JPH0666513A - ヘテロダイン干渉計用高消光比直交２周波数光源 - Google Patents

ヘテロダイン干渉計用高消光比直交２周波数光源

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JPH0666513A
JPH0666513A JP3238587A JP23858791A JPH0666513A JP H0666513 A JPH0666513 A JP H0666513A JP 3238587 A JP3238587 A JP 3238587A JP 23858791 A JP23858791 A JP 23858791A JP H0666513 A JPH0666513 A JP H0666513A
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 本発明は，非線形性誤差を生じないように偏
光漏れ成分のない，直交２周波数光源に関するものであ
る。 【構成】 レーザ光源Ｌ，１／２波長板ＨＷをとおった
光は偏光ビームスプリッタＰＢＳ１の偏光軸に４５度に
入射し，２ビームに分割される。音響光学素子Ａ１，Ａ
２でそれぞれ周波数偏移をうける。各ビームは偏光ビー
ムスプリッタＰＢＳ１の不完全性および音響光学素子中
の歪みなどにより楕円偏光になる。これらのビームを，
従来の光源と異なり消光比の高いグラムトムソンプリズ
ムＧＰ１，ＧＰ２を通して，完全な直線偏光にして合波
用偏光ビームスプリッタＰＢＳ２に入射して，高消光比
の直交２周波数光をえる。これにより，従来の光源の消
光比が約３０ｄＢにくらべ，本方法では５０ｄＢ以上が
得られ，約２０ｄＢ向上できる。この光源を光ヘテロダ
イン干渉計に用いると非線形誤差のない高精度な位相測
定が可能になる。

Description

【発明の詳細な説明】 これまで，音響光学素子を用いた直交２周波数光源は，
ヘテロダイン干渉計において，共通光路を構成し易いこ
とから，用いられてきた。しかし，これまでの直交２周
波数光源では，最終の合波に用いた偏光ビームスプリッ
タの反射面に楕円偏光を入射すると反射光は主成分は垂
直成分であるが，平行成分が若干漏れてくるため，消光
比が悪くなり干渉ビートに余分な成分が現れてくる。こ
のため，位相計出力が非線形性誤差を生じる。本発明
は，このような非線形性誤差を生じないように偏光漏れ
成分のない，直交２周波数光源に関するものである。本
特許の光学系略図を図１に示す。レーザ光源Ｌ，１／２
波長板ＨＷをとおった光は偏光ビームスプリッタＰＢＳ
１の偏光軸に４５度に入射し，２ビームに分割される。
音響光学素子Ａ１，Ａ２でそれぞれ周波数偏移をうけ
る。各ビームは偏光ビームスプリッタＰＢＳ１の不完全
性および音響光学素子中の歪みなどにより楕円偏光にな
る。これらのビームを，従来の光源と異なり消光比の高
いグラムトムソンプリズムＧＰ１，ＧＰ２を通して，完
全な直線偏光にして合波用偏光ビームスプリッタＰＢＳ
２に入射して，高消光比の直交２周波数光をえる。これ
により，従来の光源の消光比が約３０ｄＢにくらべ，本
方法では５０ｄＢ以上が得られ，約２０ｄＢ向上でき
る。この光源を光ヘテロダイン干渉計に用いると非線形
誤差のない高精度な位相測定が可能になる。
【図面の簡単な説明】
図１は，高消光比直交２周波数光源の光学系。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 偏光ビーム・スプリッタに漏れ成分のない直交２周波数
    の直線偏光を入射することによる高消光比直交２周波数
    光源
JP3238587A 1991-06-11 1991-06-11 ヘテロダイン干渉計用高消光比直交２周波数光源 Expired - Fee Related JP2748198B2 (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101893448A (zh) * 2010-07-16 2010-11-24 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种消除或减小激光外差干涉法中非线性误差的方法
CN101936747A (zh) * 2010-07-28 2011-01-05 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 波动探测方法中非线性误差的基波和奇次谐波消除法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS647679A (en) * 1987-06-30 1989-01-11 Hoya Corp Laser device

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