バルブ３９１を閉じる。

【００７０】このように洗浄槽３内の沈殿物Ｐを除去す
る場合、沈殿物Ｐの量によっても若干異なるが、例え
ば、洗浄槽３内の洗浄液Ｗの３割以上を沈殿槽４内に移
動させると、洗浄槽３内の沈殿物Ｐをより効果的に除去
できる。

【００７１】また、洗浄槽３のように、底部３１が水平
方向に対して傾斜しており、洗浄槽沈殿槽接続管３９が
底部３１の最深部近傍に接続されていると、洗浄槽３内
の沈殿物Ｐは、より効率よく除去されるようになる。こ
れは、沈殿物Ｐが、重力により洗浄槽３の最深部付近ま
で好適に移動し、この最深部付近から、沈殿物Ｐは、洗
浄槽沈殿槽接続管３９内に好適に流入するようになるた
めである。さらには、洗浄槽沈殿槽接続管３９の沈殿槽
接続口が洗浄槽接続口よりも低いところに位置している
と、沈殿物Ｐの移動効率が増大する。

【００７２】なお、洗浄槽３内の洗浄液Ｗ、沈殿物Ｐ
は、例えば、第２圧力調整手段３５で洗浄槽３内を加圧
することにより、沈殿槽４内に移動させてもよい。

【００７３】（２）リンス槽８内の沈殿物Ｐの除去 まず、バルブ８９１、３６１以外の洗浄槽３に接続され
た配管のバルブ（バルブ３９１および４９１）を全て閉
じる。また、リンス槽８は、開放状態（密閉状態でない
状態）にしておく。

【００７４】次に、バルブ３６１（および８９１）を開
き、第２圧力調整手段３５を作動させ、洗浄槽３上部側
の空気を配管３６から排出し、洗浄槽３内の圧力を減少
させる（減圧する）。

【００７５】洗浄槽３内の圧力（洗浄槽３内上部側の空
間の圧力）が減少すると、リンス槽洗浄槽接続管８９内
の洗浄液Ｗがリンス槽８内に流入する。この流入に伴
い、リンス槽８内の洗浄液Ｗが、リンス槽洗浄槽接続管
８９内に流入し、リンス槽洗浄槽接続管８９を通り、洗
浄槽３内に流入する。このとき、洗浄液Ｗの移動に伴っ
て、リンス槽８の底部８１に堆積した沈殿物Ｐも、洗浄
槽３内に移動する。

【００７６】これにより、図３に示すように、リンス槽
８内の沈殿物Ｐは、洗浄槽３内に移送され、リンス槽８
からは沈殿物Ｐが除去される。また、リンス槽８内の洗
浄液Ｗの液面は、低下する。また、洗浄槽３内の洗浄液
Ｗの液面は、上昇する。最後に、バルブ８９１を閉じ
る。

【００７７】このようにリンス槽８内の沈殿物Ｐを除去
する場合、沈殿物Ｐの量によっても若干異なるが、例え
ば、リンス槽８内の洗浄液Ｗの１割以上を洗浄槽３内に
移動させると、リンス槽８内の沈殿物Ｐをより効果的に
除去できる。また、リンス槽８の底部８１が水平方向に
対して傾斜しており、リンス槽洗浄槽接続管８９が底部
８１の最深部近傍に接続されていると、前記と同様の効
果が得られる。

【００７８】なお、リンス槽８内の洗浄液Ｗ、沈殿物Ｐ
は、例えばリンス槽８に、同槽内の圧力を調整する手段
を付加する構成とし、この手段により、リンス槽８を加
圧することにより、洗浄槽３内に移動させても良い。

【００７９】（３）再生器６内の沈殿物Ｐの除去 まず、バルブ６８１、４６１以外の沈殿槽４に接続され
た配管のバルブ（バルブ４７１、４８１、４９１および
３９１）を全て閉じる。また、再生器６は、開放状態
（密閉状態でない状態）にしておく。

【００８０】次に、バルブ４６１（および６８１）を開
き、第１圧力調整手段４５を作動させ、沈殿槽４上部側
の空気を配管４６から排出し、沈殿槽４内の圧力を減少
させる（減圧する）。

【００８１】沈殿槽４内の圧力（沈殿槽４内上部側の空
間の圧力）が減少すると、沈殿槽４内の洗浄液Ｗの液面
が上昇する。この液面の上昇に伴い、再生器６内の洗浄
液Ｗが、再生器沈殿槽接続管６８を通り、沈殿槽４内に
流入する。このとき、洗浄液Ｗの移動に伴って、再生器
６の底部６１に堆積した沈殿物Ｐも、沈殿槽４内に移動
する。

