JP2567929B2 - 光走査用レンズ及び光走査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光走査用レンズおよびこの光走査用レンズ
を用いた光走査装置に関する。

〔従来の技術〕 光走査装置は、光情報を書き込んだり、あるいは原稿
を読み取ったりするための装置として広く知られてい
る。光走査装置において、偏向光束を走査面上に結像さ
せるために用いられる結像レンズは、通常、ｆθレンズ
であるが、光走査装置のコンパクト化を図るために全偏
向角の大きいｆθレンズの実現が要請されている。ｆθ
レンズを２枚玉、３枚玉として構成すると、全偏向角10
0゜以上を実現できるが、ｆθレンズのコストが高くな
り、結果的に光走査装置の価格が高くなる。一方、コス
トの低減をねらった、単玉のｆθレンズを提案されてい
る（例えば、特公昭61−48684号公報）。また、特開昭5
4−87540号公報には、入射光束を発散性の光束とし、ｆ
θレンズと同様の機能を果すレンズ系が開示されてい
る。

また、光走査用レンズに大きな像面湾曲があると、被
走査面を走査するスポットの径が、走査位置とともに変
化し、良好な走査の妨げとなる。

このような像面湾曲を補正する方法としては従来か
ら、長尺シリンドリカルレンズを湾曲させたものを用い
る方法が提案されている（例えば、USP4,496,209、同4,
639,072、特開昭58−200214）。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記特公昭61−48684号公報で提案されているｆθレ
ンズは、焦点距離ｆ＝300mmに対して、半画角21゜程度
で５〜10mm以上の像面湾曲が発生する。

また、特開昭54−87540号公報開示のレンズ系も焦点
距離ｆ＝150mmに対して、半画角15〜21゜程度で5mm以上
の像面湾曲が発生する。

従って、これら従来のレンズ系は大偏向角の光走査装
置に使用するには性能が十分でない。

また、像面湾曲の補正を、上述の如き湾曲させたシリ
ンドリカルレンズにより行う場合、このシリンドリカル
レンズは主走査方向には殆どパワーをもたないので、主
走査方向の像面湾曲については、これを補正することが
できない。

本発明は上述した事情に鑑みてなされたものである
る。

即ち、本発明の第１の目的は、単玉構成でｆθレンズ
と類似した機能を有し、100゜を越えるような大偏向角
の光走査をも有効に行うことを可能ならしめる、新規な
光走査用レンズの提供にある。

第２の目的は、上記光走査用レンズを用いた新規な光
走査装置の提供にある。

第３の目的は、単玉の光走査用レンズを用い、方偏向
角の光走査が可能で、尚かつ、主・副走査方向の像面湾
曲を有効に補正しうる新規な光走査装置の提供にある。

〔課題を解決するための手段〕

以下本発明を説明する。

本発明の、光走査用レンズは、等角速度的に偏向され
る集束光束（実質的に平行光速と見做されるものを除
く）を更に集束させて被走査面上に結像せしめ、略等速
的に走査させるためのレンズであって、単レンズであ
る。

材質の屈折率をｎ、焦点距離をｆ、入射偏向光束の偏
向点側のレンズ面の曲率半径をR₁、被走査面側のレンズ
面の曲率半径をR₂とするとき、R₂＜０で、且つ|R₁|＞|R
₂|であり、前側主点から測った入射瞳距離をｔ、入射集
束光の自然集束点迄の距離をｓとするとき、この光走査
用レンズは、 （ｉ）−７＜（nf/t）＋（f/s）＜−0.6 （ii）−0.41＜（t/f）＜−0.13 なる条件を満足する。

次に光走査装置は、光束を放射する光源装置と、この
光源装置からの光束を集束光束にするための集束光学系
と、この集束光学系による集束光束を等角速度的に偏向
させる偏向装置と、この偏向装置により偏向される集束
光束を更に集束させて、被走査面上に結像せしめ、略等
速的に走査させるための上述の光走査用レンズとを有す
る。

この光走査装置には、また、副走査方向の像面湾曲を
良好に補正するために、補正手段として、長尺シリンド
リカルレンズや長尺トロイダルレンズを用いることがで
きる。

次に、主・副走査方向の像面湾曲を補正しうる光走査
装置は、光束を放射する光源装置と、この光源装置から
の光束を集束光束するための集束光学系と、この集束光
学系による集束光束を等角速度的に偏向させる偏向装置
と、この偏向装置により偏向される集束光束を更に集束
させて、被走査面を略等速的に走査させるための光走査
用レンズと、上記光走査用レンズと共働して上記集束光
束を実質的に被走査面上に結像させるとともに主・副走
査方向の像面湾曲を補正する補正光学系とを有する。

上記光走査用レンズは、単レンズである。

上記補正光学系は、上記光走査用レンズと被走査面と
の間に配備された長尺トロイダルレンズであり、その第
１面が主走査方向に於いて上記偏向装置側に凸面を向け
ており、ｎ′を屈折率、R_1Xを上記第１面の主走査方向
の曲率半径、R_2Xを第２面の主走査方向の曲率半径、ｌ
を上記第１面から被走査面迄の距離、ｈを有効走査幅の
1/2、Ｌを上記偏向装置の偏向の起点から被走査面迄の
距離とするとき、これらが、 （Ｉ） 0.2＜（l²＋h²）／（2l・R_1X）＜0.74 （II） 0.007＜（ｎ′−１）｛（1/R_1X）−（1/
R_2X）｝・Ｌ＜0.059 なる条件を満足する。

〔作用〕

以下、図面を参照しながら説明する。

第１図は、本発明の上記光走査用レンズに用いる光走
査装置の最も基本的な構成を概略的に示している。

図中、符号Ｑは光源装置、符号２は集束光学系として
の集光レンズ、符号５は光走査用レンズを示している。

光源装置Ｑは、光走査用の光束を放射すための装置で
あり、半導体レーザーや発光ダイオードその他の光源装
置を用いる事ができる。この第１図では半導体レーザー
が光源装置として想定されている。光源装置Ｑは集光レ
ンズ２の物体側の光軸上に配備され、発散性の光束を集
光レンズ２に入射させる。符号１で示す平面は、光源装
置Ｑの位置で光軸に直交する平面、即ち物体面を示し、
符号Scは、集光レンズ２と物体面１との間の距離、即ち
物体距離を示す。

