JP3235609B2 - 沈殿物の除去方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、沈殿物の除去方法
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば、腕時計の製造を例に取ると、腕
時計を組み立てる前に、各種の腕時計部品を製造する必
要がある。このような腕時計部品の中には、製造途中
で、研磨工程を行う必要のあるものがある。そして、腕
時計部品に対して研磨を行った場合、かかる部品には、
研磨剤が付着することとなる。当然、かかる研磨剤は、
洗浄により、除去される。

【０００３】はるか昔、このような洗浄に用いられる洗
浄液には、トリエタンが使用されていた。しかし、トリ
エタンは、オゾン層を破壊する懸念がでてきたため、使
用されなくなった。

【０００４】そして、トリエタンの代わりに、洗浄液に
は、トリクロロエチレンが用いられるようになった。し
かし、トリクロロエチレンも環境に優しい洗浄液とはい
えず、なるべくなら使用しない方が好ましい。

【０００５】ところが、本発明者の実験から、トリクロ
ロエチレンの代替洗浄液の多くは、洗浄液中に大量の研
磨剤成分を溶解させることができないことが分かった。
したがって、代替洗浄液を用いて洗浄を行った場合、洗
浄液中に溶解しきれなかった研磨剤成分は、大量に洗浄
槽内に沈殿、堆積することとなる。その後の洗浄を円滑
に行うためには、かかる沈殿物を槽内から除去する必要
がある。

【０００６】このような沈殿物を除去する方法として
は、例えば、フィルターを用いて沈殿物を除去する方法
が考えられる。ところが、本発明者の実験から、フィル
ターに代替洗浄液を通過させて沈殿物を除去しようとす
ると、短時間でフィルターが目詰まりを起こしてしまう
ことが分かった。したがって、フィルターを用いて沈殿
物を除去するような方法は、沈殿物が大量に生じる場
合、実用的でない。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、装置
内の沈殿物を効率よく除去できる沈殿物の除去方法を提
供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】このような目的は、下記
（１）〜（９）の本発明により達成される。

【０００９】（１）本発明の沈殿物の除去方法は、処理
液でワークの処理を行う第１の槽と、前記第１の槽に接
続された第２の槽とを有するワーク処理装置内の沈殿物
を除去する沈殿物の除去方法であって、前記第２の槽内
部の圧力を調整する第１圧力調整手段を有し、前記第１
圧力調整手段により、前記第２の槽内部と前記第１の槽
内部との間で圧力差を生じるように、前記第２の槽内部
の圧力を減少させて、前記第１の槽内の前記処理液を前
記第２の槽内に流入させ、かつ、前記処理液の移動に伴
って、前記第１の槽内の沈殿物も、前記第２の槽内に移
動させることを特徴とする。

【００１０】（２）また、本発明の沈殿物の除去方法
は、処理液でワークの処理を行う第１の槽と、前記第１
の槽に接続された第２の槽とを有するワーク処理装置内
の沈殿物を除去する沈殿物の除去方法であって、前記第
１の槽内の圧力を調整する第２圧力調整手段とを有し、
前記第２圧力調整手段により、前記第２の槽内部と前記
第１の槽内部との間で圧力差が生じるように、前記第１
の槽内部の圧力を加圧させて、前記第１の槽内の前記処
理液を前記第２の槽内に流入させ、かつ、前記処理液の
移動に伴って、前記第１の槽内の沈殿物も、前記第２の
槽内に移動させることを特徴とする。

【００１１】（３）さらに、本発明の沈殿物の除去方法
は、前記ワーク処理装置は、前記第１の槽に接続され、
前記第１の槽で処理されたワークにさらなる処理を行う
第３の槽を有し、前記第１の槽内の圧力を調整する第２
圧力調整手段とを有し、前記第２圧力調整手段により、
前記第１の槽内部と前記第３の槽内部との間で圧力差が
生じるように、前記第１の槽内部の圧力を減少させて、
前記第３の槽内の処理液が、前記第１の槽内に流入さ
せ、かつ、前記処理液の移動に伴って、前記第３の槽底
部の沈殿物も、前記第１の槽内に移動させることを特徴
とする。

【００１２】（４）また、本発明の沈殿物の除去方法
は、前記ワーク処理装置は、前記第２の槽に接続され、
前記ワークの処理に用いられた処理液を再生する第４の
槽を有し、前記前記第１圧力調整手段により、前記第４
の槽内部と前記第２の槽内部との間に圧力差を生じるよ
うに、前記第２の槽内部の圧力を減少させて、前記第４
の槽内の前記処理液を前記第２の槽内に流入させ、か
つ、前記処理液の移動に伴って、前記第４の槽内に堆積
した沈殿物も、前記第２の槽内に移動されることを特徴
とする。

【００１３】（５）また、本発明の沈殿物の除去方法は
前記第１の槽内の前記処理液の０．５割以上を前記第２
の槽内に移動させることを特徴とする。

【００１４】（６）また、本発明の沈殿物の除去方法
は、前記第３の槽内の前記処理液の０．５割以上を前記
第１の槽内に移動させることを特徴とする。

【００１５】（７）また、本発明の沈殿物の除去方法
は、前記第４の槽内の前記処理液の０．５割以上を前記
第２の槽内に移動させることを特徴とする。

【００１６】（８）また、本発明の沈殿物の除去方法
は、前記処理液は、炭化水素系であることを特徴とす
る。

【００１７】（９）また、本発明の沈殿物の除去方法
は、前記ワーク処理装置は洗浄装置であることを特徴と
する。

【００１８】

【００１９】

【００２０】

【００２１】

【００２２】

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明を添付図面に示す好
適実施形態に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明
の洗浄方法を行う洗浄装置の実施形態を示す回路図であ
る。

【００２４】洗浄装置１は、洗浄液を用いて洗浄対象物
であるワークを洗浄する装置である。同図に示すよう
に、洗浄装置（ワーク処理装置）１は、第２圧力調整手
段３５が接続された洗浄槽（第１の槽）３と第１圧力調
整手段４５が接続された沈殿槽（第２の槽）４とバッフ
ァ槽５と再生器（第４の槽）６と貯留槽７とリンス槽
（第３の槽）８と配管とを有する循環ラインＬ１０と、
沈殿槽４に接続された廃液ラインＬ４０と、乾燥槽９を
有する乾燥ラインＬ９０と、再生器沈殿槽接続ラインＬ
６０と、廃液器１０を有する第２廃液ラインＬ１００
と、リンス槽バッファ槽接続ラインＬ８０と、洗浄槽沈
殿槽第２接続管４９とで構成されている。以下、これら
を各構成要素毎に説明する。

