JP2588498Y2 - バーンイン装置用自動開閉扉 - Google Patents
バーンイン装置用自動開閉扉Info
- Publication number
- JP2588498Y2 JP2588498Y2 JP1993002220U JP222093U JP2588498Y2 JP 2588498 Y2 JP2588498 Y2 JP 2588498Y2 JP 1993002220 U JP1993002220 U JP 1993002220U JP 222093 U JP222093 U JP 222093U JP 2588498 Y2 JP2588498 Y2 JP 2588498Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- door
- unit
- group
- burn
- guide rail
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Power-Operated Mechanisms For Wings (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は半導体装置等のバーンイ
ン装置の開口部の扉に関する。
ン装置の開口部の扉に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、一般のバーンイン装置の開口部の
扉は片側を蝶番で保持した片開き扉が使用されている。
扉は片側を蝶番で保持した片開き扉が使用されている。
【０００３】又、他の装置の場合には単位扉をそれぞれ
の隣接辺を蝶番で連結した扉群とし、ガイドレールで誘
導して格納するように構成したものがある。
の隣接辺を蝶番で連結した扉群とし、ガイドレールで誘
導して格納するように構成したものがある。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】しかし、前者の場合は
扉を開いた時に扉の幅だけ装置の前方に張出し、フロア
スペースを大きく確保しておくことが必要である。
扉を開いた時に扉の幅だけ装置の前方に張出し、フロア
スペースを大きく確保しておくことが必要である。
【０００５】後者の場合は前方に大きなフロアスペース
は必要としないが、開扉時に展開状態のままの扉を収納
する場所が装置の内部に必要であり、大きな奥行きが必
要である。
は必要としないが、開扉時に展開状態のままの扉を収納
する場所が装置の内部に必要であり、大きな奥行きが必
要である。
【０００６】本考案と上述の問題を解決して、余分をフ
ロアスペースも必要とせず、又、装置に余分な奥行きを
保持する必要もないバーンイン装置を提供することを課
題とする。
ロアスペースも必要とせず、又、装置に余分な奥行きを
保持する必要もないバーンイン装置を提供することを課
題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに、バーンイン装置用扉において、水平方向に等間隔
に分割し、かつ互いに連結している単位扉１と、この連
結された扉群を誘導するためにバーンイン装置の前面開
口部においては垂直に、底部においては奥側が低い位置
となるような緩い傾斜に保持されたガイドレール２と、
扉群を開閉するための駆動装置３とより構成したもので
ある。
めに、バーンイン装置用扉において、水平方向に等間隔
に分割し、かつ互いに連結している単位扉１と、この連
結された扉群を誘導するためにバーンイン装置の前面開
口部においては垂直に、底部においては奥側が低い位置
となるような緩い傾斜に保持されたガイドレール２と、
扉群を開閉するための駆動装置３とより構成したもので
ある。
【０００８】なお、単位扉１は両側面にそれぞれ前記ガ
イドレール２と係合する係合突起１１と、隣接する単位
扉１相互間を連結して扉群を構成するためにピン１２で
回動自在に枢支される連結板１３と、扉群がガイドレー
ル２の垂直部分で平面状に保持されたときに隣接する単
位扉１相互間が閉鎖状態を保持するように上及び下側端
面が互いに逆方向のＬ字状端面で構成されている。
イドレール２と係合する係合突起１１と、隣接する単位
扉１相互間を連結して扉群を構成するためにピン１２で
回動自在に枢支される連結板１３と、扉群がガイドレー
ル２の垂直部分で平面状に保持されたときに隣接する単
位扉１相互間が閉鎖状態を保持するように上及び下側端
面が互いに逆方向のＬ字状端面で構成されている。
【０００９】更に、単位扉１の係合突起１１は最上端及
び奇数番目の単位扉１ではその重心より一定距離の上側
の位置で、偶数番目の単位扉１ではその重心より一定距
離の下側の位置で突出しているものである。
び奇数番目の単位扉１ではその重心より一定距離の上側
の位置で、偶数番目の単位扉１ではその重心より一定距
離の下側の位置で突出しているものである。
【００１０】又、駆動装置３には扉群の最上端の単位扉
１を引き上げる引上げ手段を設けたものである。
１を引き上げる引上げ手段を設けたものである。
【００１１】
【作用】上述のように、開口部が閉鎖状態のときは扉群
は駆動装置３で開口部の上端まで引き上げられて平面状
となり、各単位扉１は上下の端面が互いに接触して密閉
状態となる。
は駆動装置３で開口部の上端まで引き上げられて平面状
となり、各単位扉１は上下の端面が互いに接触して密閉
状態となる。
【００１２】開口部を開放するときは、駆動装置３で扉
群の引上げ保持を解除すると、扉群は自重でガイドレー
ル２に沿って降下するが、ガイドレール２の傾斜部に移
行する湾曲部で各単位扉１はその自重でほぼ垂直状態を
保持しながらガイドレール２の傾斜部を奥の方向へ移行
し、各単位扉１は折り畳まれた状態で収納されてゆく。
群の引上げ保持を解除すると、扉群は自重でガイドレー
ル２に沿って降下するが、ガイドレール２の傾斜部に移
行する湾曲部で各単位扉１はその自重でほぼ垂直状態を
保持しながらガイドレール２の傾斜部を奥の方向へ移行
し、各単位扉１は折り畳まれた状態で収納されてゆく。
【００１３】
【実施例】図１は本考案のバーンイン装置用扉の構成図
で、（イ）は閉鎖状態の扉群の正面図、（ロ）は同じく
側面図、（ハ）は折り畳み状態の側面図（ガイドレール
を含む）、図２はバーンイン装置に配置された扉の構成
図である。
で、（イ）は閉鎖状態の扉群の正面図、（ロ）は同じく
側面図、（ハ）は折り畳み状態の側面図（ガイドレール
を含む）、図２はバーンイン装置に配置された扉の構成
図である。
【００１４】本考案のバーンイン装置用扉は、水平方向
に等間隔に分割し、かつ互いに連結している単位扉１
と、この連結された扉群を誘導するためにバーンイン装
置の前面開口部においては垂直に、底部においては奥側
が低い位置となるような緩い傾斜に保持されたガイドレ
ール２と、扉群を開閉するための駆動装置３とより構成
したものである。
に等間隔に分割し、かつ互いに連結している単位扉１
と、この連結された扉群を誘導するためにバーンイン装
置の前面開口部においては垂直に、底部においては奥側
が低い位置となるような緩い傾斜に保持されたガイドレ
ール２と、扉群を開閉するための駆動装置３とより構成
したものである。
【００１５】単位扉１は両側面にそれぞれ前記ガイドレ
ール２と係合する係合突起１１と、隣接する単位扉１相
互間を連結して扉群を構成するためにピン１２で回動自
在に枢支される連結板１３と、扉群がガイドレール２の
垂直部分で平面状に保持されたときに隣接する単位扉１
相互間が閉鎖状態を保持するように上及び下側端面が互
いに逆方向のＬ字状端面で構成されている。
ール２と係合する係合突起１１と、隣接する単位扉１相
互間を連結して扉群を構成するためにピン１２で回動自
在に枢支される連結板１３と、扉群がガイドレール２の
垂直部分で平面状に保持されたときに隣接する単位扉１
相互間が閉鎖状態を保持するように上及び下側端面が互
いに逆方向のＬ字状端面で構成されている。
【００１６】更に、単位扉１の係合突起１１は最上端及
び奇数番目の単位扉１ではその重心より一定距離の上側
の位置で、偶数番目の単位扉１ではその重心より一定距
離の下側の位置で突出しているものである。
び奇数番目の単位扉１ではその重心より一定距離の上側
の位置で、偶数番目の単位扉１ではその重心より一定距
離の下側の位置で突出しているものである。
【００１７】又、駆動装置３は開口部の下側に設けら
れ、扉群を引き上げるようにチェーンやワイヤー等の伝
導部材３１で扉群の最上端の単位扉１の上端を保持して
いる。
れ、扉群を引き上げるようにチェーンやワイヤー等の伝
導部材３１で扉群の最上端の単位扉１の上端を保持して
いる。
【００１８】次に、上述の扉群の動作について説明す
る。図３は扉群及びガイドレールを示したもので、垂直
部はバーンイン装置の開口部の部分、下側の緩い傾斜部
はバーンイン装置の底部の部分である。なお、図３は説
明図であるので、扉群は垂直部と傾斜部の両方に部分的
に表示してある。
る。図３は扉群及びガイドレールを示したもので、垂直
部はバーンイン装置の開口部の部分、下側の緩い傾斜部
はバーンイン装置の底部の部分である。なお、図３は説
明図であるので、扉群は垂直部と傾斜部の両方に部分的
に表示してある。
【００１９】垂直部の扉群は各単位扉１は連結板１３で
連結されており、各単位扉１の係合突起１１がガイドレ
ール２の溝に係合して全体で平面状となっている。この
場合、各単位扉１の上側のＬ字状端面と上側に隣接して
いる単位扉１の下側の逆Ｌ字状端面とはＬ字の垂直部分
が接触するように構成されており、この接触により全体
として開口部を閉鎖するように構成されている。
連結されており、各単位扉１の係合突起１１がガイドレ
ール２の溝に係合して全体で平面状となっている。この
場合、各単位扉１の上側のＬ字状端面と上側に隣接して
いる単位扉１の下側の逆Ｌ字状端面とはＬ字の垂直部分
が接触するように構成されており、この接触により全体
として開口部を閉鎖するように構成されている。
【００２０】開扉する場合は、駆動装置３で釣り上げら
れていた扉群の釣り上げを解除すると、扉群は自重でガ
イドレール２に沿って降下し湾曲部を経て緩い傾斜部に
到達する。
れていた扉群の釣り上げを解除すると、扉群は自重でガ
イドレール２に沿って降下し湾曲部を経て緩い傾斜部に
到達する。
【００２１】この場合、単位扉１の係合突起１１は上か
ら奇数番目の単位扉１ではその重心より上側に設けられ
ており、偶数番目の単位扉１は下側に設けられている。
更に、連結板１３は上から奇数番目と偶数番目の間では
内側に、偶数番目と奇数番目の間では外側に設けられて
いるので、この結果、底部の緩い傾斜部では図３に示す
ように折り畳んだ状態でガイドレール２の奥まで移行し
てゆく。
ら奇数番目の単位扉１ではその重心より上側に設けられ
ており、偶数番目の単位扉１は下側に設けられている。
更に、連結板１３は上から奇数番目と偶数番目の間では
内側に、偶数番目と奇数番目の間では外側に設けられて
いるので、この結果、底部の緩い傾斜部では図３に示す
ように折り畳んだ状態でガイドレール２の奥まで移行し
てゆく。
【００２２】閉鎖する場合は駆動装置３でそのまま引き
上げると図３の垂直部に示すように各単位扉１は順次引
き出されて平面状に配列され、開口部を閉鎖する。
上げると図３の垂直部に示すように各単位扉１は順次引
き出されて平面状に配列され、開口部を閉鎖する。
【００２３】
【考案の効果】上述のように、開扉時には各単位扉１は
折り重なった状態で収容されるので、奥行きが短くても
収容が可能である。
折り重なった状態で収容されるので、奥行きが短くても
収容が可能である。
【００２４】又、扉は装置の外側に突出しないので、前
側に広いフロアスペースを取る必要がない。
側に広いフロアスペースを取る必要がない。
【００２５】更に、開閉は駆動装置のみで行うので、開
閉の自動化が容易である。
閉の自動化が容易である。
【図１】本考案のバーンイン装置用扉の構成図で、
（イ）は閉鎖状態の扉群の正面図、（ロ）は同じく側面
図、（ハ）は折り畳み状態の側面図（ガイドレールを含
む）である。
（イ）は閉鎖状態の扉群の正面図、（ロ）は同じく側面
図、（ハ）は折り畳み状態の側面図（ガイドレールを含
む）である。
【図２】バーンイン装置に配置された扉の構成図であ
る。
る。
【図３】本考案の扉の動作説明図である。
１ 単位扉 １１ 係合突起 １２ ピン １３ 連結板 ２ ガイドレール ３ 駆動装置
Claims (2)
- 【請求項１】 バーンイン装置用扉において、水平方向
に等間隔に分割し、かつ互いに連結している単位扉と、
この連結された扉群を誘導するために前記バーンイン装
置の前面開口部に於いては垂直に、底部に於いては奥側
が低い位置となるような緩い傾斜に保持されたガイドレ
ールと、前記扉群を開閉するための駆動装置とよりな
り、前記単位扉は両側面にそれぞれ前記ガイドレールと
係合する係合突起と、隣接する単位扉とを連結して扉群
を構成するためにピンで回動自在に枢支される連結板
と、前記扉群が前記ガイドレールの垂直部分で平面状に
保持されたときに隣接する単位扉相互間が閉鎖状態を保
持するように上及び下側端面が互いに逆方向のＬ字状端
面を具備し、前記駆動装置には前記扉群の最上端の単位
扉を引き上げる引上げ手段を具備したことを特徴とする
バーンイン装置用自動開閉扉。 - 【請求項２】 前記単位扉の係合突起は最上端及び奇数
番目の単位扉ではその重心より一定距離の上側の位置
で、偶数番目の単位扉ではその重心より一定距離の下側
の位置で突出していることを特徴とする請求項１のバー
ンイン装置用自動開閉扉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993002220U JP2588498Y2 (ja) | 1993-02-01 | 1993-02-01 | バーンイン装置用自動開閉扉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993002220U JP2588498Y2 (ja) | 1993-02-01 | 1993-02-01 | バーンイン装置用自動開閉扉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0659583U JPH0659583U (ja) | 1994-08-19 |
| JP2588498Y2 true JP2588498Y2 (ja) | 1999-01-13 |
Family
ID=11523280
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993002220U Expired - Lifetime JP2588498Y2 (ja) | 1993-02-01 | 1993-02-01 | バーンイン装置用自動開閉扉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2588498Y2 (ja) |
-
1993
- 1993-02-01 JP JP1993002220U patent/JP2588498Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0659583U (ja) | 1994-08-19 |
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