JP2550904B2 - ワイヤチャッキング機構 - Google Patents

ワイヤチャッキング機構

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JP2550904B2
JP2550904B2 JP5335682A JP33568293A JP2550904B2 JP 2550904 B2 JP2550904 B2 JP 2550904B2 JP 5335682 A JP5335682 A JP 5335682A JP 33568293 A JP33568293 A JP 33568293A JP 2550904 B2 JP2550904 B2 JP 2550904B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、２本の微細ワイヤを半
導体チップのパタン面にボンディングするために、高精
度に平行であって、かつ正確な位置決めを行うワイヤチ
ャッキング機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、２本の微細ワイヤを半導体チップ
のパタン面にボンディングする方法として、図４に示す
ように、２本の微細ワイヤ１３を１本ずつピンセット１
６等で把持し、顕微鏡等を用いて半導体チップ１４のパ
タン面へ前記微細ワイヤ１３の被覆部分を位置決めして
いた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】微細ペアー線の位置決
めは、単線を位置決めする場合と異なり、人手による熟
練作業に頼るしかなく、作業効率が非常に悪く、また、
位置決めの精度も不安定であった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本発明のワイヤチャッキング機構は、所定の間隔
を開けて固定され、２本のワイヤを内側から支える複数
の内爪と、前記内爪の外側に配置され、前記２本のワイ
ヤを外側から支える外爪と、前記外爪を同時に開閉駆動
させる駆動手段とを有する。
【０００５】
【実施例】次に、本発明のワイヤチャッキング機構の一
実施例について図面を参照して詳細に説明する。
【０００６】図１は、本発明の一実施例の構成を示す平
面図であり、図２は、その正面図である。Ｔ字形をした
内爪１、２は、それぞれ装置台に所定の間隔で固定さ
れ、平行な２本の微細ワイヤを内側から支える。外爪
３、４は、前記微細ワイヤを外側から支える。外爪用ガ
イドプレート５、６は、前記外爪３または外爪４に固定
され、この外爪３および外爪４を開閉駆動する。ガイド
レール７は、前記外爪用ガイドプレート５および外爪用
ガイドプレート６を平行に移動させる。板カム９は、図
示せぬ駆動手段により回転する回転アクチュエータ８の
回転軸に連結され、この回転アクチュエータ８の回転と
ともに回転する。回転ベアリング１０は、前記板カム９
に連接されるとともに外爪用ガイドプレート５に設置さ
れ、前記板カム９が回転することによりこの外爪用ガイ
ドプレート５を移動させる。回転ベアリング１１は、前
記板カム９における前記回転ベアリング１０が連接され
た位置と対称な位置に連接されるとともに前記外爪用ガ
イドプレート６に設置され、前記板カム９が回転するこ
とによりこの外爪用ガイドプレート６を移動させる。ば
ね１２は、前記外爪用ガイドプレート５および前記外爪
用ガイドプレート６の間に取り付けられ前記外爪３、４
が閉まる方向にテンションを与える。
【０００７】次に、本発明の一実施例の動作について図
１および図２を用いて説明する。
【０００８】装置台に所定の間隔で内爪１、２が固定さ
れており、その内爪１および内爪２の幅は同一寸法Ａと
なっている。この内爪１、２に対し、外側から平行な２
本の微細ワイヤの先端部分を取り付ける。ここで、前記
内爪１および２がＴ字形であるためにこの内爪１および
２に取り付けられた部分においては前記微細ワイヤは上
部からもカバーされているが、この内爪１および２は所
定の間隔で固定されているために、この内爪１および２
の間の部分においては前記微細ワイヤは上部に現れてい
る。
【０００９】次に、前記内爪１、２の両側に取り付けら
れた平行な２本の前記微細ワイヤを両側から外爪３およ
び４により押さえる。
【００１０】ここで、平行な２本の前記微細ワイヤを両
側から押さえる外爪３、４の開閉動作について説明す
る。
【００１１】外爪３、４にはそれぞれ外爪用ガイドプレ
ート５、６が取り付けられており、この外爪用ガイドプ
レートにはそれぞれ回転ベアリング１０、１１が取り付
けられている。図示しない駆動手段により回転する回転
アクチュエータ８の回転軸には板カム９が連結されてお
り、この板カム９の中心に対し対称な位置には前記回転
ベアリング１０および１１が連接されている。前記回転
アクチュエータ８が回転することにより前記板カム９が
回転し、その板カム９の回転に合わせて前記回転ベアリ
ング１０および１１が直線的に駆動する。この回転ベア
リング１０および１１が駆動することにより、その回転
ベアリング１０および１１に取り付けられた外爪用ガイ
ドプレート５および６も移動し、それにともなって前記
外爪３および４も移動する。前記板カム９は自身が回転
することで、前記外爪３および４が同時に開閉駆動する
ように形成されている。
【００１２】前記回転アクチュエータ８が回転するにつ
れて、前記外爪３および４が閉められていくが、ここ
で、前記平行な２本の微細ワイヤを外側から押さえる時
点では、前記板カム９による駆動力は前記外爪３および
４には加わらず、前記外爪用ガイドプレート５および外
爪用ガイドプレート６の間に取り付けられたばね１２に
よる圧力のみが前記微細ワイヤに加わる。前記外爪３お
よび４の解放時には前記回転アクチュエータ８の回転に
よる前記板カム９の駆動力により前記ばね１２の張力に
逆らって押し広げられる。
【００１３】また、前記内爪１および２をその幅Ａの異
なるものに付け変えることにより、微細ワイヤ間のピッ
チを所望の間隔に高精度に保持、位置決めをすることが
できる。
【００１４】次に平行な２本の微細ワイヤが内爪１およ
び２と外爪３および４によりチャッキングされたのちの
作業について図３を用いて説明する。
【００１５】前記内爪１および２は所定の間隔で取り付
けられており、その隙間部分の下部にボンディングされ
るべき半導体チップ１４を配置する。また、その隙間部
分においては高精度に位置決めされてチャッキングされ
た微細ワイヤ１３が外部に現れており、この隙間部分に
ボンディングツール１５等を挿入して前記半導体チップ
１４のパタン面に前記微細ワイヤ１３をボンディングす
る。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のワイヤチ
ャッキング機構は、平行な２本の微細ワイヤを内側から
支える２つの内爪を所定の間隔をもって固定するため
に、その２つの内爪の隙間に作業空間ができる。その作
業空間の下方に配置された半導体チップのパタン面に対
し、ボンディングツール等をその作業空間に挿入してボ
ンディングを行うことができるためにボンディング作業
が非常に正確かつ簡単になる。
【００１７】また、２つの内爪の幅を同一寸法とするた
めに、２本の微細ワイヤは高精度に平行にチャッキング
される。さらに、この２つの内爪を幅の異なる他の２つ
の内爪に交換することにより、所望の間隔の平行チャッ
キングが可能となる。
【００１８】また、２つの外爪を駆動する２つの外爪用
ガイドプレートの間にばねを設け、微細ワイヤをチャッ
キングする際に外爪が閉じる方向に働く力をそのばねに
よる力のみとすることにより、チャッキングが原因によ
る微細ワイヤのつぶれおよびキズ等の発生を防ぐことが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のワイヤチャッキング機構の一実施例の
構成を示す平面図。
【図２】図１に示した一実施例の正面図。
【図３】本発明のワイヤチャッキング部分の構成を示す
図。
【図４】従来のワイヤチャッキング方法を示す図。
【符号の説明】
１、２ 内爪 ３、４ 外爪 ５、６ 外爪用ガイドプレート ７ ガイドレール ８ 回転アクチュエータ ９ 板カム １０、１１ 回転ベアリング １２ ばね １３ 微細ワイヤ １４ 半導体チップ １５ ボンディングツール １６ ピンセット

