JP4440654B2

JP4440654B2 - ファンフィルタユニットおよび既設加圧チャンバ方式クリーンルームをｆｆｕ方式クリーンルームに改修する方法ならびにｆｆｕ方式クリーンルームをｆｆｕ方式クリーンルームと一部空調機方式クリーンルームとの併用型クリーンルームに改修する方法

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Publication number: JP4440654B2
Application number: JP2004003297A
Authority: JP
Inventors: 順一新保
Original assignee: Sanki Engineering Co Ltd
Current assignee: Sanki Engineering Co Ltd
Priority date: 2003-01-08
Filing date: 2004-01-08
Publication date: 2010-03-24
Anticipated expiration: 2024-01-08
Also published as: JP2004233037A

Description

本発明は、クリーンルームに用いられるファンフィルタユニットおよび既設加圧チャンバ方式クリーンルームをＦＦＵ方式クリーンルームに改修する方法ならびにＦＦＵ方式クリーンルームをＦＦＵ方式クリーンルームと一部空調機方式クリーンルームとの併用型クリーンルームに改修する方法に関する。

従来、クリーンルームにおいては、天井にＨＥＰＡフィルタなどの高性能フィルタを敷設し、天井チャンバ内に導入された空気を高性能フィルタで所定の清浄度にしてクリーンルーム内に導入する加圧チャンバ方式クリーンルームが知られている（例えば、特許文献１参照）。
その一例を図１５に示す。

建物１内を仕切って、例えば、クラス１０の清浄度を確保するクリーンルーム（プロセス）２と、例えば、クラス１００００の清浄度を確保するクリーンルーム（サービス）３を形成する。
クリーンルーム（プロセス）２とクリーンルーム（サービス）３とには、天井側にＨＥＰＡフィルタなどの高性能フィルタ４が敷設され、床側にパンチングメタルなどの穴あき板５が設置されている。

高性能フィルタ４の上部空間６は、循環ファン７が設置されている縦シャフト８と繋がっている。縦シャフト８は、冷却コイルユニット９を介して床下空間１０と繋がっている。
また、敷設した高性能フィルタの天井チャンバ側にモータ付き送風機を取り付けて成るＦＦＵを設置するＦＦＵ方式クリーンルームが知られている（例えば、特許文献２、特許文献３、特許文献４、特許文献５参照）。

その一例を図１６に示す。
本例に示すＦＦＵ方式クリーンルームは、高性能フィルタ４の上にＦＦＵ１１を設置するとともに、循環ファン７を用いない点で、図１５に示す加圧チャンバ方式クリーンルームとは相違する。
特開平１０−３００１４５号公報（図１，図３）特開２００２−８９９１８号公報特開平９−２８７７９１号公報特開２０００−１８６６３号公報特開２００２−１２２３４０号公報

大規模クリーンルームの空調方式は、図１５に示すような加圧チャンバ方式クリーンルームがかつては主流であった。
しかし、クリーンルームを平面的に眺めた場合、縦シャフト８に大型の循環ファン７が設置され、また空気の搬送における圧力損失や音の発生の観点から、循環ファン７の吸込側スペースが床下やレタンシャフトに、吐出側スペースが気流方向の天井裏に必要となり、大きなスペースを縦シャフト８として必要とする場合がある。

近年、このような機械室部分の省スペースによる生産エリア拡大の要望や、省エネルギ化や生産工程のレイアウト変更などの理由により、既設の加圧チャンバ方式クリーンルームをＦＦＵ方式クリーンルームに変更する要望がある。
ところで、加圧チャンバ方式クリーンルームは、循環ファン７によって空気を循環させる方式であるため少数の大型送風機で空気を搬送する。これに対し、ＦＦＵ方式クリーンルームは、ＦＦＵ１１自体に送風機を備えており、多数の小型送風機で循環空気を搬送する。

そのため、加圧チャンバ方式クリーンルームをＦＦＵ方式クリーンルームに変更するには、高性能フィルタ４上に多い時には数千台ものＦＦＵ１１を設置し、配線し、通電動作試験を１台ずつに対して実施する工事となり、その工事の間クリーンルーム全体の操業を数日〜数週間に亘って停止しなければならず、生産工場であるクリーンルームの全停止による生産不能事態を起こす場合もある。

また、加圧チャンバ方式クリーンルームを稼働させたまま、天井内工事としてＦＦＵ１１の設置、配線、通電動作試験をある程度の台数まとめて行うにしても、循環ファン７の吐出送風圧を持ってしてもＦＦＵ１１本体設置の停止送風機に抗して定格の風量を送風することはできず、ＦＦＵ１１設置の箇所と高性能フィルタ４のみ設置の箇所の天井下吹出風速に大きなばらつきが発生し、やはり生産工場としてクリーンルームが使用不能の状態に追い込まれる場合がある。

さらに、これを解消するため、天井内工事としてＦＦＵ１１の設置、配線、通電動作試験を少ない台数で１日のような短い時間で完了させ、室内も工事箇所の生産工程だけ短時間停止させて対応するような工事を行ったとしても、全工事エリアのＦＦＵ１１が設置され運転できるようになってはじめて加圧チャンバ方式クリーンルームからＦＦＵ方式クリーンルームに切り替えることができる。なぜなら、送風機の位置が変わることで、加圧チャンバ方式クリーンルームでは縦シャフト８の送風機吐出部から天井チャンバまでが陽圧だったところ、ＦＦＵ方式クリーンルームではファンの吐出部に高圧損の高性能フィルタ４があるため床下から天井チャンバまでが負圧となり、循環部位の圧は大幅に変わり、途中で切替ができないからである。その工事期間中は、全時間ＦＦＵ１１の本体静圧分だけをＦＦＵ１１の送風機に受け持たせるダウン運転（高性能フィルタ→床穴あき板→冷却コイルユニット→縦シャフトなどの搬送系の静圧は循環ファンが受け持つ）で定格の風量を確保する。よって、循環ファン７の定格運転およびＦＦＵ１１の送風機のダウン運転併用運転が必要となり、例えば小エリア毎を年１回×数年に分けて工事をすると、その数年間運転電力を２倍近く消費するという問題がある。

また一方、図１６のようにＦＦＵ１１で吸い込みろ過して清浄空気を供給する既設のＦＦＵ方式クリーンルームの場合、改修後に供給温度の違いなどで一部のエリアを空調機からのダクトと接続し、高性能フィルタ４の上部をダクト接続口を開口したチャンバで覆うダクト接続吹出口を混在させる形が適するクリーンルームも存在する。そのクリーンルームの変更の場合は、既設でＦＦＵ１１が設置されていた場所にダクト接続吹出口を移設したり、ダクト接続吹出口の設置場所にＦＦＵ１１を移設したりする交換を行っていた。

本発明は、斯かる従来の問題点を解決するために為されたもので、その目的は、既設加圧チャンバ方式クリーンルームをＦＦＵ方式クリーンルームへの変更を容易にすることが可能なファンフィルタユニットおよびその既設加圧チャンバ方式クリーンルームをＦＦＵ方式クリーンルームに改修する方法を提供することにある。
また、本発明は、ＦＦＵ、ダクト接続吹出口が混在しているクリーンルーム内での空調方式にＦＦＵ方式クリーンルームから変更する場合においても、ＦＦＵとダクト接続吹出口との兼用利用を可能としたファンフィルタユニットを提供することにある。

請求項１に係る発明は、高性能フィルタ上に設置される囲い部と、前記囲い部の天井部に設けられた２つの開口部と、前記開口部の一方に設けられたモータ付き送風機と、前記開口部の内の前記モータ付き送風機を備えていない開口部を塞ぐための蓋部材とを備え、前記蓋部材は、前記２つの開口部の間の前記天井部に固定される蝶番により軸支され、何れか一方の前記開口部を開放する場合には他方の前記開口部を覆って塞ぐように回動自在に設けてあることを特徴とする。
請求項２に係る発明は、請求項１記載のファンフィルタユニットにおいて、前記２つの開口部の少なくとも一方は、ダクトが接続できるフランジを形成し、前記フランジにボルトを突出していることを特徴とする。

請求項３に係る発明は、請求項２記載のファンフィルタユニットにおいて、前記モータ付き送風機を備えていない開口部を塞ぐための前記蓋部材が、前記モータ付き送風機を備えていない開口部に形成されたフランジに突出したボルトとナットにて螺着して固定されることを特徴とする。
請求項４に係る発明は、運転中の既設加圧チャンバ方式クリーンルームの天井チャンバ内に、予め決めた切替時期毎の工区に沿って天井内間仕切りを設ける工程と、前記天井内間仕切りで仕切られた当切替時期の工区において、運転中の既設フィルタユニット上に、高性能フィルタ上に設置される囲い部と、前記囲い部の天井部に設けられた２つの開口部と、前記開口部の一方に設けられたモータ付き送風機と、前記開口部の内のモータ付き送風機を備えていない開口部を塞ぐ蓋部材とを備えたファンフィルタユニットを、前記モータ付き送風機を備えていない開口部が開放された状態で順次設置する工程と、運転中の既設加圧チャンバ方式クリーンルームの循環ファンの運転を停止し、この循環ファンの撤去および縦シャフトのファン回り閉塞板撤去を行い、その後に、前記モータ付き送風機を備えていない開口部を前記蓋部材で塞ぐ工程とを備えたことを特徴とする。

請求項５に係る発明は、運転中の既設加圧チャンバ方式クリーンルームの天井チャンバ内に、予め決めた切替時期毎の工区に沿って天井内間仕切りを設ける工程と、前記天井内間仕切りで仕切られた当切替時期の工区において、運転中の既設フィルタユニット上に、モータ付き送風機を備えていない開口部が開放された状態の請求項１記載のファンフィルタユニットを、順次設置する工程と、前記運転中の既設加圧チャンバ方式クリーンルームの循環ファンの運転を停止し、前記循環ファンの撤去および縦シャフトのファン回り閉塞板撤去を行い、その後に、前記モータ付き送風機を備えていない開口部を前記蓋部材を回動させて塞ぐ工程とを備えたことを特徴とする。

請求項６に係る発明は、請求項４記載の既設加圧チャンバ方式クリーンルームをＦＦＵ方式クリーンルームに改修する方法によって改修され、運転中のＦＦＵ方式クリーンルームにおける一部のクリーンルームの床側に吸込口を設け、機械室スペースに個別空調機を設置し、給気ダクトおよび還気ダクトを空調機側から天井内、床下に設置する工程と、前記一部のクリーンルームのファンフィルタユニットを全停止させ、前記蓋部材を開口部から前記モータ付き送風機を備えている開口部に移して塞ぎ、開放している前記各開口部に前記給気ダクトを接続し、前記各吸込口に前記還気ダクトを接続し、前記個別空調機の運転を開始する工程とを備えたことを特徴とする。

請求項７に係る発明は、請求項５記載の既設加圧チャンバ方式クリーンルームをＦＦＵ方式クリーンルームに改修する方法によって改修され、運転中のＦＦＵ方式クリーンルームにおける一部のクリーンルームの床側に吸込口を設け、機械室スペースに個別空調機を設置し、給気ダクトおよび還気ダクトを空調機側から天井内、床下に設置する工程と、前記一部のクリーンルームのファンフィルタユニットを全停止させ、前記蓋部材を開口部から前記モータ付き送風機を備えている開口部に回動して塞ぎ、開放している前記各開口部に前記給気ダクトを接続し、前記各吸込口に前記還気ダクトを接続し、前記個別空調機の運転を開始する工程とを備えたことを特徴とする。

請求項８に係る発明は、高性能フィルタ上に設置される囲い部と、前記囲い部の天井部に設けられた２つの開口部と、前記開口部の一方に設けられたモータ付き送風機と、前記開口部の内のモータ付き送風機を備えていない開口部を塞ぐ蓋部材とを備えたファンフィルタユニットを備えたＦＦＵ方式クリーンルームにおける一部のクリーンルームの床側に吸込口を設け、機械室スペースに個別空調機を設置し、給気ダクトおよび還気ダクトを空調機側から天井内、床下に設置する工程と、前記一部のクリーンルームのファンフィルタユニットを全停止させ、前記蓋部材を開口部から前記モータ付き送風機を備えている開口部に移して塞ぎ、開放している前記各開口部に前記給気ダクトを接続し、前記各吸込口に前記還気ダクトを接続し、前記個別空調機の運転を開始する工程とを備えたことを特徴とする。

請求項９に係る発明は、請求項１または請求項３記載のファンフィルタユニットを備えたＦＦＵ方式クリーンルームにおける一部のクリーンルームの床側に吸込口を設け、機械室スペースに個別空調機を設置し、給気ダクトおよび還気ダクトを空調機側から天井内、床下に設置する工程と、前記一部のクリーンルームのファンフィルタユニットを全停止させ、前記蓋部材を開口部から前記モータ付き送風機を備えている開口部に回動して塞ぎ、開放している前記各開口部に前記給気ダクトを接続し、前記各吸込口に前記還気ダクトを接続し、前記個別空調機の運転を開始する工程とを備えたことを特徴とする。

（作用）
本発明に係るファンフィルタユニットにおいては、モータ付き送風機を設けていない開口部が、加圧チャンバ対応のバイパス吸込口として機能し、加圧チャンバ下での使用時には開放し、ＦＦＵ使用時では蓋部材で塞ぐことができる。
また、バイパス吸込口をダクトフランジ型とし、ここをダクト吸込口として利用することができる。ダクト吸込口を使用する場合には、モータ付き送風機を設けた開口部を蓋部材で覆い、逆流を防止することができる。

さらに、蓋部材は囲い部に回動自在に設けてあるので、何れか一方の開口部を確実に覆うことができる。
本発明に係るファンフィルタユニットを用いて既設加圧チャンバ方式クリーンルームをＦＦＵ方式クリーンルームに改修する方法においては、既設の加圧チャンバ方式クリーンルームの天井チャンバ内に、天井内間仕切りを予め決めた切替時期毎の工区に沿って設け、モータ付送風機を備えていない開口部が開放された状態のファンフィルタユニットを、運転中の加圧チャンバ方式クリーンルームの既設フィルタユニット上に順次設置し、そのまま加圧チャンバ方式クリーンルームとして運転し、天井内間仕切りで仕切られた当切替時期の工区に必要な所定の台数のファンフィルタユニット全てを、天井内のユニット設置、それぞれのＦＦＵへの配線工事、その後の通電動作試験まで完了させ、その状態で、先ず、運転中の加圧チャンバ方式クリーンルームの循環ファンの運転を停止し、この循環ファンの撤去および縦シャフトのファン回り閉塞板撤去を行い、しかる後に、ファンフィルタユニットを、モータ付送風機を備えていない開口部が開放されている加圧チャンバ方式クリーンルームのフィルタユニットとして機能していたのを、モータ付送風機を備えていない開口部を蓋部材で塞ぐことでファンフイルタユニットとして機能させ、各モータ付送風機を運転し、吹出風速を測定確認しながら全ＦＦＵ運転に切り替えていくことができる。工事としては、ファンフィルタユニットの動作確認まで事前に完了しているので、循環ファンと周囲閉塞板の撤去作業およびＦＦＵの開口部蓋部材の切替作業のみで切替工事が済むこととなり、生産工程での休日を利用した工程に影響のない短時間の作業が可能となった。また、切替時期毎の工区のエリアは、停止できる時間、および既設の循環ファンの受持エリア、循環ファン周辺の撤去工事から決定していけば良い。よって、順次切替工事を生産工程に支障無く実施することができる。

本発明に係るＦＦＵ方式クリーンルームをＦＦＵ方式クリーンルームと一部空調機方式クリーンルームとの併用型クリーンルームに改修する方法は、既設加圧チャンバ方式クリーンルームをＦＦＵ方式クリーンルームに改修する方法によって改修され、運転中のＦＦＵ方式クリーンルームにおける一部のクリーンルームに供給温度の違いなどにより空調機を接続する運転が要求される場合に、該当する一部のクリーンルームの床側に吸込口を設け、機械室スペースに個別空調機を設置し、給気ダクトおよび還気ダクトを空調機側から天井内、床下に設置し、一部のクリーンルームのファンフィルタユニットを全停止させ、蓋部材を開口部からモータ付送風機を備えている開口部に移動して塞ぎ、開放している各開口部に給気ダクトを接続し、各吸込口に還気ダクトを接続し、個別空調機の運転を開始することにより、ＦＦＵ方式クリーンルームと一部空調機方式クリーンルームとの併用型クリーンルームに改修することができる。工事としては、ファンフィルタユニットの開口直前まで、例えばフレキシブルダクトが予め設置され、各吸込口のそばまでダクト施工が予め完了しているので、開口部の蓋部材の移設作業と、ファンフィルタユニットおよび吸込口に対する直近のダクト接続作業とで切替工事が済むこととなり、生産工程に影響のない短時間の作業が可能となった。

本発明に係るＦＦＵ方式クリーンルームをＦＦＵ方式クリーンルームと一部空調機方式クリーンルームとの併用型クリーンルームに改修する方法は、本発明に係るファンフィルタユニットを備えたＦＦＵ方式クリーンルームにおける一部のクリーンルームに供給温度の違いなどにより空調機を接続する運転が要求される場合に、該当する一部のクリーンルームの床側に吸込口を設け、機械室スペースに個別空調機を設置し、給気ダクトおよび還気ダクトを空調機側から天井内、床下に設置し、一部のクリーンルームのファンフィルタユニットを全停止させ、蓋部材を開口部からモータ付送風機を備えている開口部に移動して塞ぎ、開放している各開口部に給気ダクトを接続し、各吸込口に還気ダクトを接続し、個別空調機の運転を開始することにより、ＦＦＵ方式クリーンルームと一部空調機方式クリーンルームとの併用型クリーンルームに改修することができる。工事としては、ファンフィルタユニットの開口直前まで、例えばフレキシブルダクトが予め設置され、各吸込口のそばまでダクト施工が予め完了しているので、開口部の蓋部材の移設作業と、ファンフィルタユニットおよび吸込口に対する直近のダクト接続作業とで切替工事が済むこととなり、生産工程に影響のない短時間の作業が可能となった。

本発明によれば、大規模クリーンルームの空調方式を、加圧チャンバクリーンルームからＦＦＵ方式クリーンルームへ容易に変更することが可能となる。
本発明によれば、加圧チャンバクリーンルームを稼働しながら順次ＦＦＵを実装できるので、クリーンルームの操業停止が不要となった。
本発明によれば、ＦＦＵ、ダクト接続吹出口が混在しているクリーンルーム内での空調方式においても、ＦＦＵとダクト接続吹出口との兼用利用が可能となった。

本発明によれば、ＦＦＵ方式クリーンルームを稼働しながら順次個別空調機、ダクト、吸込口を実装できるので、クリーンルームの操業停止が不要となった。

以下、本発明を図面に示す実施形態に基づいて説明する。
図１〜図６は、本発明の一実施形態に係るファンフィルタユニットを示す（請求項１，２，３に対応する）。
本実施形態に係るファンフィルタユニット２０は、ＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタなどの高性能フィルタ５５上に設置される囲い部２１と、この囲い部２１の天井部２２に設けられた２つの開口部３０，３５と、開口部３５に設けられたモータ付き送風機４０とを備えている。

２つの開口部３０，３５の間には、何れか一方の開口部３０，３５を覆う１つの蓋部材４５が回動自在に設けてある。
囲い部２１は、矩形状の天井部２２と、天井部２２の周縁部から同一方向に起立するスカート部２３と、スカート部２３の縁部に設けたフィルタ取付部２４とを備えた箱形容器で構成されている。

囲い部２１には、２つの取手２５と、電源ボックス２６と、モータ付き送風機４０をＯＮ，ＯＦＦするスイッチ２７と、運転ランプ２８とが設けてある。
開口部３０，３５は、同一形状を為す筒部３１，３６と、筒部３１，３６の先端部に設けたフランジ部３２，３７と、フランジ部３２，３７上に載置したパッキン３３，３８とを備えている。

フランジ３２，３７には、等間隔で４個のボルト３４，３９を軸部がフランジ３２，３７上に突出するように下面側から貫入し、溶接または接着剤によって固定している。
蓋部材４５は、フランジ部３２，３７の上を覆うことができるようにフランジ部３２，３７とほぼ同径の円盤４６と、この円盤４６に連接する舌部４７とで構成されている。
円盤４６には、図６に示すように、４個のボルト３４，３９を挿通することができる長孔４８が設けてある。長孔４８を挿通した４個のボルト３４，３９には、ちょうナット４９がワッシャ４９ａを介して螺着されて蓋部材４５を固定するようになっている。

舌部４７は、開口部３０，３５の間に設けた台５０上に固定された蝶番５１に固定されている。
次に、斯くして構成された本実施形態に係るファンフィルタユニットを用いて既設加圧チャンバ方式クリーンルームをＦＦＵ方式クリーンルームに改修する方法を説明する（請求項５に対応する）。

図１，図２は、モータ付き送風機４０を備えた開口部３５を蓋部材４５にて塞いだ例を示す。
この場合には、モータ付き送風機４０を備えていない開口部３０が開放されているので、加圧チャンバ方式クリーンルームのフィルタユニットとして機能することができる。
従って、例えば図７に示すように、加圧チャンバクリーンルームを運転中に既設のフィルタ４上に順次設置しても、ほとんど圧力損失が増加せず、よってフィルタ４のみの天井部分とユニット２０載置部の天井部分とで吹出風量にばらつきは無く、工程稼働に支障がない。

図３，図４は、モータ付送風機４０を備えていない開口部３０を蓋部材４５にて塞いだ例を示す。
この場合には、モータ付送風機４０を備えた開口部３５が開放されているので、ＦＦＵ方式チャンバクリーンルームのファンフィルタユニットとして機能することができる。
このファンフィルタユニット２０を用いれば、例えば次のように既設の加圧チャンバ方式クリーンルームを生産工程に支障がない停止時間だけで順次ＦＦＵ方式クリーンルームに切り替えることができる。

図１５に示す既設の加圧チャンバ方式クリーンルームの天井チャンバ内に、図１０の天井内間仕切り７０を予め決めた切替時期毎の工区に沿って設ける。ここで、工区として１年目に行う工事に相当する第一工区を示す。天井内間仕切り７０は、圧力差に耐えられる既設の加圧チャンバ相当の間仕切りが必要となるが、天井内間仕切り工事は、最終フィルタが天井に敷設されていて塵挨捕捉ができるため、クリーンルーム稼働中に実施ができる。よって、このための生産工程の停止は必要ない。

続いて、図７に示すように、モータ付送風機４０を備えていない開口部３０が開放された状態のファンフィルタユニット２０を、運転中の加圧チャンバ方式クリーンルームの既設フィルタユニット４上に順次設置し、そのまま加圧チャンバ方式クリーンルームとして運転していく。そのため、天井内のユニット設置、それぞれのＦＦＵへの配線工事、その後の通電動作試験までの天井内工事は、加圧チャンバ方式クリーンルーム運転中に実施できる。

そして、天井内間仕切り７０で仕切られた当切替時期の工区に必要な所定の台数のファンフィルタユニット２０全てを、天井内のユニット設置、それぞれのＦＦＵへの配線工事、その後の通電動作試験まで完了させておく。
その状態で、図８の示すように、先ず、運転中の加圧チャンバ方式クリーンルームの循環ファン７の運転を停止し、この循環ファン７の撤去および縦シャフトのファン回り閉塞板撤去を行う。しかる後に、ファンフィルタユニット２０を、モータ付送風機４０を備えていない開口部３０が開放されている加圧チャンバ方式クリーンルームのフィルタユニットとして機能していたのを、モータ付送風機４０を備えていない開口部３０を蓋部材４５を回動させて塞ぐことでファンフイルタユニットとして機能させ、各モータ付送風機４０を運転し、吹出風速を測定確認しながら全ＦＦＵ運転に切り替えていく。工事としてはファンフィルタユニットの動作確認まで事前に完了しているので、循環ファン７と周囲閉塞板の撤去作業およびＦＦＵの開口部蓋部材の切替作業のみで切替工事が済むこととなり、生産工程での休日を利用した工程に影響のない短時間の作業で可能となった。また、切替時期毎の工区のエリアは、停止できる時間、および既設の循環ファンの受持エリア、循環ファン周辺の撤去工事から決定していけば良い。よって、図１１のように、工区を２年目、３年目に行う工事に相当する第二工区、第三工区を順次切替工事を生産工程の支障無く実施することができる。

図９は、図１，図２に示すファンフィルタユニット２０と図３，図４に示すファンフィルタユニット２０とを同時に用いた別の実施形態に係るクリーンルームを形成する完成例を示す。
この例では、図８に示す形の既設ＦＦＵ方式クリーンルームをＦＦＵ方式クリーンルームと一部空調機方式クリーンルームとの併用型クリーンルームに改修する方法を示す（請求項６，７に対応する）。この例では、図８に示す形の既設ＦＦＵクリーンルームを改修して供給温度差の違いなどにより一部のエリアであるクリーンルーム（サービス）３を個別空調機６１からのダクト接続を行う場合について説明する。

クリーンルーム（プロセス）２は、図８と同様に、全ての既設の高性能フィルタ４上に図１，図２に示すファンフィルタユニット２０が設置されている。なお、ここで、ファンフィルタユニット２０は、通常のＦＦＵ１１でも良い。
一方、クリーンルーム（サービス）３では、図１，図２に示すファンフィルタユニット２０が設置されて運転されている最中に、床側に吸込口６２を設け、機械室スペースに個別空調機６１を設置し、給気ダクト６０および還気ダクト６３を空調機６１側から天井内、床下でクリーンルーム運転中に順次施工し、最後にクリーンルーム（サービス）３のファンフィルタユニット２０を全停止させ、蓋部材４５を開口部３０からモータ付送風機４０を備えている開口部３５に回動させて塞ぎ、その後各開口部３０にダクト６０端部を接続する作業と、各吸込口６２にダクト６３端部を接続する作業とを一斉に短時間に行い、その日の内に系統を切り替えて工事完了として、個別空調機６１の運転を開始する。

この例によれば、クリーンルーム（プロセス）２においては、ファンフィルタユニット２０またはＦＦＵ１１による循環運転を行い、クリーンルーム（サービス）３においては、吹出温度差の異なるクリーンルームとしての系統分離や、微量ガス成分のプロセス側へのコンタミネーション防止対策としてサービス域を単独空調として循環する領域として機能することができるように、切替工事を生産工程に影響しない短時間で行うことが可能となる。

なお、上記実施形態においては、既設の加圧チャンバ方式クリーンルームをＦＦＵ方式クリーンルームに変更する場合、および既設のＦＦＵ方式クリーンルームをＦＦＵ方式クリーンルームと一部空調機方式クリーンルームとの併用型クリーンルームに変更する場合について説明したが、新設のクリーンルームにおいて、本実施形態に係わるファンフィルタユニット２０を設置することも可能である。この場合にも、蓋部材４５を用途、目的に応じて適宜切り替えることによって使用することができる（請求項８，９に対応する）。

また、上記各実施形態においては、蓋部材４５を固定する４個のボルト３４，３９を軸部がフランジ３２，３７上に突出するように下面側から貫入し、溶接または接着剤によって固定した場合について説明したが、本発明はこれに限らず、例えば、図１２，図１３に示すように、フランジ３２，３７の下部に支持金物３４ｂ，３９ｂを介して回動自在に取り付けたボルト３４ａ，３９ａを用いても良い。この場合には、蓋部材４５に設ける穴は、長孔４８に代えて端部が開口する長孔４８ａとする。ここで、支持金物３４ｂ，３９ｂはフランジ３２，３７の下部に溶接により固定され、ボルト３４ａ，３９ａは、支持金物３４ｂ，３９ｂに回転可能に軸支された軸３４ｃ，３９ｃに組み付けれている。軸３４ｃ，３９ｃは、ワッシャ３４ｄ，３９ｄ，３４ｅ，３９ｅおよび割ピン３４ｆ，３４ｆにより支持金物３４ｂ，３９ｂから抜けでないように支持されている。そして、蓋部材４５を固定するには、回動自在に取り付けられたボルト３４ａ，３９ａを、図１２に示す矢印のように軸３４ｃ，３９ｃを介して回動し、蓋部材４５に設けた長孔４８ａの開口部から蓋部材４５の中心に向かって挿入し、図１３に示すように、所定の位置でワッシャ４９ａを介してちょうナット４９を螺合する。

また、上記各実施形態においては、蓋部材４５を蝶番５１によって回動する場合について説明したが、本発明はこれに限らず、例えば、ゴム、プラスチックスなどの可撓性部材によって構成しても良い。
また、上記各実施形態においては、蓋部材４５をちょうナット４９によって固定する場合について説明したが、本発明はこれに限らず、例えば、天井部に固定アームを設け、この固定アームによって蓋部材４５を固定するようにしても良い。

また、上記各実施形態においては、蓋部材４５を蝶番５１によって回動する蓋部材４５を回動して何れかの開口部３０，３５を覆う場合について説明したが、本発明はこれに限らず、例えば、開口部３０，３５のフランジ部３２，３７の外側に２本のスライドレールを天井部２２に立設し、蓋部材４５をこれらスライドレールに沿って移動するスライド蓋としても良い（請求項４，６，８に対応）。

本発明の一実施形態に係るファンフィルタユニットを示す平面図である。図１に示すファンフィルタユニットの側面図である。本発明の一実施形態に係るファンフィルタユニットを示す平面図である。図３に示すファンフィルタユニットの側面図である。図１および図３に示すファンフィルタユニットにおける蓋部材の固定部を示す拡大断面図である。図１および図３に示すファンフィルタユニットにおける蓋部材の固定部を示す拡大平面図である。図１，図２に示すファンフィルタユニットを組み付ける状態を示す説明図である。図３，図４に示すファンフィルタユニットを組み付けた状態を示す説明図である。図１，図２に示すファンフィルタユニットおよび図３，図４に示すファンフィルタユニットを併設した状態を示す説明図である。本発明の一実施形態に係るファンフィルタユニット２０を用いた既設の加圧チャンバ方式クリーンルームをＦＦＵ方式クリーンルームに切り替える方法における第一工区を示す説明図である。本発明の一実施形態に係るファンフィルタユニット２０を用いた既設の加圧チャンバ方式クリーンルームをＦＦＵ方式クリーンルームに切り替える方法における第二工区、第三工区を示す説明図である。本発明に係るファンフィルタユニットの蓋部材の別の固定部における固定前の状態を示す拡大断面図である。本発明に係るファンフィルタユニットの蓋部材の別の固定部における固定後の状態を示す拡大断面図である。図１２，図１３における蓋部材を示す拡大平面図である。加圧チャンバ方式クリーンルームの従来例を示す説明図である。ＦＦＵ方式クリーンルームの従来例を示す説明図である。

符号の説明

２０ファンフィルタユニット
２１囲い部
２２天井部
３０，３５開口部
４０モータ付き送風機
４５蓋部材
７０天井内間仕切り

Claims

高性能フィルタ上に設置される囲い部と、
前記囲い部の天井部に設けられた２つの開口部と、
前記開口部の一方に設けられたモータ付き送風機と、
前記開口部の内の前記モータ付き送風機を備えていない開口部を塞ぐための蓋部材とを備え、
前記蓋部材は、前記２つの開口部の間の前記天井部に固定される蝶番により軸支され、何れか一方の前記開口部を開放する場合には他方の前記開口部を覆って塞ぐように回動自在に設けてある
ことを特徴とするファンフィルタユニット。
請求項１記載のファンフィルタユニットにおいて、前記２つの開口部の少なくとも一方は、ダクトが接続できるフランジを形成し、前記フランジにボルトを突出していることを特徴とするファンフィルタユニット。
請求項２記載のファンフィルタユニットにおいて、前記モータ付き送風機を備えていない開口部を塞ぐための前記蓋部材が、前記モータ付き送風機を備えていない開口部に形成されたフランジに突出したボルトとナットにて螺着して固定されることを特徴とするファンフィルタユニット。
運転中の既設加圧チャンバ方式クリーンルームの天井チャンバ内に、予め決めた切替時期毎の工区に沿って天井内間仕切りを設ける工程と、
前記天井内間仕切りで仕切られた当切替時期の工区において、運転中の既設フィルタユニット上に、高性能フィルタ上に設置される囲い部と、前記囲い部の天井部に設けられた２つの開口部と、前記開口部の一方に設けられたモータ付き送風機と、前記開口部の内のモータ付き送風機を備えていない開口部を塞ぐ蓋部材とを備えたファンフィルタユニットを、前記モータ付き送風機を備えていない開口部が開放された状態で順次設置する工程と、
運転中の既設加圧チャンバ方式クリーンルームの循環ファンの運転を停止し、この循環ファンの撤去および縦シャフトのファン回り閉塞板撤去を行い、その後に、前記モータ付き送風機を備えていない開口部を前記蓋部材で塞ぐ工程と
を備えたことを特徴とする既設加圧チャンバ方式クリーンルームをＦＦＵ方式クリーンルームに改修する方法。
運転中の既設加圧チャンバ方式クリーンルームの天井チャンバ内に、予め決めた切替時期毎の工区に沿って天井内間仕切りを設ける工程と、
前記天井内間仕切りで仕切られた当切替時期の工区において、運転中の既設フィルタユニット上に、モータ付き送風機を備えていない開口部が開放された状態の請求項１記載のファンフィルタユニットを、順次設置する工程と、
前記運転中の既設加圧チャンバ方式クリーンルームの循環ファンの運転を停止し、前記循環ファンの撤去および縦シャフトのファン回り閉塞板撤去を行い、その後に、前記モータ付き送風機を備えていない開口部を前記蓋部材を回動させて塞ぐ工程と
を備えたことを特徴とする既設加圧チャンバ方式クリーンルームをＦＦＵ方式クリーンルームに改修する方法。
請求項４記載の既設加圧チャンバ方式クリーンルームをＦＦＵ方式クリーンルームに改修する方法によって改修され、運転中のＦＦＵ方式クリーンルームにおける一部のクリーンルームの床側に吸込口を設け、機械室スペースに個別空調機を設置し、給気ダクトおよび還気ダクトを空調機側から天井内、床下に設置する工程と、
前記一部のクリーンルームのファンフィルタユニットを全停止させ、前記蓋部材を開口部から前記モータ付き送風機を備えている開口部に移して塞ぎ、開放している前記各開口部に前記給気ダクトを接続し、前記各吸込口に前記還気ダクトを接続し、前記個別空調機の運転を開始する工程と
を備えたことを特徴とするＦＦＵ方式クリーンルームをＦＦＵ方式クリーンルームと一部空調機方式クリーンルームとの併用型クリーンルームに改修する方法。
請求項５記載の既設加圧チャンバ方式クリーンルームをＦＦＵ方式クリーンルームに改修する方法によって改修され、運転中のＦＦＵ方式クリーンルームにおける一部のクリーンルームの床側に吸込口を設け、機械室スペースに個別空調機を設置し、給気ダクトおよび還気ダクトを空調機側から天井内、床下に設置する工程と、
前記一部のクリーンルームのファンフィルタユニットを全停止させ、前記蓋部材を開口部から前記モータ付き送風機を備えている開口部に回動して塞ぎ、開放している前記各開口部に前記給気ダクトを接続し、前記各吸込口に前記還気ダクトを接続し、前記個別空調機の運転を開始する工程と
を備えたことを特徴とするＦＦＵ方式クリーンルームをＦＦＵ方式クリーンルームと一部空調機方式クリーンルームとの併用型クリーンルームに改修する方法。
高性能フィルタ上に設置される囲い部と、前記囲い部の天井部に設けられた２つの開口部と、前記開口部の一方に設けられたモータ付き送風機と、前記開口部の内のモータ付き送風機を備えていない開口部を塞ぐ蓋部材とを備えたファンフィルタユニットを備えたＦＦＵ方式クリーンルームにおける一部のクリーンルームの床側に吸込口を設け、機械室スペースに個別空調機を設置し、給気ダクトおよび還気ダクトを空調機側から天井内、床下に設置する工程と、
前記一部のクリーンルームのファンフィルタユニットを全停止させ、前記蓋部材を開口部から前記モータ付き送風機を備えている開口部に移して塞ぎ、開放している前記各開口部に前記給気ダクトを接続し、前記各吸込口に前記還気ダクトを接続し、前記個別空調機の運転を開始する工程と
を備えたことを特徴とするＦＦＵ方式クリーンルームをＦＦＵ方式クリーンルームと一部空調機方式クリーンルームとの併用型クリーンルームに改修する方法。
請求項１または請求項３記載のファンフィルタユニットを備えたＦＦＵ方式クリーンルームにおける一部のクリーンルームの床側に吸込口を設け、機械室スペースに個別空調機を設置し、給気ダクトおよび還気ダクトを空調機側から天井内、床下に設置する工程と、
前記一部のクリーンルームのファンフィルタユニットを全停止させ、前記蓋部材を開口部から前記モータ付き送風機を備えている開口部に回動して塞ぎ、開放している前記各開口部に前記給気ダクトを接続し、前記各吸込口に前記還気ダクトを接続し、前記個別空調機の運転を開始する工程と
を備えたことを特徴とするＦＦＵ方式クリーンルームをＦＦＵ方式クリーンルームと一部空調機方式クリーンルームとの併用型クリーンルームに改修する方法。