JP2559511Y2 - 長さ基準装置 - Google Patents
長さ基準装置Info
- Publication number
- JP2559511Y2 JP2559511Y2 JP10639191U JP10639191U JP2559511Y2 JP 2559511 Y2 JP2559511 Y2 JP 2559511Y2 JP 10639191 U JP10639191 U JP 10639191U JP 10639191 U JP10639191 U JP 10639191U JP 2559511 Y2 JP2559511 Y2 JP 2559511Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- beam splitter
- splitter surface
- length
- optical crystal
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- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、物体までの絶対距離を
測定するアブソリュート測長器に用いられる長さ基準装
置に関し、詳しくは固体素子化による小型化およびアラ
イメントを容易とした長さ基準装置に関するものであ
る。
測定するアブソリュート測長器に用いられる長さ基準装
置に関し、詳しくは固体素子化による小型化およびアラ
イメントを容易とした長さ基準装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来のアブソリュート測長器に用いられ
る長さ基準装置は、図２に示すようなハーフミラー３１
と２つのコーナーキューブ３２，３３からなるマイケル
ソン型の干渉計で構成されたものである。図２におい
て、レーザ光源１からの出射光は、ハーフミラー２で２
つに分岐される。一方の光は、ハーフミラー２を透過し
て、測長光学系へと導かれる。他方の光は、ハーフミラ
ー２で反射されて、長さ基準装置３へ導かれる。長さ基
準装置３へ入射された光は、ハーフミラー３１で２つに
分岐される。一方の光は、ハーフミラー３１を透過し
て、コーナーキューブ３２に入射され、反射された後、
再びハーフミラー３１に入射される。他方の光は、ハー
フミラー３１で反射されて、コーナーキューブ３３に入
射され、反射された後、再びハーフミラー３１に入射さ
れ、コーナーキューブ３２からの光と合波されて、両光
路長の差である基準長さに応じた干渉光（参照信号）と
なって出射される。
る長さ基準装置は、図２に示すようなハーフミラー３１
と２つのコーナーキューブ３２，３３からなるマイケル
ソン型の干渉計で構成されたものである。図２におい
て、レーザ光源１からの出射光は、ハーフミラー２で２
つに分岐される。一方の光は、ハーフミラー２を透過し
て、測長光学系へと導かれる。他方の光は、ハーフミラ
ー２で反射されて、長さ基準装置３へ導かれる。長さ基
準装置３へ入射された光は、ハーフミラー３１で２つに
分岐される。一方の光は、ハーフミラー３１を透過し
て、コーナーキューブ３２に入射され、反射された後、
再びハーフミラー３１に入射される。他方の光は、ハー
フミラー３１で反射されて、コーナーキューブ３３に入
射され、反射された後、再びハーフミラー３１に入射さ
れ、コーナーキューブ３２からの光と合波されて、両光
路長の差である基準長さに応じた干渉光（参照信号）と
なって出射される。
【０００３】しかしながら、上記従来技術に示す長さ基
準装置では、複数の光学部品を使用しているため、その
アライメントに手間が掛かり、また、ある程度の空間が
必要となるため、小型化にも限界があった。
準装置では、複数の光学部品を使用しているため、その
アライメントに手間が掛かり、また、ある程度の空間が
必要となるため、小型化にも限界があった。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】本考案は、上記従来技
術の課題を踏まえて成されたものであり、複数の光学部
品からなる長さ基準装置を１つに固体素子化することに
より、小型でアライメントの容易な長さ基準装置を提供
することを目的としたものである。
術の課題を踏まえて成されたものであり、複数の光学部
品からなる長さ基準装置を１つに固体素子化することに
より、小型でアライメントの容易な長さ基準装置を提供
することを目的としたものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本考案の構成は、物体までの絶対距離を測定するアブ
ソリュート測長器に用いられる長さ基準装置であって、
その側面は対向面が少なくとも２組は平行である多面体
の光学結晶であり、この２組の平行対向面には、入射光
を光学結晶内部への透過光と外部への反射光の２つに分
岐する偏光ビームスプリッタ面とこの偏光ビームスプリ
ッタ面を透過した光を光学結晶内部への反射光と外部へ
の透過光の２つにさらに分岐するビームスプリッタ面と
このビームスプリッタ面で反射された光を順次反射して
前記偏光ビームスプリッタ面の前記入射光の入射面に導
く第１および第２の反射面とが順次配置されるように形
成され、前記偏光ビームスプリッタ面に入射した光が前
記光学結晶内部を順次反射して再び前記偏光ビームスプ
リッタ面まで戻る光路を基準長さとしたことを特徴とす
るものである。
の本考案の構成は、物体までの絶対距離を測定するアブ
ソリュート測長器に用いられる長さ基準装置であって、
その側面は対向面が少なくとも２組は平行である多面体
の光学結晶であり、この２組の平行対向面には、入射光
を光学結晶内部への透過光と外部への反射光の２つに分
岐する偏光ビームスプリッタ面とこの偏光ビームスプリ
ッタ面を透過した光を光学結晶内部への反射光と外部へ
の透過光の２つにさらに分岐するビームスプリッタ面と
このビームスプリッタ面で反射された光を順次反射して
前記偏光ビームスプリッタ面の前記入射光の入射面に導
く第１および第２の反射面とが順次配置されるように形
成され、前記偏光ビームスプリッタ面に入射した光が前
記光学結晶内部を順次反射して再び前記偏光ビームスプ
リッタ面まで戻る光路を基準長さとしたことを特徴とす
るものである。
【０００６】
【作用】本考案によれば、従来、長さ基準装置に必要な
複数の光学部品を１つの固体素子で構成したため、装置
が小型化でき、また、そのアライメントが容易となる。
複数の光学部品を１つの固体素子で構成したため、装置
が小型化でき、また、そのアライメントが容易となる。
【０００７】
【実施例】以下、本考案を図面に基づいて説明する。図
１は本考案の長さ基準装置の一実施例を示す構成図であ
る。図１において、４は長さ基準装置であり、六角柱形
の光学結晶である。４１は光学結晶の側面の１つに形成
された偏光ビームスプリッタ面であり、この偏光ビーム
スプリッタ面４１でレーザ光源１から出射された光が２
つに分岐され、透過光は光学結晶内部へ導かれる。４２
は光学結晶の側面の１つに形成されたビームスプリッタ
面であり、このビームスプリッタ面４２で偏光ビームス
プリッタ面４１を透過した光がさらに２つに分岐され
る。４３，４４は光学結晶の側面の１つにそれぞれ形成
された反射面であり、ビームスプリッタ面４２で反射さ
れた光を順次反射して偏光ビームスプリッタ面４１に導
く第１および第２の反射面である。なお、この光学結晶
の対向面である偏光ビームスプリッタ面４１と第１の反
射面４３，ビームスプリッタ面４２と第２の反射面４４
は平行とされており、レーザ光源１から出射した光は、
偏光ビームスプリッタ面４１に入射し、透過光が光学結
晶内部をビームスプリッタ面４２，第１の反射面４３，
第２の反射面４４で順次反射して、再び偏光ビームスプ
リッタ面４１に戻り、偏光ビームスプリッタ面４１での
反射光と合流するように各面が配置されている。また、
光学結晶内部を反射する光が進んだ光路長が基準長さと
なるように光学結晶の寸法が設定されている。
１は本考案の長さ基準装置の一実施例を示す構成図であ
る。図１において、４は長さ基準装置であり、六角柱形
の光学結晶である。４１は光学結晶の側面の１つに形成
された偏光ビームスプリッタ面であり、この偏光ビーム
スプリッタ面４１でレーザ光源１から出射された光が２
つに分岐され、透過光は光学結晶内部へ導かれる。４２
は光学結晶の側面の１つに形成されたビームスプリッタ
面であり、このビームスプリッタ面４２で偏光ビームス
プリッタ面４１を透過した光がさらに２つに分岐され
る。４３，４４は光学結晶の側面の１つにそれぞれ形成
された反射面であり、ビームスプリッタ面４２で反射さ
れた光を順次反射して偏光ビームスプリッタ面４１に導
く第１および第２の反射面である。なお、この光学結晶
の対向面である偏光ビームスプリッタ面４１と第１の反
射面４３，ビームスプリッタ面４２と第２の反射面４４
は平行とされており、レーザ光源１から出射した光は、
偏光ビームスプリッタ面４１に入射し、透過光が光学結
晶内部をビームスプリッタ面４２，第１の反射面４３，
第２の反射面４４で順次反射して、再び偏光ビームスプ
リッタ面４１に戻り、偏光ビームスプリッタ面４１での
反射光と合流するように各面が配置されている。また、
光学結晶内部を反射する光が進んだ光路長が基準長さと
なるように光学結晶の寸法が設定されている。
【０００８】このような構成において、レーザ光源１１
から出射されるレーザ光（ｐ偏光成分とｓ偏光成分に分
けられる直線偏光とする）は、長さ基準装置４の偏光ビ
ームスプリッタ面４１に入射され、ｐ偏光成分とＳ偏光
成分の２つに分岐される。ｓ偏光成分の光は、偏光ビ−
ムスプリッタ面４１で反射される。ｐ偏光成分の光は、
偏光ビームスプリッタ面４１を透過して、光学結晶内部
へ導かれ、ビームスプリッタ面４２に入射される。入射
光は、ビームスプリッタ面４２でさらに２つに分岐され
る。一方の光は、ビームスプリッタ面４２を透過して、
測長光学系に導かれる。他方の光は、ビームスプリッタ
面４２で反射されて、第１および第２の反射面４３およ
び４４で順次全反射され、偏光ビームスプリッタ面４１
に入射される。入射光は、ｐ偏光成分の光であるため、
偏光ビームスプリッタ面４１を透過し、偏光ビームスプ
リッタ面４１で反射されたｓ偏光成分の光と合波され
て、参照信号となる。この参照信号を干渉させること
で、光学結晶内部をｐ偏光成分が余分に進んだ効果が現
れる。
から出射されるレーザ光（ｐ偏光成分とｓ偏光成分に分
けられる直線偏光とする）は、長さ基準装置４の偏光ビ
ームスプリッタ面４１に入射され、ｐ偏光成分とＳ偏光