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 所定の間隔を開けて固定され、２本のワ
    イヤを内側から支える複数の内爪と、 前記内爪の外側に配置され、前記２本のワイヤを外側か
    ら支える外爪と、 前記外爪を同時に開閉駆動させる駆動手段とを有するこ
    とを特徴とするワイヤチャッキング機構。
  2. 【請求項２】 複数の前記内爪の幅は全て同一寸法であ
    ることを特徴とする前記請求項１に記載のワイヤチャッ
    キング機構。
  3. 【請求項３】 前記内爪は、Ｔ字型であることを特徴と
    する前記請求項１または２に記載のワイヤチャッキング
    機構。
  4. 【請求項４】 前記駆動手段は、 回転駆動する回転アクチュエータと、 前記回転アクチュエータの回転軸に連結され、この回転
    アクチュエータとともに回転する板カムと、 前記板カムに対し対称的な位置に外接し、その板カムが
    回転にあわせて移動する２つの回転ベアリングと、 一端が前記回転ベアリングに取り付けられるとともに他
    端が前記外爪に取り付けられ、前記回転ベアリングの移
    動にあわせて前記外爪を同時に開閉移動させる２つのガ
    イドプレートとを有することを特徴とする前記請求項１
    または２または３に記載のワイヤチャッキング機構。
  5. 【請求項５】 前記２つのガイドプレートの間に取り付
    けられ前記外爪に対し閉方向の張力を与えるばねを有す
    ることを特徴とする前記請求項４に記載のワイヤチャッ
    キング機構。
JP5335682A 1993-12-28 1993-12-28 ワイヤチャッキング機構 Expired - Lifetime JP2550904B2 (ja)

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JPH07201905A JPH07201905A (ja) 1995-08-04
JP2550904B2 true JP2550904B2 (ja) 1996-11-06

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Effective date: 19960625