【００２５】まず、循環ラインＬ１０を中心に説明す
る。循環ラインＬ１０は、洗浄液が通液・循環する主ラ
インである。この循環ラインＬ１０は、前述したよう
に、第２圧力調整手段３５が接続された洗浄槽３と、第
１圧力調整手段４５が接続された沈殿槽４と、バッファ
槽５と、再生器６と、貯留槽７と、リンス槽８と、配管
（洗浄槽沈殿槽接続管３９、沈殿槽バッファ槽接続管４
７、バッファ槽再生器接続管５９、再生器貯留槽接続管
６９、貯留槽リンス槽接続管７９、およびリンス槽洗浄
槽接続管８９）とを有している。

【００２６】洗浄槽（第１洗浄槽）３は、洗浄槽３内に
入れられた（供給された）洗浄液によりワークの洗浄を
行う（処理液でワークの処理を行う）槽である。この洗
浄槽３の上部側には、例えばポンプ等で構成され、洗浄
槽３内の圧力を調整する第２圧力調整手段３５が、バル
ブ３６１を備えた配管３６を介して接続されている。か
かる洗浄槽３内は、例えば密閉可能となっている。した
がって、洗浄槽３内を密閉して、圧力調整手段３５を作
動させることにより、洗浄槽３内の圧力を変化させるこ
とができる。

【００２７】この洗浄槽３の底部３１は、水平方向に対
して傾斜している。すなわち、洗浄槽３の底部３１に
は、深さが漸増するような傾斜が設けられている。この
底部３１の最深部近傍には、バルブ３９１を備え、洗浄
槽３と沈殿槽４とを接続する洗浄槽沈殿槽接続管（配
管）３９の一端（洗浄槽接続口）が接続されている。

【００２８】この洗浄槽沈殿槽接続管（洗浄槽沈殿槽第
１接続管）３９の他端（沈殿槽接続口）は、沈殿槽４の
底部４１近傍に接続されている。すなわち、洗浄槽沈殿
槽接続管３９を介して、洗浄槽３には、沈殿槽４が通液
可能に接続されている。このような洗浄槽沈殿槽接続管
３９では、沈殿槽接続口は、洗浄槽接続口よりも低いと
ころに位置している。

【００２９】沈殿槽４は、洗浄に供された洗浄液等が含
有する沈殿成分を沈殿、堆積させるためなどに用いられ
る。この沈殿槽４の上部側には、例えばポンプ等で構成
され、沈殿槽４内の圧力を調整する圧力調整手段４５
が、バルブ４６１を備えた配管４６を介して接続されて
いる。この沈殿槽４内は、例えば密閉可能となってい
る。したがって、沈殿槽４内を密閉して、圧力調整手段
４５を作動させることにより、沈殿槽４内の圧力を変化
させることができる。

【００３０】この沈殿槽４の底部４１は、水平方向に対
して傾斜している。すなわち、沈殿槽４の底部４１に
は、深さが漸増するような傾斜が設けられている。例え
ば、底部４１の最浅部近傍には、前述した洗浄槽沈殿槽
接続管３９が接続されている。また、底部４１の最深部
近傍には、沈殿槽４の底部４１に沈殿、堆積した沈殿物
を排出する廃液ラインＬ４０が接続されている。なお、
この廃液ラインＬ４０には、バルブ４８１が設けられて
いる。

【００３１】沈殿槽４の上部側には、バルブ４９１を備
えた洗浄槽沈殿槽第２接続管４９の一端（沈殿槽接続
口）が接続されている。この洗浄槽沈殿槽第２接続管４
９の他端（洗浄槽接続口）は、洗浄槽３の上部側に接続
されている。なお、本明細書における槽の「上部側」と
は、例えば、底部よりも高いところを意味する。

【００３２】また、沈殿槽４の上部側には、バルブ４７
１を備え、沈殿槽４とバッファ槽５とを接続する沈殿槽
バッファ槽接続管（配管）４７の一端（沈殿槽接続口）
が接続されている。

【００３３】この沈殿槽バッファ槽接続管４７の他端
（バッファ槽接続口）は、バッファ槽５の上部側に接続
されている。すなわち、沈殿槽バッファ槽接続管４７を
介して、沈殿槽４には、バッファ槽５が通液可能に接続
されている。このバッファ槽５には、洗浄液が一時的に
貯留される。これにより、循環ラインＬ１０内への液の
供給量、循環量を容易に調整できるようになり、洗浄装
置１が有する各槽等で、洗浄液が溢れるのを、好適に防
止することができる。このバッファ槽５の底部５１近傍
には、バルブ５９１を備え、バッファ槽５と再生器６と
を接続するバッファ槽再生器接続管（配管）５９の一端
（バッファ槽接続口）が接続されている。

【００３４】このバッファ槽再生器接続管５９の他端
（再生器接続口）は、再生器６の上部側に接続されてい
る。すなわち、バッファ槽再生器接続管５９を介して、
バッファ槽５には、再生器６が通液可能に接続されてい
る。この再生器６では、洗浄液を蒸留、再生する処理を
行う（ワークの処理に用いられた処理液を処理する）こ
とができる。この再生器６の上部側には、バルブ６９１
を備え、再生器６と貯留槽７とを接続する再生器貯留槽
接続管（配管）６９の一端（再生器接続口）が接続され
ている。

【００３５】この再生器貯留槽接続管６９の他端（貯留
槽接続口）は、貯留槽７の上部側に接続されている。す
なわち、再生器貯留槽接続管６９を介して、再生器６に
は、貯留槽７が、通気、通液可能に接続されている。こ
の貯留槽７には、再生器６で蒸留、再生処理が施された
洗浄液が貯留される。この貯留槽７の上部側には、バル
ブ７９１を備え、貯留槽７とリンス槽８とを接続する貯
留槽リンス槽接続管（配管）７９の一端（貯留槽接続
口）が接続されている。

【００３６】この貯留槽リンス槽接続管７９の他端（リ
ンス槽接続口）は、リンス槽８の上部側に接続されてい
る。すなわち、貯留槽リンス槽接続管７９を介して、貯
留槽７には、リンス槽（第２洗浄槽）８が、通液可能に
接続されている。このリンス槽８では、貯留槽７から供
給された洗浄液を用いて、ワークのリンスが行われる。
もしくは、このリンス槽８で、洗浄槽３で洗浄されたワ
ークの最終洗浄が行われる。すなわち、リンス槽８で
は、洗浄槽３で処理されたワークに対してさらなる処理
が行われる。このリンス槽８の底部８１は、水平方向に
対して傾斜している。すなわち、リンス槽８の底部８１
には、深さが漸増するような傾斜が設けられている。こ
の底部８１の最深部近傍には、バルブ８９１を備え、リ
ンス槽８と洗浄槽３とを接続するリンス槽洗浄槽接続管
（配管）８９の一端（リンス槽接続口）が接続されてい
る。

【００３７】このリンス槽洗浄槽接続管８９の他端（洗
浄槽接続口）は、洗浄槽３の上部側に接続されている。
すなわち、リンス槽洗浄槽接続管８９を介して、洗浄槽
３には、リンス槽８が通液可能に接続されている。

