JP2518506B2 - 電位センサ - Google Patents

電位センサ

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JP2518506B2
JP2518506B2 JP5087014A JP8701493A JP2518506B2 JP 2518506 B2 JP2518506 B2 JP 2518506B2 JP 5087014 A JP5087014 A JP 5087014A JP 8701493 A JP8701493 A JP 8701493A JP 2518506 B2 JP2518506 B2 JP 2518506B2
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JP
Japan
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detection electrode
potential sensor
electric force
chopper
case
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博章 山田
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NEC Corp
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Nippon Electric Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は帯電体の表面電位を検出
する電位センサに関し、特に、機械振動子により交流信
号への変換機能を持った電位センサに関する。
【0002】
【従来の技術】従来の電位センサは、図3に示すよう
に、被測定物から放射される電気力線を導入するための
測定穴19を有するケース5と、このケース5内に入っ
てくる電気力線18を一定同期で切るチョッパ部23を
持つ音叉振動子21と切られた電気力線18を受けて交
流信号を取り出すための検出電極22とから構成されて
いる。
【0003】ここで、音叉振動子21には、駆動および
振動信号抽出用の圧電セラミック7が接着されている。
また、音叉振動子21および検出電極22は基板6に固
定され、さらに、この基板6は測定穴19を有するケー
ス5に収容され、所定位置に音叉振動子の駆動および信
号抽出用圧電セラミックに接続する入出力用端子16、
および接地端子14が取付けられている。
【0004】しかしながら、上述した従来の電位センサ
においては、被測定物から放射され測定穴19を通った
電気力線18は、検出電極に到達する前に、図4に示す
ようにチョッパ部23に曲げられ、一部はチョッパ部に
到達する。このため、検出電極に到達する電気力線は減
少し、検出電極に発生する交流信号も小さくなるという
欠点がある。これを克服するため、接地電極を検出電極
の背後に設けた図5のような電位センサ,(実用新案出
願公開番号 平2−63474)において提案されてい
る。図5記載の電位センサでは検出電極の背後に設けた
接地電極により、測定穴を通ってきた電気力線がチョッ
パ部に引付けられるのを防止し、検出電極が受ける電気
力線を増加させようとするものである。しかしながら依
然として検出電極と測定穴の間にはチョッパ部があり、
このチョッパ部は被測定物から遠くに設置された接地電
極よりはるかに大きく電気力線に対し影響をもってい
る。また、図4の電位センサでの接地電極は、検出電極
の背後に殆ど覆われた状態になっており、当初の目的で
ある、電気力線を集めて、検出電力が受ける電気力線を
増加させるという効果は小さい。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は上述の欠
点を除去し測定穴を通った電気力線を効率よく検出電極
に到達させることができる電位センサを提供することに
ある。
【0006】本発明の電位センサは、上記目的を到達す
るため、被測定物から放射される電気力線を導入するた
めの測定穴を有するケースと、このケース内に入ってく
る電気力線を受ける検出電極部と一体となった音片形の
屈曲振動子と、極出電極部に該半分覆われた接地電極
と、屈曲振動子を保持する配線基板とから構成されるこ
とを特徴としている。また、上記配線基板は、ベースに
保持され、さらにこの配線基板はケースに収容される。
【0007】
【実施例】次に本発明を図面を参照して詳細に説明す
る。図1は本発明の一実施例の電位センサの断面図であ
る。本発明の電位センサでは、被測定物から放射される
電気力線18はケース5に設けられた測定穴19を通り
検出電極部2に到達し、検出電極部2に静電誘導により
電位を発生させる。L字状に成形された検出電極部2
は、絶縁板3により金属板1と接着剤で接続され、屈曲
振動子を構成している。屈曲振動子には金属板1上に2
枚の圧電セラミック7が接着されている。
【0008】図2は本電位センサに使用する屈曲振動子
の斜視図である。この屈曲振動子の圧電セラミックの一
方を入力、他方を出力として外部に設けた発振回路に接
続し自励発振回路を構成することにより、屈曲振動子は
共振周波数で図1(a)の矢印Bび示す方向に振動す
る。この結果、検出電極部は、電気力線と直角方向に往
復運動し、検出電極部に到達する電気力線が周期的に変
化し、検出電極には屈曲振動子の共振周波数と同じ周波
数の交流信号が発生する。この交流信号の電圧は被測定
物の表面電位に比例するため、交流信号により被測定物
の表面電位を知ることが出来る。図1の電位センサでは
さらに検出電極部2の後方に接地電極4が設けられてい
る。この接地電極4は、検出電極部で約1/2覆われる
ように配置されている。これにより、測定穴を通ってケ
ース内に入った電気力線が囲りの金属部分により曲げら
れ、分散することを防止している。この結果、検出電極
部に到達する電気力線が増加し、検出電極部に発生する
交流電圧も増加する。
【0009】図2において支持部9は検出電極部と、屈
曲振動子の節点で接続し出力端子の働きを有し、支持部
10は金属板1と屈曲振動子の節点で接続し接地端子の
働きを有している。また、これら支持部9および10
は、電極2および金属板1にそれぞれ一体化形成され、
ケース5に取付けられる。
【0010】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、検出電
極部分と一体となった屈曲振動子と検出電極部分の後方
に配置した接地電極とを使用することにより、ケース内
に入った電気力線の分散を効果的に防止し、電位センサ
の出力としての検出電極部に発生する交流電圧を増大さ
せることにより信号/雑音が向上するため動作が安定し
た電位センサが実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す断面図。
【図2】図1に示した電位センサに使用される屈曲振動
子を示す斜視図。
【図3】従来の電位センサの一例を示す断面図。
【図4】図3の動作を説明するための断面図。
【図5】従来の電子センサの他の例を示す断面図。
【符号の説明】
1 金属板 2 検出電極部 3 絶縁板 4 接地電極 5 ケース 6 ベース 7 圧電セラミック 9,10 支持部 15 出力端子 16 圧電セラミック入出力端子 17 接地端子 18 電気力線 19 測定穴 21 音叉振動子 22 検出電極 23 チョッパ部

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被測定物から放射される電気力線を導入
    するための測定穴を有するケースと、このケース内に入
    ってくる電気力線を受ける検出電極を含み前記電気力線
    をチョッピングするチョッパ部と、このチョッパ部を保
    持する支持部とから構成された電位センサにおいて、前
    記チョッパ部が静止状態にあるとき、前記検出電極部に
    一部覆われるように前記測定穴から見て後方に接地電極
    を設けるとともに前記支持部が前記チョッパ部の節点に
    接続されたことを特徴とする電位センサ。
JP5087014A 1993-04-14 1993-04-14 電位センサ Expired - Lifetime JP2518506B2 (ja)

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JPH06300801A JPH06300801A (ja) 1994-10-28
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JPS5459972A (en) * 1977-10-21 1979-05-15 Ricoh Co Ltd Alternating current type surface electrometer
JPH07951Y2 (ja) * 1986-05-23 1995-01-11 日本電気株式会社 電位センサ
JPH07950Y2 (ja) * 1988-10-31 1995-01-11 日本電気株式会社 電位センサ

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