JP2517711B2

JP2517711B2 - ウエ−ハサンプリング装置

Info

Publication number: JP2517711B2
Application number: JP61200581A
Authority: JP
Inventors: 和憲佐伯
Original assignee: Mitsubishi Materials Silicon Corp; Mitsubishi Materials Corp
Current assignee: Mitsubishi Materials Silicon Corp; Mitsubishi Materials Corp
Priority date: 1986-08-27
Filing date: 1986-08-27
Publication date: 1996-07-24
Anticipated expiration: 2011-07-24
Also published as: JPS6357428A

Description

【発明の詳細な説明】「産業上の利用分野」本発明は、特性を測定するために適宜ウエーハを抜き
取るウエーハサンプリング装置に関する。

「従来の技術」一般に、例えばシリコンのインゴツトをスライスして
多数のウエーハを形成した場合に、これらのウエーハの
特性を調べるために、適宜間隔でウエーハを抜き取つて
測定する。いわゆるサンプリング調査が行なわれてい
る。そして、この場合、従来は、収納容器内に収容され
た多数のウエーハの中から順次所定枚数毎に作業員が拭
き取つて調べていた。

「発明が解決しようとする問題点」しかしながら、上述したように人手に頼つてウエーハ
のサンプリングを行なう場合には、作業性に問題があ
り、能率が悪いという不満があつた。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目
的とするところは、多数のウエーハの中から適宜ウエー
ハを抜き取ることができ、容易にかつ確実にサンプリン
グ用ウエーハとその他のウエーハとに選別することがで
きるウエーハサンプリング装置を提供することにある。

「問題点を解決するための手段」上記目的を達成するために、本発明は、搬入コンベア
で搬送されてくるウェーハを積層して収納する第１ウェ
ーハ収納機構と、搬入コンベア上のウェーハを抜き取っ
て貯留用搬送コンベアに移載するウェーハ抜き取り機構
と、前記貯留用搬送コンベアで搬送されてくるウェーハ
を収納する第２ウェーハ収納機構とを具備し、前記ウェ
ーハ抜き取り機構は、前記搬入コンベア上のウェーハを
バキュームにより吸着する吸着部と、該吸着部を移動さ
せるとともに吸着したウェーハを前記貯留用搬送コンベ
ア上に載置する吸着部移動機構とを備えるものである。

上記第１および第２ウェーハ収納機構としては、それ
ぞれ各コンベアにより移送されたウェーハを収納する収
納容器と、この収納容器を昇降させるエレベーターとか
らなるものが望ましい。

「作用」本発明のウエーハサンプリング装置にあつては、搬送
されてくるウエーハを、適宜、ウエーハ抜き取り機構に
よつて抜き取つて第２ウエーハ収納機構に供給し収納す
ると共に、その他のウエーハは第１ウエーハ収納機構に
移送して収納する。

「実施例」以下、第１図ないし第13図に基づいて本発明の一実施
例を説明する。

第１図は本発明のウエーハサンプリング装置の一例を
示す平面図、第２図は側面図である。このウエーハサン
プリング装置は、前工程から搬送されてくるウエーハＷ
を積重して収納する第１ウエーハ収納機構１と、上記ウ
エーハＷを抜き取る吸着式のウエーハ抜き取り機構２
と、このウエーハ抜き取り機構２で抜き取つたウエーハ
Ｗを収納する抜き取りウエーハ収納機構（第２ウエーハ
収納機構）３とを主体として構成されている。そして、
上記第１、第２ウエーハ収納機構1,3は、それぞれ、搬
送コンベア4,5（搬入コンベア，貯留用コンベア）によ
り移送されたウエーハＷを収納する収納容器（積層スト
ツカー、ウエーハカセツト）6,7と、該収納容器6,7を昇
降させるエレベーター8,8′とから構成されている。

また、上記ウエーハ抜き取り機構２は、第３図に示す
ように、上下方向に移動自在にかつ軸線回りに回転自在
に設けられた可動軸20と、この可動軸20の上端に水平方
向に張り出して固定された吸着アーム21と、この吸着ア
ーム21の先端下部に取付けられ、かつバキユームにより
ウエーハＷを吸着する吸着部22と、上記可動軸20に装着
されたスブライン軸部23と、このスブライン軸部23に噛
合された中空歯車24と、この中空歯車24の外歯部に噛合
された駆動歯車25と、この駆動歯車25を回転軸26aに装
着したモーター26と、上記可動軸20を上下に移動させる
シリンダー27とからなるものである。

さらに、各搬送コンベア4,5は、それぞれ駆動装置に
よつて搬送ベルト41,51を駆動するもので、かつ搬送コ
ンベア４とエレベーター８との間に、渡しローラー42
が、支持軸43を中心にして水平方向に回転自在に設けら
れている。そして、各搬送コンベア4,5には、それぞ
れ、２個ずつのセンサーS₁,S₂,S₃,S₄が設置されてい
る。このセンサーS₁は、搬送コンベア４の搬入端寄りに
設けられ、搬入されてきたウエーハＷを所定位置（Ａ点
と称す）に停止させるためのものであり、かつセンサー
S₂は、搬送コンベア４の搬出端に設けられ、ウエーハＷ
の積層ストツカー６の収納を確認するためのものであ
る。また、センサーS₃は、搬送コンベア５の搬入端宥り
に設けられ、搬送コンベア５上の所定位置（Ｂ点と称
す）にウエーハＷが有るか否かを検知するものであり、
かつセンサーS₄は、搬送コンベア５の搬出端に設けら
れ、ウエーハＷのウエーハカセツト７への収納を確認す
るためのものである。

上記積層ストツカー６は、第４図ないし第７図に示す
ように、合成樹脂製のストツカー本体60と、ステンレス
鋼製の補強枠61と、取手62とから構成されている。そし
て、上記ストツカー本体60は、上下に対向配置した上板
63及び下板64の間に、左右一対の側板65,65がそれぞれ
立設され、かつ該各板63,64,65,65の前端側に、ウエー
ハＷを出入れするための開口部66が形成されると共に、
上記両側板65,65間の下部に、上記開口部66から奥側に
行くほど下方に傾斜する傾斜底板67が配置される一方、
上記両側板65,65の後端側に、左右一対の位置決め背板6
8,68がハ字状に配設されたものである。また、ストツカ
ー本体60の各板63,64,65,65を囲んで上記補強枠61が取
付けられており、かつ上板63上の補強枠61には上記取手
62が取付けられている。

上記ウエーハカセツト７は、第８図と第９図に示すよ
うに、Ｕ字状の前側板70と、Ｈ字状の後側板71と、ウエ
ーハＷを収納する溝を有する左右一対の側板72,72とか
ら構成されている。

また、上記エレベーター８は、第２図に示すように、
積層ストツカー６を載置して上下移動させる昇降台80
が、立設した送りねじ81に支持されると共に、一対の滑
車82,83で支持された索条84を介してカウンタウエイト8
5に連結され、かつ上記送りねじ81がベルト86を介して
モーター87に連結されたもので、モーター87を作動する
ことにより、送りねじ81が回転して昇降台80が上下に移
動するようになつている。さらに、エレベーター８′
は、その昇降台80′の前部が切欠かれ、この切欠部80′
ａに上記搬送ベルト51の搬出端側が突出して配置されて
いる。そして、エレベーター８′のその他の構成は、上
記エレベーター８と同様なので説明を省略する。

なお、符号９は操作パネル、10は制御ボツクスであ
る。

次に、上記のように構成されたウエーハサンプリング
装置を用いてウエーハＷのサンプリングを行なう場合に
ついて、第10図ないし第13図に基づいて説明する。

まず、積層ストツカー６を第１ウエーハ収納機構１の
エレベーター８の昇降台80上に載置し、かつウエーハカ
セツト７を第２ウエーハ収納機構３のエレベーター８′
の昇降台80′上に、該昇降台80′の切欠部80′ａに合わ
せた状態で載置する。この際、積層ストツカー６の傾斜
底板67が搬送コンベア４の高さに位置し、かつウエーハ
カセツト７の上部が搬送コンベア５の高さに位置すると
共に、ウエーハ抜き取り機構２の吸着アーム21の先端の
吸着部22がＡ点の上方（原点位置と称する）に停止して
いる。

この状態において、第10図に示すように、操作パネル
９によつて、ウエーハＷの抜き取り枚数、何枚目毎に抜
き取るか等を設定し（スラツプSP1参照）、搬送コンベ
ア４を制御して前工程からのウエーハＷをＡ点に停止さ
せる（ステツプSP2参照）。そして、ステツプSP3に示す
ように、上記ウエーハＷを抜き取るか否かを判別し、抜
き取らない場合には、積層ストツカー６に収納し（ステ
ツプSP4参照）、かつ抜き取る場合には、ウエーハカセ
ツト７に収納する（ステツプSP5参照）。

このウエーハＷの積層ストツカー６への収納処理は、
第11図に示すように、まず、搬送ベルト41を回転させ
（ステツプSP10参照）、ウエーハＷを移送して、積層ス
トツカー６の内部に搬入する（ステツプSP11参照）。こ
の際、ウエーハＷの径が小さい場合には、渡しローラー
42を搬送ベルト41と積層ストツカー６との間に配置して
おく。次いで、積層ストツカー６内にウエーハＷが収納
されるに従つて、昇降台80を適宜下降させる（ステツプ
SP12参照）。

また、Ａ点に停止したウエーハＷを抜き取る場合に
は、第12図に示すように、まず、シリンダー27によつ
て、吸着アーム21を下降させて、ウエーハＷを吸着部22
に吸着する（ステツプSP20,SP21参照）。次いで、シリ
ンダー27及びモーター26によつて、吸着アーム21を上昇
させた後に、第１図において反時計回りに旋回させる
（ステツプSP22参照）。さらに、ステツプSP23に示すよ
うに、ウエーハＷをＢ点に停止させた後、ウエーハＷの
吸着を解除する。そして、吸着アーム21は、第13図のス
テツプSP30,SP31に示すように、上昇させた後旋回させ
て原点に停止させる。したがって、シリンダー27、モー
ター26および吸着アーム21は、吸着部22を移動させると
ともに吸着したウェーハＷを搬送コンベア５上に載置す
る吸着部移動機構として機能する。

また、搬送ベルト51上のＢ点に載置されたウエーハＷ
は、第12図のステツプSP24,SP25に示すように、搬送ベ
ルト51を回転させてウエーハカセツト７に収納する。次
いで、昇降台80′を１ピツチ上昇させる（ステツプSP26
参照）。これとともに、積層ストツカー６内に抜き取ら
れたウエーハＷの代わりにダミーを挿入しておくのが望
ましい。この場合、ダミーとしては、ウエーハＷと区別
が付き易い樹脂製のもの（例えば塩化ビニル製の透明板
等）を使用するのが好ましい。

このようにして、１枚のウエーハＷの収納操作が終了
したら、ステツプSP6に示すように、設定された枚数だ
けウエーハＷの抜き取りが完了したか否かを判別して、
完了するまで、上記ステツプSP2〜SP5の処理を繰り返
し、完了すると、サンプリング処理を終了する。

「発明の効果」以上説明したように、本発明によれば、搬入コンベア
で搬送されてくるウェーハを積層して収納する第１ウェ
ーハ収納機構と、搬入コンベア上のウェーハを抜き取っ
て貯留用搬送コンベアに移載するウェーハ抜き取り機構
と、前記貯留用搬送コンベアで搬送されてくるウェーハ
を収納する第２ウェーハ収納機構とを具備し、前記ウェ
ーハ抜き取り機構は、前記搬入コンベア上のウェーハを
バキュームにより吸着する吸着部と、該吸着部を移動さ
せるとともに吸着したウェーハを前記貯留用搬送コンベ
ア上に載置する吸着部移動機構とを備えるものであるか
ら、多数のウエーハの中から適宜ウエーハを抜き取るこ
とができ、容易にかつ確実にサンプリング用ウエーハと
その他のウエーハとに選別してそれぞれ別の容器に収納
することができるという優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第13図は本発明の一実施例を示すもので、
第１図は平面図、第２図はエレベーター８部の側面図、
第３図はウエーハ抜き取り機構の概略構成図、第４図な
いし第７図は積層ストツカーの一例を示すもので、第４
図は概略斜視図、第５図は正面図、第６図は側面図、第
７図は平面図、第８図と第９図はウエーハカセツトの一
例を示すもので、第８図は斜視図、第９図は断面図、第
10図は主流れ図、第11図は積層ストツカーへのウエーハ
収納処理を示す流れ図、第12図はウエーハカセツトへの
ウエーハ収納処理を示す流れ図、第13図は吸着アームの
原点復帰を示す流れ図である。１……第１ウエーハ収納機構２……ウエーハ抜き取り機構３……抜き取りウエーハ収納機構（第２ウエーハ収納機
構） 4,5……搬送コンベア６……積層ストツカー（収納容器）７……ウエーハカセツト（収納容器） 8,8′……エレベーターＷ……ウエーハ。

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】搬入コンベアで搬送されてくるウェーハを
積重して収納する第１ウェーハ収納機構と、搬入コンベア上のウェーハを抜き取って貯留用搬送コン
ベアに移載するウェーハ抜き取り機構と、前記貯留用搬送コンベアで搬送されてくるウェーハを収
納する第２ウェーハ収納機構とを具備し、前記ウェーハ抜き取り機構は、前記搬入コンベア上のウ
ェーハをバキュームにより吸着する吸着部と、該吸着部
を移動させるとともに吸着したウェーハを前記貯留用搬
送コンベア上に載置する吸着部移動機構とを備えること
を特徴とするウェーハサンプリング装置。
【請求項２】上記第１および第２ウェーハ収納機構が、それぞれ各コンベアにより移送されたウェーハを収納す
る収納容器と、この収納容器を昇降させるエレベーターとからなること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のウェーハサン
プリング装置。