JP2532459Y2 - チップ形圧電部品 - Google Patents
チップ形圧電部品Info
- Publication number
- JP2532459Y2 JP2532459Y2 JP1989137630U JP13763089U JP2532459Y2 JP 2532459 Y2 JP2532459 Y2 JP 2532459Y2 JP 1989137630 U JP1989137630 U JP 1989137630U JP 13763089 U JP13763089 U JP 13763089U JP 2532459 Y2 JP2532459 Y2 JP 2532459Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- piezoelectric substrate
- sputter
- substrate
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案はチップ形圧電部品、より詳細には圧電基板の
両主面中央部に振動電極が形成され、これら振動電極に
それぞれ接続電極を介して端部電極が接続される一方、
保護基板の外側主面両端部近傍に外部電極が形成された
ものであって、例えば発振子等として使用されるチップ
形圧電部品に関する。
両主面中央部に振動電極が形成され、これら振動電極に
それぞれ接続電極を介して端部電極が接続される一方、
保護基板の外側主面両端部近傍に外部電極が形成された
ものであって、例えば発振子等として使用されるチップ
形圧電部品に関する。
従来の技術 従来この種チップ形圧電部品は第４図に示したように
構成されており、圧電基板10を挟んで保護基板20、20が
積層され、これら圧電基板10、保護基板20、20の端部近
傍にスパッタ電極24及びこのスパッタ電極24の上からメ
ッキによる外部電極25が形成されている。
構成されており、圧電基板10を挟んで保護基板20、20が
積層され、これら圧電基板10、保護基板20、20の端部近
傍にスパッタ電極24及びこのスパッタ電極24の上からメ
ッキによる外部電極25が形成されている。
圧電基板10の両主面略中央部には第５図（ａ）（ｂ）
及び第６図に示したように、振動電極11、11が形成され
ており、これら振動電極11にはそれぞれ２本の接続電極
13、13を介して端部電極15に接続されている。
及び第６図に示したように、振動電極11、11が形成され
ており、これら振動電極11にはそれぞれ２本の接続電極
13、13を介して端部電極15に接続されている。
保護基板20には片面の主面端部近傍に外部電極21、21
が形成されており（第８図）、また、外部電極21が形成
された反対の主面中央部には振動電極11の振動を確保す
るための円形状の凹部22が形成されており、この凹部22
を挟んで両端部には半円形状の凹部23が形成されている
（第７図）。
が形成されており（第８図）、また、外部電極21が形成
された反対の主面中央部には振動電極11の振動を確保す
るための円形状の凹部22が形成されており、この凹部22
を挟んで両端部には半円形状の凹部23が形成されている
（第７図）。
そして圧電基板10、保護基板20、20が積層された状態
で（第８図）、端部電極15が形成された端部にスパッタ
リングによりスパッタ電極24が形成されている。そして
このスパッタ電極24の上からさらにメッキによる外部電
極25が形成されている。
で（第８図）、端部電極15が形成された端部にスパッタ
リングによりスパッタ電極24が形成されている。そして
このスパッタ電極24の上からさらにメッキによる外部電
極25が形成されている。
考案が解決しようとする課題 しかし上記したチップ形圧電部品にあっては、第８図
中、圧電基板10及び保護基板20端部における垂直面部10
a、20aにはスパッタリングによるスパッタ電極24が堆積
しやすいが、水平面部10b、20bはスパッタリングの飛び
散る方向と一致してしまうためスパッタ電極24が堆積し
難いといった傾向があった。このため外部電極25の形成
後、圧電基板10の端部隅部10cから外部電極25が剥離し
やすく、このため、チップ形圧電部品としての信頼性に
欠けるといった課題があった。
中、圧電基板10及び保護基板20端部における垂直面部10
a、20aにはスパッタリングによるスパッタ電極24が堆積
しやすいが、水平面部10b、20bはスパッタリングの飛び
散る方向と一致してしまうためスパッタ電極24が堆積し
難いといった傾向があった。このため外部電極25の形成
後、圧電基板10の端部隅部10cから外部電極25が剥離し
やすく、このため、チップ形圧電部品としての信頼性に
欠けるといった課題があった。
本考案は上記した課題に鑑み考案されたものであっ
て、スパッタ電極の上から形成された外部電極の剥離等
が生じない、信頼性の高いチップ形圧電部品を提供する
ことを目的としている。
て、スパッタ電極の上から形成された外部電極の剥離等
が生じない、信頼性の高いチップ形圧電部品を提供する
ことを目的としている。
課題を解決するための手段 上記した目的を達成するために本考案に係るチップ形
圧電部品は、圧電基板の両主面の中央部に振動電極が形
成され、これら振動電極にそれぞれ接続電極を介して端
部電極が接続され、 前記圧電基板の両主面に保護基板が接着され、該保護
基板の接着面に対向する主面の端部近傍に第１の外部電
極が形成され、前記接着面の中央部に前記振動電極の振
動を確保するための第１の凹部が形成され、前記第１の
凹部を挟んで両端部に第２の凹部が形成されたチップ形
圧電部品において、 前記第１の凹部内に露出して前記振動電極が形成さ
れ、 少なくともその一部が前記第２の凹部内に露出するよ
うに前記端部電極及びダミー電極が形成され、 前記保護基板と前記圧電基板との各端面を被覆し、か
つ前記第２の凹部内に露出した前記ダミー電極と前記端
部電極とを被覆すると共に、前記第１の外部電極に接続
された形態でスパッタ電極が形成され、 前記スパッタ電極表面及び前記第１の外部電極上に第
２の外部電極が形成されていることを特徴としている。
圧電部品は、圧電基板の両主面の中央部に振動電極が形
成され、これら振動電極にそれぞれ接続電極を介して端
部電極が接続され、 前記圧電基板の両主面に保護基板が接着され、該保護
基板の接着面に対向する主面の端部近傍に第１の外部電
極が形成され、前記接着面の中央部に前記振動電極の振
動を確保するための第１の凹部が形成され、前記第１の
凹部を挟んで両端部に第２の凹部が形成されたチップ形
圧電部品において、 前記第１の凹部内に露出して前記振動電極が形成さ
れ、 少なくともその一部が前記第２の凹部内に露出するよ
うに前記端部電極及びダミー電極が形成され、 前記保護基板と前記圧電基板との各端面を被覆し、か
つ前記第２の凹部内に露出した前記ダミー電極と前記端
部電極とを被覆すると共に、前記第１の外部電極に接続
された形態でスパッタ電極が形成され、 前記スパッタ電極表面及び前記第１の外部電極上に第
２の外部電極が形成されていることを特徴としている。
作用 上記した構成によれば、前記圧電基板の前記スパッタ
電極が形成されにくい前記第２の凹部内に前記圧電基板
との接着力に優れた前記端部電極及び前記ダミー電極が
形成されており、そのため前記スパッタ電極の前記圧電
基板への付着力が前記端部電極及び前記ダミー電極を介
して間接的に強化され、前記スパッタ電極表面及び前記
第１の外部電極上に形成された前記第２の外部電極の前
記圧電基板からの剥離を防止し得ることとなる。その結
果、信頼性に優れたチップ形圧電部品が得られることと
なる。
電極が形成されにくい前記第２の凹部内に前記圧電基板
との接着力に優れた前記端部電極及び前記ダミー電極が
形成されており、そのため前記スパッタ電極の前記圧電
基板への付着力が前記端部電極及び前記ダミー電極を介
して間接的に強化され、前記スパッタ電極表面及び前記
第１の外部電極上に形成された前記第２の外部電極の前
記圧電基板からの剥離を防止し得ることとなる。その結
果、信頼性に優れたチップ形圧電部品が得られることと
なる。
実施例 以下、本考案に係るチップ形圧電部品の実施例を図面
に基づいて説明する。なお、従来例と同一機能を有する
構成部品については同一の符号を付すこととする。
に基づいて説明する。なお、従来例と同一機能を有する
構成部品については同一の符号を付すこととする。
本実施例ではその構造を第４図に示した従来例のもの
とほとんど同じくしており、ここではその相違点のみを
記すこととする。
とほとんど同じくしており、ここではその相違点のみを
記すこととする。
すなわち本実施例では第１図ないし第３図に示したよ
うに、圧電基板10の一主面において、振動電極11を挟ん
で端部電極15が形成されている端部近傍と反対側の端部
近傍に半円形状のダミー電極30が形成されている。この
結果、これらダミー電極30はその端部において圧電基板
10を挟んで端部電極15と対向することとなる。このた
め、スパッタ電極24の形成の際、スッパタリングは第３
図の矢印Ａで示した方向から行なわれるが、スパッタ電
極24は端部電極15とダミー電極30とにより圧電基板10へ
の付着力が強化された状態で形成されることとなる。従
って、端部隅部10cにおけるスパッタ電極24の圧電基板1
0に対する付着力が強化され、外部電極25の形成後にお
いても、外部電極25が端部隅部10cから剥離するといっ
たことは生じなくなる。
うに、圧電基板10の一主面において、振動電極11を挟ん
で端部電極15が形成されている端部近傍と反対側の端部
近傍に半円形状のダミー電極30が形成されている。この
結果、これらダミー電極30はその端部において圧電基板
10を挟んで端部電極15と対向することとなる。このた
め、スパッタ電極24の形成の際、スッパタリングは第３
図の矢印Ａで示した方向から行なわれるが、スパッタ電
極24は端部電極15とダミー電極30とにより圧電基板10へ
の付着力が強化された状態で形成されることとなる。従
って、端部隅部10cにおけるスパッタ電極24の圧電基板1
0に対する付着力が強化され、外部電極25の形成後にお
いても、外部電極25が端部隅部10cから剥離するといっ
たことは生じなくなる。
従って、チップ形圧電部品としての信頼性の向上を図
ることができる。
ることができる。
考案の効果 以上の説明から明らかなように、本考案に係るチップ
形圧電部品にあっては、第１の凹部内に露出して振動電
極が形成され、 少なくともその一部が第２の凹部内に露出するように
端部電極及びダミー電極が形成され、 保護基板と圧電基板との各端面を被覆し、かつ前記第
２の凹部内に露出した前記ダミー電極と前記端部電極と
を被覆すると共に、第１の外部電極に接続された形態で
スパッタ電極が形成され、 前記スパッタ電極表面及び前記第１の外部電極上に第
２の外部電極が形成されており、前記圧電基板の前記ス
パッタ電極が形成されにくい前記第２の凹部内に前記圧
電基板との接着力に優れた前記端部電極及び前記ダミー
電極が形成されている。そのため前記スパッタ電極の前
記圧電基板への付着力が前記端部電極及び前記ダミー電
極を介して間接的に強化され、前記スパッタ電極表面及
び前記第１の外部電極上に形成された前記第２の外部電
極の前記圧電基板からの剥離を防止することができる。
その結果、信頼性に優れたチップ形圧電部品を提供する
ことができる。
形圧電部品にあっては、第１の凹部内に露出して振動電
極が形成され、 少なくともその一部が第２の凹部内に露出するように
端部電極及びダミー電極が形成され、 保護基板と圧電基板との各端面を被覆し、かつ前記第
２の凹部内に露出した前記ダミー電極と前記端部電極と
を被覆すると共に、第１の外部電極に接続された形態で
スパッタ電極が形成され、 前記スパッタ電極表面及び前記第１の外部電極上に第
２の外部電極が形成されており、前記圧電基板の前記ス
パッタ電極が形成されにくい前記第２の凹部内に前記圧
電基板との接着力に優れた前記端部電極及び前記ダミー
電極が形成されている。そのため前記スパッタ電極の前
記圧電基板への付着力が前記端部電極及び前記ダミー電
極を介して間接的に強化され、前記スパッタ電極表面及
び前記第１の外部電極上に形成された前記第２の外部電
極の前記圧電基板からの剥離を防止することができる。
その結果、信頼性に優れたチップ形圧電部品を提供する
ことができる。
第１図（ａ）（ｂ）はそれぞれ本考案に係る圧電基板の
主面を示す平面図及び裏面図、第２図は圧電基板の正面
図、第３図は本考案に係るチップ形圧電部品を示す断面
図、第４図は従来例に係るチップ形圧電部品を示す断面
図、第５図（ａ）（ｂ）は圧電基板の主面を示す平面図
及び裏面図、第６図は正面図、第７図は保護基板を示す
斜視図、第８図は圧電基板と保護基板とを積層させた状
態を示す断面図である。 10……圧電基板、11……振動電極、13……接続電極、15
……端部電極、20……保護基板、21……外部電極、30…
…ダミー電極
主面を示す平面図及び裏面図、第２図は圧電基板の正面
図、第３図は本考案に係るチップ形圧電部品を示す断面
図、第４図は従来例に係るチップ形圧電部品を示す断面
図、第５図（ａ）（ｂ）は圧電基板の主面を示す平面図
及び裏面図、第６図は正面図、第７図は保護基板を示す
斜視図、第８図は圧電基板と保護基板とを積層させた状
態を示す断面図である。 10……圧電基板、11……振動電極、13……接続電極、15
……端部電極、20……保護基板、21……外部電極、30…
…ダミー電極
Claims (1)
- 【請求項１】圧電基板の両主面の中央部に振動電極が形
成され、これら振動電極にそれぞれ接続電極を介して端
部電極が接続され、 前記圧電基板の両主面に保護基板が接着され、該保護基
板の接着面に対向する主面の端部近傍に第１の外部電極
が形成され、前記接着面の中央部に前記振動電極の振動
を確保するための第１の凹部が形成され、前記第１の凹
部を挟んで両端部に第２の凹部が形成されたチップ形圧
電部品において、 前記第１の凹部内に露出して前記振動電極が形成され、 少なくともその一部が前記第２の凹部内に露出するよう
に前記端部電極及びダミー電極が形成され、 前記保護基板と前記圧電基板との各端面を被覆し、かつ
前記第２の凹部内に露出した前記ダミー電極と前記端部
電極とを被覆すると共に、前記第１の外部電極に接続さ
れた形態でスパッタ電極が形成され、 前記スパッタ電極表面及び前記第１の外部電極上に第２
の外部電極が形成されていることを特徴とするチップ形
圧電部品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989137630U JP2532459Y2 (ja) | 1989-11-27 | 1989-11-27 | チップ形圧電部品 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989137630U JP2532459Y2 (ja) | 1989-11-27 | 1989-11-27 | チップ形圧電部品 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0375623U JPH0375623U (ja) | 1991-07-30 |
| JP2532459Y2 true JP2532459Y2 (ja) | 1997-04-16 |
Family
ID=31684778
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989137630U Expired - Lifetime JP2532459Y2 (ja) | 1989-11-27 | 1989-11-27 | チップ形圧電部品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2532459Y2 (ja) |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5858716A (ja) * | 1981-10-05 | 1983-04-07 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | 積層セラミツクコンデンサ |
| JPS60123122A (ja) * | 1983-12-07 | 1985-07-01 | Murata Mfg Co Ltd | チップ型圧電共振部品とその製造方法 |
| JPS61136630U (ja) * | 1985-02-12 | 1986-08-25 | ||
| JPS6429917U (ja) * | 1987-08-13 | 1989-02-22 | ||
| JPS6452313U (ja) * | 1987-09-25 | 1989-03-31 | ||
| JPH01105217U (ja) * | 1988-01-06 | 1989-07-14 |
-
1989
- 1989-11-27 JP JP1989137630U patent/JP2532459Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0375623U (ja) | 1991-07-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |