JPH0323616A - クリーントンネル - Google Patents
クリーントンネルInfo
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- JPH0323616A JPH0323616A JP1158659A JP15865989A JPH0323616A JP H0323616 A JPH0323616 A JP H0323616A JP 1158659 A JP1158659 A JP 1158659A JP 15865989 A JP15865989 A JP 15865989A JP H0323616 A JPH0323616 A JP H0323616A
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- clean
- air
- module
- class
- tunnel
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- 239000000428 dust Substances 0.000 claims abstract description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract 2
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 7
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 4
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Prevention Of Fouling (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、半導体等の製造に必要な清浄な環境を造り出
すクリーントンネルに関するものである・゛。７・従来
の技術 ＼・以下、従来の
クリーントンネルについて図面を参照しながら説明する
。第５図は従来のクリーントンネルを示すものである。
すクリーントンネルに関するものである・゛。７・従来
の技術 ＼・以下、従来の
クリーントンネルについて図面を参照しながら説明する
。第５図は従来のクリーントンネルを示すものである。
第３図において、ｌは、クリーントンネルを構成するク
リーンモジュールの本体部で、上面、底面、右面、左面
、前面、後面の六面からなり、内部に空気を供給する給
気口２、空気中のダストをこし取る高性能フィルター（
ＨＡＰＡフィルター）３、汚染された空気を外部に排出
する排気口４を備えている。５は、空気を供給、排出す
る給排気装置、６は搬送装置、７は空気の流れ、８はワ
ークである。
リーンモジュールの本体部で、上面、底面、右面、左面
、前面、後面の六面からなり、内部に空気を供給する給
気口２、空気中のダストをこし取る高性能フィルター（
ＨＡＰＡフィルター）３、汚染された空気を外部に排出
する排気口４を備えている。５は、空気を供給、排出す
る給排気装置、６は搬送装置、７は空気の流れ、８はワ
ークである。
上記のような構或において、給排気装置５により発生し
た空気の流れ７は、給気口２よりクリーンモジュールの
本体部１の内部に供給され、一部は高性能フィルター（
ＨＡＰＡフィルター）３により空気中のダストをこし取
られ、清浄な空気の流れどなり、搬送装置６上のワーク
８を清浄に保つ。ワーク８を通過した空気は搬送装置６
等で発生したダストと共に、排気口４より排出される。
た空気の流れ７は、給気口２よりクリーンモジュールの
本体部１の内部に供給され、一部は高性能フィルター（
ＨＡＰＡフィルター）３により空気中のダストをこし取
られ、清浄な空気の流れどなり、搬送装置６上のワーク
８を清浄に保つ。ワーク８を通過した空気は搬送装置６
等で発生したダストと共に、排気口４より排出される。
また、給排気装ｗｔ５により発生した空気の流れ７は、
連結されている多数のクリーンモジュールにも供給され
、上記と同様な動作にて、クリーン空間を形成し、ワー
ク８を清浄に保つ。この動作が連続的に行なわれる。
連結されている多数のクリーンモジュールにも供給され
、上記と同様な動作にて、クリーン空間を形成し、ワー
ク８を清浄に保つ。この動作が連続的に行なわれる。
発明が解決しようとする課題
上記のような構成において、一部のクリーンモジュール
において、搬送装ｆｌｔ６の故障や点検の為に、クリー
ンモジュールの前面等を開放し、外部より修理等を行な
う場合に、クリーンモジュールの一部を開放すると、外
部からのダストによりクリーントンネル全体のクリーン
空間が破壊されることになる。
において、搬送装ｆｌｔ６の故障や点検の為に、クリー
ンモジュールの前面等を開放し、外部より修理等を行な
う場合に、クリーンモジュールの一部を開放すると、外
部からのダストによりクリーントンネル全体のクリーン
空間が破壊されることになる。
また，一度クリーン空間が汚染されると、モジュール内
部や内部に設置された搬送装置等の細部にまでダストが
付着し、再度当初のクリーン状態にするのに多大な時間
と運転費用が必要であるという問題点を有していた。
