JP2534210B2 - ウエハ剥し装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、例えばGaAsウエハなどの割れ易い材料の
被加工物を薄く加工する場合、補強板にワツクスなどの
接着材で貼付けるが、この補強板と被加工物を剥す装置
に関するものである。

〔従来の技術〕

第２図は従来のウエハ剥し装置を示す概略の断面図で
ある。図において、１は薄く加工されたウエハ（被加工
物）であり、該ウエハ１を補強するための補強板２にワ
ツクス３で貼付られている。４は補強板２上にワツクス
３で貼つたウエハ１を加熱するためのホツトプレートで
あり、4aは補強板２にワツクス３で貼つたウエハ１を受
けるために、ホツトプレート４に設けた凹部である。

次に動作について説明する。補強板２に貼られたウエ
ハ１は、ホツトプレート４に設けられた凹部4a上に置か
れた状態でホツトプレート４により加熱され、これによ
り補強板２とウエハ１を接着しているワツクス２が軟化
し、ウエハ１をサイドから押してやることにより、補強
板２の上をウエハ１がスライドして補強板２から剥がれ
る。なお、このとき、補強板２がウエハ１と共に移動し
ないようにホツトプレート４に凹部4aが設けてある。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来のウエハ剥し装置は、以上のように構成されてい
るので、ウエハ１を含む補強板２をウエハ面内回転方向
に固定できず、ウエハ１を剥す時に補強板２と共にウエ
ハ１が回転し、ウエハに傷が入り、またウエハ１を剥す
ために用いる押し治具が、ウエハ１の表面をすべり、ウ
エハ１に傷を入れ、ウエハを割る原因となるなどの問題
点があつた。

この発明は上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、補強板に貼られたウエハに傷をつけること
なく容易に剥し得る装置を得るうことを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係るウエハ剥し装置は、補給板付きのウエ
ハを上下から挾む真空吸着部を対向して設け、これら真
空吸着部に各々加熱用ヒーターを取付け、上記真空吸着
部に回転及び横移動手段を付与したものである。

〔作用〕

この発明における上下のヒーター付真空吸着部は、補
強板に貼付けられたウエハを上下から挾んで固定すると
ともに、上部に設けた真空吸着部はウエハ全面を吸着し
て剥すための力を分散させ、また上部ヒーター部はウエ
ハ全面を均一に加熱し、熱の不均一によるウエハの応力
分布を減少させる。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第
１図において、１、２、３は上記従来例と同一部品を示
しており、５は下部ヒーター部、６はこの下部ヒーター
部５に設けた下部真空吸着部、７は上部ヒーター部、８
はこの上部ヒーター部７に設けた上部真空吸着部、９は
上部ヒーター部７及び上部真空吸着部８を上下に昇降さ
せるための昇降軸、10はこの昇降軸９を上下動及び回転
させるためのハンドル、11は昇降軸９に設けられ、ボー
ルネジ12と螺合するボールナツト、13な上部及び下部真
空吸着部８、６に配管14を介して接続された真空ポンプ
である。

次にその動作について説明する。補強板２にワツクス
３で貼付けたウエハ１を、下部真空吸着部６の上に載
せ、真空を入れることにより吸着固定し、下部ヒーター
５を加熱する。一方それと同時に、上部ヒーター７に設
けた上部真空吸着部８に真空を入れてウエハ上におろす
ことにより、ウエハを吸着固定し、上部ヒーター７加熱
する。そしてワツクス３が軟化するまで加熱し、上部ヒ
ーター部７をハンドル10により回転させることにより補
強板２とウエハ１を分離し易くし、しかる後、ボールネ
ジ12を回転することによつて、上部ヒーター部７、上部
真空吸着部８及びこれに吸着された補強板２を横方向に
移動させ、補強板２とウエハ１を分離して剥すものであ
る。

なお、上記実施例では、ウエハ１を補強板２の下にし
たものを示したが、これらは逆にしてもよく、またウエ
ハ１を補強板２から剥す横方向への移動手段として、ボ
ールネジとナツトを用いたものを示したが、その他を移
動手段を用いてもよい。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明によれば、（ｉ）下部ヒーター
に下部真空吸着部を設け、ウエハ全面を吸着することに
より、ウエハを全面で固定できるとともに、下部からの
熱がウエハ全面均一に伝達されるようになり、ウエハへ
加わるストレスが軽減される。（ii）上部真空吸着部を
設けることにより、補強板全面で吸着され、横方向に移
動する力が分散され、ウエハへのダメージが軽減され
る。（iii）さらに上部真空吸着部に上部ヒーターを加
えることにより、上部真空吸着部を通して逃げる熱を抑
制し、ワツクスの溶解効率を向上し、容易にウエハを剥
すことができるようになる効果がある。

また本発明は、ウエハを剥し易くするための回転機構
と、ウエハ回転後、これを横方向へ移動させて分離する
ための横移動機構を組合せて併設したので、効率的なウ
エハ剥し装置が得られる効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例によるウエハ剥し装置を示
す側面断面図、第２図は従来のウエハ剥し装置を示す側
面断面図である。 図中、１はウエハ、２は補強板、３はワツクス、５は下
部ヒーター部、６は下部真空吸着部、７は上部ヒーター
部、８は上部真空吸着部、９は昇降軸、10はハンドル、
11はボールナツト、12はボールネジ、13は真空ポンプで
ある。 なお図中同一符号は同一または相当部分を示す。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−8641（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−90944（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−60541（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−147241（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−252945（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−58223（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−128734（ＪＰ，Ｕ)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】補強板に接着剤で貼付けられたウエハを、
   上記補強板から剥す装置において、上記ウエハを貼付け
   た補強板を上下から挾むようにして対向して配置され、
   それぞれヒーター部を付設した上下一対の真空吸着部を
   備えるとともに、かつ上記上下の真空吸着部の少なくと
   もいずれかに連結されて、当該真空吸着部を回転させて
   のち、横移動させてウエハを剥すための、回転機構並び
   に横移動機構を組合せ併設したことを特徴とするウエハ
   剥し装置。