成分の２つに分岐される。ｓ偏光成分の光は、偏光ビ−
ムスプリッタ面４１で反射される。ｐ偏光成分の光は、
偏光ビームスプリッタ面４１を透過して、光学結晶内部
へ導かれ、ビームスプリッタ面４２に入射される。入射
光は、ビームスプリッタ面４２でさらに２つに分岐され
る。一方の光は、ビームスプリッタ面４２を透過して、
測長光学系に導かれる。他方の光は、ビームスプリッタ
面４２で反射されて、第１および第２の反射面４３およ
び４４で順次全反射され、偏光ビームスプリッタ面４１
に入射される。入射光は、ｐ偏光成分の光であるため、
偏光ビームスプリッタ面４１を透過し、偏光ビームスプ
リッタ面４１で反射されたｓ偏光成分の光と合波され
て、参照信号となる。この参照信号を干渉させること
で、光学結晶内部をｐ偏光成分が余分に進んだ効果が現
れる。
【０００９】このように、本考案の長さ基準装置では、
参照信号を得るために必要な複数の光学部品を１つの固
体素子で実現しており、装置を小型にできると共に、そ
のアライメントが容易となる。
参照信号を得るために必要な複数の光学部品を１つの固
体素子で実現しており、装置を小型にできると共に、そ
のアライメントが容易となる。
【００１０】
【考案の効果】以上、実施例と共に具体的に説明したよ
うに、本考案によれば、長さ基準装置に必要な複数の光
学部品を１つの固体素子で構成したため、装置が小型化
できると共に、そのアライメントを容易とした効果を有
する長さ基準装置を実現できる。
うに、本考案によれば、長さ基準装置に必要な複数の光
学部品を１つの固体素子で構成したため、装置が小型化
できると共に、そのアライメントを容易とした効果を有
する長さ基準装置を実現できる。
【図１】本考案の長さ基準装置の一実施例を示す構成図
である。
である。
【図２】長さ基準装置の従来例である。
４ 長さ基準装置 ４１ 偏光ビームスプリッタ面 ４２ ビームスプリッタ面 ４３、４４ 反射面
Claims (1)
- 【請求項１】 物体までの絶対距離を測定するアブソリ
ュート測長器に用いられる長さ基準装置であって、その
側面は対向面が少なくとも２組は平行である多面体の光
学結晶であり、この２組の平行対向面には、入射光を光
学結晶内部への透過光と外部への反射光の２つに分岐す
る偏光ビームスプリッタ面とこの偏光ビームスプリッタ
面を透過した光を光学結晶内部への反射光と外部への透
過光の２つにさらに分岐するビームスプリッタ面とこの
ビームスプリッタ面で反射された光を順次反射して前記
偏光ビームスプリッタ面の前記入射光の入射面に導く第
１および第２の反射面とが順次配置されるように形成さ
れ、前記偏光ビームスプリッタ面に入射した光が前記光
学結晶内部を順次反射して再び前記偏光ビームスプリッ
タ面まで戻る光路を基準長さとしたことを特徴とする長
さ基準装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10639191U JP2559511Y2 (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 長さ基準装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10639191U JP2559511Y2 (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 長さ基準装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0555009U JPH0555009U (ja) | 1993-07-23 |
| JP2559511Y2 true JP2559511Y2 (ja) | 1998-01-19 |
Family
ID=33486961
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10639191U Expired - Fee Related JP2559511Y2 (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 長さ基準装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2559511Y2 (ja) |
-
1991
- 1991-12-24 JP JP10639191U patent/JP2559511Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0555009U (ja) | 1993-07-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R323115 |
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| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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| R250 | Receipt of annual fees |
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