JPH0555009U - 長さ基準装置 - Google Patents
長さ基準装置Info
- Publication number
- JPH0555009U JPH0555009U JP10639191U JP10639191U JPH0555009U JP H0555009 U JPH0555009 U JP H0555009U JP 10639191 U JP10639191 U JP 10639191U JP 10639191 U JP10639191 U JP 10639191U JP H0555009 U JPH0555009 U JP H0555009U
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 小型で、アライメントの容易な長さ基準装置
を実現する。 【構成】 物体までの絶対距離を測定するアブソリュー
ト測長器に用いられる長さ基準装置であって、その側面
は対向面が少なくとも2組は平行である多面体の光学結
晶であり、この2組の平行対向面には、入射光を光学結
晶内部への透過光と外部への反射光の2つに分岐する偏
光ビームスプリッタ面とこの偏光ビームスプリッタ面を
透過した光を光学結晶内部への反射光と外部への透過光
の2つにさらに分岐するビームスプリッタ面とこのビー
ムスプリッタ面で反射された光を順次反射して前記偏光
ビームスプリッタ面の前記入射光の入射面に導く第1お
よび第2の反射面とが順次配置されるように形成され、
前記偏光ビームスプリッタ面に入射した光が前記光学結
晶内部を順次反射して再び前記偏光ビームスプリッタ面
まで戻る光路を基準長さとしたことを特徴とする。
を実現する。 【構成】 物体までの絶対距離を測定するアブソリュー
ト測長器に用いられる長さ基準装置であって、その側面
は対向面が少なくとも2組は平行である多面体の光学結
晶であり、この2組の平行対向面には、入射光を光学結
晶内部への透過光と外部への反射光の2つに分岐する偏
光ビームスプリッタ面とこの偏光ビームスプリッタ面を
透過した光を光学結晶内部への反射光と外部への透過光
の2つにさらに分岐するビームスプリッタ面とこのビー
ムスプリッタ面で反射された光を順次反射して前記偏光
ビームスプリッタ面の前記入射光の入射面に導く第1お
よび第2の反射面とが順次配置されるように形成され、
前記偏光ビームスプリッタ面に入射した光が前記光学結
晶内部を順次反射して再び前記偏光ビームスプリッタ面
まで戻る光路を基準長さとしたことを特徴とする。
Description
【0001】
本考案は、物体までの絶対距離を測定するアブソリュート測長器に用いられる 長さ基準装置に関し、詳しくは固体素子化による小型化およびアライメントを容 易とした長さ基準装置に関するものである。
【0002】
従来のアブソリュート測長器に用いられる長さ基準装置は、図2に示すような ハーフミラー31と2つのコーナーキューブ32,33からなるマイケルソン型 の干渉計で構成されたものである。図2において、レーザ光源1からの出射光は 、ハーフミラー2で2つに分岐される。一方の光は、ハーフミラー2を透過して 、測長光学系へと導かれる。他方の光は、ハーフミラー2で反射されて、長さ基 準装置3へ導かれる。長さ基準装置3へ入射された光は、ハーフミラー31で2 つに分岐される。一方の光は、ハーフミラー31を透過して、コーナーキューブ 32に入射され、反射された後、再びハーフミラー31に入射される。他方の光 は、ハーフミラー31で反射されて、コーナーキューブ33に入射され、反射さ れた後、再びハーフミラー31に入射され、コーナーキューブ32からの光と合 波されて、両光路長の差である基準長さに応じた干渉光(参照信号)となって出 射される。
【0003】 しかしながら、上記従来技術に示す長さ基準装置では、複数の光学部品を使用 しているため、そのアライメントに手間が掛かり、また、ある程度の空間が必要 となるため、小型化にも限界があった。
【0004】
本考案は、上記従来技術の課題を踏まえて成されたものであり、複数の光学部 品からなる長さ基準装置を1つに固体素子化することにより、小型でアライメン トの容易な長さ基準装置を提供することを目的としたものである。
【0005】
上記課題を解決するための本考案の構成は、 物体までの絶対距離を測定するアブソリュート測長器に用いられる長さ基準装 置であって、その側面は対向面が少なくとも2組は平行である多面体の光学結晶 であり、この2組の平行対向面には、入射光を光学結晶内部への透過光と外部へ の反射光の2つに分岐する偏光ビームスプリッタ面とこの偏光ビームスプリッタ 面を透過した光を光学結晶内部への反射光と外部への透過光の2つにさらに分岐 するビームスプリッタ面とこのビームスプリッタ面で反射された光を順次反射し て前記偏光ビームスプリッタ面の前記入射光の入射面に導く第1および第2の反 射面とが順次配置されるように形成され、前記偏光ビームスプリッタ面に入射し た光が前記光学結晶内部を順次反射して再び前記偏光ビームスプリッタ面まで戻 る光路を基準長さとしたことを特徴とするものである。
【0006】
本考案によれば、従来、長さ基準装置に必要な複数の光学部品を1つの固体素 子で構成したため、装置が小型化でき、また、そのアライメントが容易となる。
【0007】
以下、本考案を図面に基づいて説明する。 図1は本考案の長さ基準装置の一実施例を示す構成図である。図1において、 4は長さ基準装置であり、六角柱形の光学結晶である。41は光学結晶の側面の 1つに形成された偏光ビームスプリッタ面であり、この偏光ビームスプリッタ面 41でレーザ光源1から出射された光が2つに分岐され、透過光は光学結晶内部 へ導かれる。42は光学結晶の側面の1つに形成されたビームスプリッタ面であ り、このビームスプリッタ面42で偏光ビームスプリッタ面41を透過した光が さらに2つに分岐される。43,44は光学結晶の側面の1つにそれぞれ形成さ れた反射面であり、ビームスプリッタ面42で反射された光を順次反射して偏光 ビームスプリッタ面41に導く第1および第2の反射面である。なお、この光学 結晶の対向面である偏光ビームスプリッタ面41と第1の反射面43,ビームス プリッタ面42と第2の反射面44は平行とされており、レーザ光源1から出射 した光は、偏光ビームスプリッタ面41に入射し、透過光が光学結晶内部をビー ムスプリッタ面42,第1の反射面43,第2の反射面44で順次反射して、再 び偏光ビームスプリッタ面41に戻り、偏光ビームスプリッタ面41での反射光 と合流するように各面が配置されている。また、光学結晶内部を反射する光が進 んだ光路長が基準長さとなるように光学結晶の寸法が設定されている。
【0008】 このような構成において、レーザ光源11から出射されるレーザ光(p偏光成 分とs偏光成分に分けられる直線偏光とする)は、長さ基準装置4の偏光ビーム スプリッタ面41に入射され、p偏光成分とS偏光成分の2つに分岐される。s 偏光成分の光は、偏光ビ−ムスプリッタ面41で反射される。p偏光成分の光は 、偏光ビームスプリッタ面41を透過して、光学結晶内部へ導かれ、ビームスプ リッタ面42に入射される。入射光は、ビームスプリッタ面42でさらに2つに 分岐される。一方の光は、ビームスプリッタ面42を透過して、測長光学系に導 かれる。他方の光は、ビームスプリッタ面42で反射されて、第1および第2の 反射面43および44で順次全反射され、偏光ビームスプリッタ面41に入射さ れる。入射光は、p偏光成分の光であるため、偏光ビームスプリッタ面41を透 過し、偏光ビームスプリッタ面41で反射されたs偏光成分の光と合波されて、 参照信号となる。この参照信号を干渉させることで、光学結晶内部をp偏光成分 が余分に進んだ効果が現れる。
【0009】 このように、本考案の長さ基準装置では、参照信号を得るために必要な複数の 光学部品を1つの固体素子で実現しており、装置を小型にできると共に、そのア ライメントが容易となる。
【0010】
以上、実施例と共に具体的に説明したように、本考案によれば、長さ基準装置 に必要な複数の光学部品を1つの固体素子で構成したため、装置が小型化できる と共に、そのアライメントを容易とした効果を有する長さ基準装置を実現できる 。
【図1】本考案の長さ基準装置の一実施例を示す構成図
である。
である。
【図2】長さ基準装置の従来例である。
4 長さ基準装置 41 偏光ビームスプリッタ面 42 ビームスプリッタ面 43、44 反射面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 小杉 泰仁 東京都武蔵野市中町2丁目9番32号 横河 電機株式会社内
Claims (1)
- 【請求項1】 物体までの絶対距離を測定するアブソリ
ュート測長器に用いられる長さ基準装置であって、その
側面は対向面が少なくとも2組は平行である多面体の光
学結晶であり、この2組の平行対向面には、入射光を光
学結晶内部への透過光と外部への反射光の2つに分岐す
る偏光ビームスプリッタ面とこの偏光ビームスプリッタ
面を透過した光を光学結晶内部への反射光と外部への透
過光の2つにさらに分岐するビームスプリッタ面とこの
ビームスプリッタ面で反射された光を順次反射して前記
偏光ビームスプリッタ面の前記入射光の入射面に導く第
1および第2の反射面とが順次配置されるように形成さ
れ、前記偏光ビームスプリッタ面に入射した光が前記光
学結晶内部を順次反射して再び前記偏光ビームスプリッ
タ面まで戻る光路を基準長さとしたことを特徴とする長
さ基準装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10639191U JP2559511Y2 (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 長さ基準装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10639191U JP2559511Y2 (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 長さ基準装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0555009U true JPH0555009U (ja) | 1993-07-23 |
JP2559511Y2 JP2559511Y2 (ja) | 1998-01-19 |
Family
ID=33486961
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10639191U Expired - Fee Related JP2559511Y2 (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 長さ基準装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2559511Y2 (ja) |
-
1991
- 1991-12-24 JP JP10639191U patent/JP2559511Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2559511Y2 (ja) | 1998-01-19 |
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Legal Events
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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