JPH0282438A - 電子顕微鏡の記録媒体用マガジン - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の分野） 本発明は電子顕微鏡内において用いられ、記録位置に記
録媒体を供給する記録媒体用マガジンに関するものであ
る。

（従来の技術） 従来より、試料を透過させた電子線を電界あるいは磁界
によって屈折させて、試料の拡大像を得る電子顕微鏡が
公知となっている。この電子顕微鏡には多くの場合カメ
ラ室が設けられており、このカメラ室内に写真感光フィ
ルム等の記録媒体を配設して、該記録媒体に試料を透過
した電子線を照射することにより、試料の電子顕微鏡を
記録媒体に記録（撮影）するようになっている。

また本出願人は、上記写真感光フィルムの代りに記録媒
体として、例えば特開昭５２−１２４２９号、同５５−
１１ｆ１ｉ３４０号、同５５−［３４７２号、同５Ｂ−
１，１３９５号。

同５８−１０４．６４５号公報等に開示されている蓄積
性蛍光体シートを用いた電子顕微鏡像記録再生方法を先
に提案した。（特開昭１３１−５１７３８号、特開昭６
１−９３５３９号等）。この電子顕微鏡像記録再生方法
は、基本的に、電子線エネルギーを蓄積する蓄積性蛍光
体シートに、試料を透過した電子線を真空状態で蓄積記
録し、次いで該蓄積性蛍光体シートに励起光照射等を行
なって蓄積されたエネルギーを輝尽発光光として放出さ
せ、この放出光を光電的に検出して画像信号を得、この
画像信号を用いて試料の透過放射線画像を再生するもの
である。

さらに、上記電子顕微鏡としては、同一カメラ室内にお
いて、記録媒体として上述した写真感光フィルムと蓄積
性蛍光体シートとを目的に応じて使いわけることのでき
るようにしたものも既に提案されている（特開昭６１−
２３７３５５号）。

上記写真感光フィルム、蓄積性蛍光体シートといった電
子顕微鏡における記録媒体は、電子顕微鏡内において供
給マガジン内に複数枚収納されており、該供給マガジン
から１枚ずつ取り出されて電子線が照射される記録位置
に供給される。また、撮影が終了した記録媒体は、記録
媒体を複数枚収納可能な収納マガジン内に順次搬入され
るようになっている。また、本出願人は、上記供給マガ
ジンと収納マガジンが一体化されてなり、同一マガジン
内に未撮影の記録媒体と撮影済の記録媒体を共に収納す
るようにしたマガジンを既に提案した（特願昭６２−３
１７７３２号）。かかるマガジンは、記録媒体を１枚ず
つ収納可能な複数の媒体収納部が連設されてなる、上下
動可能な媒体収納棚を有し、所定の高さ位置で棚内の記
録媒体を押し出すとともに、記録媒体を該棚内に収納す
る収納手段を有するものである。かかるマガジンによれ
ば、未撮影、撮影済の記録媒体を共に収納して電子顕微
鏡内のマガジンの数を減らすことができる他、該マガジ
ン内に蓄積性蛍光体シートと写真感光フィルムといった
線類の異なる記録媒体を共に収納することも可能となる
。

（発明が解決しようとする課題） 上記のようなマガジンにおいては、媒体収納棚の各媒体
収納部に記録媒体が１枚ずつ収納可能となっているので
、撮影位置に記録媒体を供給する際には記録媒体が収納
されている媒体収納部から記録媒体を取り出し、撮影が
終了すると撮影済の記録媒体は空の媒体収納部内に搬入
される必要がある。しかしながら、実際には誤操作によ
って、既に記録媒体が収納されている媒体収納部内にさ
らに記録媒体を搬入しようとしたり、空の媒体収納部か
ら記録媒体を取り出そうとするといった不都合が生じる
場合があり、特に上述のように同一マガジンに蓄積性蛍
光体シートと写真感光フィルムを共に収納し、これらの
媒体を必要に応じて使い分ける場合等には、記録媒体の
取り出しの順番が位置的に不規則になるため、上記誤操
作が発生し易い。既に記録媒体が入っている媒体収納部
にさらに記録媒体を入れようとすると、記録媒体が破損
するおそれがあり、また空の媒体収納部から記録媒体を
取り出そうとすると、記録媒体が出ないため、取出不良
として処理されてしまうという問題がある。

本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、記
録媒体の収納されている媒体収納部に記録媒体を搬入し
たり、空の媒体収納部から記録媒体を取り出そうとした
りすることを防止することのできる、電子顕微鏡の記録
媒体用マガジンを提供することを目的とするものである
。

（課題を解決するための手段および作用）本発明の電子
顕微鏡の記録媒体用マガジンは、上述した媒体収納棚の
各媒体収納部に、それぞれ該収納部内における記録媒体
の有無を検知する検知手段が設けられていることを特徴
とするものである。

上記のように各媒体収納部に検知手段を設けておけば、
検知手段からの出力に基づいて、記録媒体が常に空の媒
体収納部に搬入されるようにするとともに、記録媒体の
収納されている媒体収納部から記録媒体の取り出しが行
なわれるように制御を行なうことが可能となる。

（実　施　例） 以下、図面を参照して本発明の実施例について説明する
。

第１図は本発明の一実施例による記録媒体用マガジンを
備えた電子顕微鏡の概略図である。

電子顕微鏡１の鏡体部１ａは、−様の速度の電子線２を
射出する電子銃３と、電子線２を試料面に絞り込む磁気
レンズ、静電レンズ等からなる少なくとも１コの集束レ
ンズ４と、試料台５と、上記集束レンズ４と同様の対物
レンズ６と、投影レンズ７とを有してなる。試料台５上
に載置された試料８を透過した電子線２は上記対物レン
ズ６により屈折され、該試料８の拡大散乱像８ａを形成
する。

この拡大散乱像８ａは投影レンズ７により、結像面９に
結像投影される。（図中の８ｂ）。

上記電子顕微鏡の鏡体部１ａの下方には、電子顕微鏡像
記録装置１０が配置されている。この電子顕微鏡像記録
装置１０は、図中左方に、記録媒体である蓄積性蛍光体
シート１１を多数枚収納可能な、本実施例による記録媒
体用マガジン（以下、単にマガジンと称する）１００が
配設されており、前記結像面９を含む位置には記録部１
４が、この記録部１４と上記マガジン１００の間には消
去光源１７がそれぞれ設けられている。

上記マガジン１００は、第１図および第１図のＸ−Ｘ線
断面図である第２図に示すように、蓄積性蛍光体シー）
１１を１枚ずつ収納可能なシート収納部１０１が上下方
向に複数段連設されてなるシート収納棚１０２を有して
いる。このシート収納棚１０２にはマガジン１００の筐
体１０３にベアリング１０４を介して固定されているス
クリューロッド１０５が取り付けられ、ギア１０６，１
０７を介してモータ】０８によりスクリューロッド１０
５が回転せしめられることにより上下動可能となってい
る。また上記筐体１０３の記録部１４側の側面には、蓄
積性蛍光体シート１１をマガジン１００に対して出し入
れするためのスリット１０３ａが形成されている。

マガジン１００から未撮影の蓄積性蛍光体シート１１を
取り出す場合には、撮影に供される蓄積性蛍光体シート
１１を収納したシート収納部１０１がスリット１０３ａ
に隣接するようにシート収納棚１０２が上下動せしめら
れる。続いて図示しない移動手段により水平方向に移動
せしめられる押出し板１１１が、シート収納部１０１内
に進入して蓄積性蛍光体シート１１の端面を押して該シ
ートをスリット１０３ａ外に突出させ、この蓄積性蛍光
体シートをスリット１０３ａに隣接して配設された搬送
ローラＬ８ａ、　１８ｂに把持させる。蓄積性蛍光体シ
ート１１はこの搬送ローラ等により前記記録部１４に送
られる。またこのように未撮影の蓄積性蛍光体シート１
１が搬送される際には、前記消去光源１７が点灯されて
、蓄積性蛍光体シーＭｌは記録部１４に配置されるのに
先立って、消去光により残存放射線エネルギーの消去を
受ける。消去を受けた蓄積性蛍光体シート１１は、記録
部１４において２対のニップローラ２８．２９により前
記結像面の位置に停止せしめられる。

前記鏡体部１ａと記録部１４との間には、それぞれ図中
矢印Ａ方向に回動可能なシャッター３０と、蛍光スクリ
ーン３１とが設けられ、これらシャッター３０とスクリ
ーン３１は各々、図示しないレバーによって回動操作さ
れるようになっている。また上記スクリーン３１の上方
において、鏡体部１ａの周壁には例えば鉛ガラスからな
る観察窓３２が設けられている。前記電子線は、蛍光ス
クリーン３１に当たって蛍光を発生させるので、該電子
線２が担持する拡大散乱像８ａが、観察窓３２を通して
観察される。

このように蛍光スクリーン３１を観察して拡大散乱像８
ａのピント、倍率および視野範囲が決定された後、シャ
ッター３０と蛍光スクリーン３１は、前述のレバーを操
作することにより、電子線２を遮らない位置まで跳ね上
げられる。こうすると電子線２は、記録部１４にセット
されている蓄積性蛍光体シート１１に到達し、拡大散乱
像８ｂを担持する電子線エネルギーが該シート１１に蓄
積記録される。

上記のようにシャッター３０を開いて電子線露光を行な
った後、シャッター３０が閉じられる。そして拡大散乱
Ｒ８ｂを蓄積記録した蓄積性蛍光体シート１１は、前記
ニップローラ２８．２９により第１図左方向に送られ、
搬送ローラ１８ａ、１８ｂによりマガジン１００内に搬
入される。その際には前記消去光源１７は消されている
とともに、マガジン１００内のシーｌ−収納棚１０２は
、予め空のシート収納部１０１がスリット１０３ａに隣
接するように配置せしめられている。蓄積性蛍光体シー
ト１１が搬送ローラＬ８ａ、　１８ｂによりシート収納
部１０１内にほぼ搬入されると、搬送ローラ１８ａ、　
１８ｂの下方に位置していたシート収納板１１０が第１
図矢印方向に移動して蓄積性蛍光体シー）１１の端面を
押し、蓄積性蛍光体シート１１をシート収納部１０１内
に確実に収納させる。また上記スリット１０３ａの上下
には遮光板１１２が配設されており、マガジンにχ・１
して蓄積性蛍光体シートを出し入れする時以外はスリッ
ト１０３ａを塞いでマガジン１００内に光が入ることを
防止する。

上記のようにして、未撮影の蓄積性蛍光体シート１１の
マガジン１００からの取り出し、撮影、撮影済の蓄積性
蛍光体シートＩＩのマガジン１（１（］への搬入がくり
返され、マガジン内に収納されている蓄積性蛍光体シー
ト１１がすべて撮影済のものになると、このマガジン１
００は電子顕微鏡像記録装置１０から取り出され、マガ
ジン内の蓄積性蛍光体シートは、公知の放射線画像情報
読取装置において、その電子顕微鏡像が読取られる。な
お、上述した電子顕微鏡の、上記鏡体部１ａの内部と、
電子顕微鏡像記録装置１０の内部は、電子顕微鏡の稼働
中、公知の排気装置によって真空状態に維持されるが、
鏡体部１ａと電子顕微鏡像記録装置１０との間には公知
の遮断部材（図示せず）が設けられ、該遮断部材によっ
て鏡体部ｔａ内部と電子顕微鏡像記録装置１０の内部と
を互いに遮断することにより、マガジン１００の装置あ
るいは取出しの際に、電子顕微鏡像記録装置１０内の真
空を破壊しても、鏡体部ｌａ内は真空状態に維持できる
ようになっている。