【００３８】また、リンス槽８は、リンス槽バッファ槽
接続ラインＬ８０を介して、バッファ槽５に通液可能に
接続されている。このリンス槽バッファ槽接続ラインＬ
８０は、バルブ８８１を備えたリンス槽バッファ槽接続
管８８を有しており、このリンス槽バッファ槽接続管８
８の一端（リンス槽接続口）はリンス槽８の上部側に、
他端（バッファ槽接続口）はバッファ槽５の上部側に、
それぞれ接続されている。リンス槽バッファ槽接続ライ
ンＬ８０は、例えば洗浄液の迂回路などとして機能す
る。例えば、バルブ８９１が閉じられている場合、リン
ス槽８内の洗浄液は、オーバーフローして、リンス槽バ
ッファ槽接続ラインＬ８０を通り、バッファ槽５内に流
れる。これにより、リンス槽８で洗浄液が溢れること
が、好適に防止される。

【００３９】このような循環ラインＬ１０では、例え
ば、貯留槽リンス槽接続管７９の貯留槽接続口は、沈殿
槽バッファ槽接続管４７の沈殿槽接続口（またはリンス
槽洗浄槽接続管８９の洗浄槽接続口）よりも高いところ
に位置している。また、例えば、バッファ槽再生器接続
管５９では、バッファ槽接続口は、再生器接続口よりも
高いところに位置している。

【００４０】以下、再生器６に接続された乾燥ラインＬ
９０、再生器沈殿槽接続ラインＬ６０、第２廃液ライン
Ｌ１００について説明する。

【００４１】再生器６には、乾燥ラインＬ９０が接続さ
れている。この乾燥ラインＬ９０は、貯留槽７にも接続
されている。この乾燥ラインＬ９０は、乾燥槽９と、バ
ルブ９９１を備え、再生器６と乾燥槽９とを通気可能に
接続する再生器乾燥槽接続管９９と、バルブ９８１を備
え、乾燥槽９と貯留槽７とを通気（または通液）可能に
接続する乾燥槽貯留槽接続管９８とを有している。再生
器乾燥槽接続管９９の一端（再生器接続口）は、再生器
６の上部側に接続されており、他端（乾燥槽接続口）
は、乾燥槽９の上部側に接続されている。乾燥槽貯留槽
接続管９８の一端（乾燥槽接続口）は、乾燥槽９の底部
側に接続されており、他端（貯留槽接続口）は、貯留槽
７の上部側に接続されている。

【００４２】乾燥槽９は、例えば、内部の圧力を調整す
る手段（ポンプ等（図示せず））、あるいは、内部の温
度を調整する手段（ヒーター等（図示せず））を備えて
おり、これにより、ワークの乾燥を行うことができる。
また、乾燥槽９では、再生器６から供給された洗浄液の
蒸気をワークに接触させることも可能である。これによ
り、ワークに対して仕上リンスを施すこともできる。

【００４３】再生器６には、再生器６と沈殿槽４とを接
続する再生器沈殿槽接続ラインＬ６０が接続されてい
る。この再生器沈殿槽接続ラインＬ６０は、バルブ６８
１を備えた再生器沈殿槽接続管（配管）６８を有してい
る。この再生器沈殿槽接続管６８の一端（再生器接続
口）は、再生器６の底部６１近傍に接続されており、他
端（沈殿槽接続口）は、沈殿槽４の底部４１近傍に接続
されている。

【００４４】再生器６には、第２廃液ラインＬ１００が
接続されている。この第２廃液ラインＬ１００によって
も、再生器６内に溜まった廃液を排出することができ
る。この第２廃液ラインＬ１００は、廃液を貯留する廃
液器１０と、再生器６と廃液器１０とを接続する再生器
廃液器接続管１０９と、廃液器１０の流入側（再生器廃
液器接続管１０９の流路）に設けられたバルブ１０８
と、廃液器１０の流出側に設けられたバルブ１０７とを
有している。

【００４５】なお、洗浄装置１では、上記各配管（ライ
ン）に設けられたバルブの開閉、開放量の設定等を適宜
行うことにより、それぞれの流路の開閉、流速・流量の
調整等を行うことができる。例えば、バッファ槽再生器
接続管５９に設けられたバルブ５９１により、バッファ
槽５から再生器６への洗浄液の供給量、流量を、調整す
ることができる。

【００４６】以下、洗浄装置１の作用（使用方法）を説
明する。

【００４７】Ｉ．ワーク洗浄 まず、洗浄装置１がワークを洗浄する場合の作用を説明
する。まず、図１に示すように、貯留槽７、リンス槽
８、洗浄槽３、沈殿槽４、バッファ槽５、および再生器
６内に、所定量の洗浄液Ｗを入れておく。

【００４８】そして、バルブ６９１、５９１、４７１、
３９１、８９１および７９１を所定量開き、再生器６を
作動させる。なお、バルブ４６１、４８１、４９１、６
８１、１０８、１０７、９９１、９８１、８８１および
３６１は、閉じておく。

【００４９】これにより、貯留槽７では、貯留槽リンス
槽接続管７９の貯留槽接続口よりも高いところに位置す
る洗浄液Ｗがオーバーフローし、貯留槽リンス槽接続管
７９を通り、リンス槽８内に流入する。リンス槽８内に
流入した洗浄液Ｗの一部はオーバーフローし、リンス槽
洗浄槽接続管８９を通って洗浄槽３内に流入する。洗浄
槽３内に流入した洗浄液Ｗの一部はオーバーフローし、
洗浄槽沈殿槽接続管３９を通って沈殿槽４内に流入す
る。沈殿槽４では、沈殿槽バッファ槽接続管４７の貯留
槽接続口よりも高いところに位置する洗浄液Ｗがオーバ
ーフローし、沈殿槽バッファ槽接続管４７を通り、バッ
ファ槽５内に流入する。バッファ槽５内の洗浄液Ｗは、
高低差により、バッファ槽再生器接続管５９内に所定流
速（流量）で流入し、バッファ槽再生器接続管５９を通
り、再生器６内に、流入する。再生器６内では、洗浄液
Ｗが加熱され、これにより、洗浄液Ｗの一部が気化す
る。この気化した洗浄液Ｗは、再生器貯留槽接続管６９
内に入り、再生器貯留槽接続管６９を通り、貯留槽７内
に入る。このとき、気化した洗浄液Ｗは、再生器貯留槽
接続管６９内および貯留槽７内で冷却され、再び液化す
る。これにより、貯留槽７内には、蒸留再生された洗浄
液Ｗが供給される。

【００５０】このように洗浄液Ｗは、循環ラインＬ１０
内を循環中、貯留槽７から、リンス槽８、洗浄槽３、沈
殿槽４、そしてバッファ槽５へと、オーバーフローによ
り流れることとなる。したがって、洗浄液Ｗの循環時に
は、沈殿槽４内の洗浄液Ｗの液面は、沈殿槽バッファ槽
接続管４７の沈殿槽接続口（またはバッファ槽接続口）
とほぼ対応・一致する。また、洗浄槽３内の洗浄液Ｗの
液面は、沈殿槽４内の洗浄液Ｗの液面とほぼ対応・一致
する。また、リンス槽８内の洗浄液Ｗの液面は、沈殿槽
３内の洗浄液Ｗの液面（またはリンス槽洗浄槽接続管８
９の洗浄槽接続口）とほぼ対応・一致する。さらには、
貯留槽７内の洗浄液Ｗの液面は、貯留槽リンス槽接続管
７９の貯留槽接続口（またはリンス槽接続口）とほぼ対
応・一致する。

【００５１】次に、このように洗浄液Ｗが循環している
際の、ワーク（図示せず）の移動について説明する。洗
浄対象物であるワークは、まず、洗浄槽３内に入れられ
る。この洗浄槽３内で、ワークは、洗浄液Ｗにより洗浄
され、ワークに付いた汚れが落とされる。

【００５２】洗浄槽３で洗浄が終了したワークは、洗浄
槽３内から引き上げられ、リンス槽８内に移動する。こ
のリンス槽８内で、ワークは、洗浄液Ｗによりリンスさ
れる。また、このとき、洗浄槽３内で完全に落としきれ
なかった汚れがワークに付着していた場合でも、かかる
汚れは、リンス槽８内の洗浄液Ｗにより落とされる。す
なわち、リンス槽８内で、ワークは最終洗浄が行われる
場合もある。

【００５３】リンス槽８内でリンスが終了したワーク
は、乾燥槽９内に入れられる。ワークを乾燥槽９内に入
れた後、例えば、バルブ９９１および９８１を開けるこ
とにより、蒸気状の洗浄液Ｗを再生器６から乾燥槽９内
に供給することができる。これにより、蒸気状の洗浄液
Ｗをワークに接触させて、ワークの仕上リンスを行うこ
ともできる。その後、乾燥槽９内を減圧、加熱等するこ
とにより、ワークを乾燥させる。

【００５４】その後、ワークを乾燥槽９から取り出すこ
とにより、洗浄、リンス、および乾燥が施されたワーク
を得ることができる。

【００５５】このように洗浄装置１を稼動させると、再
生器６で蒸留、再生されたきれいな洗浄液Ｗは、貯留槽
７→リンス槽８→洗浄槽３→沈殿槽４と流れる。これに
対し、ワークは、洗浄槽３→リンス槽８と移動する。し
たがって、ワークは、洗浄槽３で洗浄された後、リンス
槽８でよりきれいな洗浄液Ｗと接触することとなる。こ
のため、ワークは、洗浄槽３で洗浄された後、リンス槽
８で、さらに清浄化されることとなる。

【００５６】このようなリンス槽８では、貯留槽リンス
槽接続管７９がリンス槽８の上部側に、リンス槽洗浄槽
接続管８９がリンス槽８の底部８１近傍にそれぞれ接続
されているため、洗浄液Ｗは、リンス槽８の上部側から
流入し底部８１側から流出することとなる。すなわち、
リンス槽８では、洗浄液Ｗは、基本的に上部側から底部
８１側へ流れる。したがって、ワークをリンスすること
により生じた沈殿成分などは、比較的速やかに底部８１
に沈殿することとなる。このため、ワークには沈殿成分
が付着しにくく、ワークは、清浄な状態が好適に保たれ
る。

【００５７】また、洗浄槽３では、リンス槽洗浄槽接続
管８９が洗浄槽３の上部側に、洗浄槽沈殿槽接続管３９
が洗浄槽３の底部３１近傍にそれぞれ接続されているた
め、洗浄液Ｗは、洗浄槽３の上部側から流入し底部３１
側から流出することとなる。すなわち、洗浄液Ｗは、基
本的に洗浄槽３の上部側から底部３１側へ流れることと
なる。したがって、ワークを洗浄することにより生じた
沈殿成分などは、比較的速やかに底部３１に沈殿するこ
ととなる。このため、ワークには沈殿成分が付着しにく
く、ワークは、清浄な状態が好適に保たれる。

【００５８】さらには、洗浄槽沈殿槽接続管３９の沈殿
槽接続口は、洗浄槽接続口よりも低いところに位置して
いる。このため、洗浄槽３の底部３１に堆積した沈殿物
Ｐの一部は、洗浄液Ｗの流れに乗じて沈殿槽４内に、円
滑に移動する。ゆえに、洗浄装置１が稼動しているとき
に、洗浄槽３の底部に沈殿物Ｐが大量に溜まることが防
止される。これにより、洗浄槽３では、洗浄液Ｗが大幅
に汚れるのを防止することができる。

【００５９】沈殿槽バッファ槽接続管４７１の沈殿槽接
続口は沈殿槽４の上部側に設けられているため、底部４
１近傍から沈殿槽４内に流入した洗浄液Ｗは、沈殿槽４
の上部側から流出することとなる。すなわち、沈殿槽４
内では、洗浄液Ｗは、基本的に底部４１側から上部側に
移動する。この間に、洗浄液Ｗが含有する沈殿成分は、
好適に底部４１に沈殿、堆積することとなる。そして、
沈殿槽４からは、洗浄液Ｗの上澄み部分が流出すること
となる。このため、バッファ槽５内には、沈殿物が好適
に除去された洗浄液Ｗが流入することとなる。

【００６０】このような洗浄装置１では、沈殿槽バッフ
ァ槽接続管４７のバッファ槽接続口がバッファ槽５の上
部側、特にバッファ槽５内の洗浄液Ｗの液面（通常時）
よりも高いところに接続されているので、バッファ槽５
内から沈殿槽４内に洗浄液Ｗが逆流することが好適に防
止される。

【００６１】このように洗浄装置１を稼動させると、洗
浄槽３および沈殿槽４内には、沈殿物Ｐが堆積すること
となる。また、リンス槽８内にも、若干量であるが、沈
殿物Ｐが堆積することとなる。さらには、洗浄装置１の
稼動中に、バッファ槽５内にも若干量であるが沈殿物Ｐ
が生じる。このバッファ槽５内の沈殿物Ｐは、バッファ
槽再生器接続管５９が底部５１に接続され、かつバッフ
ァ槽再生器接続管５９のバッファ槽接続口が再生器接続
口よりも高いところに位置しているので、稼動時（また
は始動時）の循環ラインＬ１０の流れに乗り、バッファ
槽再生器接続管５９内に流入し、バッファ槽再生器接続
管５９内を移動し、再生器６内に流入する。また、再生
器６で洗浄液Ｗの再生処理を行うことによっても、沈殿
物Ｐが生じ得る。このため、再生器６内にも、若干量、
沈殿物Ｐが堆積する。

【００６２】したがって、洗浄装置１を好適な状態に維
持し、円滑に稼動させるためには、沈殿物Ｐを各槽（洗
浄槽３、リンス槽８、および再生器６、さらには沈殿槽
４）から除去する必要がある。かかる沈殿物Ｐは、洗浄
装置１では、以下のようにして除去することができる。

【００６３】II．沈殿物除去 以下、洗浄装置（ワーク処理装置）１の各槽（洗浄槽
（第１の槽）３、沈殿槽（第２の槽）４、リンス槽（第
３の槽）８および再生器（第４の槽）６）内に沈殿、堆
積した沈殿物Ｐの除去方法について説明する。

【００６４】概略としては、洗浄槽３および再生器６内
に堆積した沈殿物Ｐを沈殿槽４内に集め、この集めた沈
殿物Ｐを廃液ラインＬ４０から排出することにより、洗
浄装置１の各槽内に沈殿、堆積した沈殿物Ｐを排出す
る。また、リンス槽８内に堆積した沈殿物Ｐは、洗浄槽
３内に移動させる。この沈殿物Ｐは、次回の沈殿物除去
操作（次のバッチ）で、洗浄装置１内から除去されるこ
ととなる。このような沈殿物Ｐの各槽間の移送は、移送
元の槽内部と移送先の槽内部との間に圧力差を生じさせ
ることによりなされる。

【００６５】（１）洗浄槽３内の沈殿物Ｐの除去 まず、バルブ３９１、４６１以外の沈殿槽４に接続され
た配管のバルブ（バルブ４７１、４８１、４９１および
６８１）を全て閉じる。また、洗浄槽３は、開放状態
（密閉状態でない状態）にしておく。

【００６６】次に、バルブ４６１（および３９１）を開
き、第１圧力調整手段４５を作動させ、沈殿槽４上部側
の空気を配管４６から排出し、沈殿槽４内の圧力を減少
させる（減圧する）。

【００６７】沈殿槽４内の圧力（沈殿槽４内上部側の空
間の圧力）が減少すると、沈殿槽４内部と洗浄槽３内部
との間で圧力差が生じる。そして、圧力差が生じること
により、すなわち、沈殿槽４内の圧力が洗浄槽３内の圧
力よりも低くなることにより、洗浄槽３内の洗浄液（処
理液）Ｗが、洗浄槽沈殿槽接続管３９を通り、沈殿槽４
内に流入する。このとき、洗浄液Ｗの移動に伴って、洗
浄槽３の底部３１に堆積した沈殿物Ｐも、沈殿槽４内に
移動する。この洗浄液Ｗの移動に伴い、沈殿槽４内の洗
浄液Ｗの液面が上昇する。また、洗浄槽３内の洗浄液Ｗ
の液面は、低下する。

【００６８】これにより、図２に示すように、洗浄槽３
内の沈殿物Ｐは、沈殿槽４内に移送され、洗浄槽３から
は沈殿物Ｐが除去される。また、洗浄槽沈殿槽接続管３
９内の沈殿物Ｐも除去される。最後に、バルブ３９１を
閉じる。

【００６９】このように洗浄槽３内の沈殿物Ｐを除去す
る場合、沈殿物Ｐの量によっても若干異なるが、好まし
くは２０〜４０L/分程度、より好ましくは３０〜４０L/
分程度の流速で、洗浄液Ｗを移動させると、より好適に
沈殿物Ｐを沈殿槽４内に移送することができる。

【００７０】また、洗浄槽３内の沈殿物Ｐを除去する際
に、沈殿物Ｐの量によっても若干異なるが、洗浄槽３内
の洗浄液Ｗの３割以上を沈殿槽４内に移動させると、洗
浄槽３内の沈殿物Ｐをより効果的に除去できる。さらに
は、例えば、洗浄槽３内の洗浄液Ｗの５割以上を沈殿槽
４内に移動させると、洗浄槽３内の沈殿物Ｐをさらに効
果的に除去できる。

【００７１】洗浄槽３のように、底部３１が水平方向に
対して傾斜しており、洗浄槽沈殿槽接続管３９が底部３
１の最深部近傍に接続されていると、洗浄槽３内の沈殿
物Ｐは、より効率よく除去されるようになる。これは、
沈殿物Ｐが、重力により洗浄槽３の最深部付近まで好適
に移動し、この最深部付近から、沈殿物Ｐは、洗浄槽沈
殿槽接続管３９内に好適に流入するようになるためであ
る。さらには、洗浄槽沈殿槽接続管３９の沈殿槽接続口
が洗浄槽接続口よりも低いところに位置していると、沈
殿物Ｐの移動効率が増大する。

【００７２】なお、例えば、第２圧力調整手段３５で洗
浄槽３内を加圧して、洗浄槽３内部と沈殿槽４内部との
間で圧力差を生じさせることにより、洗浄槽３内の洗浄
液Ｗ、沈殿物Ｐを、沈殿槽４内に移動させてもよい。

【００７３】（２）リンス槽８内の沈殿物Ｐの除去 まず、バルブ８９１、３６１以外の洗浄槽３に接続され
た配管のバルブ（バルブ３９１および４９１）を全て閉
じる。また、リンス槽８は、開放状態（密閉状態でない
状態）にしておく。

【００７４】次に、バルブ３６１（および８９１）を開
き、第２圧力調整手段３５を作動させ、洗浄槽３上部側
の空気を配管３６から排出し、洗浄槽３内の圧力を減少
させる（減圧する）。

【００７５】洗浄槽３内の圧力（洗浄槽３内上部側の空
間の圧力）が減少すると、洗浄槽３内部とリンス槽８内
部との間で圧力差が生じる。そして、圧力差が生じるこ
とにより、すなわち、洗浄槽３内の圧力がリンス槽８内
の圧力よりも低くなることにより、リンス槽８内の洗浄
液（処理液）Ｗが、リンス槽洗浄槽接続管８９を通り、
洗浄槽３内に流入する。これにより、リンス槽８から洗
浄槽３内に洗浄液Ｗが補充される。このとき、洗浄液Ｗ
の移動、補充に伴って、リンス槽８の底部８１に堆積し
た沈殿物Ｐも、洗浄槽３内に移動する。この洗浄液Ｗの
補充に伴い、洗浄槽３内の洗浄液Ｗの液面が上昇する。
また、リンス槽８内の洗浄液Ｗの液面は、低下する。

【００７６】これにより、図３に示すように、リンス槽
８内の沈殿物Ｐは、洗浄槽３内に移送され、リンス槽８
からは沈殿物Ｐが除去される。また、リンス槽洗浄槽接
続管８９内の沈殿物Ｐも除去される。最後に、バルブ８
９１を閉じる。

【００７７】このようにリンス槽８内の沈殿物Ｐを除去
する場合、沈殿物Ｐの量によっても若干異なるが、好ま
しくは２０〜４０L/分程度、より好ましくは３０〜４０
L/分程度の流速で、洗浄液Ｗを移動させると、より好適
に沈殿物Ｐを洗浄槽３内に移送することができる。

