JP2517112B2 - クリ―ントンネル - Google Patents
クリ―ントンネルInfo
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- JP2517112B2 JP2517112B2 JP15865989A JP15865989A JP2517112B2 JP 2517112 B2 JP2517112 B2 JP 2517112B2 JP 15865989 A JP15865989 A JP 15865989A JP 15865989 A JP15865989 A JP 15865989A JP 2517112 B2 JP2517112 B2 JP 2517112B2
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体等の製造に必要な清浄な環境を造り
出すクリーントンネルに関するものである。
出すクリーントンネルに関するものである。
従来の技術 以下、従来のクリーントンネルについて図面を参照し
ながら説明する。第５図は従来のクリーントンネルを示
すものである。第３図において、１は、クリーントンネ
ルを構成するクリーンモジュールの本体部で、上面、底
面、右面、左面、前面、後面の六面からなり、内部に空
気を供給する給気口２、空気中のダストをこし取る高性
能フィルター（HAPAフィルター）３、汚染された空気を
外部に排出する排気口４を備えている。５は、空気を供
給、排出する給排気装置、６は搬送装置、７は空気の流
れ、８はワークである。
ながら説明する。第５図は従来のクリーントンネルを示
すものである。第３図において、１は、クリーントンネ
ルを構成するクリーンモジュールの本体部で、上面、底
面、右面、左面、前面、後面の六面からなり、内部に空
気を供給する給気口２、空気中のダストをこし取る高性
能フィルター（HAPAフィルター）３、汚染された空気を
外部に排出する排気口４を備えている。５は、空気を供
給、排出する給排気装置、６は搬送装置、７は空気の流
れ、８はワークである。
上記のような構成において、給排気装置５により発生
した空気の流れ７は、給気口２よりクリーンモジュール
の本体部１の内部に供給され、一部は高性能フィルター
（HAPAフィルター）３により空気中のダストをこし取ら
れ、清掃な空気の流れとなり、搬送装置６上のワーク８
を清掃に保つ。ワーク８を通過した空気は搬送装置６等
で発生したダストと共に、排気口４より排出される。ま
た、給排気装置５により発生した空気の流れ７は、連結
されている多数のクリーンモジュールにも供給され、上
記と同様な動作にて、クリーン空間を形成し、ワーク８
を清掃に保つ。この動作が連続的に行なわれる。
した空気の流れ７は、給気口２よりクリーンモジュール
の本体部１の内部に供給され、一部は高性能フィルター
（HAPAフィルター）３により空気中のダストをこし取ら
れ、清掃な空気の流れとなり、搬送装置６上のワーク８
を清掃に保つ。ワーク８を通過した空気は搬送装置６等
で発生したダストと共に、排気口４より排出される。ま
た、給排気装置５により発生した空気の流れ７は、連結
されている多数のクリーンモジュールにも供給され、上
記と同様な動作にて、クリーン空間を形成し、ワーク８
を清掃に保つ。この動作が連続的に行なわれる。
発明が解決しようとする課題 上記のような構成において、一部のクリーンモジュー
ルにおいて、搬送装置６の故障や点検の為に、クリーン
モジュールの前面等を開放し、外部より修理等を行なう
場合に、クリーンモジュールの一部を開放すると、外部
からのダストによりクリーントンネル全体のクリーン空
間が破壊されることになる。
ルにおいて、搬送装置６の故障や点検の為に、クリーン
モジュールの前面等を開放し、外部より修理等を行なう
場合に、クリーンモジュールの一部を開放すると、外部
からのダストによりクリーントンネル全体のクリーン空
間が破壊されることになる。
また、一度クリーン空間が汚染されると、モジュール
内部や内部に設置された搬送装置等の細部にまでダスト
が付着し、再度当初のクリーン状態にするのに多大な時
間と運転費用が必要であるという問題点を有していた。
内部や内部に設置された搬送装置等の細部にまでダスト
が付着し、再度当初のクリーン状態にするのに多大な時
間と運転費用が必要であるという問題点を有していた。
本発明は、上記問題点に鑑み、クリーントンネル全体
のクリーン空間を破壊することなく、クリーンモジュー
ルの一部を開放して内部の修理、点検等が容易に行な
え、また開放により破壊されたクリーン空間を短時間に
安価な運転費用で当初のクリーン状態に復帰させるもの
である。
のクリーン空間を破壊することなく、クリーンモジュー
ルの一部を開放して内部の修理、点検等が容易に行な
え、また開放により破壊されたクリーン空間を短時間に
安価な運転費用で当初のクリーン状態に復帰させるもの
である。
課題を解決させるための手段 本発明のクリーントンネルは、上面、底面、連結部を
有する右面、左面と、前面、後面の六面からなる本体部
と、内部に空気を供給する給気口と、供給された空気中
のダストをこし取り空気を清浄にする高性能フィルター
と、内部の汚染された空気を外部に排出する排気口を備
えたクリーンモジュールを多数個連結してクリーン空間
を形成し、各クリーンモジュールに空気を供給、排出す
る給排気装置を備えたクリーントンネルにおいて、各ク
リーンモジュールの連結部に各クリーンモジュールを連
結、運転した状態で、クリーン空間を物理的に分割する
着脱可能な分割板を備えたものである。
有する右面、左面と、前面、後面の六面からなる本体部
と、内部に空気を供給する給気口と、供給された空気中
のダストをこし取り空気を清浄にする高性能フィルター
と、内部の汚染された空気を外部に排出する排気口を備
えたクリーンモジュールを多数個連結してクリーン空間
を形成し、各クリーンモジュールに空気を供給、排出す
る給排気装置を備えたクリーントンネルにおいて、各ク
リーンモジュールの連結部に各クリーンモジュールを連
結、運転した状態で、クリーン空間を物理的に分割する
着脱可能な分割板を備えたものである。
作用 本発明は、上記構成により一部クリーンモジュールの
内部搬送装置等の修理、点検の目的でクリーンモジュー
ルの一部を開放し、外部より作業する場合、開放するク
リーンモジュールに隣接するクリーンモジュールの連結
部に分割板を装着することによりクリーン空間と汚染空
間を物理的に分割することができ、クリーントンネル全
体のクリーン空間を破壊することなく内部の修理、点検
が可能となる。また、必要最少限の空間しか外部に開放
されない為、クリーントンネル全体のクリーン空間が破
壊された場合と比較して短時間に安価な運転費用で当初
のクリーン状態に復帰させることが可能となる。
内部搬送装置等の修理、点検の目的でクリーンモジュー
ルの一部を開放し、外部より作業する場合、開放するク
リーンモジュールに隣接するクリーンモジュールの連結
部に分割板を装着することによりクリーン空間と汚染空
間を物理的に分割することができ、クリーントンネル全
体のクリーン空間を破壊することなく内部の修理、点検
が可能となる。また、必要最少限の空間しか外部に開放
されない為、クリーントンネル全体のクリーン空間が破
壊された場合と比較して短時間に安価な運転費用で当初
のクリーン状態に復帰させることが可能となる。
実 施 例 以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら
説明を行なう。
説明を行なう。
第１図、第２図は本発明の一実施例のクリーントンネ
ルを示すものである。
ルを示すものである。
第１図、第２図において、クリーントンネルを構成す
るクリーンモジュールの本体部１に、給気口２、高性能
フィルター（HAPAフィルター）３、排気口４が設けられ
ている。５は給排気装置、６はクリーンモジュールの本
体部１内に配設された搬送装置、７は空気の流れ、８は
ワークである。９は本体部１の連結部に設けられた分割
板ガイド９、10は分割板、11はガイド部カバーである。
るクリーンモジュールの本体部１に、給気口２、高性能
フィルター（HAPAフィルター）３、排気口４が設けられ
ている。５は給排気装置、６はクリーンモジュールの本
体部１内に配設された搬送装置、７は空気の流れ、８は
ワークである。９は本体部１の連結部に設けられた分割
板ガイド９、10は分割板、11はガイド部カバーである。
以上のように構成されたクリーントンネルについて、
以下第１図、第２図を用いてその動作を説明する。給排
気装置５で作られた空気の流れ７（クリーン度クラス10
0万程度）は、給気口２より本体部１に導入される。導
入された空気の一部は、高性能フィルター（HAPAフィル
ター）３によりダストをこし取られクリーン度クラス１
程度の清浄な空気流となり、本体部１の天井部よりワー
ク８及び搬送装置６に降下する。この清浄な空気流は、
ワーク８及び搬送装置６で発生したダスト（クリーン度
クラス10万〜100万程度）を排気口４より本体部１の外
側へ排出し、モジュール内部にクリーン空間（クリーン
度クラス１）を形成する。また、本体部１に導入された
空気の一部は、給気口２より隣接するモジュールに導入
され、上記と同様な動作によりモジュール内部に連続し
たクリーン空間（クリーン度クラス１）を形成する。
以下第１図、第２図を用いてその動作を説明する。給排
気装置５で作られた空気の流れ７（クリーン度クラス10
0万程度）は、給気口２より本体部１に導入される。導
入された空気の一部は、高性能フィルター（HAPAフィル
ター）３によりダストをこし取られクリーン度クラス１
程度の清浄な空気流となり、本体部１の天井部よりワー
ク８及び搬送装置６に降下する。この清浄な空気流は、
ワーク８及び搬送装置６で発生したダスト（クリーン度
クラス10万〜100万程度）を排気口４より本体部１の外
側へ排出し、モジュール内部にクリーン空間（クリーン
度クラス１）を形成する。また、本体部１に導入された
空気の一部は、給気口２より隣接するモジュールに導入
され、上記と同様な動作によりモジュール内部に連続し
たクリーン空間（クリーン度クラス１）を形成する。
このような動作を行なうクリーンモジュールの本体部
１の連結部を第３図、第４図に示す。隣接するクリーン
モジュールの連結部に設置された分割板ガイド９は、通
常はガイド部カバー11により外部ダストの侵入及びモジ
ュール内部の内圧低下を防止している。このような状態
で、搬送装置６の故障やワーク８の異常が発生した場合
は、異常があるクリーンモジュールの連結部（２ヶ所）
のガイド部カバー11を取り外し、分割板10（例えば帯電
防止アクリル製）を分割板ガイド９の溝部に挿入する。
この場合、分割板ガイド９の溝部と分割板10とは、挿入
状態で空気のモレ等が発生しないように製作されてい
る。その後、クリーンモジュールの前面及び後面など必
要に応じて開放し、外部より適切な処置を行なう、その
後、モジュールの前面及び後面を閉鎖し、クリーンモジ
ュール内部のクリーン度が隣接するクリーンモジュール
内のクリーン度と同程度（クラス１）になった後、連結
部の分割板10を取り除きガイド部カバー11を取り付け
る。
１の連結部を第３図、第４図に示す。隣接するクリーン
モジュールの連結部に設置された分割板ガイド９は、通
常はガイド部カバー11により外部ダストの侵入及びモジ
ュール内部の内圧低下を防止している。このような状態
で、搬送装置６の故障やワーク８の異常が発生した場合
は、異常があるクリーンモジュールの連結部（２ヶ所）
のガイド部カバー11を取り外し、分割板10（例えば帯電
防止アクリル製）を分割板ガイド９の溝部に挿入する。
この場合、分割板ガイド９の溝部と分割板10とは、挿入
状態で空気のモレ等が発生しないように製作されてい
る。その後、クリーンモジュールの前面及び後面など必
要に応じて開放し、外部より適切な処置を行なう、その
後、モジュールの前面及び後面を閉鎖し、クリーンモジ
ュール内部のクリーン度が隣接するクリーンモジュール
内のクリーン度と同程度（クラス１）になった後、連結
部の分割板10を取り除きガイド部カバー11を取り付け
る。
このように本実施例によれば、クリーンモジュールの
連結部に分割板ガイド９、分割板10、ガイド部カバー11
などを設置することにより各クリーンモジュールを物理
的に分割することが可能となり、クリーントンネル全体
のクリーン空間を破壊することなく、クリーンモジュー
ルの一部を開放し、内部の点検、修理等が容易に行なえ
る。また、開放により汚染されたクリーン空間を短時間
に、安価な運転費用で当初のクリーン状態に復帰させる
ことが可能となった。（モジュールを10個連結したクリ
ーントンネルの場合、トンネル全体を開放した場合と当
初のクリーン状態に復帰させるまでの時間、費用を比較
すると、復帰時間1/10、運転費用1/10となる。） なお、上記実施例において、分割板10は帯電防止アク
リル製としたが、分割板10は金属板及び発塵の少ない材
料としてもよい。
連結部に分割板ガイド９、分割板10、ガイド部カバー11
などを設置することにより各クリーンモジュールを物理
的に分割することが可能となり、クリーントンネル全体
のクリーン空間を破壊することなく、クリーンモジュー
ルの一部を開放し、内部の点検、修理等が容易に行なえ
る。また、開放により汚染されたクリーン空間を短時間
に、安価な運転費用で当初のクリーン状態に復帰させる
ことが可能となった。（モジュールを10個連結したクリ
ーントンネルの場合、トンネル全体を開放した場合と当
初のクリーン状態に復帰させるまでの時間、費用を比較
すると、復帰時間1/10、運転費用1/10となる。） なお、上記実施例において、分割板10は帯電防止アク
リル製としたが、分割板10は金属板及び発塵の少ない材
料としてもよい。
発明の効果 以上のように本発明は、上面、底面と連結部を有する
右面、左面と、前面、後面の六面からなる本体部と、内
部に空気を供給する給気口と、供給された空気中のダス
トをこし取り空気を清浄にする高性能フィルター（HAPA
フィルター）と、内部の汚染された空気を外部に排出す
る排気口を備えたクリーンモジュールを多数個連結して
クリーン空間を形成し、各クリーンモジュールに空気を
供給、排出する給排気装置を備えたクリーントンネルに
おいて、各クリーンモジュールの連結部に、各クリーン
モジュールを連結、運転した状態でクリーン空間を各ク
リーンモジュール毎に物理的に分割する着脱可能な分割
板を備えたことにより、クリーントンネル全体のクリー
ン空間を破壊せずにクリーントンネルの部分的な点検、
修理を行なうことができ、クリーントンネルの効率的な
運転が可能となる。
右面、左面と、前面、後面の六面からなる本体部と、内
部に空気を供給する給気口と、供給された空気中のダス
トをこし取り空気を清浄にする高性能フィルター（HAPA
フィルター）と、内部の汚染された空気を外部に排出す
る排気口を備えたクリーンモジュールを多数個連結して
クリーン空間を形成し、各クリーンモジュールに空気を
供給、排出する給排気装置を備えたクリーントンネルに
おいて、各クリーンモジュールの連結部に、各クリーン
モジュールを連結、運転した状態でクリーン空間を各ク
リーンモジュール毎に物理的に分割する着脱可能な分割
板を備えたことにより、クリーントンネル全体のクリー
ン空間を破壊せずにクリーントンネルの部分的な点検、
修理を行なうことができ、クリーントンネルの効率的な
運転が可能となる。
第１図は本発明の一実施例におけるクリーントンネルの
構造を示す断面図、第２図は同分割板の取付け方法を示
す斜視図、第３図は同クリーンモジュールの連結部を拡
大した斜視図、第４図は同分割板の取付状態を示す連結
部の拡大斜視図、第５図は従来のクリーントンネルの構
造を示す断面図である。 １……本体部、２……給気口、３……高性能フィルータ
（HAPAフィルター）、４……排気口、５……給排気装
置、９……分割板ガイド、10……分割板、11……ガイド
部カバー。
構造を示す断面図、第２図は同分割板の取付け方法を示
す斜視図、第３図は同クリーンモジュールの連結部を拡
大した斜視図、第４図は同分割板の取付状態を示す連結
部の拡大斜視図、第５図は従来のクリーントンネルの構
造を示す断面図である。 １……本体部、２……給気口、３……高性能フィルータ
（HAPAフィルター）、４……排気口、５……給排気装
置、９……分割板ガイド、10……分割板、11……ガイド
部カバー。
Claims (1)
- 【請求項１】上面、底面と、連結部を有する右面、左面
と、前面、後面の六面からなる本体部と、内部に空気を
供給する給気口と、供給された空気中のダストをこし取
り空気を清浄にする高性能フィルターと、内部の汚染さ
れた空気を外部に排出する排出口を備えたクリーンモジ
ュールを多数個連結してクリーン空間を形成し、各クリ
ーンモジュールに空気を供給、排出する給排気装置を備
えたクリーントンネルにおいて、各クリーンモジュール
の連結部に、各クリーンモジュールを連結、運転した状
態で、クリーン空間を各クリーンモジュール毎に物理的
に分割する着脱可能な分割板を備えたことを特徴とする
クリーントンネル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15865989A JP2517112B2 (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 | クリ―ントンネル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15865989A JP2517112B2 (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 | クリ―ントンネル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0323616A JPH0323616A (ja) | 1991-01-31 |
| JP2517112B2 true JP2517112B2 (ja) | 1996-07-24 |
Family
ID=15676546
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15865989A Expired - Fee Related JP2517112B2 (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 | クリ―ントンネル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2517112B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4328995C2 (de) * | 1993-08-28 | 1997-01-23 | Meissner & Wurst | Reinraumanlage |
| JPH11251207A (ja) * | 1998-03-03 | 1999-09-17 | Canon Inc | Ｓｏｉ基板及びその製造方法並びにその製造設備 |
-
1989
- 1989-06-21 JP JP15865989A patent/JP2517112B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0323616A (ja) | 1991-01-31 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |