JP2590087B2 - エキシマレーザ用熱交換器フィン - Google Patents
エキシマレーザ用熱交換器フィンInfo
- Publication number
- JP2590087B2 JP2590087B2 JP62035647A JP3564787A JP2590087B2 JP 2590087 B2 JP2590087 B2 JP 2590087B2 JP 62035647 A JP62035647 A JP 62035647A JP 3564787 A JP3564787 A JP 3564787A JP 2590087 B2 JP2590087 B2 JP 2590087B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- zirconium
- heat exchanger
- excimer laser
- exchanger fin
- excimer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は優れたエキシマレーザ用熱交換器フィンに関
する。
する。
（従来の技術） Ar,Kr,Xeなどの希ガスは安定な原子で、通常は分子を
作らない。しかし、こういった希ガスでも電子を１つ外
側の軌道に励起すると、Na,K,Rbのように最外殻に電子
を１個もつ原子と同様な性質をもつことが可能となり、
分子を形成できる。このような状態をエキシマという。
エキシマとはExcited Dimerの略称であり、励起状態で
しか分子が存在せず、分子が解離するときに放出される
光子を利用したのがエキシマレーザである。従って、レ
ーザの下準位が存在しないことになり、高い利得を示
す。また電子遷移の準位を利用するため、波長が紫外域
にあり、大出力、高効率の紫外レーザとして、電子産
業、化学産業、エネルギー産業、生命産業等での種々の
応用が期待されている。エキシマはその結合する原子に
よって希ガスエキシマ（Xe2,Ar2,Kr2など）、希ガス−
酸素エキシマ（XeO,KrO,ArOなど）、希ガス−ハライド
エキシマ（XeCl,KrF,ArF,XeF,Xe2Cl,Kr2Clなど）、水銀
−ハライドエキシマ（HgBr,HgCl,HgIなど）に大別され
る。これらエキシマは既述の如く、励起状態でしか存在
しない。この中で、希ガス−ハライドエキシマを使った
レーザは高効率、大出力が達成されやすいことから、最
も盛んに研究開発されている。主要希ガスハライドエキ
シマレーザの発振波長はArF;193nm、KrCl;222nm、KrF;2
49nm、XeCl;308nm、XeF;350nmである。励起方式として
は電子ビーム励起、放電励起などがある。特に後者の放
電励起方式では平均出力が大きく、寿命が長いことから
最近の主流になっている。
作らない。しかし、こういった希ガスでも電子を１つ外
側の軌道に励起すると、Na,K,Rbのように最外殻に電子
を１個もつ原子と同様な性質をもつことが可能となり、
分子を形成できる。このような状態をエキシマという。
エキシマとはExcited Dimerの略称であり、励起状態で
しか分子が存在せず、分子が解離するときに放出される
光子を利用したのがエキシマレーザである。従って、レ
ーザの下準位が存在しないことになり、高い利得を示
す。また電子遷移の準位を利用するため、波長が紫外域
にあり、大出力、高効率の紫外レーザとして、電子産
業、化学産業、エネルギー産業、生命産業等での種々の
応用が期待されている。エキシマはその結合する原子に
よって希ガスエキシマ（Xe2,Ar2,Kr2など）、希ガス−
酸素エキシマ（XeO,KrO,ArOなど）、希ガス−ハライド
エキシマ（XeCl,KrF,ArF,XeF,Xe2Cl,Kr2Clなど）、水銀
−ハライドエキシマ（HgBr,HgCl,HgIなど）に大別され
る。これらエキシマは既述の如く、励起状態でしか存在
しない。この中で、希ガス−ハライドエキシマを使った
レーザは高効率、大出力が達成されやすいことから、最
も盛んに研究開発されている。主要希ガスハライドエキ
シマレーザの発振波長はArF;193nm、KrCl;222nm、KrF;2
49nm、XeCl;308nm、XeF;350nmである。励起方式として
は電子ビーム励起、放電励起などがある。特に後者の放
電励起方式では平均出力が大きく、寿命が長いことから
最近の主流になっている。
以下、最も一般的に用いられているXeClエキシマレー
ザを例にとって説明する。XeClエキシマレーザではHCl
＋Xe＋Ne（又はHCl＋Xe＋He）の混合ガスをレーザ管に
封入して使う。放電などで励起されると幾つかの素過程
を経て、XeClエキシマが生じ、308nmのレーザ光を放出
して再び基底状態に戻る。この混合ガスは放電部で加熱
され高温になっている。そこで繰返し動作のため、該混
合ガスを熱交換器に導いて冷却する必要がある。従っ
て、熱交換器フィンの材質は熱伝導性の良いものが好ま
しい。
ザを例にとって説明する。XeClエキシマレーザではHCl
＋Xe＋Ne（又はHCl＋Xe＋He）の混合ガスをレーザ管に
封入して使う。放電などで励起されると幾つかの素過程
を経て、XeClエキシマが生じ、308nmのレーザ光を放出
して再び基底状態に戻る。この混合ガスは放電部で加熱
され高温になっている。そこで繰返し動作のため、該混
合ガスを熱交換器に導いて冷却する必要がある。従っ
て、熱交換器フィンの材質は熱伝導性の良いものが好ま
しい。
従来、熱送風機フィンの材料としては熱伝導性を良く
するために銅のみか、銅基材に耐食性層としてのNiをメ
ッキしたものが、主に、用いられている。しかし、Cu,N
i共にHClに対する耐食性が十分でなく、特に調整時に熱
交換器を大気にさらした時に、HClと空気中の水とが反
応して生じた塩酸が、Cu及びNiメッキをひどく腐食して
しまうという問題があった。このため熱交換器の材質劣
化が進み、熱交換効率の低下、強度低下等を引き起こす
という欠点があった。
するために銅のみか、銅基材に耐食性層としてのNiをメ
ッキしたものが、主に、用いられている。しかし、Cu,N
i共にHClに対する耐食性が十分でなく、特に調整時に熱
交換器を大気にさらした時に、HClと空気中の水とが反
応して生じた塩酸が、Cu及びNiメッキをひどく腐食して
しまうという問題があった。このため熱交換器の材質劣
化が進み、熱交換効率の低下、強度低下等を引き起こす
という欠点があった。
（発明が解決しようとする問題点） 本発明は、上記問題点を解消するためになされたもの
であり、熱伝導性及び高寿命性を兼ね備えたエキシマレ
ーザ用熱交換器フィンを提供することを目的とする。
であり、熱伝導性及び高寿命性を兼ね備えたエキシマレ
ーザ用熱交換器フィンを提供することを目的とする。
（問題点を解決するための手段と作用） 本発明のエキシマレーザ用熱交換器フィンは、銅基材
の表面にジルコニウム又はジルコニウム基合金のうち少
なくとも一つを被覆した材質から構成されていることを
特徴とする。ここで、ジルコニウム基合金とはSn,Fe,N
i,CrまたはNbなどを含む合金であり、具体的にはジルカ
ロイ、オーゼナイト、Zr−Nb合金が挙げられる。これら
ジルコニウム及びジルコニウム基合金を被覆する方法と
しては、クラッド法、塗布法、溶射法、めっき法、化学
蒸着法、物理蒸着法等が可能であり、特に限定されな
い。これらジルコニウム及びジルコニウム基合金はその
表面に酸化物を形成してあっても良い。酸化の具体的方
法としては大気中酸化、熱水中酸化、水蒸気中酸化もし
くは電気化学的酸化が挙げられる。
の表面にジルコニウム又はジルコニウム基合金のうち少
なくとも一つを被覆した材質から構成されていることを
特徴とする。ここで、ジルコニウム基合金とはSn,Fe,N
i,CrまたはNbなどを含む合金であり、具体的にはジルカ
ロイ、オーゼナイト、Zr−Nb合金が挙げられる。これら
ジルコニウム及びジルコニウム基合金を被覆する方法と
しては、クラッド法、塗布法、溶射法、めっき法、化学
蒸着法、物理蒸着法等が可能であり、特に限定されな
い。これらジルコニウム及びジルコニウム基合金はその
表面に酸化物を形成してあっても良い。酸化の具体的方
法としては大気中酸化、熱水中酸化、水蒸気中酸化もし
くは電気化学的酸化が挙げられる。
本発明のエキシマレーザ用熱交換器フィンは、フィン
の表面、即ち、HCl＋Xe＋Neの混合ガスに接触する面が
ジルコニウム、ジルコニウム基合金又はそれらの酸化物
で構成されているので、耐食性が極めて優れている。即
ち、ジルコニウム、ジルコニウム基合金、及びそれらの
酸化物はHClに対する耐食性が良好であり、長時間使用
でも殆ど腐食されない。このためフィン材質の劣化が殆
どなく、レーザ装置寿命が格段に向上する。
の表面、即ち、HCl＋Xe＋Neの混合ガスに接触する面が
ジルコニウム、ジルコニウム基合金又はそれらの酸化物
で構成されているので、耐食性が極めて優れている。即
ち、ジルコニウム、ジルコニウム基合金、及びそれらの
酸化物はHClに対する耐食性が良好であり、長時間使用
でも殆ど腐食されない。このためフィン材質の劣化が殆
どなく、レーザ装置寿命が格段に向上する。
さらに、混合ガスと接するのはフィン表面のみである
から、少なくとも該表面のみが、ジルコニウム、ジルコ
ニウム基合金、又はそれらの酸化物で構成されておれば
良い。従って、ジルコニウム又はジルコニウム基合金と
銅基材との間には異種材質の中間層があっても良い。
から、少なくとも該表面のみが、ジルコニウム、ジルコ
ニウム基合金、又はそれらの酸化物で構成されておれば
良い。従って、ジルコニウム又はジルコニウム基合金と
銅基材との間には異種材質の中間層があっても良い。
なお、ジルコニウムまたはジルコニウム基合金の被覆
厚さは使用条件によっても異なり特に限定されないが、
通常は数ミクロンの厚さで十分である。
厚さは使用条件によっても異なり特に限定されないが、
通常は数ミクロンの厚さで十分である。
更に、本発明のエキシマレーザ用熱交換器フィンは、
その材質の基材が銅であることから、熱伝導性が優れて
いることは言うまでもない。
その材質の基材が銅であることから、熱伝導性が優れて
いることは言うまでもない。
（実 施 例） 以下、本発明の実施例を説明する。寸法2mm×20mm×3
0mmの銅基材の表面に厚さ５μｍのジルコニウムを被覆
した板材を用意し、濃度５％の塩酸に３日間浸漬した
後、１日間空気中に放置した。この浸漬・放置の操作を
100回繰り返した。なお、この操作は実際のエキシマレ
ーザ用熱交換器フィンの腐食条件を模擬したものであ
り、かつ加速腐食条件となっている。上記、100回繰り
返し後、ジルコニウム表面には腐食の発生は見られなか
った。また、腐食試験前の熱抵抗を実測した所、板厚方
向では9.3KW-1であった。
0mmの銅基材の表面に厚さ５μｍのジルコニウムを被覆
した板材を用意し、濃度５％の塩酸に３日間浸漬した
後、１日間空気中に放置した。この浸漬・放置の操作を
100回繰り返した。なお、この操作は実際のエキシマレ
ーザ用熱交換器フィンの腐食条件を模擬したものであ
り、かつ加速腐食条件となっている。上記、100回繰り
返し後、ジルコニウム表面には腐食の発生は見られなか
った。また、腐食試験前の熱抵抗を実測した所、板厚方
向では9.3KW-1であった。
一方、比較例として、寸法2mm×20mm×30mmの銅基材
の表面に厚さ５μｍのNiを被覆した板材を用意し、上記
実施例と同様な浸漬・放置の操作を100回繰り返した。
その結果、腐食の発生が認められた。また、腐食前の熱
抵抗は8.7KW-1であった。
の表面に厚さ５μｍのNiを被覆した板材を用意し、上記
実施例と同様な浸漬・放置の操作を100回繰り返した。
その結果、腐食の発生が認められた。また、腐食前の熱
抵抗は8.7KW-1であった。
以上詳述した如く、本発明のエキシマレーザ用熱交換
器フィンは熱伝導性及び耐食性が優れており、熱交換効
率及びレーザ装置寿命を向上させ、工業上極めて有用で
ある。
器フィンは熱伝導性及び耐食性が優れており、熱交換効
率及びレーザ装置寿命を向上させ、工業上極めて有用で
ある。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−116889（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−227183（ＪＰ，Ａ) 特開 昭52−10309（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−97282（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−137381（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−291958（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】銅基材のHcl＋Xe＋Neの混合ガスと接触す
る表面にジルコニウムまたはジルコニウム基合金のうち
少なくとも一つを被覆した材質から構成されていること
を特徴とするエキシマレーザ用熱交換器フィン。 - 【請求項２】ジルコニウム又はジルコニウム基合金の表
面にそれらの酸化物を形成して成ることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載のエキシマレーザ用熱交換器フ
ィン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62035647A JP2590087B2 (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | エキシマレーザ用熱交換器フィン |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62035647A JP2590087B2 (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | エキシマレーザ用熱交換器フィン |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63204681A JPS63204681A (ja) | 1988-08-24 |
| JP2590087B2 true JP2590087B2 (ja) | 1997-03-12 |
Family
ID=12447668
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62035647A Expired - Fee Related JP2590087B2 (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | エキシマレーザ用熱交換器フィン |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2590087B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04129695U (ja) * | 1991-05-15 | 1992-11-27 | 株式会社昭和鉛鉄 | 酸洗プロセスラインの熱交換装置 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5210309A (en) * | 1975-07-14 | 1977-01-26 | Citizen Watch Co Ltd | Outer part for watches |
| JPS5897282A (ja) * | 1981-12-02 | 1983-06-09 | 株式会社豊田中央研究所 | マイクロヒ−タ |
| JPS59227183A (ja) * | 1983-06-07 | 1984-12-20 | Hamamatsu Photonics Kk | 希ガス・ハロゲン・エキシマレ−ザ装置 |
| JPS60256084A (ja) * | 1984-06-01 | 1985-12-17 | 住友金属工業株式会社 | 複合型ジルコニウム合金被覆管 |
| JPS61116889A (ja) * | 1984-11-13 | 1986-06-04 | Mitsubishi Electric Corp | 放電励起型短パルスレ−ザ装置 |
| JPS61137381A (ja) * | 1984-12-10 | 1986-06-25 | Mitsubishi Electric Corp | 無声放電式ガスレ−ザ装置 |
| JPH0718007B2 (ja) * | 1985-06-04 | 1995-03-01 | 株式会社日立製作所 | ジルコニウム基合金部材の製造方法 |
| JPS61291958A (ja) * | 1985-06-17 | 1986-12-22 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 高耐食性チタン材 |
-
1987
- 1987-02-20 JP JP62035647A patent/JP2590087B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63204681A (ja) | 1988-08-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW488010B (en) | Chamber member made of aluminum alloy and heater block | |
| US5923693A (en) | Discharge electrode, shape-restoration thereof, excimer laser oscillator, and stepper | |
| JP5682624B2 (ja) | 銅層及びモリブデン層を含む多層構造膜用エッチング液 | |
| US8778562B2 (en) | Method of depositing durable thin gold coating on fuel cell bipolar plates | |
| JP3919996B2 (ja) | プラズマ処理装置用アルミニウム合金、プラズマ処理装置用アルミニウム合金部材およびプラズマ処理装置 | |
| JP2590087B2 (ja) | エキシマレーザ用熱交換器フィン | |
| JP2004035911A (ja) | レニウム含有合金皮膜を被着してなる耐高温酸化性耐熱合金部材の製造方法 | |
| CA2461523A1 (en) | Heat exchanger, method for fluorination of the heat exchanger or component members thereof, and method of manufacturing the heat exchanger | |
| JP2014104509A (ja) | アルミニウム合金製ブレージングシートおよびアルミニウム合金製ブレージングシートを用いたアルミニウム部材のろう付方法 | |
| JP2590086B2 (ja) | エキシマレーザ用送風機フィン | |
| Hughes et al. | Desmutting of aluminium alloy 2024-T3 using rare earth electrolyte | |
| JPH11211376A (ja) | 伝熱部材及びその製造方法 | |
| RU2112087C1 (ru) | Способ получения защитных покрытий на алюминии и его сплавах | |
| JPS63204677A (ja) | エキシマレ−ザ用電極 | |
| JPS633713B2 (ja) | ||
| JPS6214622B2 (ja) | ||
| JPS63204676A (ja) | 高繰り返しエキシマレ−ザ装置 | |
| JP2839737B2 (ja) | エキシマレーザ装置 | |
| JP2006176855A (ja) | 熱交換器用アルミニウムフィン材の製造方法 | |
| JP2004360066A (ja) | 耐食性材料およびその製造方法 | |
| JP2021510455A (ja) | 放電チャンバのための電極 | |
| JPS60177955A (ja) | 自動車用銅系ラジエ−タ−の製造法 | |
| JPH02187085A (ja) | エキシマレーザ装置 | |
| JPS63204678A (ja) | エキシマレ−ザ管 | |
| WO2016190001A1 (ja) | 熱電変換モジュールおよび車両用排気管 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |