JPH01307606A - プレーンミラー干渉光学系 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、プレーンミラー干渉光学系に係り、特にレー
ザ干渉計に用いられるプレーンミラー干渉光学系に関す
る。

〔従来の技術〕

従来のプレーンミラー干渉光学系を第２図に示す。この
干渉光学系は偏光ビームスプリッタ１０、コーナーキユ
ーブ１２、コーナーキユーブ１４（参照面）、１／４波
長板１６、移動平面鏡（測定面）１８、偏光子２０から
構成されている。

Ｐ偏光とＳ偏光ををするレーザ光は偏光ビームスプリッ
タ１０に入射すると、偏光膜２２を通過したＰ偏光測定
光は実線で示すように偏光ビームスプリッタ１０を通過
した後、Ａ波長板１６を通過し、更に移動平面鏡１８で
反射された後、１／４波長板１６を通過して偏光面が９
０°回転されてＳ偏光となって再びビームスプリッタ１
０に入射する。偏光ビームスプリッタ１０に入射したＳ
偏光は、偏光膜２２で反射され、コーナーキューブ１２
に入射したのち、再び偏光ビームスプリッタ１０に入射
する。偏光ビームスプリッタ１０に入射した光はＳ偏光
の為偏光膜２２で反射され、２波長板１６を通過したの
ち、移動平面鏡１８で反射され再び２波長板を通過して
Ｐ偏光に偏光されてビームスブリック１０の偏光膜２２
を通過し、偏光子２０を通過し図示しないレシーバ−に
到着する。

一方、偏光ビームスプリッタｌＯに入射したレーザ光の
Ｓ偏光参照光は点線で示すように偏光膜２２で反射され
、コーナーキューブ１４に入射する。コーナキューブ１
４を出射したのち再び偏光膜２２で反射されビームスプ
リッタ１０から出射し、偏光子２０を通過しレシーバ−
に到着し、ここで参照光は前記測定光と干渉して干渉縞
を発生する。

〔発明が解決しようとする問題点〕 しかしながら、前記従来のブレーンミラー干渉光学系は
、移動平面鏡１８の傾きに対しては誤差の発生は少ない
ものの、第２図の実線と点線で示すように、測定光路（
実線）と参照光路（点線）との光路長が大きく異なって
いるため、プツトパスが非常に大きく、外乱の影響を受
けやすいという欠点がある。また、測定光路と参照光路
とが第２図に示すように共通光路が少なく、異なる光学
素子の光路を通るため、各光学素子が熱膨張した場合に
大きな誤差を発生するという欠点があった。

本発明は、このような事情に鑑みて成されたもので、プ
ツトパスが少なく光学素子の熱膨張に対して大きな誤差
を発生しないブレーンミラー干渉光学系を提案すること
を目的としている。

〔問題点を解決するだめの手段〕

本廃明は、前記目的を達成するために、Ｐ偏光とＳ偏光
とを有するレーザ光が入射し、レーザ光入射方向に対し
て傾斜して配置された偏光膜を存する偏光ビームスプリ
ッタと、偏光ビームスプリッタに入射するレーザ光と直
交する方向のうちの偏光ビームスブリフタの一面側に配
置されたコーナキニーブと、偏光ビームスブリックに入
射するレーザ光と直交する方向で、コーナキューブとは
偏光ビームスプリッタの反対側に配設された参照平面鏡
と、偏光ビームスプリッタと参照平面鏡との間に配設さ
れた第１のＸ波長板と、偏光ビームスプリッタを挟んで
レーザ光の入射側と反対側に配設される移動平面鏡と、
偏光ビームスプリッタと移動平面鏡との間に配設された
第２のＸ波長板と、から成ることを特徴としている。

〔作用〕

本発明はレーザ光の入射方向とは直交する方向で、偏光
ビームスプリッタの一面側にコーナキューブを配設する
と共にコーナキニーブの反対側にＸ波長板、参照平面鏡
を配置し、更にレーザ光の入射方向と反対側にＸ波長板
、移動平面鏡を配置したので、測定光の光路長と参照光
の光路長とが路間−の長さになり、デッドパスを小さく
し、外乱の影響を小さくすることが出来る。

〔実施例〕

以下添付図面に従って本発明に係るブレーンミラー干渉
光学系の好ましい実施例を詳説する。

箪１図では本発明に係る干渉光学系を示し、偏光ビーム
スプリッタ３０はレザー光の入射方向に対して傾斜して
配置された偏光膜３１を有している。偏光ビームスプリ
ッタ３０の下方にはコーナキューブ３２が配置されてお
り、また偏光ビームスプリッタ３０の上方にはＡＩｉ長
板３４を介して参照鏡３６が配置されている。コーナキ
ューブ３２、参照鏡３６はレーザ光の入射方向に対して
直交する位置に偏光ビームスプリッタ３０を挟んで配置
されている。

偏光ビームスプリッタ３０の第１図上の右側即ちレーザ
光の入射方向と反対側の側方にはＸ波長板３８を介して
移動平面鏡４０が配置されている。

移動平面鏡４０は測定鏡として機能する。

前記の如く構成された本発明に係る実施例の作用は次の
通りである。先ず本発明の干渉光学系の測定光の光路を
第１図に従って説明する。Ｐ偏光とＳ偏光とを有するレ
ーザ光は、ビームスプリッタ３０に入射すると、ビーム
スプリッタ３０の偏光膜３１をＰ偏光は通過するが、Ｓ
偏光は反射される。ここで測定光の光路は便宜上実線で
示し、参照光の光路は点線で示す。偏光膜３１を通過し
たＰ偏光の光は１／４波長板３８を通過し、移動平面鏡
を４６で反射された後、再びＶ４．ｌＩｉ長板３８を通
ると偏光面が９０°回転し、Ｓ偏光となる。

このため偏光膜３１で反射され９０°向きが変わる。

これによりこのＳ偏光の光はコーナキューブ３２に入射
し、コーナキューブ３２で向きを１８０゜変えられ、再
び偏光ビームスプリッタ３０に入射する。偏光ビームス
プリッタ３０に入射した光はＳ偏光のため偏光膜３１で
反射され、１／４波長板３８を通過し移動平面鏡４０で
反射された後、再びＶ４ｍ長板３８を通ると偏光面が９
０°回転し、Ｓ偏光はＰ偏光となる。その後、偏光ビー
ムスプリッタ３０に入射したＰ偏光の光は、Ｐ偏光のた
め偏光膜３１を通過し、図示しないレシーバに到達する
。

次に本発明の干渉光学系の参照先の光路について説明す
る。先ず、偏光ビームスプリッタ３０に入射したレーザ
光のＳ偏光は、点線で示すように偏光膜３１で反射され
、１／４波長板３４を通過し、参照平面鏡３６で反射さ
れる。参照平面鏡３６で反射されたＳ偏光の光は１／４
波長板３４を通過すると偏光面が９０°回転しＰ偏光の
光となって偏光ビームスブリック３０に入射する。偏光
ビームスプリッタ３０に入射したＰ偏光の光は、偏光膜
３１を通過し、下方のコーナキューブ３２に入射する。

下方のコーナキニーブ３２に入射したＰ偏光の光は再び
偏光ビームスプリッタ３０に入射する。

偏光ビームスプリッタ３０に入射した光はＰ偏光のため
偏光膜３１を通過し、１／４波長板３４を通過し参照平
面鏡３６で反射された後、再び１／４波長板３４を通過
し、この時偏光面が９０°回転させられ、Ｐ偏光の光は
Ｓ偏光になる。偏光ビームスプリッタ３０に入射したＳ
偏光の光は偏光膜３１で反射され、図示しないレシーバ
に到達する。ここで前記測定光と参照光とが干渉し干渉
縞を形成することになる。

前記実施例によれば、第１図の実線と点線で示すように
、測定光の光路と参照光の光路とが路間−の長さになり
４デツドバスの影響が小さく、誤差の少ない干渉光学系
を撮供することが出来る。

〔発明の効果〕

以上ｉ！胡したように本発明に係るブレーンミラー干渉
光学系によれば、レーザ光の入射方向とは直交する方向
で、偏光ビームスプリッタの一面側にコーナキューブを
配設すると共にコーナキニーブの反対側にＶ４彼長板、
参照平面鏡を配置し、更にレーザ光の入射方向と反対側
にｙ４波長板、移動平面鏡を配置したので、測定光の光
路長と参照先の光路長とが路間−の長さになり、デッド
バスを小さくし、外乱の影響を小さくすることが出来る
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る干渉光学系の測定光光路を示す説
明図、第２図は従来の干渉光学系の光路を示す説明図で
ある。 ３０・・・偏光ビームスプリッタ、　３１・・・偏光膜
、３２・・・コーナーキューブ、　　３４．３８・・・
′Ａ波長板、　３６・・・参照平面鏡、　４０・・・移
動平面鏡。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 Ｐ偏光とＳ偏光とを有するレーザ光が入射し、レーザ光
   入射方向に対して傾斜して配置された偏光膜を有する偏
   光ビームスプリッタと、 偏光ビームスプリッタに入射するレーザ光と直交する方
   向のうちの偏光ビームスプリッタの一面側に配置された
   コーナキューブと、 偏光ビームスプリッタに入射するレーザ光と直交する方
   向で、コーナキューブとは偏光ビームスプリッタの反対
   側に配設された参照平面鏡と、偏光ビームスプリッタと
   参照平面鏡との間に配設された第１の１／４波長板と、 偏光ビームスプリッタを挟んでレーザ光の入射側と反対
   側に配設される移動平面鏡と、 偏光ビームスプリッタと移動平面鏡との間に配設された
   第２の１／４波長板と、 から成るプレーンミラー干渉光学系。