さて、集光レンズ２に入射した光束は、集光レンズ２
の像側に何も無ければ、像面７上のＱ′点に結像する。
符号Sc′は集光レンズ２の結像における像距離を示して
いる。

第１図に於いて、符号３は偏向装置の偏向面を模式的
に示している。偏向装置としては、光束を等角速度的に
偏向させる装置、即ちポリゴンミラーもしくはピラミダ
ルミラー等が用いられる。

偏向装置で、集光レンズ２による集束光束を偏向させ
ると、同レンズ２による結像点は円弧４上を移動する。
偏向装置がポリゴンミラーを用いた物であるときには、
偏向の起点が光軸上で若干変動するので、結像点の軌跡
は完全な円弧にはならないが円弧４に近い形状になる。

さて、光走査用レンズ５は、正の屈折力を有し、偏向
装置による偏向光束の、偏向起点と被走査面との間に配
備される。この光走査用レンズ５は、その正の屈折力に
より、入射する偏向集束光束をさらに集束させて実質的
に被査走面６上にスポット状に結像させる。換言すれば
光走査用レンズ５は理想的には、集光レンズ２による結
像点の偏向による移動軌跡を虚光源物体位置とし、これ
と被走査面６とを共役関係に結び付ける機能を有する。
従って、図の様に、光走査用レンズ５の前側主点Ｈから
像面７迄の距離、換言すれば前側主点Ｈから集光レンズ
２による集光点までの距離をＳ、後側主点Ｈ′から走査
面６迄の距離をＳ′とすれば、 （1/S）−（1/s′）＝−1/f が成り立つ。ｆは勿論、光走査用レンズ５の焦点距離で
ある。

光走査用レンズ５に関し、前側主点Ｈから測った、入
射瞳距離を図の如くｔとする。

すると、光走査用レンズの屈折率ｎ、焦点距離ｆ、上
記S,tは、上述した２条件（ｉ），（ii）を満足するの
である。なお、これらの距離は、幾何光学に従い、正負
の値をとることは言うまでもない。

条件（ｉ）は、主走査スポット径を均一化するための
条件であり、下限を越えると、メリジオナル像面湾曲が
中間像高でアンダー側に大きく膨らんだ形となり、主走
査スポット径の均一化が困難となり、上限を越えると、
メリジオナル像面が全像高でアンダー側に倒れてしま
い、同じく主走査スポット径の均一化が困難になる。

条件（ii）の、下限を越えると光走査用レンズが大き
く成りすぎ実用的でなくなってしまう。また、上限を越
えると、ｆθ特性即ちリニアリティが悪くなり20％を越
えてしまい、書き込みや読取の際の光走査の等速性から
のずれを、電気的な信号処理で補正しきれなくなってし
まう。

本発明の、光走査用レンズは前述の通り、等角速度的
に偏向される集束光束を被走査面上に結像せしめて略等
速的に走査させるのであるが、ここに言う略等速的と
は、上記の如く、等速性からのずれが、電気的な信号処
理で補正できる程度のずれである程度に等速的であると
言う意味である。

上述の如く、本発明では偏向集束光束を光走査用レン
ズにより更に集束させ、その集束点近傍に被走査面を配
るようにしたので像面湾曲が大幅に改善される。

なお、副走査方向の像面湾曲の補正のために長尺シリ
ンドリカルレンズや長尺トロイダルレンズを用いる場合
には、これらは光走査用レンズと被走査面との間に配備
される。

次に、第31図を参照すると、この図は主・副走査方向
の像面湾曲を良好に補正しうる光走査装置の基本的な構
成を概略的に示している。

図中、符号Ｑは光源装置、符号２は集束光学系として
の集光レンズ、符号50は光走査用レンズを示している。

光源装置Ｑとしては、前述の第１図におけると同じく
半導体レーザや発光ダイオードその他の光源装置を用い
る事ができ、この第31図でも半導体レーザーが光源装置
として想定されている。光源装置Ｑは発散性の光束を集
光レンズ２に入射させる。符号１で示す平面は物体面で
ある。第１図の場合と同様集光レンズ２に入射した光束
は、集光レンズ２の像側に何も無ければ、自然集束点即
ち、像面７上のＱ′点に結像する。

第１図に於けると同様偏向装置としては、光束を等角
速度的に偏向させる装置、即ちポリゴンミラーもしくは
ピラミダルミラー等が用いられる。

偏向装置で、集光レンズ２による集束光束を偏向させ
ると、前述の第１図の場合と同様に、同レンズ２による
結像点は円弧４上を移動する。偏向装置がポリゴンミラ
ーを用いた物であるときには、円弧４に近い形状にな
る。

光走査用レンズ50は、正の屈折力を有し、偏向装置に
よる偏向光束の、偏向の起点と被走査面６との間に配備
される。

長尺トロイダルレンズ80は副走査方向（第31図で図面
に直交する方向）に強い正の屈折力を有し、主走査方向
には光走査用レンズ50に比して弱い屈折力を有してお
り、光走査用レンズ50と被走査面６との間に配備され
る。

光走査用レンズ50は、その正の屈折力により、入射す
る偏向集束光束をさらに集束させ、長尺トロイダルレン
ズ８との共働作用により実質的に比走査面６上にスポッ
ト状にさせる。

第31図に於いて、L,l,hは先に条件（Ｉ），（II）に
関連して説明した距離量であり、Ｄは偏向装置の偏向の
起点から像面７迄までの距離である。

長尺トロイダルレンズ80には、２つの機能がある。一
つは副走査方向の像面湾曲の補正である。長尺トロイダ
ルレンズ80に代えて、例えば長尺シリンドリカルレンズ
を補正光学系として用いても補正光学系を全く用いない
場合に比べれば副走査方向の像面湾曲は小さくなるが、
補正は十分ではない。即ち、軸上に対して軸外では斜め
入射のため、副走査方向の屈折力が大きくなり、集束点
が偏向装置側にずれてしまうため、偏向装置側に凹面を
向けた弓状の像面湾曲が生ずる。

本発明では、補正光学系として、主走査方向に於いて
第１面が偏向装置側に凸面を向けた長尺トロイダルレン
ズ80を用いて、上記弓状の像面をより平坦に補正する。

なお、補正光学系として長尺シリンドリカルレンズを
用い、その副走査方向の焦点距離を小さくすることによ
っても像面湾曲を小さくすることが可能であるが、この
ようにすると長尺シリンドルカルレンズと被走査面との
間の距離が小さくなるので、この方法での補正には光走
査装置の機構的な面からの制約が厳しい。

長尺トロイダルレンズの機能の第２は、主走査方向の
像面湾曲の補正である。

従来から、副走査方向の像面湾曲を補正する手段とし
て知られた肉厚略一定の長尺トロイダルレンズの場合
は、平凸もしくは両凹に形成した光走査用レンズの屈折
率が小さいと、主走査方向の像面湾曲が中間像高もしく
は像高が大きくなるにつれて幾分アンダーになるが、本
発明では長尺トロイダルレンズが、主走査方向にも正の
屈折力を持つので主走査方向の像面湾曲を改良できる。

長尺トロイダルレンズは前述した条件（Ｉ），（II）
を満足する。

条件（Ｉ）は、長尺トロイダルレンズの第１面の主走
査方向の曲率半径R_1Xの範囲を決定する条件であり、下
限を越えると副走査方向の副走査方向の像面湾曲が補正
不足となり、上限を越えると逆に補正過剰となり、長尺
トロイダルレンズの両端が被走査面６に近接しすぎてし
まう。

条件（II）は、長尺トロイダルレンズの主走査方向の
屈折力の範囲を決定する条件であり、下限を越えると、
主走査方向の像面湾曲が補正不足となり、上限を越える
と補正過剰となる。

なお、副走査方向に於いて、偏向装置の偏向の起点と
被走査面とを略幾何学光学的な共役関係となるように長
尺トロイダルレンズを配備することにより、偏向装置と
してポリゴンミラーを用いたときに、面倒れ補正を行う
ことができる。

また、長尺トロイダルレンズをプラスチックで形成す
ると、モールド化が容易であるので、量産化上、低コス
ト化上有利である。

副走査方向の像面湾曲のみを補正するのであれば、補
正手段として、主走査方向には、殆どパワーのない長尺
トロイダルレンズを用いることができるが、このような
長尺トロイダルレンズを補正手段として用いる場合、前
述の如く光走査用レンズの屈折率が低い（例えば1.6以
下）場合、単レンズは平凸もしくは両凸だと主走査方向
の像面湾曲がアンダーになってしまう。また、低屈折率
の単レンズをメニスカス形状とすると像面湾曲は良好に
補正できるがリニアリティが悪化してしまう。このた
め、上記近似的なｆθレンズ機能を持つ単レンズを、屈
折率の小さいプラスチックで構成することが出来ない。

〔実 施 例〕

以下、具体的な実施例を説明する。

まず、第１図、第２図に即して説明した光走査用レン
ズに関する実施例を22例示す。

第２図に示すように、各実施例において、R₁,R₂は、
それぞれ光走査用レンズの偏向起点側（第２図左方）及
び被走査面６側のレンズ面の曲率半径を表し、doは、偏
向起点側のレンズ面と偏向起点との間の距離、d₁は光走
査用レンズのレンズ面間隔、Ｄは走査面側レンズ面と被
走査面６との間の距離を示す。また、Ｘとあるのは、条
件（ｉ）のパラメーター即ち、（nf/t）＋（f/s）を表
し、Ｙとあるのは、条件（ii）の（t/f）を表してい
る。

また、これら22のレンズ実施例では光走査用レンズの
焦点距離ｆを200に統一してある。

また、R₂＜０で、且つ|R₁|＞|R₂|であるから、光走査
用レンズの走査面側は凸面であり、光走査用レンズの形
態は、平凸レンズ、両凸レンズ、凸メニスカスレンズが
可能であり、実施例１〜10は平凸レンズの実施例、実施
例11〜16は、両凸レンズの実施例、実施例17〜22は凸メ
ニスカスレンズの実施例となっている。

実施例１ ｆ＝200,s＝30,t＝−27.286,X＝−3.6,Y＝−0.13643 R₁ R₂ do d₁ Ｄ ｎ ∞ −80 13 20 26.087 1.4 最大偏向角:110゜，書き込み幅:114.6,リニアリティ:
19.8％以下である。

第３図に、この実施例の主走査方向の像面湾曲を示
す。

実施例２ ｆ＝200,s＝120,t＝−39.286,X＝−5.46,Y＝−0.19643 R₁ R₂ do d₁ Ｄ ｎ ∞ −80 25 20 75 1.4 最大偏向角:120゜，書き込み幅:240.8,リニアリティ:
15.5％である。

第４図に、この実施例の主走査方向の像面湾曲を示
す。

実施例３ ｆ＝200,s＝48,t＝−34.333,X＝−4.57,Y＝−0.17167 R₁ R₂ do d₁ Ｄ ｎ ∞ −100 21 20 38.709 1.5 最大偏向角:110゜，書き込み幅:150.0,リニアリティ:
17.7％以下である。

第５図に、この実施例の主走査方向の像面湾曲を示
す。

実施例４ ｆ＝200,s＝120,t＝−49.333,X＝−4.41,Y＝−0.24667 R₁ R₂ do d₁ Ｄ ｎ ∞ −100 36 20 75 1.5 最大偏向角:110゜，書き込み幅:227.5,リニアリティ:
12.0％以下である。

第６図に、この実施例の主走査方向の像面湾曲を示
す。

実施例５ ｆ＝200,s＝30,t＝−26.111,X＝−6.86,Y＝−0.13056 R₁ R₂ do d₁ Ｄ ｎ ∞ −160 15.5 20 26.087 1.8 最大偏向角:110゜，書き込み幅:111.8,リニアリティ:
18.3％以下である。

第７図に、この実施例の主走査方向の像面湾曲を示
す。

実施例６ ｆ＝200,s＝120,t＝−65.111,X＝−3.86,Y＝−0.32556 R₁ R₂ do d₁ Ｄ ｎ ∞ −160 54 20 75 1.8 最大偏向角:110゜，書き込み幅:245.5,リニアリティ:
10.5％以下である。

第８図に、この実施例の主走査方向の像面湾曲を示
す。

実施例７ ｆ＝200,s＝300,t＝−66.111,X＝−4.78,Y＝−0.33056 R₁ R₂ do d₁ Ｄ ｎ ∞ −160 55 20 120 1.8 最大偏向角:100゜，書き込み幅:263.2,リニアリティ:
3.0％以下である。

第９図に、この実施例の主走査方向の像面湾曲を示
す。

実施例８ ｆ＝200,s＝30,t＝−49.222,X＝−0.65,Y＝−0.24611 R₁ R₂ do d₁ Ｄ ｎ ∞ −160 27 40 26.087 1.8 最大偏向角:110゜，書き込み幅:154.5,リニアリティ:
16.8:以下である。

第10図に、この実施例の主走査方向の像面湾曲を示
す。

実施例９ ｆ＝200,s＝120,t＝−76.222,X＝−3.06,Y＝−0.38111 R₁ R₂ do d₁ Ｄ ｎ ∞ −160 54 40 75 1.8 最大偏向角:110゜，書き込み幅:254.6,リニアリティ:
8.1％以下である。

第11図に、この実施例の主走査方向の像面湾曲を示
す。

実施例10 ｆ＝200,s＝300,t＝−67.222,X＝−4.69,Y＝−0.33611 R₁ R₂ do d₁ Ｄ ｎ ∞ −160 45 40 120 1.8 最大偏向角:120゜，書き込み幅:312.0,リニアリティ:
2.2％以下である。

第12図に、この実施例の主走査方向の像面湾曲を示
す。

実施例11 ｆ＝200,s＝30,t＝−26.594,X＝−3.86,Y＝−0.13297 R₁ R₂ do d₁ Ｄ ｎ 400 −98.571 15 20 23.23 1.4 最大偏向角:110゜，書き込み幅:112.23,リニアリテ
ィ:19.2％以下である。

第13図に、この実施例の主走査方向の像面湾曲を示
す。

実施例12 ｆ＝200,s＝60,t＝−38.594,X＝−3.92,Y＝−0.19297 R₁ R₂ do d₁ Ｄ ｎ 400 −98.571 27 20 43.297 1.4 最大偏向角:120゜，書き込み幅:186.7,リニアリティ:
17.5％以下である。

第14図に、この実施例の主走査方向の像面湾曲を示
す。

実施例13 ｆ＝200,s＝100,t＝−43.594,X＝4.42,Y＝−0.21797 R₁ R₂ do d₁ Ｄ ｎ 400 −98.571 32 20 63.809 1.4 最大偏向角:110゜，書き込み幅:201.8,リニアリティ:
9.8％以下である。

第15図に、この実施例の主走査方向の像面湾曲を示
す。

実施例14 ｆ＝200,s＝41.811,t＝−31.989,X＝−6.47,Y＝−0.159
95 R₁ R₂ do d₁ Ｄ ｎ 800 −197.778 23 20 32.359 1.8 最大偏向角:110゜，書き込み幅:137.0,リニアリティ:
16.9％以下である。

第16図に、この実施例の主走査方向の像面湾曲を示
す。

実施例15 ｆ＝200,s＝120,t＝−81.559,X＝−2.75,Y＝−0.40779 R₁ R₂ do d₁ Ｄ ｎ 800 −196.667 68 30 71.667 1.8 最大偏向角:100゜，書き込み幅:233.0,リニアリティ:
6.0％以下である。

第17図に、この実施例の主走査方向の像面湾曲を示
す。

実施例16 ｆ＝200,s＝301.811,t＝−70.489,X＝−4.44,Y＝−0.35
245 R₁ R₂ do d₁ Ｄ ｎ 800 −197.778 61.5 20 118.067 1.8 最大偏向角:100゜，書き込み幅:256.0,リニアリテ
ィ：−1.1〜0.6％以下である。

第18図に、この実施例の主走査方向の像面湾曲を示
す。

実施例17 ｆ＝200,s＝30,t＝−35.227,X＝−1.28,Y＝−0.17614 R₁ R₂ do d₁ Ｄ ｎ −120 −50.286 12.5 20 35.611 1.4 最大偏向角:100゜，書き込み幅:116.4,リニアリティ:
17.6％以下である。

第19図に、この実施例の主走査方向の像面湾曲を示
す。

実施例18 ｆ＝200,s＝120,t＝−41,927,X＝−5.01,Y＝0.20964 R₁ R₂ do d₁ Ｄ ｎ −120 −50.286 19.2 20 84.524 1.4 最大偏向角:100゜，書き込み幅:205.4,リニアリティ:
16.3％以下である。

第20図に、この実施例の主走査方向の像面湾曲を示
す。

実施例19 ｆ＝200,s＝600,t＝−47.727,X＝−5.53,Y＝−0.23864 R₁ R₂ do d₁ Ｄ ｎ −120 −50.286 25 20 159.525 1.4 最大偏向角:110゜，書き込み幅:369.6,リニアリティ:
18.9％以下である。

第21図に、この実施例の主走査方向の像面湾曲を示
す。

実施例20 ｆ＝200,s＝30,t＝−33.857,X＝−3.97,Y＝−0.16929 R₁ R₂ do d₁ Ｄ ｎ −240 −99.556 16 20 33.494 1.8 最大偏向角:110゜，書き込み幅:127.1,リニアリティ:
19.3％以下である。

第22図に、この実施例の主走査方向の像面湾曲を示
す。

実施例21 ｆ＝200,s＝120,t＝−50.257,X＝−5.50,Y＝−0.25129 R₁ R₂ do d₁ Ｄ ｎ −240 −99.556 32.4 20 82.408 1.8 最大偏向角:120゜，書き込み幅:265.4,リニアリティ:
19.1％以下である。

第23図に、この実施例の主走査方向の像面湾曲を示
す。

実施例22 ｆ＝200,s＝600,t＝−61.657,X＝−5.51,Y＝−0.30829 R₁ R₂ d₀ d₁ Ｄ ｎ −240 −99.556 43.8 20 157.408 1.8 最大偏向角:130゜，書き込み幅:436.1,リニアリティ:
16.2％以下である。

第24図に、この実施例の主走査方向の像面湾曲を示
す。

これら実施例から分かるようにリニアリティは最大20
％程度あるがこの程度であれば電気的な信号補正が可能
である。

光走査用レンズに関する上記実施例は、メリジオナル
像面湾曲すなわち、主走査方向のみの像面湾曲のみを示
した。その理由は、光走査装置を第１図の如き構成で実
施すると、サジタル像面湾曲すなわち副走査方向の像面
湾曲が幾分大きすぎるからである。この副走査方向の像
面湾曲は種々の方法で小さくすることができるが、一般
に知られている縮小型の面倒れ補正光学系を用いる場合
は、補正光学系の無い場合の副走査方向の像面湾曲はあ
まり関係無く、主走査方向の偏向角や補正光学系の位置
によって副走査方向の像面湾曲量が決まってしまう。

以下に、光走査装置の実施例を３例示す。最初の例
は、副走査方向の像面湾曲の補正手段を持たない場合の
例である、後の２例は補正手段を持つ場合の例である。
これら３実施例において、光走査用レンズとしては、上
記実施例７のレンズが用いられている。但し、有効主走
査領域幅を略レターサイズ砂値215.9mmに設定したの
で、焦点距離を160とした。

第１の装置実施例 光走査装置は、第１図の如き構成を持つ。

光源装置Ｑとしては半導体レーザー、偏向装置として
はポリゴンミラーが用いられている。

ｆ＝160,s＝240,t＝−52.889,X＝−4.78,Y＝−0.33056 R₁ R₂ d₀ d₁ Ｄ ｎ ∞ −128 44 16 96 1.8 最大偏向角:106゜，書き込み幅:223.6,リニアリティ:
3.0％以下である。この実施例に関し、像面湾曲を第25
図に示す。主走査方向では、中間像高部で2.7mmアンダ
ーとなっているが、副走査方向ではその10倍程度アンダ
ーと成っている。第26図は、この実施例に関するリニア
リティを示す。必要に応じて電気的な信号補正を行なっ
て、走査の等速性からのずれを容易に補正できる。

第２の装置実施例 第27図に、副走査方向の像面湾曲を補正するための補
正光学系として長尺シリンドリカルレンズ８を用いた場
合の実施例を示す。光源装置Ｑ、集光レンズ２、偏向装
置は、上記第１の装置実施例のものと同じである。

光走査用レンズ５の被走査面側レンズ面と、長尺シリ
ンドリカルレンズ８との面間隔をd₂、同レンズ８の厚さ
をd₃、同レンズ８の被走査面側レンズ面と被走査面６と
の間の距離をd₄とする。また、長尺シリンドリカルレン
ズ８に関し、光走査用レンズ側のレンズ面の曲率半径を
主走査方向についてR_3Y、副走査方向についてR_3Z、被走
査面６側のレンズ面の曲率半径を主走査方向についてR
_4Y、副走査方向についてR_4Zとし、屈折率をｎ′、焦点
距離を主・副走査方向について、それぞれf_Y,F_Zとす
る。

ｆ＝160,s＝240,t＝−52,889,X＝−4.78,Y＝−0.33056 R₁ R₂ d₀ d₁ d₂ d₃ d₄ ｎ ∞ −128 44 16 68.08 ３ 25.9 1.8 R_3Y R_3Z R_4Y R_4Z ｎ′ ∞ 12.5 ∞ ∞ 1.48519 f_Y＝∞,f_Z＝25.763 最大偏向角:106゜，書き込み幅:223.1,リニアリティ:
3.0％以下である。この実施例に関し、像面湾曲を第28
図に示す。この図から、副走査方向での像面湾曲が長尺
シリンドリカルレンズ８の使用により大幅に改善された
ことが明らかである。

リニアリティは第26図と同様であり必要に応じて電気
的な信号補正を行なって、走査の等速性からのずれを容
易に補正できる。

第３の装置実施例 第29図に、補正光学系として長尺トロイダルレンズ９
を用いた場合の実施例を示す。光源装置Ｑ、集光レンズ
２、偏向装置は、上記第１の装置実施例のものと同じで
ある。

第２の装置実施例の場合と同じく、光走査用レンズ５
の被走査面側レンズ面と、長尺トロイダルレンズ９との
間の面間隔をd₂、同レンズ９の厚さをd₃、同レンズ９の
被走査面側レンズ面と被走査面６との間の距離をd₄とす
る。また、長尺トロイダルレンズ９に関し、光走査応レ
ンズ側のレンズ面の曲率半径を主走査方向について
R_3Y、副走査方向についてR_3Z、被走査面６側のレンズ面
の曲率半径を主走査方向についてR_4Y、副走査方向につ
いてR_4Zとし、屈折率をｎ′、焦点距離を主・副走査方
向について、それぞれf_Y,f_Zとする。

ｆ＝160,s＝240,t＝−52.889,X＝−4.78,Y＝−0.33056 R₁ R₂ d₀ d₁ d₂ d₃ d₄ ｎ ∞ −128 44 16 65.81 3 28.17 1.8 R_3Y R_3Z R_4Y R_4Z ｎ′ 633 12.5 630 ∞ 1.48519 f_Y＝−406905,f_Z＝25.763 最大偏向角:106゜，書き込み幅:222.7,リニアリティ:
3.0％以下である。この実施例に関し、像面湾曲を第30
図に示す。この図から、この実施例において主・副走査
方向とも殆ど同等の像面湾曲に成っていることが分か
る。リニアリティは第26図と同様であり必要に応じて電
気的な信号補正を行なって、走査の等速性からのずれを
容易に補正できる。

他のレンズ実施例を用いても良好な光走査装置を構成
でき、補正光学系により副走査方向の像面湾曲を良好に
補正できることは言うまでもない。

以下に、主・副走査方向の像面湾曲を、良好に補正し
た光走査装置の実施例をあげる。

第４の装置実施例 第32図において、符号１、２、３、６は従前通り、光
源、シリンドリカルレンズ、偏向装置の偏向面および被
走査面を示している。また、符号80は主走査方向にも屈
折力を持つ長尺トロイダルレンズを示す。

符号5Aをもって示す光走査用レンズは、第31図に即し
て説明したような特性を有するものであって、具体的に
は第32図の各元として、第１面の曲率半径Ｒ＝∞、第２
面の曲率半径Ｒ′＝−102.236、屈折率ｎ＝1.51118、光
軸上の面間隔d₁＝22、焦点距離ｆ＝200のものを想定す
る。また、偏向の起点から自然焦光点Ｑ′までの距離Ｄ
＝181.926、偏向の起点から光走査用レンズ第１面迄の
距離d₀＝36と設定している。

図の如く、光走査用レンズ5Aの第２面と長尺トロイダ
ルレンズ80の第１面との間の面間隔をd₂、同レンズ80の
厚さをd₃、同レンズ80の第２面と被走査面６との間の距
離をd₄とする。また、長尺トロイダルレンズ80につい
て、その第１面の曲率半径を主走査方向についてR_1X、
副走査方向についてR_1Y、第２面の曲率半径を主走査方
向についてR_2X、副走査方向についてR_2Y、屈折率を
ｎ′、焦点距離を主・副走査方向についてそれぞれｆ′
_X,f′_Ｙとする。

第32図において、これらは以下の如き数値を有する。
d₂＝47.5,d₃＝6,d₄＝27.334,R_1X＝400,R_1Y＝12.5,R_2X＝
460,R_2Y＝∞,n′＝1.48519,f_X＝6120.597,f_Y＝25.763。
なお、以下においては、Ｘをもって条件（Ｉ）における
（l²＋l²）／（2l・R_1X）を、またＹをもって条件（I
I）における（ｎ′−１）｛（1/R_1X）−（1/R_2X）｝Ｌ
をあらわすことにする。

第32図において、Ｌ＝138.834,h＝108.1,l＝33.334で
ある。従って、Ｘ＝0.480、Ｙ＝0.022である。

第32図の構成の光走査装置における像面湾曲を第33図
に示す。この図から明らかなように、最大偏向角:104
゜、書き込み幅:216.2、リニアリティは図示していない
が後述する第49図の場合と同様であり9.9％以下であ
る。

以下、この実施例と同様の実施例を13例挙げる。

これらの実施例において、光走査応レンズとしては、
第32図に示した前述の光走査用レンズ5Aを用いる。すな
わち、第１面の曲率半径Ｒ＝∞、第２面の曲率半径Ｒ′
＝−102.236、屈折率ｎ＝1.51118、光軸上の面間隔d₁＝
22、焦点距離ｆ＝200のものである。また、Ｄ＝181.92
6、偏向の起点から光走査用レンズ第１面迄の距離d₀＝3
6と設定している。また、d₂,d₃,d₄は第32図におけると
同じ意味を持つ。

第５の装置実施例 d₂ d₃ d₄ R_1X R_1Y R_2X R_2Y 47.4 ６ 27.472 800 12.5 1800 ∞ n′ ｆ′_Ｘ ｆ′_Ｙ Ｌ ｈ 1.48519 2962.103 25.763 138.872 108.1 ｌ Ｘ Ｙ 33.472 0.239 0.047 書き込み幅:216.2 第34図に、この実施例の主・副走査方向の像面湾曲を
示す。

第６の装置実施例 d₂ d₃ d₄ R_1X R_1Y R_2X R_2Y 55.3 ６ 19.694 600 10 920 ∞ n′ ｆ′_Ｘ ｆ′_Y Ｌ ｈ 1.48519 3533.663 20.61 138.994 108.6 ｌ Ｘ Ｙ 25.694 0.404 0.039 書き込み幅:217.2 第35図に、この実施例の主・副走査方向の像面湾曲を
示す。

第７の装置実施例 d₂ d₃ d₄ R_1X R_1Y R_2X R_2Y 42.3 ３ 34.517 270 14 295 ∞ n′ ｆ′_Ｘ ｆ′_Y Ｌ ｈ 1.48519 6318.789 28.855 137.817 108.3 ｌ Ｘ Ｙ 35.517 0.648 0.021 書き込み幅:216.6 第36図に、この実施例の主・副走査方向の像面湾曲を
示す。

第８の装置実施例 d₂ d₃ d₄ R_1X R_1Y R_2X R_2Y 43.5 6 31.334 500 14 590 ∞ n′ ｆ′_Ｘ ｆ′_Y Ｌ ｈ 1.48519 6611.663 28.855 138.834 108.1 ｌ Ｘ Ｙ 37.334 0.35 0.021 書き込み幅:216.2 第37図に、この実施例の主・副走査方向の像面湾曲を
示す。

第９の装置実施例 d₂ d₃ d₄ R_1X R_1Y R_2X R_2Y 38 3 38.737 220 12.5 227 ∞ n′ ｆ′_Ｘ ｆ′_Y Ｌ ｈ 1.4 15980 31.25 137.737 108.3 ｌ Ｘ Ｙ 41.737 0.734 0.008 書き込み幅:216.6 第38図に、この実施例の主・副走査方向の像面湾曲を
示す。

第10の装置実施例 d₂ d₃ d₄ R_1X R_1Y R_2X R_2Y 55.2 ６ 19.792 600 10 920 ∞ n′ ｆ′_Ｘ ｆ′_Y Ｌ ｈ 1.4 4289.520 25 138.992 108.6 ｌ Ｘ Ｙ 25.792 0.403 0.032 書き込み幅:217.2 第39図に、この実施例の主・副走査方向の像面湾曲を
示す。

第11の装置実施例 d₂ d₃ d₄ R_1X R_1Y R_2X R_2Y 54.9 6 20.329 600 12.5 900 ∞ n′ ｆ′_Ｘ ｆ′_Y Ｌ ｈ 1.6 2977.667 20.833 139.229 108.4 ｌ Ｘ Ｙ 26.329 0.394 0.046 書き込み幅:216.8 第40図に、この実施例の主・副走査方向の像面湾曲を
示す。

第12の装置実施例 d₂ d₃ d₄ R_1X R_1Y R_2X R_2Y 56.1 6 19.234 1200 12.5 3600 ∞ n′ ｆ′_Ｘ ｆ′_Y Ｌ ｈ 1.6 2997.19 20.833 139.334 108.5 ｌ Ｘ Ｙ 25.234 0.205 0.046 書き込み幅:217 第41図に、この実施例の主・副走査方向の像面湾曲を
示す。

第13の装置実施例 d₂ d₃ d₄ R_1X R_1Y R_2X R_2Y 51 6 24.12 470 14 600 ∞ n′ ｆ′_Ｘ ｆ′_Y Ｌ ｈ 1.6 3553.875 23.333 139.12 108.1 ｌ Ｘ Ｙ 30.12 0.445 0.038 書き込み幅:216.2 第42図に、この実施例の主・副走査方向の像面湾曲を
示す。

第14の装置実施例 d₂ d₃ d₄ R_1X R_1Y R_2X R_2Y 52.2 6 22.973 800 14 1800 ∞ n′ ｆ′_Ｘ ｆ′_Y Ｌ ｈ 1.6 2394.612 23.333 139.17 108.1 ｌ Ｘ Ｙ 28.973 0.27 0.058 書き込み幅:216.2 第43図に、この実施例の主・副走査方向の像面湾曲を
示す。

第15の装置実施例 d₂ d₃ d₄ R_1X R_1Y R_2X R_2Y 47.9 6 27.488 420 20 480 ∞ n′ ｆ′_Ｘ ｆ′_Y Ｌ ｈ 1.8 4021.277 25 139.388 107.7 ｌ Ｘ Ｙ 33.488 0.452 0.033 書き込み幅:215.4 第44図に、この実施例の主・副走査方向の像面湾曲を
示す。

第16の装置実施例 d₂ d₃ d₄ R_1X R_1Y R_2X R_2Y 49.5 6 26.037 800 20 1200 ∞ n′ ｆ′_Ｘ ｆ′_Y Ｌ ｈ 1.8 2980.032 25 139.537 107.9 ｌ Ｘ Ｙ 32.037 0.247 0.047 書き込み幅:215.8 第45図に、この実施例の主・副走査方向の像面湾曲を
示す。

第17の装置実施例 d₂ d₃ d₄ R_1X R_1Y R_2X R_2Y 43.8 6 30.963 400 ∞ 460 −12.5 n′ ｆ′_Ｘ ｆ′_Y Ｌ ｈ 1.48519 6120.597 25.763 138.763 107.9 ｌ Ｘ Ｙ 36.963 0.44 0.022 書き込み幅:215.8 第46図に、この実施例の主・副走査方向の像面湾曲を
示す。

リニアリティについては、角実施例とも第49図のもの
と略同様であり、何れも約10％以下となってりおり、電
気的な補正が可能である。また、最大偏向角は何れも10
4゜に設定してあり、書き込み幅はレターサイズ即ち21
5.9mmに合わせてある。装置実施例４乃至16は、長尺ト
ロイダルレンズの第１面にトロイダル面を採用してお
り、その内、第５ないし第８の装置実施例は同レンズの
屈折率1.4851の例、第９および第10の装置実施例は屈折
率1.4の例、第11ないし第14図の装置実施例は屈折率1.6
の例、第15および第16の装置実施例は屈折率1.8の例で
ある。

また、第17の装置実施例は、第２面にトロイダル面を
採用した例である。

ここで、主・副走査方向にパワーを持つ長尺トロイダ
ルレンズ80を用いる効果を、比較例との対比によって説
明する。

比較例 まず、第47図を参照すると、この図は上記光走査用レ
ンズ5Aに対し、補正光学系として長尺シリンドリカルレ
ンズ90を組み合せた例を示している。図の如く光走査用
レンズ5Aの第２面と長尺シリンドリカルレンズ90の第１
面との間の面間隔をd₂、同レンズ90の厚さをd₃、同レン
ズ90の第２面と被走査面６との間の距離をd₄とする。

また、長尺シリンドリカルレンズ90を長尺トロイダル
レンズの特殊形態と考えて、その第１面の曲率半径を主
走査方向についてR_1X、副走査方向についてR_1Y、第２面
の曲率半径を主走査方向についてR_2X、副走査方向につ
いてR_2Y、とする。また屈折率をｎ′、焦点距離を主・
副走査方向についてそれぞれｆ′_X,f′_Ｙとする。

第47図において、これらは以下の如き数値を有する。

d₂＝51.4,d₃＝3,d₄＝25.868,R_1X＝∞,R_1Y＝12.5,R_2X＝
∞,R_2Y＝∞,n′＝1.48519,f′_Ｘ＝∞,f′_Ｙ＝25.763 また、第47図において、Ｌ＝138.268,h＝109.3,l＝2
8.868である。

第47図の構成の光走査装置における像面湾曲を第48図
に、リニアリティを第49図にそれぞれ示す。これらの図
から明らかなように、最大偏向角:104゜、書き込み幅:2
18.6、リニアリティは9.9％以下である。また、像面湾
曲は主走査方向については、実用できる程度であるが幾
分アンダーとなっており、副走査方向については幾分大
きすぎて実用的でない。リニアリティについては、電気
的な信号補正で十分に補正可能である。

次に、第50図を参照すると、この図は上記光走査用レ
ンズ5Aに、補正光学系として主走査方向に殆ど屈折力を
持たない長尺トロイダルレンズ10を組み合わせた構成の
光走査装置を示している。

第47図におけると同じく、光走査用レンズ5Aの第２面
と長尺シリンドリカルレンズ10の第１面との間の面間隔
をd₂、同レンズ10の厚さをd₃、同レンズ10の第２面と被
走査面６との間の距離をd₄とする。また、長尺トロイダ
ルレンズ10について、その第１面の曲率半径を主走査方
向についてR_1X、副走査方向についてR_1Y、第２面の曲率
半径を主走査方向についてR_2X、副走査方向についてR_2Y
とする。また屈折率をｎ′、焦点距離を主・副走査方向
についてそれぞれｆ′_X,f′_Ｙとする。

第50図において、これらは以下の如き数値を有する。

d₂＝47.8,d₃＝3,d₄＝29.316,R_1X＝400,R_1Y＝12.5,R_2X＝
400,R_2Y＝∞,n′＝1.48519,f′_Ｘ＝336478.3,f′_Ｙ＝2
5.763 また、第50図において、Ｌ＝138.116,h＝108.8,l＝3
2.316である。従って、Ｘ＝0.498、Ｙ＝０である。

第50図の構成の光走査装置における像面湾曲を第51図
に示す。この図から明らかなように、最大偏向角:104
゜、書き込み幅:217.6、リニアリティは図示していない
が、第49図と略同様であり9.9％以下である。

像面湾曲は主走査方向については、第47図の構成と殆
ど変わらないが、副走査方向については大幅に改善され
ている。勿論、リニアリティについては、電気的に信号
補正で十分に補正可能である。

これら第47、第50図の比較例に関する像面湾曲を、第
４ないし第17の装置実施例に関するものと比較して見る
と、像面湾曲は副走査方向については、第47図、第50図
の構成と殆ど変わらないが、主走査方向については前２
例に比して大幅に改善されている。勿論リニアリティに
ついては、電気的な信号補正で十分に補正可能である。

［発明の効果］ 以上、本発明によれば新規な光走査用レンズ、光走査
装置を提供できる。

本発明による光走査用レンズは、上記の如き構成とな
っているから、単玉でありながら、100度を越えるよう
な大偏向角の光走査を可能とすることができる。

また、この光走査用レンズを用いた光走査装置は、構
成が簡素であって、大偏向角の光走査を良好に行なうこ
とができ、また長尺シリンドリカルレンズ等を像面湾曲
補正手段として用いることにより、副走査方向の像面湾
曲を良好に補正できる。

さらに、主・副走査方向にパワーを持つ長尺トロイダ
ルレンズを用いる光走査装置では、プラスチック製の単
玉の光走査用レンズを用いて主・副走査方向とも像面湾
曲を良好に保つことができリニアリティも良好であって
電気的に十分補正可能である。従って、低コスト、コン
パクトでありながら、均一なビームスポットにより良好
な光走査の可能な、高性能の光走査装置を実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の光走査装置の基本構成を説明するた
めの図、第２図は、光走査用レンズを説明するための
図、第３図ないし第24図は各レンズ実施例の像面湾曲を
示す図、第25図は、第１の装置実施例に関する像面湾曲
の図、第26図は、上記第１の装置実施例に関するリニア
リティを示す図、第27図は、第２の装置実施例を説明す
るための図、第28図は、第２の装置実施例に関する像面
湾曲の図、第29図は、第３の装置実施例を説明するため
の図、第30図は、第３の装置実施例に関する像面湾曲の
図、第31図は、主・副走査方向にパワーを持つ長尺シリ
ンドリカルレンズを用いる光走査装置の基本構成を説明
するための図、第32図は、第31図に示す光走査装置の実
施例を説明するための図、第33図は、第32図に示す装置
実施例に関する像面湾曲を示す図、第34図ないし第46図
は、第５の装置実施例ないし第17の装置実施例に関する
像面湾曲を順次示す図、第47図ないし第51図は、第31図
に示す光走査装置に関する比較例を説明するための図で
ある。 Ｑ……光源装置、２……集束光学系としての集光レン
ズ、３……偏向装置の偏向面、5,5A……光走査用レン
ズ、６……被走査面、91,80……長尺トロイダルレン
ズ。

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】等角速度的に偏向される集束光束を更に集
   束させて被走査面上にスポット状に結像せしめ、略等速
   的に走査させるためのレンズであって、 屈折率ｎ、焦点距離ｆの単レンズであり、入射偏向光束
   の偏向点側のレンズ面の曲率半径をR₁、被走査面側のレ
   ンズ面の曲率半径をR₂とするとき、R₂＜０で、且つ|R₁|
   ＞|R₂|であり、 前側主点から測った入射瞳距離をｔ、入射集束光の自然
   集束点迄の距離をｓとするとき、 （ｉ）−７＜（nf/t）＋（f/s）＜−0.6 （ii）−0.41＜（t/f）＜−0.13 なる条件を満足する光走査用レンズ。
2. 【請求項２】光束を放射する光源装置と、この光源装置
   からの光束を集束光束にするための集束光学系と、この
   集束光学系による集束光束を等角速度的に偏向させる偏
   向装置と、この偏向装置により偏向される集束光束を更
   に集束させて、被走査面上にスポット状に結像せしめ、
   被走査面を略等速的に走査させるための光走査用レンズ
   を有し、 上記光走査用レンズは、屈折率ｎ、焦点距離ｆの単レン
   ズで、入射偏向光束の偏向点側のレンズ面の曲率半径を
   R₁、被走査面側のレンズ面の曲率半径をR₂とするとき、
   R₂＜０で、且つ|R₁|＞|R₂|であり、前側主点から測った
   入射瞳距離をｔ、入射集束光の自然集束点迄の距離をｓ
   とするとき、 （ｉ）−７＜（nf/t）＋（f/s）＜−0.6 （ii）−0.41＜（t/f）＜−0.13 なる条件を満足することを特徴とする、光走査装置。
3. 【請求項３】光束を放射する光源装置と、この光源装置
   からの光束を集束光束にするための集束光学系と、この
   集束光学系による集束光束を等角速度的に偏向させる偏
   向装置と、この偏向装置により偏向される集束光束を更
   に集束させて、主走査方向に関して、被走査面上に結像
   せしめ、略等速的に走査させるための光走査用レンズ
   と、副走査方向の像面湾曲を補正する補正手段とを有
   し、 上記光走査用レンズは、屈折率ｎ、焦点距離ｆの単レン
   ズで、入射偏向光束の偏向点側のレンズ面の曲率半径を
   R₁、被走査面側のレンズ面の曲率半径をR₂とするとき、
   R₂＜０で、且つ|R₁|＞|R₂|であり、前側主点から測った
   入射瞳距離をｔ、入射集束光の自然集束点迄の距離をｓ
   とするとき、 （ｉ）−７＜（nf/t）＋（f/s）＜−0.6 （ii）−0.41＜（t/f）＜−0.13 なる条件を満足することを特徴とする、光走査装置。
4. 【請求項４】像面湾曲補正手段が、光走査用レンズと被
   走査面との間に配備された長尺シリンドリカルレンズで
   あることを特徴とする、請求項３記載の光走査装置。
5. 【請求項５】像面湾曲補正手段が、光走査用レンズと被
   走査面との間に配備され主走査方向に殆どパワーをもた
   ない長尺トロイダルレンズであることを特徴とする、請
   求項３記載の光走査装置。
6. 【請求項６】光束を放射する光源装置と、この光源装置
   からの光束を集束光束にするための集束光学系と、この
   集束光学系による集束光束を等角速度的に偏向させる偏
   向装置と、この偏向装置により偏向される集束光束を更
   に集束させて、被走査面を略等速的に走査させるための
   光走査用レンズと、上記光走査用レンズと共働して上記
   集束光束を実質的に被走査面上にスポット状に結像させ
   るとともに主・副走査方向の像面湾曲を補正する補正光
   学系とを有し、 上記光走査用レンズは、単レンズであり、 上記補正光学系は、上記光走査用レンズと被走査面との
   間に配備された長尺トロイダルレンズであり、その第１
   面が主走査方向に於いて上記偏向装置側に凸面を向けて
   おり、ｎ′を屈折率、R_1Xを上記第１面の主走査方向の
   曲率半径、R_2Xを第２面の主走査方向の曲率半径、ｌを
   上記第１面から被走査面迄の距離、ｈを有効走査幅の1/
   2、Ｌを上記偏向装置の偏向の起点から被走査面迄の距
   離とするとき、これらが、 （Ｉ） 0.2＜（l²＋h²）／（2l・R_1X）＜0.74 （II） 0.007＜（ｎ′−１）｛（1/R_1X）−（1/
   R_2X）｝・Ｌ＜0.059 なる条件を満足することを特徴とする、光走査装置。