【００７８】また、リンス槽８内の沈殿物Ｐを除去する
際に、沈殿物Ｐの量によっても若干異なるが、リンス槽
８内の洗浄液Ｗの１割以上を洗浄槽３内に移動させる
と、リンス槽８内の沈殿物Ｐをより効果的に除去でき
る。さらには、例えば、リンス槽８内の洗浄液Ｗの２割
以上を洗浄槽３内に移動させると、リンス槽８内の沈殿
物Ｐをさらに効果的に除去できる。

【００７９】リンス槽８の底部８１が水平方向に対して
傾斜しており、リンス槽洗浄槽接続管８９が底部８１の
最深部近傍に接続されていると、前記と同様の効果が得
られる。

【００８０】なお、例えば、リンス槽８内を加圧して、
リンス槽８内部と洗浄槽３内部との間で圧力差を生じさ
せることにより、リンス槽８内の洗浄液Ｗ、沈殿物Ｐ
を、洗浄槽３内に移動させてもよい。

【００８１】（３）再生器６内の沈殿物Ｐの除去 まず、バルブ６８１、４６１以外の沈殿槽４に接続され
た配管のバルブ（バルブ４７１、４８１、４９１および
３９１）を全て閉じる。また、再生器６は、開放状態
（密閉状態でない状態）にしておく。

【００８２】次に、バルブ４６１（および６８１）を開
き、第１圧力調整手段４５を作動させ、沈殿槽４上部側
の空気を配管４６から排出し、沈殿槽４内の圧力を減少
させる（減圧する）。

【００８３】沈殿槽４内の圧力（沈殿槽４内上部側の空
間の圧力）が減少すると、沈殿槽４内部と再生器６内部
との間で圧力差が生じる。そして、圧力差が生じること
により、すなわち、沈殿槽４内の圧力が再生器６内の圧
力よりも低くなることにより、再生器６内の洗浄液（処
理液）Ｗが、再生器沈殿槽接続管６８を通り、沈殿槽４
内に流入する。このとき、洗浄液Ｗの移動に伴って、再
生器６の底部６１に堆積した沈殿物Ｐも、沈殿槽４内に
移動する。この洗浄液Ｗの移動に伴い、沈殿槽４内の洗
浄液Ｗの液面が上昇する。また、再生器６内の洗浄液Ｗ
の液面は、低下する（図示の例では、再生器６内の全て
の洗浄液Ｗが再生器６内から流出している）。

【００８４】これにより、図４に示すように、再生器６
内の沈殿物Ｐは、沈殿槽４内に移送され、再生器３から
は沈殿物Ｐが除去される。最後に、バルブ６８１を閉じ
る。

【００８５】このように再生器６内の沈殿物Ｐを除去す
る場合、沈殿物Ｐの量によっても若干異なるが、好まし
くは２０〜４０L/分程度、より好ましくは３０〜４０L/
分程度の流速で、洗浄液Ｗを移動させると、より好適に
沈殿物Ｐを沈殿槽４内に移送することができる。

【００８６】また、再生器６内の沈殿物Ｐを除去する際
に、沈殿物Ｐの量によっても若干異なるが、再生器６内
の洗浄液Ｗの３割以上を沈殿槽４内に移動させると、再
生器６内の沈殿物Ｐをより効果的に除去できる。さらに
は、例えば、再生器６内の洗浄液Ｗの５割以上を沈殿槽
４内に移動させると、再生器６内の沈殿物Ｐをさらに効
果的に除去できる。

【００８７】再生器沈殿槽接続管６８が再生器６の底部
６１近傍に接続されていると、前記と同様の効果が得ら
れる。さらには、再生器６が沈殿槽４よりも下方に配置
されている場合、再生器沈殿槽接続管６８が沈殿槽４の
底部４１近傍に接続されていると、沈殿槽４の底部４１
よりも上方に接続されている状態よりも、両槽の高低差
を減らすことができるため、第１圧力調整手段４５によ
る再生器６から沈殿槽４への洗浄液の流入をより効率的
に行うことができる。

【００８８】なお、例えば、再生器６内を加圧して、再
生器６内部と沈殿槽４内部との間で圧力差を生じさせる
ことにより、再生器６内の洗浄液Ｗ、沈殿物Ｐを、沈殿
槽４内に移動させてもよい。

【００８９】（４）沈殿槽４内の沈殿物Ｐの除去 沈殿槽４内に沈殿物Ｐを集めたら、図５に示すように、
廃液ラインＬ４０に設けられたバルブ４８１を開く。こ
れにより、沈殿槽４の底部４１付近の洗浄液Ｗは、廃液
ラインＬ４０へ流出する。このとき、洗浄液Ｗの流出に
伴って、底部４１に堆積した沈殿物も、廃液ラインＬ４
０へ流出する。これにより、洗浄装置１内から、沈殿物
Ｐが排出される。

【００９０】このとき、沈殿槽４内に沈殿物Ｐを集める
操作（例えば前記（３））を行ってから、好ましくは１
時間以上、より好ましくは８時間以上経過した後、沈殿
槽４内の沈殿物Ｐを除去することが好ましい。これによ
り、洗浄液Ｗ内の沈殿成分がより多量に底部４１に沈
降、堆積するようになり、より多量の沈殿物Ｐを排出で
きるようになる。これに対応して、洗浄液Ｗ中の不純物
も減少する。なお、沈殿槽４内に沈殿物Ｐを集める操作
を行ってから速やかに、沈殿槽４内の沈殿物Ｐの除去を
行ってもよいことは、言うまでもない。

【００９１】また、沈殿槽４内の沈殿物Ｐを排出する際
には、沈殿物Ｐの量によっても若干異なるが、沈殿槽４
内の洗浄液Ｗの０．５割以上を排出すると、沈殿物Ｐを
より好適に排出できる。さらには、例えば、沈殿槽４内
の洗浄液Ｗの２割以上を排出すると、沈殿物Ｐをさらに
好適に排出できる。

【００９２】廃液ラインＬ４０が底部４１の最深部近傍
に接続されていると、沈殿物Ｐを、より効率よく排出で
きるようになる。

【００９３】なお、各層の沈殿物Ｐの移送は、上述した
順番（１）、（２）、（３）の通りに行わなくてもよ
い。また、例えば、前記操作（１）および（２）を同時
に行ってもよい。

【００９４】ただし、洗浄槽３内の洗浄液Ｗを沈殿槽４
内に移動させてからリンス槽８内の沈殿物Ｐを洗浄槽３
内に移送させると、リンス槽８内の洗浄液Ｗを洗浄槽３
内に十分量容易に移動させることができるようになる。
これに伴い、リンス槽８内の沈殿物Ｐも、好適に洗浄槽
３内に移送できるという利点が得られる。

【００９５】前述したように、槽内の圧力を減少させる
ことにより移送元の槽内から移送先の槽内へ洗浄液を移
動させると、例えば再生器６に圧力調整手段を接続また
は設置する必要がなくなり、洗浄装置の構成を簡易なも
のとすることができる。さらには、洗浄液に引火しやす
い洗浄液を使用する場合、洗浄液を取り扱う際の安全性
が向上する。

【００９６】III．その他 前記沈殿物除去操作を行った後、例えばバルブ４９１を
開くと、沈殿槽４の上部側の洗浄液Ｗが、洗浄槽３内に
移動する。これにより、洗浄槽３内に洗浄液Ｗを供給す
ることができる。かかる洗浄液Ｗは、洗浄液Ｗ中の沈殿
成分が沈降した上澄みであり、不純物が少ない。したが
って、かかる洗浄液Ｗを洗浄槽３に供給すると、ワーク
の洗浄を好適に行えるようになる。

【００９７】なお、例えば再生器６を長期間稼動させた
場合、再生器６内で不純物（不揮発性または高沸点性不
純物）が濃縮され、洗浄液Ｗが多量の不純物を含有する
ようになる場合がある。この場合、例えば、再生器６内
で洗浄液Ｗを煮詰め、不純物を濃縮して、その後、バル
ブ１０８を開き、再生器６内の洗浄液Ｗを廃液器１０内
に排出することができる。

【００９８】このような洗浄装置１では、配管の途中
に、沈殿物を除去するフィルターを設ける必要がなくな
る。したがって、フィルターの目詰まりにより装置の稼
動に支障を来たすようなことが、好適に防止される。ま
た、このような洗浄装置１では、循環ラインＬ１０の途
中に、ポンプを設ける必要がない。このため、配管内を
沈殿物が移動する際に、かかる沈殿物が配管途中のポン
プにダメージを与えるおそれもなくなる。

【００９９】洗浄装置１は、このような利点を有してい
るので、洗浄等により多量の沈殿物が生じるようなワー
ク、洗浄液、洗浄条件等を選択しても、円滑に稼動する
ことができる。

【０１００】したがって、例えば、ナフサ系、イソパラ
フィン系、ピロリドン系、テルペン系等の炭化水素系洗
浄液など、比較的沈殿物を生じさせやすい洗浄液を用い
ても、円滑に洗浄装置１を稼動させることができる。ま
た、これにより、多数のワークの洗浄を、好適に連続し
て行うことができる。

【０１０１】そして、このような炭化水素系洗浄液を用
いると、水系洗浄液と異なり、廃水処理設備を設ける必
要がなくなる。このため、洗浄装置の設備を簡易なもの
とすることができる。また、炭化水素系洗浄液は、蒸留
再生等により洗浄液のリサイクルが容易である（前述し
た再生器６）。このため、洗浄液を繰り返し使用するこ
とができるようになり、洗浄液の有効利用を図れる。し
かも、炭化水素系洗浄液は、塩素系洗浄液等に比べて、
自然環境に対して比較的悪影響を及ぼしにくい。このよ
うな性質を炭化水素系洗浄液は有しているため、本発明
で用いる洗浄液に炭化水素系洗浄液を使用すれば、廃液
による自然環境の汚染等を防止しつつ、ワークの洗浄を
行うことができる。

【０１０２】また、本発明の洗浄装置１を用いれば、洗
浄液に溶解しにくい汚れ（例えば研磨剤など）が多く付
着しているようなワーク（例えば時計の部品等）の洗浄
を、好適に行うことができる。

【０１０３】なお、本発明に用いられる洗浄液には、上
述した炭化水素系洗浄液以外にも、例えば、塩素系、代
替フロン系、アルコール系、テルペン系、シリコーン系
等の他の溶剤系洗浄液も好適に用いることができる。さ
らには、本発明には、例えば、高級アルコール系、炭化
水素＋界面活性剤＋エーテル等の準水系洗浄液、純水、
アルカリ水溶液、界面活性剤水溶液等の水系洗浄液な
ど、溶剤系洗浄液以外のいずれの洗浄液を用いてもよ
い。

【０１０４】以上、本発明を好適実施形態に基づいて説
明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例
えば、洗浄槽３、沈殿槽４、リンス槽８の底部は、傾斜
していなくてもよい。また、例えば、洗浄槽沈殿槽接続
管３９、再生器沈殿槽接続管６８等は、沈殿槽４の底部
４１近傍に接続されていなくてもよい。また、例えば、
洗浄液は、オーバーフロー以外の他の方法により、循環
ラインＬ１０内を、通液、循環させてもよい。

【０１０５】以上述べた本発明の実施形態では、洗浄装
置内に生じた沈殿物を除去する場合を例に沈殿物の除去
方法を説明したが、本発明の沈殿物の除去方法は、洗浄
装置以外の他のワーク処理装置でも実施することができ
る。

【０１０６】

【実施例】図１に示すような洗浄装置を製造した。な
お、リンス槽の容量は８０Ｌ、洗浄槽の容量は８０Ｌ、
沈殿槽の容量は１２０Ｌ、バッファ槽の容量は５０Ｌ、
再生器の容量は８０Ｌ、貯留槽の容量は４０Ｌとした。
そして、この洗浄装置を用いて、以下のようにして、多
量の研磨剤が付着した腕時計部品（ワーク）に対して、
洗浄、リンス、乾燥を施した。

【０１０７】まず、洗浄液を循環ライン内で循環させた
（前述参照）。洗浄液には、ソルベントナフサ系（炭化
水素系）洗浄液（昭和電工社製「ソルファインＴＭ」）
を用いた。

【０１０８】そして、前述したようにして、腕時計部品
の洗浄、リンス、乾燥を行った。このとき、１回のバッ
チで、腕時計部品を６０個処理した。すなわち、腕時計
部品６０個を一単位（ひとまとまり）として、腕時計部
品に対して洗浄、リンス、乾燥の操作をそれぞれ行っ
た。

【０１０９】さらには、洗浄装置を連続稼動させて、こ
のようなバッチを５００回行った。すなわち、１００単
位の腕時計部品を、洗浄、リンス、乾燥した。このよう
に洗浄装置を稼動させたところ、洗浄槽および沈殿槽内
に多量の沈殿物が堆積した。また、リンス槽および再生
器内に少量の沈殿物が堆積した。

【０１１０】そこで、前記（１）〜（４）で述べたよう
にしてかかる沈殿物の除去を行った。まず、ポンプで沈
殿槽内を減圧にして、洗浄槽内の洗浄液を４分の３程度
沈殿槽内に移動させた。このとき、洗浄液の移動速度
（流速）は、３０L/分とした。

【０１１１】次に、ポンプで洗浄槽内を減圧にして、リ
ンス槽内の洗浄液を半分程度洗浄槽内に移動させた。こ
のとき、洗浄液の移動速度（流速）は、３０L/分とし
た。次に、ポンプで沈殿槽内を減圧にして、再生器（蒸
留再生器）内の液をほぼ全部沈殿槽内に移動させた。こ
のとき、洗浄液の移動速度（流速）は、３０L/分とし
た。

【０１１２】次に、この状態で８時間洗浄装置を停止さ
せて、沈殿槽内に沈殿物を堆積させた。その後、沈殿槽
内に堆積した沈殿物を、廃液ラインから排出した。この
とき、沈殿槽内の洗浄液は、１割程度排出した。

【０１１３】その結果、沈殿物を廃液ラインから好適に
排出することができ５kgもの沈殿物を回収できた。さら
には、各槽の底部を肉眼により確認したところ、リンス
槽、沈殿槽、再生器内では、沈殿物がほとんど除去され
ていた。また、洗浄槽内でも、リンス槽から移送された
沈殿物が少量沈殿していただけであり、洗浄により洗浄
槽内に沈殿、堆積した沈殿物は、ほとんど除去されてい
たことが確認された。

【０１１４】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、装
置内の沈殿物を効率よく除去することができる。したが
って、洗浄を行う際の洗浄液の選択の幅が広がり、自然
環境を汚染しにくい洗浄液、人体に対する毒性が低い洗
浄液等を容易に選択することができるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の洗浄方法を行う洗浄装置の実施形態を
示す回路図である。

【図２】本発明の洗浄方法を行う洗浄装置の実施形態を
示す回路図である。

【図３】本発明の洗浄方法を行う洗浄装置の実施形態を
示す回路図である。

【図４】本発明の洗浄方法を行う洗浄装置の実施形態を
示す回路図である。

【図５】本発明の洗浄方法を行う洗浄装置の実施形態を
示す回路図である。

【符号の説明】

１ 洗浄装置 Ｌ１０ 循環ライン ３ 洗浄槽 ３１ 底部 ３５ 第２圧力調整手段 ３６ 配管 ３６１ バルブ ３９ 洗浄槽沈殿槽接続管 ３９１ バルブ ４ 沈殿槽 ４１ 底部 ４５ 第１圧力調整手段 ４６ 配管 ４６１ バルブ ４７ 沈殿槽バッファ槽接続管 ４７１ バルブ ４８１ バルブ ４９ 洗浄槽沈殿槽第２接続管 ４９１ バルブ Ｌ４０ 廃液ライン ５ バッファ槽 ５１ 底部 ５９ バッファ槽再生器接続管 ５９１ バルブ ６ 再生器 ６１ 底部 ６９ 再生器貯留槽接続管 ６９１ バルブ Ｌ６０ 再生器沈殿槽接続ライン ６８ 再生器沈殿槽接続管 ６８１ バルブ ７ 貯留槽 ７９ 貯留槽リンス槽接続管 ７９１ バルブ ８ リンス槽 ８１ 底部 ８９ リンス槽洗浄槽接続管 ８９１ バルブ Ｌ８０ リンス槽バッファ槽接続ライン ８８ リンス槽バッファ槽接続管 ８８１ バルブ Ｌ９０ 乾燥ライン ９ 乾燥槽 ９８ 乾燥槽貯留槽接続管 ９８１ バルブ ９９ 再生器乾燥槽接続管 ９９１ バルブ Ｌ１００ 第２廃液ライン １０ 廃液器 １０９ 再生器廃液器接続管 １０７、１０８ バルブ Ｐ 沈殿物 Ｗ 洗浄液

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−172579（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−290008（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−238196（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−91516（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−164988（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B08B 3/00 - 3/14 B01D 21/24

Claims (9)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 処理液でワークの処理を行う第１の槽
   と、前記第１の槽に接続された第２の槽とを有するワー
   ク処理装置内の沈殿物を除去する沈殿物の除去方法であ
   って、前記第２の槽内部の圧力を調整する第１圧力調整
   手段を有し、前記第１圧力調整手段により、前記第２の
   槽内部と前記第１の槽内部との間で圧力差を生じるよう
   に、前記第２の槽内部の圧力を減少させて、前記第１の
   槽内の前記処理液を前記第２の槽内に流入させ、かつ、
   前記処理液の移動に伴って、前記第１の槽内の沈殿物
   も、前記第２の槽内に移動させることを特徴とする沈殿
   物の除去方法。
2. 【請求項２】 処理液でワークの処理を行う第１の槽
   と、前記第１の槽に接続された第２の槽とを有するワー
   ク処理装置内の沈殿物を除去する沈殿物の除去方法であ
   って、前記第１の槽内の圧力を調整する第２圧力調整手
   段とを有し、前記第２圧力調整手段により、前記第２の
   槽内部と前記第１の槽内部との間で圧力差が生じるよう
   に、前記第１の槽内部の圧力を加圧させて、前記第１の
   槽内の前記処理液を前記第２の槽内に流入させ、かつ、
   前記処理液の移動に伴って、前記第１の槽内の沈殿物
   も、前記第２の槽内に移動させることを特徴とする沈殿
   物の除去方法。
3. 【請求項３】 請求項１または２において、前記ワーク
   処理装置は、前記第１の槽に接続され、前記第１の槽で
   処理されたワークにさらなる処理を行う第３の槽を有
   し、 前記第１の槽内の圧力を調整する第２圧力調整手段とを
   有し、前記第２圧力調整手段により、前記第１の槽内部
   と前記第３の槽内部との間で圧力差が生じるように、前
   記第１の槽内部の圧力を減少させて、前記第３の槽内の
   処理液が、前記第１の槽内に流入させ、かつ、前記処理
   液の移動に伴って、前記第３の槽底部の沈殿物も、前記
   第１の槽内に移動させることを特徴とする沈殿物の除去
   方法。
4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかにおいて、前記
   ワーク処理装置は、前記第２の槽に接続され、前記ワー
   クの処理に用いられた処理液を再生する第４の槽を有
   し、前記前記第１圧力調整手段により、前記第４の槽内
   部と前記第２の槽内部との間に圧力差を生じるように、
   前記第２の槽内部の圧力を減少させて、前記第４の槽内
   の前記処理液を前記第２の槽内に流入させ、かつ、前記
   処理液の移動に伴って、前記第４の槽内に堆積した沈殿
   物も、前記第２の槽内に移動されることを特徴とする沈
   殿物の除去方法。
5. 【請求項５】 請求項１〜４のいずれかにおいて、前記
   第１の槽内の前記処理液の０．５割以上を前記第２の槽
   内に移動されることを特徴とする沈殿物の除去方法。
6. 【請求項６】 請求項３または４において、前記第３の
   槽内の前記処理液の０．５割以上を前記第１の槽内に移
   動されることを特徴とする沈殿物の除去方法。
7. 【請求項７】 請求項４において、前記第４の槽内の前
   記処理液の０．５割以上を前記第２の槽内に移動される
   ことを特徴とする沈殿物の除去方法。
8. 【請求項８】 請求項１〜７のいずれかにおいて、前記
   処理液は、炭化水素系であることを特徴とする沈殿物の
   除去方法。
9. 【請求項９】 請求項１〜８のいずれかにおいて、前記
   ワーク処理装置は洗浄装置であることを特徴とする沈殿
   物の除去方法。