JPH079926B2 - ウエハはがし装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、ワックス等の接着材料で各種治具に貼り付
けた半導体ウエハを自動的にはがすためのウエハはがし
装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第２図は従来のウエハはがし法の一例を説明するための
斜視図で、１は電熱器、２は基板で、例えばガラス板で
ある。３は前記ガラス板２上に貼付された半導体ウエハ
（以下単にウエハという）、４はこのウエハ３を押しず
らすための治具である。

第２図におけるウエハ３のはがし方法は下記のように行
われる。すなわち、ガラス板２上にウエハ３がワックス
を介して貼り付けられている場合、これを電熱器１上に
載せワックスの融点以上の温度まで加熱した後、ウエハ
３を治具４で水平方向（矢印Ａ方向）に力を加え、ずら
し取る方法であった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来のウエハ３は、上記のようにしてはがされていたの
で、自動化が困難であり、また、ウエハ３をはがす際に
加えられる力によりウエハ３に無理な力が加わり、割れ
が生じる等歩留りの低下の原因となっていた。

この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、人手を要せず、また、ウエハ割れのない自
動的にはがすことができるウエハはがし装置を得ること
を目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係るウエハはがし装置は、基板に貼付された
ウエハを加熱する加熱器と、少なくとも前記ウエハ部分
を収容する真空チャンバと、前記ウエハが基板からはが
れたときこれを受け止めるウエハ受けを備えるものであ
る。

〔作用〕

この発明におけるウエハはがし装置は、ウエハと基板と
を接着している接着材料内に存在する気泡が、真空中で
は膨張することを利用し、この膨張力によりウエハは無
理な力が加わることなくはがすことができる。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図面について説明する。

第１図（ａ），（ｂ）はこの発明のウエハはがし装置の
一実施例を示す構成図で、第１図（ａ）はウエハがはが
される前の状態を示す図、第１図（ｂ）はウエハがはが
れた状態を示す図である。

第１図において、第２図と同一符号は同一部分を示す
が、ガラス板２上にはウエハ３がワックス５により貼付
され、このウエハ３は電熱器１に下向きに保持される。
６はその留め金である。７は前記ウエハ３がはがされた
とき、これを受け止めるウエハ受けであり、5aは前記ワ
ックス５が加熱されたとき発生する気泡を示す。そして
これら電熱器1,ウエハ受け７等は真空チャンバ８内に設
置される。９はこの真空チャンバ８の真空排気孔であ
る。

次に動作について説明する。

第１図（ａ）のウエハ３の貼り付いたガラス板２を電熱
器１のホットプレート面に留め金６で保持する。次に電
熱器１の電源を入れ、ワックス融点温度以上まで熱す
る。このとき、ワックス５は完全に融解するが、これだ
けではウエハ３は落下しないことが実験的に確かめられ
ている。また、この工程において、後のウエハはがしに
必要な気泡5aがワックス５内に導入される。次に電熱器
１で加熱したまま真空チャンバ８内を真空引きすると、
ワックス５内の気泡5aが膨張し、ウエハ３を押し下げる
力が生じ、ついにはウエハ３は第１図（ｂ）に示すよう
に下方に設置してあるウエハ受け７に落ち、ウエハはが
しが完了する。このウエハはがしの方法ではウエハ３全
面に均等な力が加わり無理なくはがされるため、ウエハ
割れ等は生じない。

なお、上記実施例では電熱器１のホットプレート面1aは
真下を向いているが、真下以外の角度に設置してもウエ
ハ受け７の形，設置場所を変更することによって同様な
効果が得られる。そして、電熱器１は他の加熱器であっ
てもよい。

また、ここではウエハ３はガラス板２に貼り付けられて
いたが、特にガラス板２である必要はなく、任意の材
料，任意の大きさ，任意の形状の基板でかまわない。

また、第１図では真空チャンバ８は電熱器1,ウエハ3,ウ
エハ受け７の全てを収容する構造となっているが、少な
くともウエハ３部分が収容される真空チャンバを設けれ
ばよく、上記実施例と同様な効果を得ることができる。

さらに、ここではウエハ３の接着材料として、ワックス
５を用いたが、ワックス５に限らず、室温以上の温度で
融解する材料であればよい。

〔発明の効果〕

以上説明したように、この発明は、室温以上の温度で融
解する接着材料を用いて基板に貼り付けられたウエハの
はがし装置であって、ウエハを加熱する加熱器と、少な
くともウエハ部分を収容する真空チャンバと、ウエハが
基板からはがれたときこれを受けとめるウエハ受けを備
えたので、ウエハはがし工程を人手を介せず、また、ウ
エハ割れを発生させることなくウエハはがしが行えるた
め、作業性が向上するとともに、歩留りの向上がはかれ
る効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ），（ｂ）はこの発明のウエハはがし装置の
一実施例を示す構成図で、第１図（ａ）はウエハがはが
れる前の状態を示す図、第１図（ｂ）はウエハがはがれ
た状態を示す図、第２図は従来のウエハはがし方法を説
明する図である。 図において、１は電熱器、２はガラス板、３はウエハ、
５はワックス、5aは気泡、６は留め金、７はウエハ受
け、８は真空チャンバ、９は真空排気孔である。 なお、各図中の同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】室温以上の温度で融解する接着材料を用い
   て基板に貼り付けられたウエハのはがし装置であって、
   このウエハを加熱する加熱器と、少なくとも前記ウエハ
   部分を収容する真空チャンバと、前記ウエハが基板から
   はがれたときこれを受けとめるウエハ受けを備えたこと
   を特徴とするウエハはがし装置。