【００８２】これにより、図４に示すように、再生器６
内の沈殿物Ｐは、沈殿槽４内に移送され、再生器３から
は沈殿物Ｐが除去される。また、再生器６内の洗浄液Ｗ
の液面は、低下する（図示の例では、再生器６内の全て
の洗浄液Ｗが再生器６内から流出している）。最後に、
バルブ６８１を閉じる。

【００８３】このように再生器６内の沈殿物Ｐを除去す
る場合、沈殿物Ｐの量によっても若干異なるが、例え
ば、再生器６内の洗浄液Ｗの５割以上を沈殿槽４内に移
動させると、再生器６内の沈殿物Ｐをより効果的に除去
できる。また、再生器沈殿槽接続管６８が再生器６の底
部６１近傍に接続されていると、前記と同様の効果が得
られる。さらには、再生器６が沈殿槽４よりも下方に配
置されている場合、再生器沈殿槽接続管６８が沈殿槽４
の底部４１近傍に接続されていると、沈殿槽４の底部４
１よりも上方に接続されている状態よりも、両槽の高低
差を減らすことができるため、第１圧力調整手段４５に
よる再生器６から沈殿槽４への洗浄液の流入を効率的に
行うことができる。

【００８４】（４）沈殿槽４内の沈殿物Ｐの除去 沈殿槽４内に沈殿物Ｐを集めたら、図５に示すように、
廃液ラインＬ４０に設けられたバルブ４８１を開く。こ
れにより、沈殿槽４の底部４１付近の洗浄液Ｗは、廃液
ラインＬ４０へ流出する。このとき、洗浄液Ｗの流出に
伴って、底部４１に堆積した沈殿物も、廃液ラインＬ４
０へ流出する。これにより、洗浄装置１内から、沈殿物
Ｐが排出される。

【００８５】このとき、沈殿槽４内に沈殿物Ｐを集める
操作を行ってから、好ましくは１時間以上、より好まし
くは８時間以上経過した後、沈殿槽４内の沈殿物Ｐを除
去することが好ましい。これにより、洗浄液Ｗ内の沈殿
成分がより多量に底部４１に沈降、堆積するようにな
り、より多量の沈殿物Ｐを排出できるようになる。これ
に対応して、洗浄液Ｗ中の不純物も減少する。また、廃
液ラインＬ４０が底部４１の最深部近傍に接続されてい
ると、沈殿物Ｐを、より効率よく排出できるようにな
る。

【００８６】なお、各層の沈殿物Ｐの移送は、上述した
順番（１）、（２）、（３）の通りに行わなくてもよ
い。ただし、洗浄槽３内の洗浄液Ｗを沈殿槽４内に移動
させてからリンス槽８内の沈殿物Ｐを洗浄槽３内に移送
させると、リンス槽８内の洗浄液Ｗを洗浄槽３内に十分
量容易に移動させることができるようになる。これに伴
い、リンス槽８内の沈殿物Ｐも、好適に洗浄槽３内に移
送できるという利点が得られる。

【００８７】III．その他 前記沈殿物除去操作を行った後、例えばバルブ４９１を
開くと、沈殿槽４の上部側の洗浄液Ｗが、洗浄槽３内に
移動する。これにより、洗浄槽３内に洗浄液Ｗを供給す
ることができる。かかる洗浄液Ｗは、洗浄液Ｗ中の沈殿
成分が沈降した上澄みであり、不純物が少ない。したが
って、かかる洗浄液Ｗを洗浄槽３に供給すると、ワーク
の洗浄を好適に行えるようになる。

【００８８】なお、例えば再生器６を長期間稼動させた
場合、再生器６内で不純物（不揮発性または高沸点性不
純物）が濃縮され、洗浄液Ｗが多量の不純物を含有する
ようになる場合がある。この場合、例えば、再生器６内
で洗浄液Ｗを煮詰め、不純物を濃縮して、その後、バル
ブ１０８を開き、再生器６内の洗浄液Ｗを廃液器１０内
に排出することができる。

【００８９】このような洗浄装置１では、配管の途中
に、沈殿物を除去するフィルターを設ける必要がなくな
る。したがって、フィルターの目詰まりにより装置の稼
動に支障を来たすようなことが、好適に防止される。ま
た、このような洗浄装置１では、循環ラインＬ１０の途
中に、ポンプを設ける必要がない。このため、配管内を
沈殿物が移動する際に、かかる沈殿物が配管途中のポン
プにダメージを与えるおそれもなくなる。

【００９０】本発明の洗浄装置１は、このような利点を
有しているので、洗浄等により多量の沈殿物が生じるよ
うなワーク、洗浄液、洗浄条件等を選択しても、円滑に
稼動することができる。

【００９１】したがって、例えば、ナフサ系、イソパラ
フィン系、ピロリドン系、テルペン系等の炭化水素系洗
浄液など、比較的沈殿物を生じさせやすい洗浄液を用い
ても、円滑に洗浄装置１を稼動させることができる。ま
た、これにより、多数のワークの洗浄を、好適に連続し
て行うことができる。

【００９２】そして、このような炭化水素系洗浄液を用
いると、水系洗浄液と異なり、廃水処理設備を設ける必
要がなくなる。このため、洗浄装置の設備を簡易なもの
とすることができる。また、炭化水素系洗浄液は、蒸留
再生等により洗浄液のリサイクルが容易である（前述し
た再生器６）。このため、洗浄液を繰り返し使用するこ
とができるようになり、洗浄液の有効利用を図れる。し
かも、炭化水素系洗浄液は、塩素系洗浄液等に比べて、
自然環境に対して比較的悪影響を及ぼしにくい。このよ
うな性質を炭化水素系洗浄液は有しているため、本発明
で用いる洗浄液に炭化水素系洗浄液を使用すれば、廃液
による自然環境の汚染等を防止しつつ、ワークの洗浄を
行うことができる。

【００９３】また、本発明の洗浄装置１を用いれば、洗
浄液に溶解しにくい汚れ（例えば研磨剤など）が多く付
着しているようなワーク（例えば時計の部品等）の洗浄
を、好適に行うことができる。

【００９４】なお、本発明に用いられる洗浄液には、上
述した炭化水素系洗浄液以外にも、例えば、塩素系、代
替フロン系、アルコール系、テルペン系、シリコーン系
等の他の溶剤系洗浄液も好適に用いることができる。さ
らには、本発明には、例えば、高級アルコール系、炭化
水素＋界面活性剤＋エーテル等の準水系洗浄液、純水、
アルカリ水溶液、界面活性剤水溶液等の水系洗浄液な
ど、溶剤系洗浄液以外のいずれの洗浄液を用いてもよ
い。

【００９５】以上、本発明を好適実施形態に基づいて説
明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例
えば、洗浄槽３、沈殿槽４、リンス槽８の底部は、傾斜
していなくてもよい。また、例えば、洗浄槽沈殿槽接続
管３９、再生器沈殿槽接続管６８等は、沈殿槽４の底部
４１近傍に接続されていなくてもよい。また、例えば、
洗浄液は、オーバーフロー以外の他の方法により、循環
ラインＬ１０内を、通液、循環させてもよい。

【００９６】

【実施例】図１に示すような洗浄装置を製造した。な
お、リンス槽の容量は８０Ｌ、洗浄槽の容量は８０Ｌ、
沈殿槽の容量は１２０Ｌ、バッファ槽の容量は５０Ｌ、
再生器の容量は８０Ｌ、貯留槽の容量は４０Ｌとした。
そして、この洗浄装置を用いて、以下のようにして、多
量の研磨剤が付着した腕時計部品（ワーク）に対して、
洗浄、リンス、乾燥を施した。

【００９７】まず、洗浄液を循環ライン内で循環させた
（前述参照）。洗浄液には、ソルベントナフサ系（炭化
水素系）洗浄液（昭和電工社製「ソルファインＴＭ」）
を用いた。

【００９８】そして、前述したようにして、腕時計部品
の洗浄、リンス、乾燥を行った。このとき、１回のバッ
チで、腕時計部品を６０個処理した。すなわち、腕時計
部品６０個を一単位（ひとまとまり）として、腕時計部
品に対して洗浄、リンス、乾燥の操作をそれぞれ行っ
た。

【００９９】さらには、洗浄装置を連続稼動させて、こ
のようなバッチを５００回行った。すなわち、１００単
位の腕時計部品を、洗浄、リンス、乾燥した。このよう
に洗浄装置を稼動させたところ、洗浄槽および沈殿槽内
に多量の沈殿物が堆積した。また、リンス槽および再生
器内に少量の沈殿物が堆積した。

【０１００】そこで、前記（１）〜（４）で述べたよう
にしてかかる沈殿物の除去を行った。まず、沈殿槽内を
減圧にして、洗浄槽内の洗浄液を４分の３程度沈殿槽内
に移動させた。次に、洗浄槽内を減圧にして、リンス槽
内の洗浄液を半分程度洗浄槽内に移動させた。次に、沈
殿槽内を減圧にして、再生器（蒸留再生器）内の液をほ
ぼ全部沈殿槽内に移動させた。次に、この状態で８時間
洗浄装置を停止させて、沈殿槽内に沈殿物を堆積させ
た。その後、沈殿槽内に堆積した沈殿物を、廃液ライン
から排出した。

【０１０１】その結果、沈殿物を廃液ラインから好適に
排出することができ、５kgもの沈殿物を回収できた。さ
らには、各槽の底部を肉眼により確認したところ、リン
ス槽、沈殿槽、再生器内では、沈殿物がほとんど除去さ
れていた。また、洗浄槽内でも、リンス槽から移送され
た沈殿物が少量沈殿していただけであり、洗浄により洗
浄槽内に沈殿、堆積した沈殿物は、ほとんど除去されて
いたことが確認された。

【０１０２】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、装
置内の沈殿物を効率よく除去できる洗浄装置を提供する
ことができる。したがって、洗浄を行う際の洗浄液の選
択の幅が広がり、自然環境を汚染しにくい洗浄液、人体
に対する毒性が低い洗浄液等を容易に選択することがで
きるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の洗浄装置の実施形態を示す回路図であ
る。

【図２】本発明の洗浄装置の実施形態を示す回路図であ
る。

【図３】本発明の洗浄装置の実施形態を示す回路図であ
る。

【図４】本発明の洗浄装置の実施形態を示す回路図であ
る。

【図５】本発明の洗浄装置の実施形態を示す回路図であ
る。

【符号の説明】

１ 洗浄装置 Ｌ１０ 循環ライン ３ 洗浄槽 ３１ 底部 ３５ 第２圧力調整手段 ３６ 配管 ３６１ バルブ ３９ 洗浄槽沈殿槽接続管 ３９１ バルブ ４ 沈殿槽 ４１ 底部 ４５ 第１圧力調整手段 ４６ 配管 ４６１ バルブ ４７ 沈殿槽バッファ槽接続管 ４７１ バルブ ４８１ バルブ ４９ 洗浄槽沈殿槽第２接続管 ４９１ バルブ Ｌ４０ 廃液ライン ５ バッファ槽 ５９ バッファ槽再生器接続管 ５９１ バルブ ６ 再生器 ６１ 底部 ６９ 再生器貯留槽接続管 ６９１ バルブ Ｌ６０ 再生器沈殿槽接続ライン ６８ 再生器沈殿槽接続管 ６８１ バルブ ７ 貯留槽 ７９ 貯留槽リンス槽接続管 ７９１ バルブ ８ リンス槽 ８１ 底部 ８９ リンス槽洗浄槽接続管 ８９１ バルブ Ｌ８０ リンス槽バッファ槽接続ライン ８８ リンス槽バッファ槽接続管 ８８１ バルブ Ｌ９０ 乾燥ライン ９ 乾燥槽 ９８ 乾燥槽貯留槽接続管 ９８１ バルブ ９９ 再生器乾燥槽接続管 ９９１ バルブ Ｌ１００ 第２廃液ライン １０ 廃液器 １０９ 再生器廃液器接続管 １０７、１０８ バルブ Ｐ 沈殿物 Ｗ 洗浄液

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−172579（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−290008（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−310686（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−136604（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−91516（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−164988（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B08B 3/00 - 3/14 B01D 21/24

Claims (16)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 洗浄液でワークを洗浄する洗浄槽と、 該洗浄槽に通液可能に接続され、 洗浄に供された洗浄液が含有する沈殿成分を沈殿させる
   沈殿槽と、 前記沈殿槽内の圧力を調整する第１圧力調整手段とを有
   し、 前記第１圧力調整手段により、前記沈殿槽内部の圧力が
   減少されて、 前記沈殿槽内部と前記洗浄槽内部との間で圧力差が生じ
   て、 前記洗浄槽内の前記洗浄液が前記沈殿槽内に流入し、 前記洗浄液の移動に伴って、前記洗浄槽内の沈殿物も、
   前記沈殿槽内に移動することを特徴とする洗浄装置。
2. 【請求項２】 請求項１において、前記洗浄槽に通液可
   能に接続され、 前記洗浄槽で洗浄されたワークをリンスするリンス槽を
   有し、 前記洗浄槽内の圧力を調整する第２圧力調整手段とを有
   し、 前記第２圧力調整手段により、前記洗浄槽内部の圧力が
   減少されて、 前記洗浄槽内部と前記リンス槽内部との間で圧力差が生
   じて、 前記リンス槽内の洗浄液が、前記洗浄槽内に流入し、 前記洗浄液の移動に伴って、前記リンス槽底部の沈殿物
   も、前記洗浄槽内に移動することを特徴とする洗浄装
   置。
3. 【請求項３】請求項２において、前記リンス槽の底部近
   傍は、配管で前記洗浄槽の上部側に接続されていること
   を特徴とする洗浄装置。
4. 【請求項４】請求項１〜３のいずれかにおいて、前記沈
   殿槽に通液可能に接続され、前記洗浄液を再生する再生
   器を有することを特徴とする記載の洗浄装置。
5. 【請求項５】請求項４において、前記再生器は、配管で
   前記沈殿槽の底部近傍に接続されていることを特徴とす
   る洗浄装置。
6. 【請求項６】請求項１〜５のいずれかにおいて、前記沈
   殿槽に通液可能に接続され、前記洗浄液を一時的に貯留
   するバッファ槽を有することを特徴とする洗浄装置。
7. 【請求項７】請求項１〜６のいずれかにおいて、 洗浄液でワークを洗浄する洗浄槽と、 洗浄に供された洗浄液が含有する沈殿成分を沈殿させる
   沈殿槽と、 前記洗浄液を一時的に貯留するバッファ槽と、 前記洗浄液を再生する再生器と、 前記洗浄槽で洗浄されたワークをリンスするリンス槽と
   を有する循環ラインと、 前記再生器と前記沈殿槽とを接続するラインとを有する
   ことを特徴とする洗浄装置。
8. 【請求項８】請求項１〜７のいずれかにおいて、 洗浄液でワークを洗浄する洗浄槽と、 洗浄に供された洗浄液が含有する沈殿成分を沈殿させる
   沈殿槽と、 前記洗浄液を一時的に貯留するバッファ槽と、 前記洗浄液を再生する再生器と、 前記再生器で再生された洗浄液を貯留する貯留槽と、 前記洗浄槽で洗浄されたワークをリンスするリンス槽と
   を有する循環ラインと、 前記再生器と前記沈殿槽とを接続するラインとを有する
   ことを特徴とする洗浄装置。
9. 【請求項９】請求項７または８において、前記リンス槽
   の底部近傍が、配管で前記洗浄槽の上部側に接続されて
   いることを特徴とする洗浄装置。
10. 【請求項１０】請求項７〜９のいずれかにおいて、前記
    再生器と前記沈殿槽とを接続するラインは、前記沈殿槽
    の底部近傍に接続されていることを特徴とする洗浄装
    置。
11. 【請求項１１】請求項７〜１０のいずれかにおいて、前
    記ワークの洗浄時に、前記洗浄液は、前記リンス槽、前
    記洗浄槽、前記沈殿槽の順に流れることを特徴とする洗
    浄装置。
12. 【請求項１２】請求項７〜１１のいずれかにおいて、前
    記ワークの洗浄時に、前記ワークは、 前記洗浄槽、前
    記リンス槽の順に移動することを特徴とする洗浄装置。
13. 【請求項１３】請求項６〜１２のいずれかにおいて、前
    記バッファ槽は、配管で前記沈殿槽の上部側に接続され
    ているのことを特徴とする洗浄装置。
14. 【請求項１４】請求項１〜１３のいずれかにおいて、前
    記沈殿槽の底部近傍が、配管で前記洗浄槽の底部近傍に
    接続されていることを特徴とする洗浄装置。
15. 【請求項１５】 請求項１〜１４のいずれかにおいて、
    前記洗浄液は、炭化水素系であることを特徴とする洗浄
    装置。
16. 【請求項１６】 請求項１〜１５のいずれかにおいて、
    前記沈殿槽、前記洗浄槽、前記リンス槽のうちの少なく
    とも１つは、底部が、水平方向に対して傾斜しているこ
    とを特徴とする洗浄装置。