JPH04225875A - 洗浄剤を含有する水性洗浄流体で目的物を洗浄する方法及び装置 - Google Patents

洗浄剤を含有する水性洗浄流体で目的物を洗浄する方法及び装置

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JPH04225875A
JPH04225875A JP3080039A JP8003991A JPH04225875A JP H04225875 A JPH04225875 A JP H04225875A JP 3080039 A JP3080039 A JP 3080039A JP 8003991 A JP8003991 A JP 8003991A JP H04225875 A JPH04225875 A JP H04225875A
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fluid
rinsing
line
vaporizer
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JP3080039A
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Ruediger Hellstern
リューディガー ヘルシュテルン
Peter Hoesel
ペーター ヘゼル
Arwed Eberle
アルベド エベルレ
Ulrich Lachenmayer
ウルリッヒ ラヒェンマイヤー
Herbert Kohler
ヘルベルト コーレル
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Duerr GmbH
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Duerr GmbH
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D61/00Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
    • B01D61/14Ultrafiltration; Microfiltration
    • B01D61/145Ultrafiltration
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D61/00Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
    • B01D61/14Ultrafiltration; Microfiltration
    • B01D61/147Microfiltration
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/08Cleaning involving contact with liquid the liquid having chemical or dissolving effect
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23GCLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
    • C23G1/00Cleaning or pickling metallic material with solutions or molten salts
    • C23G1/36Regeneration of waste pickling liquors

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  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
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  • Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、特にオイル又はグリー
スの不純物によってよごされた、機械加工に用いる被加
工物のような目的物を、少なくとも1つの洗浄剤を含有
する水のような洗浄流体の助けにより洗浄する方法に関
するものである。
【0002】この方法において、目的物は、洗浄流体で
処理された後、水のようなすすぎ流体、特にできるだけ
純粋の水で、すすぎが行われ、蒸留液が、気化器におけ
る蒸留により予備的洗浄作用に続いて洗浄及びすすぎ流
体の少なくとも一方の流体から回収され、この蒸留液は
もとに戻される。さらに、本発明はこの型式の方法を実
施するための装置であって、少なくとも1つの洗浄装置
と1つのすすぎ装置と1つの気化器とを具備し、前記洗
浄装置が洗浄流体ラインと前記気化器に洗浄流体を移送
するための予備洗浄装置とを介して前記気化器に連結さ
れ、前記気化器が蒸留液をもとに戻す働きをする蒸留液
ラインを有している、前記方法を実施する装置に関する
ものである。
【0003】洗浄剤は狹い意味で洗剤及び他の洗浄剤の
ような物質として以下理解されるよう意図するものであ
るが、また有機溶剤をも含むものである。
【0004】
【従来の技術】Duerr  GmbH会社は前記の型
式の装置をすでに販売しているが、この装置は洗浄され
るべき目的物が2つの洗浄浴槽と共に複数の次のすすぎ
浴槽を、次から次へと通過するものである。完全に脱塩
された水だけが全部で4つのすすぎ浴槽の最後の2つに
供給され、また第3のすすぎ浴槽の溢れた流れが第2の
すすぎ浴槽に接続され第2の浴槽の溢れた流れが第1の
すすぎ浴槽に接続される。さらに第1のすすぎ浴槽の溢
れた流れが第2の洗浄浴槽に接続され第2の洗浄浴槽の
溢れた流れが第1の洗浄浴槽に接続される。
【0005】第1の洗浄浴槽からの溢れた流れはオイル
分離器に通じ、すすぎ流体供給ラインは第1のすすぎ浴
槽の溢れた流れを分流させる。この供給ラインには弁が
設けられさらにオイル分離器に通じている。放出ライン
がオイル分離器の洗浄流体領域から気化器に通じ、ここ
から蒸気及び蒸留液ラインが種々の洗浄及びすすぎ浴槽
の中の熱交換器にまず通じ、それから凝縮液収集タンク
に通じ、ここから蒸留液がポンプにより第2のすすぎ浴
槽の中に送られる。これら浴槽はそのため蒸気又は蒸留
液によって加熱される。
【0006】オイル分離器は洗浄及びすすぎ浴槽から気
化器に流入するオイルの不純物を完全には阻止すること
ができず、またこのようにして洗浄剤がまた気化器に供
給されるので、この公知の装置は2つの欠点を有してい
る。すなわち、洗剤その他が気化器の中で蒸気相に変移
することがなく、またこれは低い沸点を有する機械加工
用オイルの成分と水蒸気と共に蒸気相の中を通過する他
の物質との場合であるので、気化器に流入する洗浄剤は
失われまた蒸留液に含有されている不純物は凝縮液収集
タンクから供給される最初の2つのすすぎ浴槽の中でじ
ゃま物となる。
【0007】低い沸点を有する成分がすすぎ浴槽の中に
運ばれるという欠点は、もとの西ドイツ特許出願第39
39222 号の第1図と第2図の装置においても洗浄
プラントとして用いられた時に、本来有しているもので
ある。この装置は化学的に目的物を処理するための活性
の浴槽を有し、この浴槽から処理流体が気化器に供給さ
れる。気化器から取り出された蒸留液は階段状に接合さ
れた複数のすすぎ浴槽の最後の浴槽に供給され、また蒸
留中に得られる凝縮液は活性の浴槽に戻される。第1の
すすぎ浴槽からの溢れる流れはまた活性の浴槽に流入す
る。階段状に形成されたすすぎ浴槽を通過した後、目的
物はもう1つのすすぎ浴槽に達し、この浴槽のすすぎ流
体は回路中での循環の間にイオン交換器により再生され
る。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本発明の根拠をなす目
的は上記第1の公知の方法とこの方法を実施するための
公知の装置とを改良し上記の欠点が少なくとも明らかに
減ぜられるようにすることである。
【0009】
【課題を解決するための手段】最初に明記した型の方法
の原理から、上記の目的は、本発明によれば、気化器に
供給されるべき流体が予め膜ろ過作用を受けそれにより
再生された透過液が一部蒸留され、蒸留液はすすぎ工程
において用いられるすすぎ流体に少なくとも一部が加え
られ、蒸留中に得られる凝縮物はその少なくとも一部が
洗浄工程で用いられる洗浄流体に加えられることにより
達成される。より高い分子の凝縮液を有する成分と低い
沸点を有するオイルとがまたいわゆる微小ろ過又は限外
ろ過にとって公知であるようなろ過膜を通過できないの
で、蒸気相に変換されるすすぎ及び/又は洗浄流体に含
まれている不純物がこのようにして気化器に流入するの
が防止される。気化器で発生する蒸気とこれと共にすす
ぎ流体に加えられる凝縮液はそのためこのような不純物
を全く含有しない。膜によるろ過に基づき再生された透
過液の蒸留中に得られる凝縮液が、少なくともその一部
が洗浄工程に用いられる洗浄流体に加えられるという事
実により、気化器に流入する洗浄剤は洗浄工程のために
失われることがなくなる。
【0010】実際に、西ドイツ特許出願第233020
0 号から、洗浄装置に用いられかつ水性の洗浄剤を含
有する洗浄流体が膜ろ過装置の助けにより限外ろ過を受
け、そして洗浄剤を含有する透過液を再度洗浄流体に加
えることが公知である。当該技術のこの状態の装置にお
いて、洗浄流体は洗浄装置から引き出され、供給及び戻
しラインを介し膜ろ過装置に接合されポンプを含む回路
を形成する洗浄流体収集タンクに、供給される。透過液
ラインが直接膜ろ過装置から洗浄装置に通じる。しかし
この技術の状態は発明的な方法を予想することができな
いが、その理由は、一方において膜ろ過から得られる透
過液はこの公知の方法では洗浄装置に再度直接供給され
また他方においてすすぎ流体を処理するための膜ろ過が
膜ろ過の間洗浄剤を保持することができないためこの方
法に適していないからである。本発明の方法においては
、洗浄及びすすぎ流体が特に一緒に処理される。
【0011】まず第一に、処理されるべき流体から、目
的物から洗われたオイルの大部分の量を分離するため、
気化器に供給されるべき洗浄及び/又はすすぎ流体が膜
ろ過に先だってオイル分離器に収集され、このようにし
て予め洗浄された流体が回路中を循環され同時に膜ろ過
作用を受けることが推奨される。これはオイル分離器が
予め洗浄する作用を行うだけでなく回路で循環している
間に膜ろ過作用を受ける流体のための収集タンクとして
作用することを意味する。
【0012】洗浄工程で用いられる洗浄流体の高比率の
再生が達成されるならば、膜ろ過中に得られ洗浄剤を含
有する透過液の一部が直接洗浄工程に用いられる洗浄流
体に加えられ、この透過液の部分が蒸留されないことが
推奨される。このようにして、本発明の方法のためのエ
ネルギ費用が、全部の透過液を蒸留することが必要でな
いため減少される。
【0013】上記の第1の公知の方法におけるように、
本発明の方法においても、洗浄工程に用いられる洗浄流
体及び/又はすすぎ工程に用いられるすすぎ流体にとっ
て、蒸留液の凝縮中に回収された熱によって加熱される
ことが有利である。この洗浄流体とすすぎ流体は、この
加熱された状態で洗浄又はすすぎが行われるべき目的物
に作用できる時著しく効果的となる。
【0014】処理される洗浄流体及び/又は処理される
べきすすぎ流体が洗浄装置とすすぎ装置とからそれぞれ
別々に取り出され、膜ろ過作用を受けることができる。 しかしそのため、用いられるすすぎ流体と洗浄流体は何
時もできるだけ純粋となり、上記の第1の公知の方法に
おけるように、すすぎ流体が、すすぎ流体に加えられる
蒸留液の量にしたがってすすぎ工程から取り出されそし
て洗浄流体に加えられることが有利である。これが洗浄
工程に用いられる洗浄流体中の洗浄剤の凝縮液を減少す
ることになるので、この方法の変形が、洗浄工程に用い
られる洗浄流体に膜ろ過中に得られ洗浄剤を含有する透
過液の一部を加える方法に組合わせて用いられる時、特
に有利である。
【0015】本発明の付加的な概念によれば、最初に述
べた型式の装置は、洗浄流体ラインが、透過液ラインを
介して気化器に連結された膜ろ過装置に連通し気化器に
膜ろ過装置により発生した透過液を移送するようにし、
蒸留液ラインがすすぎ装置に連結され、気化器の凝縮領
域が凝縮液ラインを介して洗浄装置に連結されるように
して、上記目的を達するように構成されている。気化器
の凝縮領域は通常、蒸留後に残っている残留物が収集さ
れる気化器の下方領域となる。
【0016】膜ろ過装置は、洗浄されるべき流体が膜を
通過して回路中を循環させられる時により高い効率とな
るので、本発明装置の一実施態様は、洗浄流体ラインが
洗浄装置と洗浄流体収集タンクとを連結し、該流体収集
タンクと膜ろ過装置とが相互に接合され供給ラインと戻
りラインとを介してポンプを含む回路を形成するような
、装置とすることが推奨される。洗浄流体収集タンクは
、したがって、オイル領域と洗浄流体領域とからなるオ
イル分離器として適当に構成され、供給ラインが洗浄流
体領域に連結されるようになっている。すでに述べたよ
うに、収集タンクは、これが一方において上記回路に流
体を供給し、他方において処理されるべき流体の予備的
洗浄を行うので、2つの目的を達成することができる。
【0017】さらに、本発明装置は、蒸留液ラインが、
すすぎ及び/又は洗浄流体を直接又は熱担持流体を介し
て加熱する少なくとも1つの熱交換器と、気化器のため
に消費されるエネルギをより有利な方法で用いるための
少なくとも1つの付加熱交換器とを含むように構成され
ることが推奨される。
【0018】スラリーがオイル分離器に堆積され放出に
先だってさらにこれが凝縮されるよう意図される。この
理由で本発明装置の好適な実施態様ではオイル分離器の
洗浄流体領域の低い部分が放出ラインを介して気化器に
連結される。この放出ラインが弁、あるいはポンプをも
含んでいたならば、スラリーは気化器に群として供給す
ることができる。
【0019】さらに、膜ろ過装置にとって、弁が設けら
れた透過液ラインを介して洗浄装置に連結され、それに
より透過液の一部がこの中に含有される洗浄剤と共に洗
浄装置に再び直接供給され、またその中の洗浄流体の汚
れ度合いが、全透過液を蒸留することなくまたそのため
のエネルギを必要としないで、減少されるようにするこ
とが有利である。
【0020】本発明のこのほかの特徴、利点及び詳細は
、以下の記載と本発明装置の好適な実施態様を示す添付
の概略図とから得られる。
【0021】
【実施例】添付図面に略図的に描かれている装置は、共
に浴槽として示されているが当該技術では公知である任
意の他の形状を有することも可能である、洗浄装置10
とすすぎ装置12とを具備している。簡単のため、この
ような洗浄及びすすぎ装置に通常見られる噴射口と噴霧
ノズルとは省略されている。洗浄されるべき目的物、例
えば機械加工中にオイル物質やほこりで汚された機械加
工された金属の被加工物(ワーク)がまず最初に洗浄装
置10の中で洗浄され、それからすすぎ装置12の中で
すすがれる。上記の記載で示されたように、この型の装
置は勿論、複数の洗浄装置と複数のすすぎ装置を具備す
ることができ、これらの洗浄装置とすすぎ装置は冒頭に
記載した公知の装置と同じ様に、引き続いて次々に連結
され処理されるべき目的物がこれらの装置を通過できる
ようにする。洗浄装置10においては、目的物は洗浄剤
を含有する水性洗浄流体で処理されオイルやグリースを
含む不純物をこれら目的物から洗い流すようにし、その
後でこの洗浄された目的物がすすぎ装置12の中に入り
、それにより第一に洗浄剤がすすぎ出されるが、残され
たほこり粒子はなおも目的物上にとどまっている。図面
に示される浴槽タンクは実際にはその底部に、スラリー
又はその他の残留物を浴槽タンクの底部から取り出しで
きればこれを再処理するため排出ラインが設けられる。
【0022】すすぎ装置12はすすぎ流体ライン14を
介して洗浄装置10に連結される。このすすぎ流体ライ
ンは図面に略図式に示されるように、すすぎ装置のため
の溢流ラインとするようになっている。これは、すすぎ
流体の所定の水面がすすぎ浴槽に加えられる流体に関係
なくすすぎ装置12において保持できることを意味する
【0023】同じようにして、洗浄装置10には洗浄流
体排出ライン16が連結される溢流ラインが設けられて
いる。処理される目的物の洗浄中に生じ洗浄流体と洗い
出されたオイル及びグリースの不純物とからなるエマル
ジョン(乳濁液)がこのラインを介して洗浄装置10の
浴槽タンクから流れ出る。必要ならば、洗浄工程に最初
用いられることなくすすぎ流体を直接処理できるように
するため、すすぎ装置12の溢流ラインとすすぎ装置1
2の底部にはすすぎ流体ライン14aと14bがそれぞ
れ設けられ、これらのラインは出口ラインに開口しかつ
調節弁を備えている。出口ライン16はオイル分離器1
8の上方領域に開口し、オイル分離器18は、その底部
に通路を残して隔離18cにより相互に隔離することの
できるオイル領域18aと洗浄流体領域18bとを有し
ている。このようにして、洗浄流体の頂面に浮遊するオ
イルの不純物はオイル領域18aの頂部でオイル分離器
18に収集される。ここからオイル不純物は溢流及びオ
イルライン18dを経てオイル分離器18から取り出す
ことができる。 本発明によれば、供給ライン20aが洗浄流体領域18
bの底部に連結され、このラインが図示しない微小ろ過
又は限外ろ過膜を含有する膜ろ過装置22に連通してい
る。 戻りライン20bがこのろ過装置22からオイル分離器
18の洗浄流体領域18bの上方領域に連通し、それに
よりオイル分離器18が供給ライン20a、ろ過装置2
2及び戻りライン20bと共にろ過回路24を形成する
ようにしている。オイル分離器18の中でオイル不純物
が大幅に洗浄された洗浄流体をろ過回路で循環できるよ
うにするため、供給ライン20aはポンプ20cを含ん
でいる。洗浄剤と共に残留オイルを依然として含有して
いる洗浄流体はろ過回路24を介し図示しないろ過膜の
流入側を通ってろ過装置22に導入される。水と低分子
凝縮物を有する洗浄剤とがこのろ過膜を通過しそれによ
り透過液がろ過装置22の中に形成されるようにするこ
とができる。 この透過液をろ過装置22から取り出すことができるよ
うにするため、第1及び第2の透過液ライン26と28
がそれぞれこのろ過装置から出て行き、そしてこれらラ
インの一定時間内に処理される量が弁により制御される
。透過液ライン26は気化器30に開口し、気化器30
においてろ過によりオイルから遊離した透過液がヒータ
30aにより加熱されその一部が蒸発される。透過液は
なおも洗浄剤を含有しているがこれらの洗浄剤は気化器
30では蒸気相に変移することがなく、そのためこれら
洗浄剤は気化器30に残留する凝縮液中で濃縮されるよ
うになる。これが気化器30の低い領域、すなわち凝縮
領域30bから凝縮液ライン32を介して取り出される
。 ライン28を介して取り出された洗浄剤と透過液とを含
有する凝縮液はライン32と28(簡単のためこれに必
要とされることのあるポンプは図示されていない)を介
して洗浄装置10に供給される。しかし透過液は、比較
的高い純度の洗浄装置10中の洗浄流体が要求される時
にのみ、透過液ライン28を介して洗浄装置10に供給
される。このため、透過液ライン26と28には前記し
た弁が設けられる。
【0024】蒸気ライン40が気化器30の上方領域か
ら出て行き、このラインにいくぶんか純粋の水蒸気が気
化器によって供給される。この蒸気ライン40は水蒸気
が凝縮する熱交換器42に通じている。これにより生じ
た熱は、すすぎ装置12のすすぎ流体の加熱と洗浄装置
10の洗浄流体の加熱とのために、詳細には示されてい
ない方法で利用される。このため、これら2つの装置の
浴槽タンクには熱担持流体ラインを介して熱交換器42
に連結される熱交換器を設けることができる。
【0025】蒸留液ライン46が熱交換器42からすす
ぎ装置12に連通している。熱交換器42で凝縮された
蒸留液、すなわちいくぶんか純粋の水がこのラインを通
ってすすぎ装置12に送られる。蒸留液ライン46に包
含されたポンプが46aとして示されている。変形実施
態様においては、蒸留液ライン46が、弁の設けられた
分岐ラインを介して2つの装置10と12に連結するこ
ともできる。
【0026】スラリー状の沈殿物がオイル分離器18の
中に集まり、これが放出ライン50を介して気化器30
に群で供給され、これを濃くし中に含有されている洗浄
剤を凝縮液ライン32を介して回路に戻すようにするこ
とができる。この放出ライン50に包含されているポン
プが50aとして示されている。気化器はその底部に濃
くされたスラリーの除去のための放出ライン30cを有
している。
【0027】原則的には、もちろん、すすぎ装置12に
用いられるすすぎ流体を再生利用するため、このすすぎ
流体を洗浄装置10を介さずに直接準備工程に供給する
こともまた可能である。この準備工程はオイルを分離す
ること及び/又は蒸留による洗浄からなるものとするこ
とができる。ライン14a及び/又は14bはこのよう
な方法のために用いることができ、ライン14はこの場
合省略することができる。
【0028】さらに、熱交換器42は洗浄装置10及び
/又はすすぎ装置12に取付けられる1つ又は複数の熱
交換器とすることができる。
【0029】最後に、出口ライン46bが蒸留液ライン
46から分岐し、オイル分離器18から生じるスラリー
が気化器中で濃厚にされた時蒸留液を廃水パイプの中に
排出するのに用いられる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の装置の概略図である。
【符号の説明】
10…洗浄装置 12…すすぎ装置 16…排出ライン 18…オイル分離器 20a…供給ライン 20b…戻りライン 22…ろ過装置 26…透過液ライン 28…透過液ライン 30…気化器 32…凝縮液ライン 40…蒸気ライン 46…蒸留液ライン

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  洗浄剤を含有する水性の洗浄流体で目
    的物を洗浄する方法であって、目的物が洗浄流体で処理
    された後水性のすすぎ流体によりすすがれ、予備洗浄に
    続く気化器での蒸留により洗浄流体及びすすぎ流体の少
    なくとも一方から蒸留液が回収されこの蒸留液がもとに
    戻されるようにする洗浄方法において、気化器に供給さ
    れる流体が前もって膜ろ過作用を受け、それにより回収
    された透過液が少なくとも一部蒸留され、この蒸留液が
    少なくとも一部すすぎ工程に用いられるすすぎ流体に加
    えられ、蒸留中に生じた凝縮液が少なくとも一部洗浄工
    程で用いられる洗浄流体に加えられることを特徴とする
    、洗浄剤を含有する洗浄流体で目的物を洗浄する方法。
  2. 【請求項2】  すすぎ流体が、すすぎ流体に加えられ
    た蒸留液の量にしたがってすすぎ工程から取り出され洗
    浄工程で用いられる洗浄流体に加えられ、予備洗浄と膜
    ろ過とのために供給された流体が洗浄工程から取り出さ
    れることを特徴とする請求項1に記載の方法。
  3. 【請求項3】  気化器に供給される洗浄流体及びすす
    ぎ流体の少なくとも一方がオイル分離器で膜ろ過される
    前に収集され、こうして予め洗浄された流体が回路中を
    循環され同時に膜ろ過作用を受けることを特徴とする請
    求項1又は2に記載の方法。
  4. 【請求項4】  洗浄剤を含有する透過液の一部が洗浄
    工程で用いられる洗浄流体に加えられることを特徴とす
    る前記各請求項中の1項に記載の方法。
  5. 【請求項5】  洗浄工程に用いられる洗浄流体及びす
    すぎ工程に用いられるすすぎ流体の少なくとも一方が、
    蒸留液の凝縮中に回収された熱によって加熱されること
    を特徴とする前記各請求項中の1項に記載の方法。
  6. 【請求項6】  少なくとも1つの洗浄装置と1つのす
    すぎ装置と1つの気化器とを具備し、前記洗浄装置が洗
    浄流体ラインと前記気化器に洗浄流体を移送する予備洗
    浄装置とを介して前記気化器に連結され、前記気化器が
    蒸留液を送り返す作用をする蒸留液ラインを有している
    、前記各請求項中の1項に記載の方法を実施する装置に
    おいて、前記洗浄流体ライン(16,20a)が膜ろ過
    装置(22)に連通し、該膜ろ過装置(22)が該膜ろ
    過装置によって生じた透過液を移送する透過液ライン(
    26)を介して前記気化器(30)に連結され、前記蒸
    留液ライン(40,46) が前記すすぎ装置(12)
    に連結され、前記気化器(30)の凝縮領域(30b)
     が凝縮液ライン(32)を介して前記洗浄装置(10
    )に連結されていることを特徴とする洗浄装置。
  7. 【請求項7】  すすぎ装置(12)がすすぎ流体ライ
    ン(14)を介して、すすぎ流体を移送するため洗浄装
    置(10)に連結されていることを特徴とする請求項6
    に記載の装置。
  8. 【請求項8】  洗浄流体ライン(16)が洗浄装置(
    10)と洗浄流体収集タンク(18)とを連結し、洗浄
    流体収集タンク(18)と膜ろ過装置(22)とが供給
    ライン(20a) と戻りライン(20b) とを介し
    て相互に接合されポンプ(20c) を含む回路(24
    )を形成するようにしていることを特徴とする請求項6
    又は7に記載の装置。
  9. 【請求項9】  蒸留液ライン(40,46)が、すす
    ぎ流体及び洗浄流体の少なくとも一方を加熱するための
    少なくとも1つの熱交換器(42)を含んでいることを
    特徴とする請求項6から8のうちの1項に記載の装置。
  10. 【請求項10】  洗浄流体収集タンクが、オイル領域
    (18a) と洗浄流体領域(18b) とからなるオ
    イル分離器(18)として構成され、供給ライン(20
    a) が洗浄流体領域(18b) に連結されているこ
    とを特徴とする請求項8に記載の装置。
  11. 【請求項11】  オイル分離器(18)の下方領域が
    放出ライン(50)を介して気化器(30)に連結され
    、気化器の下方領域には気化器から除去される廃棄物の
    ための出口ライン(30c)が設けられていることを特
    徴とする請求項10に記載の装置。
  12. 【請求項12】  膜ろ過装置(22)が、弁の設けら
    れた透過液ライン(28)を介して洗浄装置(10)に
    連結されていることを特徴とする請求項6から11のう
    ちの1項に記載の装置。
JP3080039A 1990-04-13 1991-04-12 洗浄剤を含有する水性洗浄流体で目的物を洗浄する方法及び装置 Pending JPH04225875A (ja)

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