KR920701789A - 공기 부피 측정방법 및 장치 - Google Patents

공기 부피 측정방법 및 장치

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KR920701789A
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헥트 한스
마스트 마르틴
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랄프 홀거 베렌스, 페터 뢰저
로베르트 보쉬 게엠베하
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Abstract

내용 없음

Description

공기 부피 측정방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
그 외의 이점, 특징, 상세 사항은 다음의 실시예와 도면의 설명에 의해 제공된다.
제1도는 본 발명의 고온 필름 공기 부피 측정 장치의 확대 종단면도이다. 제2도는 고온 필름 공기 부피 측정 장치의 다른 실시예의 확대 종단면도이다.

Claims (15)

  1. 기판상의 센서에 의해 차량의 흡기 매니폴드내의 공기 부피를 측정하는 방법에 있어서, 상기 센서는 상기 기판으로부터 분리되고, 상기 센서 주위의 열 전류는 결정되거나 영향을 받는 것을 특징으로 하는 공기 부피 측정 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 센서 부근의 횡 열 전류가 설정되는 것을 특징으로 하는 공기 부피 측정 방법.
  3. 제1항 또는 2항에 있어서, 상기 센서 부근의 횡 열 전류는 변화되는 것을 특징으로 하는 공기 부피 측정 방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 센서 부근의 횡 열 전류는 상기 센서 온도로부터 일정한 차이로 가열되는 영역에 의해 안정되게 유지되는 것을 특징으로 하는 공기 부피 측정 방법.
  5. 제1항 내지 4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 센서 아래의 기판 온도를 측정하므로써 수직 열 전류가 결정되는 것을 특징으로 하는 공기 부피 측정 방법.
  6. 제1항 내지 5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 센서 아래의 수직 열 전류는 변경되는 것을 특징으로 하는 공기 부피 측정 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 센서 기판으로의 수직 열 전류는 센서 온도로부터 일정한 차이로 가열되는 센서 아래의 기판 표면에 의해 일정하게 유지되는 것을 특징으로 하는 공기 부피 측정 방법.
  8. 제1항 내지 7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 센서 주위의 열 전류를 결정하므로써, 신호가 얻어지고 센서 신호의 교정으로서 사용될 수 있는 것을 특징으로 하는 공기 부피 측정 방법.
  9. 제1항 내지 8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 센서 주위의 열 전류에 영향을 주므로써, 열 전류가 안정되고 작용하지 않는 것을 특징으로 하는 공기 부피 측정 방법.
  10. 청구범위 제1항 내지 9항 중 어느 한 항에 따른 방법을 실시하기 위한 공기 부피 측정 장치에 있어서, 질량 흐름 속도를 결정하기 위한 센서(8)는 기판(1)상에 위치된 측정 또는 가열 저항기(6, 7)위의 층(2)상에 위치되고, 측정 또는 가열 저항기(10, 11, 12)에 의해 둘러싸이는 것을 특징으로 하는 공기 부피 측정 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 층(2)은 돔(3) 아래에 블리스터(4)를 형성하고, 상기 측정 또는 가열 저항기(6, 7)는 기판(1)의 표면(5)상의 블리스터(4)내에 위치되며, 센서(8)는 돔(3)의 정점상에 외부에 위치되는 것을 특징으로 하는 공기 부피 측정 방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 측정 또는 가열 저항기(10, 11, 12)는 돔(3)상의 센서(8)부근에 위치되고 센서(8)를 둘러싸는 것을 특징으로 하는 공기 부피 측정 방법.
  13. 제10항에 있어서, 상기 기판(1)상에 위치된 측정 또는 가열 저항기(6, 7)는 센서(8)를 지지하는 밀유약층(14)이 놓이는 절연층(13)에 의해 둘러싸는 것을 특징으로 하는 공기 부피 측정 방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 측정 또는 가열 저항기(10, 11, 12)는 절연층(13) 또는 밀유약층(14)상의 센서(8)에 인접 위치되고 센서(8)를 둘러싸는 것을 특징으로 하는 공기 부피 측정 방법.
  15. 제13항 또는 14항에 있어서, 상기 절연층(13)은 가공성 세라믹으로 구성되는 것을 특징으로 하는 공기 부피 측정 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019910701485A 1990-04-14 1991-03-26 공기량 측정 장치 및 그 공정 KR100244360B1 (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102263568B1 (ko) * 2021-02-15 2021-06-11 한국표준과학연구원 양자 저항 표준을 위한 캡슐화된 구조체

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5423212A (en) * 1993-06-18 1995-06-13 Ricoh Seiki Company, Ltd. Flow sensor
CN1133069C (zh) * 1997-10-15 2003-12-31 三井金属矿业株式会社 流量传感器
JP5080020B2 (ja) 2006-04-13 2012-11-21 日立オートモティブシステムズ株式会社 熱式流量センサ
JP4341651B2 (ja) 2006-07-28 2009-10-07 株式会社日立製作所 熱式ガス流量計
JP5094212B2 (ja) * 2007-05-25 2012-12-12 日立オートモティブシステムズ株式会社 熱式流量計と制御方法
KR200458875Y1 (ko) * 2009-04-10 2012-03-15 이태옥 한복 치마
DE102017221510A1 (de) * 2017-11-30 2019-06-06 Christian Maier GmbH & Co. KG Verfahren zur Messung der Größe eines Leckagestromes einer Dichtung

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2856289C2 (de) * 1978-12-27 1987-01-02 Babcock-BSH AG vormals Büttner-Schilde-Haas AG, 4150 Krefeld Vorrichtung zur thermischen Massenstrommessung
DE2904154A1 (de) * 1979-02-03 1980-08-14 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur messung der masse eines stroemenden mediums
DE3135793A1 (de) * 1981-09-10 1983-03-24 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Verfahren und vorrichtung zur messung der masse eines in einem stroemungsquerschnitt stroemenden pulsierenden mediums
US4624137A (en) * 1981-10-09 1986-11-25 Honeywell Inc. Semiconductor device
US4637253A (en) * 1984-05-22 1987-01-20 Kabushiki Kaisha Toshiba Semiconductor flow detector for detecting the flow rate and flowing direction of fluid
US4744246A (en) * 1986-05-01 1988-05-17 Busta Heinz H Flow sensor on insulator
US4909078A (en) * 1987-10-14 1990-03-20 Rosemount Inc. Fluid flow detector
KR890010539A (ko) * 1987-12-08 1989-08-09 시끼모리야 감열식 유량센서
US4884443A (en) * 1987-12-23 1989-12-05 Siemens-Bendix Automotive Electronics L. P. Control and detection circuitry for mass airflow sensors
DE3829194A1 (de) * 1988-08-29 1990-03-08 Bosch Gmbh Robert Einrichtung zur messung einer stroemenden luftmenge

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102263568B1 (ko) * 2021-02-15 2021-06-11 한국표준과학연구원 양자 저항 표준을 위한 캡슐화된 구조체

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EP0477312A1 (de) 1992-04-01
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DE59108345D1 (de) 1996-12-19
KR100244360B1 (ko) 2000-03-02
ES2093700T3 (es) 1997-01-01
JPH04507140A (ja) 1992-12-10
DE4012081A1 (de) 1991-10-17

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