ところで上述した本実施例のマガジン１００は、第２図
に示すようにシート収納棚１０２の各シート収納部１０
１に、シート収納部における蓄積性蛍光体シートＩＩの
有無を検出する検出手段としてフォトセンサ！２０が設
けられている。フォトセンサ１２０は、発光部１２１と
受光部１２２からなり、奇数段のシート収納部１０１に
は第２図中左端部に、偶数段のシート収納部１０１には
右端部にそれぞれ取り付けられている。シート収納部１
０１に蓄積性蛍光体シーＭｌが収納されている場合には
、発光部１２１から発せられた光は蓄積性蛍光体シート
により遮断されて受光部１２２に入射しないので、受光
部１２２はシート収納部１０１に蓄積性蛍光体シートが
収納されていない場合にのみ光を検出する。従って受光
部１２２が光を検出したか否かにより、各シート収納部
１０１に蓄積性蛍光体シートが収納されているか否かを
知ることができる。

このように各シート収納部１０１に蓄積性蛍光体シート
が収納されているか否かを検出すれば、検出された情報
に基づき、常に蓄積性蛍光体シートが収納されているシ
ート収納部から蓄積性蛍光体シートを取り出し、常に空
のシート収納部に撮影済の蓄積性蛍光体シートを搬入す
る制御が容易に行ないうる。従って、誤操作により、既
に蓄積性蛍光体シートが収納されているシート収納部に
蓄積性蛍光体シートをさらに搬入して蓄積性蛍光体シー
トを破損するといった不都合が生じないとともに、空の
シート収納部から蓄積性蛍光体シートを取り出そうとす
ることもなくなるので、蓄積性蛍光体シートが取り出さ
れない場合は何らかの事情により取出し不良が発生した
時のみとなり、その後の処理を適切に行なうことができ
る。なお、シート収納部内において蓄積性蛍光体シート
の有無を検出する手段は、上述したフォトセンサに限ら
れるものではないことは言うまでもなく、蓄積性蛍光体
シートの有無を機械的に検出するもの等、任意の手段を
用いることができる。

また、本発明のマガジンの具体的な構成も上記実施例に
示したものに限られるものではなく、蓄積性蛍光体シー
トの搬入、搬出手段およびシート収納棚を上下動させる
機構等は種々変更可能である。例えばシート収納棚は、
シート収納部を横方向に連設させてなり、蓄積性蛍光体
シートを起立した状態で収納するものであってもよいし
、蓄積性蛍光体シートの任意のシート収納部への出し入
れは、シート収納棚をシート搬送機構に対して移動させ
て行なう代りに、シート収納棚は固定しておき、シート
搬送機構の端部を移動させて行なうようにしてもよい。

さらに本発明のマガジンは蓄積性蛍光体シートの代りに
写真感光フィルムを収納、供給するものであってもよい
し、蓄積性蛍光体シートと写真感光フィルムを共に収納
、供給するものであってもよい。

（発明の効果） 以上説明したように本発明の電子顕微鏡の記録媒体用マ
ガジンによれば、各媒体収納部に記録媒体の有無を検出
する手段を設けたので、記録媒体の搬入、搬出を誤った
媒体収納部に対して行なうことを防止することが可能と
なる。従って記録媒体を破損させる等の不都合を生じさ
せることなく、電子顕微鏡の記録位置に順次記録媒体を
供給することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による記録媒体用マガジンを
有する電子顕微鏡の概略図、 第２図はそのＸ−Ｘ線断面図である。 １・・・電子顕微鏡 ＩＯ・・・電子顕微鏡像記録装置 １１・・・蓄積性蛍光体シート１４・・・記録部１００
・・・記録媒体用マガジン １０１・・・シート収納部　　　１０２・・・シート収
納棚１２０・・・フォトセンサ　　　１２１・・・発光
部１２２・・・受光部

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 電子顕微鏡内に配設され、記録媒体を１枚ずつ収納可能
   な媒体収納部が連結されてなる媒体収納棚を有し、前記
   媒体収納部から前記記録媒体を１枚ずつ取り出して、試
   料を透過した電子線が照射される記録位置に供給すると
   ともに、前記電子線の照射を受けた前記記録媒体を前記
   媒体収納部に受容する電子顕微鏡の記録媒体用マガジン
   において、 前記媒体収納部に、それぞれ該収納部内における前記記
   録媒体の有無を検出する検出手段が設けられていること
   を特徴とする電子顕微鏡の記録媒体用マガジン。