部や内部に設置された搬送装置等の細部にまでダストが
付着し、再度当初のクリーン状態にするのに多大な時間
と運転費用が必要であるという問題点を有していた。
本発明は、上記問題点に鑑み、クリーントンネル全体の
クリーン空間を破壊することなく、クリーンモジュール
の一部を開放して内部の修理、点検等が容易に行なえ、
また開放により破壊されたクリーン空間を短時間に安価
な運転費用で当初のクリーン状態に復帰させるものであ
る。
クリーン空間を破壊することなく、クリーンモジュール
の一部を開放して内部の修理、点検等が容易に行なえ、
また開放により破壊されたクリーン空間を短時間に安価
な運転費用で当初のクリーン状態に復帰させるものであ
る。
課題を解決させるための手段
本発明のクリーントンネルは、上面、底面、連結部を有
する右面、左面と、前面、後面の六面からなる本体部と
、内部に空気を供給する給気口と、供給された空気中の
ダストをこし取り空気を清浄にする高性能フィルターと
、内部の汚染された空気を外部に排出する排気口を備え
たクリーンモジュールを多数個連結してクリーン空間を
形成し、各クリーンモジュールに空気を供給、排出する
給排気装置を備えたクリーントンネルにおいて、各クリ
ーンモジュールの連結部に各クリーンモジュールを連結
、運転した状態で、クリーン空間を物理的に分割する着
脱可能な分割板を備えたものである。
する右面、左面と、前面、後面の六面からなる本体部と
、内部に空気を供給する給気口と、供給された空気中の
ダストをこし取り空気を清浄にする高性能フィルターと
、内部の汚染された空気を外部に排出する排気口を備え
たクリーンモジュールを多数個連結してクリーン空間を
形成し、各クリーンモジュールに空気を供給、排出する
給排気装置を備えたクリーントンネルにおいて、各クリ
ーンモジュールの連結部に各クリーンモジュールを連結
、運転した状態で、クリーン空間を物理的に分割する着
脱可能な分割板を備えたものである。
作 用
本発明は、上記構成により一部クリーンモジュールの内
部搬送装置等の修理、点検の目的でクリーンモジュール
の一部を開放し、外部より作業する場合、開放するクリ
ーンモジュールに隣接するクリーンモジュールの連結部
に分割板を装着することによりクリーン空間と汚染空間
を物理的に分割することができ、クリーントンネル全体
のクリーン空間を破壊することなく内部の修理、点検が
可能となる。また、必要最少限の空間しか外部に開放さ
れない為、クリーントンネル全体のクリーン空間が破壊
された場合と比較して短時間に安価な運転費用で当初の
クリーン状態に復帰させることが可能となる。
部搬送装置等の修理、点検の目的でクリーンモジュール
の一部を開放し、外部より作業する場合、開放するクリ
ーンモジュールに隣接するクリーンモジュールの連結部
に分割板を装着することによりクリーン空間と汚染空間
を物理的に分割することができ、クリーントンネル全体
のクリーン空間を破壊することなく内部の修理、点検が
可能となる。また、必要最少限の空間しか外部に開放さ
れない為、クリーントンネル全体のクリーン空間が破壊
された場合と比較して短時間に安価な運転費用で当初の
クリーン状態に復帰させることが可能となる。
実施例
以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら説
明を行なう。
明を行なう。
第１図、第２図は本発明の一実施例のクリーントンネル
を示すものである。
を示すものである。
第１図、第２図において、クリーントンネルを構威する
クリーンモジュールの本体部１に、給気口２、高性能フ
ィルター（ＨＡＰＡフィルター）３、排気口４が設けら
れている。５は給排気装置、６はクリーンモジュールの
本体部１内に配設された搬送装置、７は空気の流れ、８
はワークである。
クリーンモジュールの本体部１に、給気口２、高性能フ
ィルター（ＨＡＰＡフィルター）３、排気口４が設けら
れている。５は給排気装置、６はクリーンモジュールの
本体部１内に配設された搬送装置、７は空気の流れ、８
はワークである。
９は本体部１の連結部に設けられた分割板ガイド９、１
０は分割板、１１はガイド部カバーである。
０は分割板、１１はガイド部カバーである。
以上のように構成されたクリーントンネルについて、以
下第１図、第２図を用いてその動作を説明する。給排気
装置５で作られた空気の流れ７（クリーン度クラス１０
０万程度〉は、給気口２より本体部１に導入される。導
入された空気の一部は、高性能フィルター（ １−Ｉ
Ａ Ｐ Ａフィルター〉３によりダストをこし取られク
リーン度クラス１程度の清浄な空気流となり、本体部１
の天井部よりワーク８及び搬送装ｆｉ６に降下する。こ
の清浄な空気流は、ワーク８及び搬、送装ｉｉ！６で発
生したダスト（クリーン度クラス１０万〜１００万程度
）を排気口４より本体部１の外側へ排出し、モジュール
内部にクリーン空間（クリーン度クラス１）を形成する
。また、本体部１に導入された空気の一部は、給気口２
より隣接するモジュールに導入され、上記と同様な動作
によりモジュール内部に連続したクリーン空間（クリー
ン度クラス１）を形戒する。
下第１図、第２図を用いてその動作を説明する。給排気
装置５で作られた空気の流れ７（クリーン度クラス１０
０万程度〉は、給気口２より本体部１に導入される。導
入された空気の一部は、高性能フィルター（ １−Ｉ
Ａ Ｐ Ａフィルター〉３によりダストをこし取られク
リーン度クラス１程度の清浄な空気流となり、本体部１
の天井部よりワーク８及び搬送装ｆｉ６に降下する。こ
の清浄な空気流は、ワーク８及び搬、送装ｉｉ！６で発
生したダスト（クリーン度クラス１０万〜１００万程度
）を排気口４より本体部１の外側へ排出し、モジュール
内部にクリーン空間（クリーン度クラス１）を形成する
。また、本体部１に導入された空気の一部は、給気口２
より隣接するモジュールに導入され、上記と同様な動作
によりモジュール内部に連続したクリーン空間（クリー
ン度クラス１）を形戒する。
このような動作を行なうクリーンモジュールの本体部１
の連結部を第３図、第４図に示す。隣接するクリーンモ
ジュールの連結部に設置された分割板ガイド９は、通常
はガイド部カバー１１により外部ダストの侵入及びモジ
ュール内部の内圧低下を防止している。このような状態
で、搬送装置６の故障やワーク８の異常が発生した場合
は、異常があるクリーンモジュールの連結部（２ケ所）
のガイド部カバー１１を取り外し、分割板１０（例えば
帯電防止アクリル製〉を分割板ガイド９の溝部に挿入す
る。この場合、分割板ガイド９の溝部と分割板１０とは
、挿入状態で空気のモレ等が発生しないように製作され
ている。その後、クリーンモジュールの前面及び後面な
ど必要に応じて開放し、外部より適切な処置を行なう、
その後、モジュールの前面及び後面を閉鎖し、クリーン
モジュール内部のクリーン度が隣接するクリーンモジュ
ール内のクリーン度と同程度（クラス１）になった後，
連結部の分割板１０を取り除きガイド部カバー１ｌを取
り付ける。
の連結部を第３図、第４図に示す。隣接するクリーンモ
ジュールの連結部に設置された分割板ガイド９は、通常
はガイド部カバー１１により外部ダストの侵入及びモジ
ュール内部の内圧低下を防止している。このような状態
で、搬送装置６の故障やワーク８の異常が発生した場合
は、異常があるクリーンモジュールの連結部（２ケ所）
のガイド部カバー１１を取り外し、分割板１０（例えば
帯電防止アクリル製〉を分割板ガイド９の溝部に挿入す
る。この場合、分割板ガイド９の溝部と分割板１０とは
、挿入状態で空気のモレ等が発生しないように製作され
ている。その後、クリーンモジュールの前面及び後面な
ど必要に応じて開放し、外部より適切な処置を行なう、
その後、モジュールの前面及び後面を閉鎖し、クリーン
モジュール内部のクリーン度が隣接するクリーンモジュ
ール内のクリーン度と同程度（クラス１）になった後，
連結部の分割板１０を取り除きガイド部カバー１ｌを取
り付ける。
このように本実施例によれば、クリーンモジュールの連
結部に分割板ガイド９、分割板ＩＯ、ガイド部カバーｌ
１などを設置することにより各クリーンモジュールを物
理的に分割することが可能となり、クリーントンネル全
体のクリーン空間を破壊することなく、クリーンモジュ
ールの一部を開放し、内部の点検、修理等が容易に行な
える。
結部に分割板ガイド９、分割板ＩＯ、ガイド部カバーｌ
１などを設置することにより各クリーンモジュールを物
理的に分割することが可能となり、クリーントンネル全
体のクリーン空間を破壊することなく、クリーンモジュ
ールの一部を開放し、内部の点検、修理等が容易に行な
える。
また、開放により汚染されたクリーン空間を短時間に、
安価な運転費用で当初のクリーン状態に復帰させること
が可能となった。（モジュールをｌＯ個連結したクリー
ントンネルの場合、トンネル全体を開放した場合と当初
のクリーン状態に復帰させるまでの時間、費用を比較す
ると、復帰時間１／１ ０、運転費用１／ｌＯとなる。
安価な運転費用で当初のクリーン状態に復帰させること
が可能となった。（モジュールをｌＯ個連結したクリー
ントンネルの場合、トンネル全体を開放した場合と当初
のクリーン状態に復帰させるまでの時間、費用を比較す
ると、復帰時間１／１ ０、運転費用１／ｌＯとなる。
）なお、上記実施例において、分割板１０は帯電防止ア
クリル製としたが、分割板１０は金属板及び発塵の少な
い材料としてもよい。
クリル製としたが、分割板１０は金属板及び発塵の少な
い材料としてもよい。
発明の効果
以上のように本発明は、上面、底面と連結部を有する右
面、左面と、前面、後面の六面からなる本体部と、内部
に空気を供給する給気口と、供給された空気中のダスト
をこし取り空気を清浄にする高性能フィルター（ＨＡＰ
Ａフィルター〉と、内部の汚染された空気を外部に排出
する排気口を備えたクリーンモジュールを多数個連結し
てクリーン空間を形成し、各クリーンモジュールに空気
を供給、排出する給排気装置を備えたクリーントンネル
において、各クリーンモジュールの連結部に、各クリー
ンモジュールを連結、運転した状態でクリーン空間を各
クリーンモジュール毎に物理的に分割する着脱可能な分
割板を備えたことにより、クリーントンネル全体のクリ
ーン空間を破壊せずにクリーントンネルの部分的な点検
、修理を行なうことができ、クリーントンネルの効率的
な運転が可能となる。
面、左面と、前面、後面の六面からなる本体部と、内部
に空気を供給する給気口と、供給された空気中のダスト
をこし取り空気を清浄にする高性能フィルター（ＨＡＰ
Ａフィルター〉と、内部の汚染された空気を外部に排出
する排気口を備えたクリーンモジュールを多数個連結し
てクリーン空間を形成し、各クリーンモジュールに空気
を供給、排出する給排気装置を備えたクリーントンネル
において、各クリーンモジュールの連結部に、各クリー
ンモジュールを連結、運転した状態でクリーン空間を各
クリーンモジュール毎に物理的に分割する着脱可能な分
割板を備えたことにより、クリーントンネル全体のクリ
ーン空間を破壊せずにクリーントンネルの部分的な点検
、修理を行なうことができ、クリーントンネルの効率的
な運転が可能となる。
第１図は本発明の一実施例におけるクリーントンネルの
構造を示す断面図、第２図は同分割板の取付け方法を示
す斜視図、第３図は同クリーンモジュールの連結部を拡
大した斜視図、第４図は同分割板の取付状態を示す連結
部の拡大斜視図、第５図は従来のクリーントンネルの構
造を示す断面図である。
構造を示す断面図、第２図は同分割板の取付け方法を示
す斜視図、第３図は同クリーンモジュールの連結部を拡
大した斜視図、第４図は同分割板の取付状態を示す連結
部の拡大斜視図、第５図は従来のクリーントンネルの構
造を示す断面図である。
Claims (1)
- 上面、底面と、連結部を有する右面、左面と、前面、後
面の六面からなる本体部と、内部に空気を供給する給気
口と、供給された空気中のダストをこし取り空気を清浄
にする高性能フィルターと、内部の汚染された空気を外
部に排出する排出口を備えたクリーンモジュールを多数
個連結してクリーン空間を形成し、各クリーンモジュー
ルに空気を供給、排出する給排気装置を備えたクリーン
トンネルにおいて、各クリーンモジュールの連結部に、
各クリーンモジュールを連結、運転した状態で、クリー
ン空間を各クリーンモジュール毎に物理的に分割する着
脱可能な分割板を備えたことを特徴とするクリーントン
ネル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15865989A JP2517112B2 (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 | クリ―ントンネル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15865989A JP2517112B2 (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 | クリ―ントンネル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0323616A true JPH0323616A (ja) | 1991-01-31 |
| JP2517112B2 JP2517112B2 (ja) | 1996-07-24 |
Family
ID=15676546
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15865989A Expired - Fee Related JP2517112B2 (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 | クリ―ントンネル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2517112B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5518451A (en) * | 1993-08-28 | 1996-05-21 | Meissner & Wurst GmbH & Co. Lufttechnisch Anlagen Gebaude- und Verfahrenstechnik | Clean room system |
| KR100322194B1 (ko) * | 1998-03-03 | 2002-02-04 | 미다라이 후지오 | Ｓｏｉ 기판 및 그 제조방법 및 그 제조설비 |
-
1989
- 1989-06-21 JP JP15865989A patent/JP2517112B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5518451A (en) * | 1993-08-28 | 1996-05-21 | Meissner & Wurst GmbH & Co. Lufttechnisch Anlagen Gebaude- und Verfahrenstechnik | Clean room system |
| KR100322194B1 (ko) * | 1998-03-03 | 2002-02-04 | 미다라이 후지오 | Ｓｏｉ 기판 및 그 제조방법 및 그 제조설비 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2517112B2 (ja) | 1996-07-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |