JP2551467B2 - 電子顕微鏡の記録媒体用マガジン - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の分野） 本発明は電子顕微鏡内において用いられる記録媒体用
マガジンに関し、特に詳細には、ホルダーに収容された
蓄積性蛍光体シートを収容可能な記録媒体用マガジンに
関するものである。

（従来の技術） 従来より、試料を透過させた電子線を電界あるいは磁
界によって屈折させて、試料の拡大像を得る電子顕微鏡
が公知となっている。この電子顕微鏡には多くの場合カ
メラ室が設けられており、このカメラ室内に写真感光フ
イルム等の記録媒体を配設して、該記録媒体に試料を透
過した電子線を照射することにより、試料の電子顕微像
を記録媒体に記録（撮影）するようになっている。

上記記録媒体が写真感光フイルムである場合には、該
フイルムはカセッテ内に１枚ずつ収納されてカセッテ内
に収納されたまま撮影に供せられる。撮影が終了すると
上記カセッテはカメラ室から取り出され、カセッテ内の
フイルムは取り出されて現像処理が施される。

また本出願人は、上記写真感光フイルムの代りに記録
媒体として、例えば特開昭52−12429号，同55−116340
号，同55−163472号，同56−11395号，同56−104645号
公報等に開示されている蓄積性蛍光体シートを用いた電
子顕微鏡像記録再生方法を先に提案した。（特開昭61−
51738号，特開昭61−93539号等）。この電子顕微鏡像記
録再生方法は、基本的に、電子線エネルギーを蓄積する
蓄積性蛍光体シートに、試料を透過した電子線を真空状
態で蓄積記録し、次いで該蓄積性蛍光体シートに励起光
照射等の行なって蓄積されたエネルギーを輝尽発光光と
して放出させ、この放出光を光電的に検出して画像信号
を得、この画像信号を用いて試料の透過放射線画像を再
生するものである。

さらに、上記電子顕微鏡としては、同一カメラ室内に
おいて、記録媒体として上述した写真感光フイルムと蓄
積性蛍光体シートとを目的に応じて使いわけることので
きるようにしたものも既に提案されている（特開昭61−
237355号）。

上記写真感光フイルム、蓄積性蛍光体シートといった
電子顕微鏡における記録媒体は、電子顕微鏡内において
供給マガジン内に複数枚収納されており、該供給マガジ
ンから１枚ずつ取り出されて電子線が照射される記録位
置に供給される。また、撮影が終了した記録媒体は、記
録媒体を複数枚収納可能な収納マガジン内に順次搬入さ
れるようになっている。また、本出願人は、上記供給マ
ガジンと収納マガジンが一体化されてなり、同一マガジ
ン内に未撮影の記録媒体と撮影済の記録媒体を共に収納
するようにしたマガジンを既に提案した（特願昭62−31
7732号）。かかるマガジンは、記録媒体を１枚ずつ収納
可能な複数の媒体収納部が連設されてなる、上下動可能
な媒体収納棚を有し、所定の高さ位置で棚内の記録媒体
を押し出すとともに、記録媒体を該棚内に収納する収納
手段を有するものである。かかるマガジンによれば、未
撮影，撮影済の記録媒体を共に収納して電子顕微鏡内の
マガジンの数を減らすことができる。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、実際には写真感光フイルムはカメラ室
においてカセッテに収納された状態で取り扱われるのに
対し、蓄積性蛍光体シートは、シートに励起光を照射し
て画像信号を得る読取時に屈曲搬送される必要があるこ
と等によりシートだけで取り扱われるため、電子顕微鏡
内において、カセッテに収納された写真感光フイルムと
蓄積性蛍光体シートでは両者の機械的性質が違うため搬
送不良を起こしやすい。このため、前述したように写真
感光フイルムと蓄積性蛍光体シートを使い分けるように
した電子顕微鏡においては、上述したマガジンを、蓄積
性蛍光体シート用と写真感光フイルム用にそれぞれ設け
なければならないとともに、搬送系も蓄積性蛍光体シー
ト用と写真感光フイルム用に別々に設けなければなら
ず、電子顕微鏡全体が大型化してしまうという不都合が
ある。

本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、
未撮影の記録媒体と撮影済の記録媒体を共に収納するこ
とができるとともに、蓄積性蛍光体シートの収納形態を
工夫することにより、蓄積性蛍光体シートと写真感光フ
イルムが共用することの可能な電子顕微鏡の記録媒体用
のマガジンを提供することを目的とするものである。

（課題を解決するための手段） 本発明の電子顕微鏡の記録媒体用マガジンは、蓄積性
蛍光体シートを１枚ずつ取出可能に収納する電子線透過
性を有する複数のホルダーを保持可能なホルダー収容
部、前記ホルダーに設けられた係合部材と該係合部材に
係合して前記ホルダー収容部に対して前記ホルダーを出
し入れする係合出し入れ部材とからなるホルダー搬入搬
出手段および、前記ホルダー収容部内の任意のホルダー
の前記係合部材が前記係合出し入れ部材と係合可能なよ
うに、前記ホルダー収容部を前記係合出し入れ部材に対
して相対的に移動させる移動手段からなることを特徴と
するものである。

（作用） 上記のように、マガジンをホルダーに収納された蓄積
性蛍光体シートを保持可能なものにしておけば、写真感
光フイルムについても従来のカセッテに収納する代りに
上記ホルダーに収納することにより、蓄積性蛍光体シー
トと共に同一のマガジンに収容させることが可能とな
る。また、同一マガジンに蓄積性蛍光体シートと写真感
光フイルムを共に収容する場合には、所望の記録媒体を
適宜取り出すことが必要であるが、本発明のマガジン
は、任意のホルダーがホルダー搬入搬出手段により出し
入れ可能となっているので、ホルダー収容部内における
位置に関係なく、所望の記録媒体を収納しているホルダ
ーを取り出すことができる。

また、蓄積性蛍光体シート自体はそれ程剛性が高くな
いので、該シートを単体で取り扱うと、マガジンへの搬
入や搬出等の際に搬入搬出手段等によって該シートが機
械的な力を受けて変形し、それによって搬入や搬出等に
支障が生じる虞れがあるが、本発明では、上記のように
蓄積性蛍光体シートはホルダーに収納された状態でマガ
ジンへの搬入、搬出が行なわれ、また記録位置とマガジ
ンとの間の搬送も行なわれるので、ホルダーの高剛性に
より上記シートの変形による問題を回避することがで
き、それによって蓄積性蛍光体シートの上記搬入、搬
出、搬送を支障なく安定的に行なうことができる。

また、蓄積性蛍光体シート単体で取り扱う場合には、
該シート自体に直接別個の部材を設けると該シートの読
取りや保管取り扱いに支障が生じる等の問題が出てくる
ので、別個の部材を設ける事なくマガジンからの出し入
れをするような機構を考えなければならず、その結果搬
入搬出手段をどの様に構成するかについて苦慮すること
となるが、本発明では、上記のように、蓄積性蛍光体シ
ートはホルダーに収納して取り扱われるので、ホルダー
に種々の形態の係合部材を設けることができ、これによ
りホルダーの搬入搬出手段の設計の自由度が高くなり、
例えば実施例で示すラック・ピニオン機構のような簡単
かつ小型のホルダー搬入搬出手段を採用することができ
る。

（実施例） 以下、図面を参照して本発明の実施例について説明す
る。

第１図は本発明の一実施例による記録媒体用マガジン
を備えた電子顕微鏡の概略図である。

電子顕微鏡１の鏡体部1aは、一様の速度の電子線２を
射出する電子銃３と、電子線２を試料面に絞り込む磁気
レンズ、静電レンズ等からなる少なくとも１コの集束レ
ンズ４と、試料台５と、上記集束レンズ４と同様の対物
レンズ６と、投影レンズ７とを有してなる。試料台５上
に載置された試料８を透過した電子線２は上記対物レン
ズ６により屈折され、該試料８の拡大散乱像8aを形成す
る。この拡大散乱像8aは投影レンズ７により、結像面９
に結像投影される。（図中の8b）。

上記電子顕微鏡の鏡体部1aの下方には、電子顕微鏡像
記録装置10が配置されている。この電子顕微鏡像記録装
置10は、図中左方に、記録媒体である蓄積性蛍光体シー
ト11を多数枚収容可能な、本実施例による記録媒体用マ
ガジン（以下、単にマガジンと称する）100が配設され
ており、前記結像面９を含む位置には記録部14が設けら
れている。

上記マガジン100は、第１図およびマガジン内部を正
面からみた第２図に示すように、蓄積性蛍光体シート11
そ１枚ずつ収納可能なホルダー101と突部102aにより支
持して上下方向に並べて複数枚保持可能なホルダー収容
部102を有している。このホルダー収容部102には、マガ
ジン100の筐体103にベアリング104を介して固定されて
いるスクリューロッド105が取り付けられ、ギア106,107
を介してモータ108によりスクリューロッド105が回転せ
しめられることにより上下動可能となっている。また上
記筐体103の記録部14側の側面には、ホルダー101をマガ
ジン100に対して出し入れするためのスリット103aが形
成されている。

マガジン100から未撮影の蓄積性蛍光体シート11を収
納したホルダー101を取り出す場合には、取り出される
ホルダー101が上記スリット103aに隣接するようにホル
ダー収容部102が上下動せしめられる。続いてホルダー1
01がホルダー搬入搬出手段によりスリット103aからマガ
ジン100外へ搬出される。すなわち、第３図に示すよう
に、ホルダー101はその両側端面に係合部材であるラッ
ク101aが形成されており、スリット103aの近傍には、こ
のラック101aと係合可能な係合出し入れ部材であるピニ
オン110が配されている。上記のホルダー収容部102の上
下動により、マガジン100から取り出されるホルダー101
のラック101aがピニオン110と係合すると、ピニオン110
はモータ111により回転せしめられ、上記ホルダー101は
ホルダー収容部102から搬出される。本実施例において
は、上記ラック101aおよびピニオン110により、ホルダ
ー搬入搬出手段が構成されている。

上記のようにしてホルダー収容部102から搬出されて
スリット103a外に突出せしめられたホルダー101は、ス
リット103aの近傍に配設された搬送ローラ18a,18bによ
り把持される。ホルダー101はこの搬送ローラ等により
記録部14に送られて、記録部14内に設けられた２対のニ
ップローラ28,29により前記結像面９の位置に停止せし
められる。ホルダー101は電子線透過性を有する材料に
より形成されており、蓄積性蛍光体シート11はホルダー
101に収納されたまま電子顕微鏡像を記録される。

前記鏡体部1aと記録部14との間には、それぞれ図中矢
印Ａ方向に回動可能なシャッター30と、蛍光スクリーン
31とが設けられ、これらシャッター30とスクリーン31は
各々、図示しないレバーによって回動操作されるように
なっている。また上記スクリーン31の上方において、鏡
体部1aの周壁には例えば鉛ガラスからなる観察窓32が設
けられている。前記電子線は、蛍光スクリーン31に当た
って蛍光を発生させるので、該電子線２が担持する拡大
散乱像8aが、観察窓32を通して観察される。このように
蛍光スクリーン31を観察して拡大散乱像8aのピント、倍
率および視野範囲が決定された後、シャッター30と蛍光
スクリーン31は、前述のレバーを操作することにより、
電子線２を遮らない位置まで跳ね上げられる。こうする
と電子線２は、記録部14においてホルダー101に収納さ
れて保持されている蓄積性蛍光体シート11に到達し、拡
大散乱像8bを担持する電子線エネルギーが該シート11に
蓄積記録される。

上記のようにシャッター30を開いて電子線露光を行な
った後、シャッター30が閉じられる。そして拡大散乱像
8bを蓄積記録した蓄積性蛍光体シート11を収納したホル
ダー101は、前記ニップローラ28,29により第１図左方向
に送られ、搬送ローラ18a,18bによりマガジン100内に搬
入される。その際にマガジン100内のホルダー収容部102
は、予め空の部分がスリット103aに隣接するように配置
せしめられている。ホルダー101は、前記搬送ローラ18
a,18bによりホルダー収容部102内に搬入され、前述した
ラック101aがマガジン内のピニオン110に係合すると、
ピニオンの回転により、ホルダー収容部102内に完全に
収容される。また、上記スリット103aの上下には遮光板
112が配設されており、マガジンに対してホルダーを出
し入れする時以外はスリット103aを塞いでマガジン100
内に光が入ることを防止する。

上記のようにして、マガジン100からは、未撮影の蓄
積性蛍光体シート11を収納したホルダー101が順次取り
出されて撮影に供される。なお、ホルダー101の中には
蓄積性蛍光体シートの代りに写真感光フイルムが収納さ
れているものがあってもよく、顕微鏡像の種類等に応じ
て蓄積性蛍光体シートと写真感光フイルムを使い分けて
もよい。マガジン100からはホルダー収容部102を上下動
させることにより、任意のホルダーを取り出し得るの
で、所望の記録媒体を収納したホルダーの取出しは自在
に行なうことができる。このようにしてホルダー取り出
し、撮影、撮影済のホルダーのマガジン100への搬入が
くり返され、マガジン内のホルダーに収納されている蓄
積性蛍光体シート11がすべて撮影済のものになると、こ
のマガジン100は電子顕微鏡像記録装置10から取り出さ
れ、マガジン内の蓄積性蛍光体シートは、公知の放射線
画像情報読取装置において、その電子顕微鏡像が読取ら
れる。なお、上述した電子顕微鏡の、上記鏡体部1aの内
部と、電子顕微鏡像記録装置10の内部は、電子顕微鏡の
稼働中、公知の排気装置によって真空状態に維持される
が、鏡体部1aと電子顕微鏡像記録装置10との間には公知
の遮断部材（図示せず）が設けられ、該遮断部材によっ
て鏡体部1a内部と電子顕微鏡像記録装置10の内部とを互
いに遮断することにより、マガジン100の装着あるいは
取出しの際に、電子顕微鏡像記録装置10内の真空を破壊
しても、鏡体部1a内は真空状態に維持できるようになっ
ている。

蓄積性蛍光体シート11に蓄積記録された電子顕微鏡像
を読取る際には、蓄積性蛍光体シートがホルダーから取
り出されて読取ゾーンに送られることが必要となるが、
ホルダーは必ずしもマガジンから取り出される必要はな
い。そこでホルダー101の上下面には、該ホルダーから
の蓄積性蛍光体シートの取り出しを良好に行なわせるた
めに切り欠き101b（第３図および第４図参照）が形成さ
れている。すなわち、第４図に示すように読取装置側
に、マガジンの装填位置に近接させて上記切り欠き101b
より短い長さのニップローラ120を蓄積性蛍光体シート
取出し手段として設けておき、前述したラック101aとピ
ニオンとによりホルダー101bごと蓄積性蛍光体シート11
を矢印方向に移動させれば、切欠き101bにより露出され
た蓄積性蛍光体シートの部分が上記ニップローラ120に
把持される。蓄積性蛍光体シート11がニップローラ120
に把持されるとピニオン110は回転を停止し、蓄積性蛍
光体シートがニップローラ120によりホルダー110内から
完全に搬出されると、ピニオンは逆転してホルダーを元
の位置に戻す。このようにすれば、ホルダーをわずかに
前後移動させるだけで、ホルダー内の蓄積性蛍光体シー
トを取り出して順次読取ゾーンに送ることができる。

なお、本発明のマガジンの各部の具体的な構造は、上
記実施例に示したものに限られるものではなく、上述し
たように複数のホルダーを収容して、任意のホルダーを
取り出すことができれば、どのようなものであってもよ
い。例えばホルダー収容部は、ホルダーを起立させた状
態で横方向に並べて保持するものであってもよいし、ホ
ルダーを出し入れする際にはホルダー搬入搬出手段の係
合出し入れ部材をホルダー収容部に対して移動させてホ
ルダーの係合部材に係合させるようにしてもよい。

（発明の効果） 以上説明したように、本発明の電子顕微鏡の記録媒体
用マガジンによれば、蓄積性蛍光体シートを収納した複
数のホルダーを収容可能としたので、蓄積性蛍光体シー
トと写真感光フイルムを同じマガジンに収容させること
ができるとともに、上記マガジンからは任意のホルダー
を取り出すことができるので、必要に応じて蓄積性蛍光
体シートを収納したホルダーと、写真感光フイルムを収
納したホルダーを選択して取り出し、撮影に供給するこ
とができる。

また、本発明では、上記のように蓄積性蛍光体シート
は高剛性のホルダーに収納された状態でマガジンへの搬
入や搬出等が行なわれるので、蓄積性蛍光体シートの上
記搬入や搬出等を支障なく安定的に行なうことができ
る。また、蓄積性蛍光体シートはホルダーに収納して取
り扱われるので、ホルダーに種々の形態の係合部材を設
けることができ、これによりホルダーの搬入搬出手段の
設計の自由度が高くなり、例えば実施例で示すラック・
ピニオン機構のような簡単かつ小型のホルダー搬入搬出
手段を採用することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による記録媒体用マガジンを
有する電子顕微鏡の概略図、 第２図はマガジン内部の正面図、 第３図は上記マガジンの要部の斜視図、 第４図は読取装置内におけるホルダーの平面図である。 １……電子顕微鏡、９……結像面 10……電子顕微鏡像記録装置 11……蓄積性蛍光体シート、14……記録部 100……記録媒体用マガジン 101……ホルダー、101a……ラック 102……ホルダー収容部、103……筐体 103a……スリット 105……スクリューロッド 108……モータ、110……ピニオン

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】電子顕微鏡内において、試料を透過した電
   子線をホルダー内に収納された蓄積性蛍光体シートに照
   射する記録位置に該蓄積性蛍光体シートを収納したホル
   ダーを供給するマガジンであって、 前記蓄積性蛍光体シートを１枚ずつ取出可能に収納する
   電子線透過性を有するホルダーを複数枚保持可能なホル
   ダー収容部、前記ホルダーに設けられた係合部材と該係
   合部材に係合して前記ホルダー収容部に対して前記ホル
   ダーを出し入れする係合出し入れ部材とからなるホルダ
   ー搬入搬出手段および、前記ホルダー収容部内の任意の
   ホルダーの前記係合部材が前記係合出し入れ部材と係合
   可能なように、前記ホルダー収容部を前記係合出し入れ
   部材に対して相対的に移動させる移動手段からなる電子
   顕微鏡の記録媒体用マガジン。