JP2516277Y2 - センサ - Google Patents

センサ

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JP2516277Y2
JP2516277Y2 JP1989147771U JP14777189U JP2516277Y2 JP 2516277 Y2 JP2516277 Y2 JP 2516277Y2 JP 1989147771 U JP1989147771 U JP 1989147771U JP 14777189 U JP14777189 U JP 14777189U JP 2516277 Y2 JP2516277 Y2 JP 2516277Y2
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JP
Japan
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sensor
support
ceramic sheet
hole
sensor element
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JP1989147771U
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JPH02144740U (ja
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ウルリツヒ・ゲーベル
マルチン・ホラント
リヒヤルト・ミユールハイム
ボト・ツイーゲンバイン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
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Robert Bosch GmbH
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K1/00—Details of thermometers not specially adapted for particular types of thermometer
    • G01K1/16—Special arrangements for conducting heat from the object to the sensitive element
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/688—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
    • G01F1/69—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element of resistive type
    • G01F1/692—Thin-film arrangements

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  • Physics & Mathematics (AREA)
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  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
  • Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、温度、流量及び化学的な測定を行うための
センサに関する。
〔従来の技術〕
公知のセンサの支持体においては、センサはセラミッ
クプレート上に配置されている。このセラミックプレー
トは、比較的厚く構成されていて、比較的良好な熱伝導
率を有している。従って、この公知の支持体において
は、センサは測定しようとする媒体の温度−又は流過量
変化に十分迅速に反応できないという欠点がある。
〔考案が解決しようとする課題〕
そこで本考案の課題は、前記公知のセンサにおける欠
点を取り除くことである。
〔課題を解決するための手段〕
この課題を解決した本考案のセンサによれば、Al2O3
より製造された支持部材より成る支持体と、少なくとも
１つの貫通する孔と、前記支持体上で前記孔を覆うよう
に配置された薄いセラミックシートと、前記孔の領域で
前記セラミックシート上に支持された、厚膜技術によっ
て設けられたセンサ素子とを有している。
〔効果〕
本考案によるセンサによれば、センサ素子と外箱（ca
se）との間を良好に断熱することができる。特に、高含
量のガラス成分を有するセラミックの熱伝導率は非常に
低く、温度又は流過量を迅速に測定することができる。
また固有の加熱体を有するセンサにおいては、高含量の
ガラス成分を有するセラミックスの高熱の面と流過空気
量との間の一定の温度差を調節するか若しくは一定に保
つことが可能である。この加熱体は、電子回路が配置さ
れている支持体に対して良好に断熱する。
〔実施例〕
次に図面に示した実施例について本考案の構成を具体
的に説明する。
第１図には、流れる媒体の温度又は流過量を測定する
ためのセンサ素子11の支持体が符号10で示されている。
支持体10はAl2O3より製造されたセラミックのプレート1
2より成っている。このプレート12には未処理状態、つ
まり焼結する前の状態で孔13が打ち抜き成形されてい
る。しかしながらプレート12に直径５〜10mmの多数の孔
を形成してもよい。プレート12の孔13の範囲には高含有
量のガラス成分を有する薄いセラミックシート14が配置
されている。このセラミックシート14はダイヤフラムと
して用いられる。セラミックシート14は約100μｍの厚
さを有しており、これに対してプレート12は630μｍの
厚さを有している。セラミックシート14の孔13のほぼ中
央にセンサ素子11が配置されている。プレート12上には
さらにセンサ素子11の測定信号を評価するための評価電
子回路15が設けられている。この評価電子回路15はプレ
ート12の孔13以外の範囲若しくはセラミックシート14に
隣接する箇所にプリントされている。高含有量のガラス
成分を有するセラミックの熱伝導率はAl2O3−セラミッ
クの熱伝導率の約10％だけである。従ってセンサ素子11
とプレーと12との間で良好な断熱作用が得られる。温度
又は流過量を測定するためのセンサ素子11は厚膜技術で
形成され、迅速かつ正確な測定を可能にするために加熱
体を有している。しかしながらこの熱は、Al2O3より成
るプレート12の熱伝導率が比較的良好であるために、評
価電子回路15に影響を与え、それによって測定値を誤ら
せることがある。また、センサ素子11をできるだけ薄い
ダイヤフラム上に設け、一方、評価電子回路15は厚いか
若しくは固い基体にプリントしなければならない。本考
案の特に有利な構成要件によれば、支持体10の縦軸線は
測定しようとする媒体の流れ方向に向けられている。こ
れによって、媒体の波頭はセンサ素子11に直接ぶつから
ずに、センサ素子11を横切るだけである。支持体は、一
つの厚いプレートから製造してもよいし、多数の薄いセ
ラミックシートから製造してもよい。
【図面の簡単な説明】
第１図はセンサ素子を有するプレートの断面図、第２図
は第１図に示したプレートの平面図である。 10……支持体、11……センサ素子、12……プレート、13
……孔、14……セラミックシート、15……評価電子回路
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｎ 27/26 Ｇ０１Ｎ 27/26 Ｚ (72)考案者 リヒヤルト・ミユールハイム ドイツ連邦共和国チユービンゲン・ハー ゼルヴエーク 12 (72)考案者 ボト・ツイーゲンバイン ドイツ連邦共和国ロイトリンゲン・リヒ ヤルト・シユトラウス・ヴエーク 21

Claims (5)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】温度、流量及び化学的な測定を行うための
    センサであって、Al2O3より製造された支持部材より成
    る支持体（10）と、少なくとも１つの貫通する孔（13）
    と、前記支持体（10）上で前記孔（13）を覆うように配
    置された薄いセラミックシート（14）と、前記孔（13）
    の領域で前記セラミックシート（14）上に支持された、
    厚膜技術によって設けられたセンサ素子（11）とを有し
    ていることを特徴とする、センサ。
  2. 【請求項２】前記支持体が、複数の前記貫通する孔（1
    3）を有しており、前記薄いセラミックシート（14）
    が、支持体上で前記孔を覆うように配置されている、請
    求項１記載のセンサ。
  3. 【請求項３】前記セラミックシートが、高含有量のガラ
    ス成分を有するセラミックより成っている、請求項１記
    載のセンサ。
  4. 【請求項４】前記支持体上にセンサ素子（11）のための
    評価電子回路（15）が配置されている、請求項１記載の
    センサ。
  5. 【請求項５】前記センサ素子（11）が、媒体の流量をセ
    ンサするための流量センサとして構成されていて、前記
    セラミックシート（14）が、測定しようとする媒体流に
    対してほぼ平行に配置されている、請求項１記載のセン
    サ。
JP1989147771U 1989-01-07 1989-12-25 センサ Expired - Lifetime JP2516277Y2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE8900142.7 1989-01-07
DE8900142U DE8900142U1 (de) 1989-01-07 1989-01-07 Träger für Sensoren

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH02144740U JPH02144740U (ja) 1990-12-07
JP2516277Y2 true JP2516277Y2 (ja) 1996-11-06

Family

ID=6834870

Family Applications (1)

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JP1989147771U Expired - Lifetime JP2516277Y2 (ja) 1989-01-07 1989-12-25 センサ

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US (1) US5027652A (ja)
JP (1) JP2516277Y2 (ja)
DE (1) DE8900142U1 (ja)

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Also Published As

Publication number Publication date
JPH02144740U (ja) 1990-12-07
US5027652A (en) 1991-07-02
DE8900142U1 (de) 1990-05-10

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